CN110284042B - 超塑性高熵合金、板材及其制备方法 - Google Patents

超塑性高熵合金、板材及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了提供一种超塑性高熵合金、板材及其制备方法，该高熵合金分子式为(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo，并通过配料、真空熔炼、浇铸、固溶处理和冷加工等步骤得到最终的具有超塑性和焊接性能的复杂零件加工原料；本发明通过对组成元素的选择，构建出高熵合金组成体系，使其具有良好的焊接性能，并且设计了高熵合金及其板材的制备工艺，通过冶炼、热轧、固溶处理和冷轧得到具有超塑性性能的供货态板材，可以通过超塑性成形实现复杂零部件的成形。

Description

超塑性高熵合金、板材及其制备方法
【技术领域】
本发明属于合金板材制造技术领域，尤其涉及一种超塑性高熵合金、板材及其制备方法。
【背景技术】
近年来，超塑性成形工艺在航天、汽车、车厢制造等部门中广泛采用，所用的超塑性合金包括铝、镁、钛、碳钢、不锈钢和高温合金等。它主要利用金属的超塑性，使形状复杂的零件在较低的能耗情况下一次性超塑成形，节能、省工、省料，而且超塑性还能改善材料的组织与性能，具有一定的组成性能的优越性。
钢材以其低廉的价格、可靠的性能成为世界上使用最多的材料之一，是建筑业、制造业和人们日常生活中不可或缺的一部分。我国对一系列轴承钢，结构钢和工具钢的超塑性进行了研究，并在工业上模具制造方面利用超塑性初步得到应用。
然而，传统超高碳超塑性钢中含碳量过高，不具有可焊接性能，传统低中碳钢在供货态下又不具有超塑性，不能满足复杂零件需要同时具有超塑性和焊接性能的要求。
【发明内容】
本发明的目的是提供一种超塑性高熵合金、板材及其制备方法，以为复杂零件提供同时具有超塑性和焊接性能的加工原料。
本发明采用以下技术方案：超塑性高熵合金，由Fe、Mn、Co、Cr、Mo和C构成，超塑性高熵合金分子式为(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo。
本发明的另一种技术方案：超塑性高熵合金的制备方法，包括以下步骤：
配料：按照(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，分别称取Fe、Mn、Co、Cr、Mo和FeC作为原料；
真空熔炼：将上述原料装入真空熔炼设备中，抽真空至(2.5～3.5)*10-3Pa，向真空熔炼设备中注入惰性气体直至其内压强为-0.6Pa，对真空熔炼设备内原料进行翻转熔炼5～6次，每次熔炼时间为3～5min，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭。
本发明的另一种技术方案：超塑性高熵合金板材，由上述的超塑性高熵合金制得。
本发明的另一种技术方案：超塑性高熵合金板材的制备方法，超塑性高熵合金的分子式为(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo，具体包括以下步骤：
浇铸：将(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭熔至液态，注入预制模具中，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材；
将(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材在900～950℃条件下进行热轧，道次＞15次，变形量为20～50％；
将热轧后的板材在900～1200℃条件下进行固溶处理，固溶处理时间为1～2h；
对固溶处理后的板材进行冷轧，道次＞25次，变形量为70～90％；
对冷轧后的板材进行退火结晶得到超塑性(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材；其中，退火温度为900～950℃，结晶时间为15～20min。
进一步地，(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭的制备方法包括以下步骤：
配料：按照(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，分别称取Fe、Mn、Co、Cr、Mo和FeC作为原料；
真空熔炼：将上述原料装入真空熔炼设备中，抽真空至(2.5～3.5)*10-3Pa，向真空熔炼设备中注入惰性气体直至其内压强为-0.6Pa，对真空熔炼设备内原料进行翻转熔炼5～6次，每次熔炼时间为3～5min，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭。
进一步地，Fe、Mn、Co、Cr和Mo原料的纯度大于99.9％。
进一步地，真空熔炼步骤中对合金熔液进行电磁搅拌，且首末次熔炼不进行电磁搅拌。
进一步地，方法具体包括以下步骤：
配料：根据(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，称量Fe、Co、Mn、Cr、Mo及FeC原料；
其中，原料总重2Kg，Fe原料为820.350g，Mn原料为581.138g，Co原料为207.799g，Cr原料为183.339g，Mo原料为34.526g，FeC合金为172.848g，且上述各纯金属元素纯度均大于99.9％；
熔炼：将上述原料放入真空电弧炉坩埚的同一熔炼池内，用分子泵将炉腔内真空抽至2.5*10﹣3Pa，并向炉腔内通入纯度为99.99wt.％的氩气，使炉内压强为达到-0.6Pa；
翻转熔炼5次，每次熔炼持续3min，开启电磁搅拌进行充分搅拌，首末次熔炼不开启电磁搅拌，待原料冷却至室温时取样，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭；
浇铸：将熔炼好的(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭倒置于浇铸坩埚台内，抽真空后将其熔至液态，注入模具，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材；
固溶处理和冷加工：在900℃下对浇筑后得到的高熵合金板材进行热轧，下压量20％，道次＝18次，每道次应变量不超过＜5％；
在900℃下对热轧厚的高熵合金板材进行固溶处理1h；
对固溶处理后的高熵合金板材进行冷轧，冷轧变形量为70％，道次为26次，每道次应变量＜3％；
对冷轧后的高熵合金板材进行退火，退火温度为900℃；
退火后的高熵合金板材进行结晶得到超塑性高熵合金板材，结晶时间为15min。
进一步地，方法包括以下步骤：
配料：根据(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，称量Fe、Co、Mn、Cr、Mo及FeC原料；
其中，原料总重6Kg，Fe原料为2461.049g，Mn原料为1743.415g，Co原料为623.398g，Cr原料为550.018g，Mo原料为103.579g，FeC合金为518.5416g，且上述各纯金属元素纯度均大于99.9％；
熔炼：将上述原料放入真空电弧炉坩埚的同一熔炼池内，用分子泵将炉腔内真空抽至3.5*10﹣3Pa，并向炉腔内通入纯度为99.99wt.％的氩气，使炉内压强为达到-0.6Pa；
翻转熔炼6次，每次熔炼持续5min，开启电磁搅拌进行充分搅拌，首末次熔炼不开启电磁搅拌，待原料冷却至室温时取样，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭；
浇铸：将熔炼好的(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭倒置于浇铸坩埚台内，抽真空后将其熔至液态，注入模具，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材；
固溶处理和冷加工：在950℃下对浇筑后得到的高熵合金板材进行热轧，下压量50％，道次＝20次，每道次应变量不超过＜4％；
在950℃下对热轧厚的高熵合金板材进行固溶处理2h；
对固溶处理后的高熵合金板材进行冷轧，冷轧变形量为90％，道次为35次，每道次应变量＜4％；
对冷轧后的高熵合金板材进行退火，退火温度为950℃；
退火后的高熵合金板材进行结晶得到超塑性高熵合金板材，结晶时间为20min。
本发明的有益效果是：本发明通过对组成元素的选择，构建出高熵合金组成体系，使其具有良好的焊接性能，并且设计了高熵合金及其板材的制备工艺，通过冶炼、热轧、固溶处理和冷轧得到具有超塑性性能的供货态板材，可以通过超塑性成形实现复杂零部件的成形。
【附图说明】
图1为本发明实施例中(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的XRD图谱；
图2为本发明实施例中(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的应力-应变拉伸曲线。
【具体实施方式】
下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
本发明实施例提供了一种超塑性高熵合金，由Fe、Mn、Co、Cr、Mo和C六种元素构成，其分子式为(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo。根据该分子式可知，超塑性高熵合金中Fe、Mn、Co、Cr、C和Mo元素的原子比依次为49:24.5:9.8:14.7:1:1，其中，Fe原子占比49％，Mn原子占比24.5％，Co原子占比9.8％，Cr原子占比14.7％，C、Mo原子占比各1％，合计100％。
本实施例中高熵合金的组织结构简单，如图1所示，为其XRD图谱，通过该图可知，其是FCC的单相组织，其中，研究发现一部分FCC相是由HCP相转变的亚稳态组织，整体体现为FCC相组成。
本发明的另一实施例公开了一种超塑性高熵合金的制备方法，包括以下步骤：
配料：按照(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，选用纯金属元素及铁碳化合物，分别称取Fe、Mn、Co、Cr、Mo和FeC作为原料，其中，纯金属元素原料的纯度大于99.9％。
真空熔炼：采用真空电弧炉进行熔炼，在熔炼前，需要确定炉腔内为惰性气体保护的真空状态。
将上述原料装入真空熔炼设备中，经机械泵预抽真空至7.5～8.5Pa时，打开截止阀抽真空至5.5～6.5Pa，此时利用分子泵将炉腔内真空抽至(2.5～3.5)*10-3Pa，向真空熔炼设备中注入惰性气体直至其内压强为-0.6Pa，惰性气体可以选为高纯氩气，浓度大于等于99.99wt.％。
对真空熔炼设备内原料进行翻转熔炼5～6次，每次熔炼时间为3～5min，熔炼过程中对合金熔液进行电磁搅拌，首末次熔炼不进行电磁搅拌，熔炼结束后，待铸锭冷却至室温时取样，并得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭。
本发明的另一实施例中提供了一种超塑性高熵合金板材，由上述的超塑性高熵合金制得。
本发明的另一实施例中还提供了一种超塑性高熵合金板材的制备方法，超塑性高熵合金的分子式为(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo，具体包括以下步骤：
浇铸：将(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭倒置于浇铸坩埚台内，抽真空，使用真空电弧炉将目的合金熔至液态，然后注入预制的板材模具中，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材。通过浇铸，会使得材料在凝固过程中冷却速度变快，从而形成组织致密、晶粒细小的组织，进而得到的超塑性高熵合金板材组织致密，性能好，缺陷少。
固溶处理和冷加工：将浇铸得到的(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材在900～950℃条件下进行热轧，道次＞15次，变形量(本实施例中指的是下压量)为20～50％。在本实施例中道次＞15次，则每次应变量不超过5％，变形量较小，目的是压合铸造合金组织中的缩孔缩松，避免板材应力过大导致的板材裂开。
热轧厚，将热轧后的板材在900～1200℃条件下进行固溶处理，固溶处理时间为1～2h；此时选择处理温度为该合金的高温单相区，通过固溶处理可以得到完全均匀化的单相组织。
对固溶处理后的板材进行冷轧，以对均匀化组织引入变形，道次＞25次，变形量为70～90％。每次应变量不超过5％，避免应力过大使得合金板裂开，每道次应变越小越好，可得到组织均匀且致密的合金组织。
对冷轧后的板材进行退火结晶得到超塑性(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材。其中，退火温度为900～950℃，结晶时间为15～20min，而且，得到的超塑性板材晶粒尺寸细小。
在本发明的另一实施例中，(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭的制备方法包括以下步骤：
配料：按照(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，选用纯金属元素及铁碳化合物，分别称取Fe、Mn、Co、Cr、Mo和FeC作为原料，其中，纯金属元素原料的纯度大于99.9％。
真空熔炼：采用真空电弧炉进行熔炼，在熔炼前，需要确定炉腔内为惰性气体保护的真空状态。
将上述原料装入真空熔炼设备中，经机械泵预抽真空至7.5～8.5Pa时，打开截止阀抽真空至5.5～6.5Pa，此时利用分子泵将炉腔内真空抽至(2.5～3.5)*10-3Pa，向真空熔炼设备中注入惰性气体直至其内压强为-0.6Pa，惰性气体可以选为高纯氩气，浓度大于等于99.99wt.％。
对真空熔炼设备内原料进行翻转熔炼5～6次，每次熔炼时间为3～5min，熔炼过程中对合金熔液进行电磁搅拌，首末次熔炼不进行电磁搅拌，熔炼结束后，待铸锭冷却至室温时取样，并得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭。
通过本实施例中工艺制造出的高熵合金在室温下便可表现出超塑性，同时具有硬度高、可焊接、抗腐蚀、耐磨以及抗疲劳等优良的综合性能。在该合金中复合作用机制和TWIP/TRIP效应共同诱发，使得材料的综合力学性能大大提高，并在常温变形过程中体现出100％～130％的超塑性。
本发明实施例中所提出合金可通过冶炼、热轧、固溶处理和冷轧得到具有超塑性性能的供货态板材，可以通过超塑性成形实现复杂零部件的成形。如图2所示，超塑性成形后的零部件具有可焊接性能和700～1500MPa的室温抗拉强度。该超塑性高熵合金板材成本低，易生产，可以通过常规的冶炼、浇铸、热轧和冷轧进行大规模工业化生产，弥补了传统超高碳超塑性钢的不可焊接性能和传统低中碳钢在供货态下不具有超塑性的缺陷，为复杂零部件成形、减少焊接以及轻量化提供了材料基础，同时延伸至一个全新的材料领域。
本发明实施例中的超塑性高熵合金具有比其他现有技术中更低的形变温度、更高的应变速率和更优异的超塑性性能，打破了低中碳合金钢不具有超塑性的局限，为复杂零部件成形提供了工业化供货态的超塑性材料基础，将推动超塑性钢材在航空航天和交通运输等领域的广泛应用。
实施例一
配料：根据(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，称量Fe、Co、Mn、Cr、Mo及FeC原料。其中，原料总重2Kg，Fe原料为820.350g，Mn原料为581.138g，Co原料为207.799g，Cr原料为183.339g，Mo原料为34.526g，FeC合金为172.848g，且上述各纯金属元素纯度均大于99.9％。
熔炼：将上述原料放入真空电弧炉坩埚的同一熔炼池内，用分子泵将炉腔内真空抽至2.5*10﹣3Pa，并向炉腔内通入纯度为99.99wt.％的氩气，使炉内压强为达到-0.6Pa。
翻转熔炼5次，每次熔炼持续3min，开启电磁搅拌进行充分搅拌，首末次熔炼不开启电磁搅拌，待原料冷却至室温时取样，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭；
浇铸：将熔炼好的(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭倒置于浇铸坩埚台内，抽真空后将其熔至液态，注入模具，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材。
固溶处理和冷加工：在900℃下对浇筑后得到的高熵合金板材进行热轧，下压量20％，道次＝18次，每道次应变量不超过＜5％。在900℃下对热轧厚的高熵合金板材进行固溶处理1h。对固溶处理后的高熵合金板材进行冷轧，冷轧变形量为70％，道次为26次，每道次应变量＜3％。
对冷轧后的高熵合金板材进行退火，退火温度为900℃；退火后的高熵合金板材进行结晶得到超塑性高熵合金板材，结晶时间为15min。
如图2所示，通过对本实施例得到的板材进行测量可知，其显微硬度为302HV，室温下的屈服强度为343.446MPa，断裂强度为819.344MPa，伸长率为130％，是一种具有硬度高、可焊接、抗腐蚀、耐磨以及综合性能好的高熵合金板材。
实施例二
配料：根据(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，称量Fe、Co、Mn、Cr、Mo及FeC原料。其中，原料总重6Kg，Fe原料为2461.049g，Mn原料为1743.415g，Co原料为623.398g，Cr原料为550.018g，Mo原料为103.579g，FeC合金为518.5416g，且上述各纯金属元素纯度均大于99.9％。
熔炼：将上述原料放入真空电弧炉坩埚的同一熔炼池内，用分子泵将炉腔内真空抽至3.5*10﹣3Pa，并向炉腔内通入纯度为99.99wt.％的氩气，使炉内压强为达到-0.6Pa。
翻转熔炼6次，每次熔炼持续5min，开启电磁搅拌进行充分搅拌，首末次熔炼不开启电磁搅拌，待原料冷却至室温时取样，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭。
浇铸：将熔炼好的(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭倒置于浇铸坩埚台内，抽真空后将其熔至液态，注入模具，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材。
固溶处理和冷加工：在950℃下对浇筑后得到的高熵合金板材进行热轧，下压量50％，道次＝20次，每道次应变量不超过＜4％。在950℃下对热轧厚的高熵合金板材进行固溶处理2h；对固溶处理后的高熵合金板材进行冷轧，冷轧变形量为90％，道次为35次，每道次应变量＜4％。
对冷轧后的高熵合金板材进行退火，退火温度为950℃；退火后的高熵合金板材进行结晶得到超塑性高熵合金板材，结晶时间为20min。
本发明实施例中(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材制备方法工艺简单，包含铸造、热轧、均匀化、冷轧以及退火处理，制备过程无污染，绿色安全，流动性好，可大批量生产。该工艺的成本较一般高熵合金低，性能却更好，具有硬度高、强度大、抗腐蚀、可焊接、耐磨以及抗疲劳等优良的综合力学性能，材料综合力学性能强塑积可超1GPa。另外，由于本发明高熵合金中实用的Fe和Mn元素占比非常大，且而这两种金属都比较廉价，价位和铁锰钢差不多，但是性能却远远由于铁锰钢，因此，本发明所选择的高熵合金及其配比大大降低了成本。

Claims (6)

1.超塑性高熵合金板材的制备方法，其特征在于，所述超塑性高熵合金的分子式为(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo，具体包括以下步骤：
浇铸：将(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭熔至液态，注入预制模具中，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材；
将所述(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材在900～950℃条件下进行热轧，道次＞15次，变形量为20～50％；
将热轧后的板材在900～1200℃条件下进行固溶处理，所述固溶处理时间为1～2h；
对固溶处理后的板材进行冷轧，道次＞25次，变形量为70～90％；
对冷轧后的板材进行退火结晶得到超塑性(Fe50Mn25Co10Cr15)98CMo高熵合金板材；其中，退火温度为900～950℃，结晶时间为15～20min。
2.如权利要求1所述的超塑性高熵合金板材的制备方法，其特征在于，所述(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭的制备方法包括以下步骤：
配料：按照(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，分别称取Fe、Mn、Co、Cr、Mo和FeC作为原料；
真空熔炼：将上述原料装入真空熔炼设备中，抽真空至(2.5～3.5)*10-3Pa，向所述真空熔炼设备中注入惰性气体直至其内压强为-0.6Pa，对所述真空熔炼设备内原料进行翻转熔炼5～6次，每次熔炼时间为3～5min，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭。
3.如权利要求2所述的超塑性高熵合金板材的制备方法，其特征在于，所述Fe、Mn、Co、Cr和Mo原料的纯度大于99.9％。
4.如权利要求3所述的超塑性高熵合金板材的制备方法，其特征在于，所述真空熔炼步骤中对合金熔液进行电磁搅拌，且首末次熔炼不进行电磁搅拌。
5.如权利要求2-4任一所述的超塑性高熵合金板材的制备方法，其特征在于，方法具体包括以下步骤：
配料：根据(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，称量Fe、Co、Mn、Cr、Mo及FeC原料；
其中，原料总重2Kg，Fe原料为820.350g，Mn原料为581.138g，Co原料为207.799g，Cr原料为183.339g，Mo原料为34.526g，FeC合金为172.848g，且上述各纯金属元素纯度均大于99.9％；
熔炼：将上述原料放入真空电弧炉坩埚的同一熔炼池内，用分子泵将炉腔内真空抽至2.5*10﹣3Pa，并向炉腔内通入纯度为99.99wt.％的氩气，使炉内压强为达到-0.6Pa；
翻转熔炼5次，每次熔炼持续3min，开启电磁搅拌进行充分搅拌，首末次熔炼不开启电磁搅拌，待原料冷却至室温时取样，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭；
浇铸：将熔炼好的(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭倒置于浇铸坩埚台内，抽真空后将其熔至液态，注入模具，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材；
固溶处理和冷加工：在900℃下对浇筑后得到的高熵合金板材进行热轧，下压量20％，道次＝18次，每道次应变量不超过＜5％；
在900℃下对热轧厚的高熵合金板材进行固溶处理1h；
对固溶处理后的高熵合金板材进行冷轧，冷轧变形量为70％，道次为26次，每道次应变量＜3％；
对冷轧后的高熵合金板材进行退火，退火温度为900℃；
退火后的高熵合金板材进行结晶得到超塑性高熵合金板材，结晶时间为15min。
6.如权利要求2-4任一所述的超塑性高熵合金板材的制备方法，其特征在于，方法具体包括以下步骤：
配料：根据(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金的原子比，称量Fe、Co、Mn、Cr、Mo及FeC原料；
其中，原料总重6Kg，Fe原料为2461.049g，Mn原料为1743.415g，Co原料为623.398g，Cr原料为550.018g，Mo原料为103.579g，FeC合金为518.5416g，且上述各纯金属元素纯度均大于99.9％；
熔炼：将上述原料放入真空电弧炉坩埚的同一熔炼池内，用分子泵将炉腔内真空抽至3.5*10﹣3Pa，并向炉腔内通入纯度为99.99wt.％的氩气，使炉内压强为达到-0.6Pa；
翻转熔炼6次，每次熔炼持续5min，开启电磁搅拌进行充分搅拌，首末次熔炼不开启电磁搅拌，待原料冷却至室温时取样，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭；
浇铸：将熔炼好的(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金铸锭倒置于浇铸坩埚台内，抽真空后将其熔至液态，注入模具，得到(Fe50Mn25Co10Cr15)0.98CMo高熵合金板材；
固溶处理和冷加工：在950℃下对浇筑后得到的高熵合金板材进行热轧，下压量50％，道次＝20次，每道次应变量不超过＜4％；
在950℃下对热轧厚的高熵合金板材进行固溶处理2h；
对固溶处理后的高熵合金板材进行冷轧，冷轧变形量为90％，道次为35次，每道次应变量＜4％；
对冷轧后的高熵合金板材进行退火，退火温度为950℃；
退火后的高熵合金板材进行结晶得到超塑性高熵合金板材，结晶时间为20min。
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