CN110281155A - 一种校准工具 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种校准工具，用于确定研磨液管路上的出液口在研磨盘上的滴落位置，校准工具包括：盘体，所述盘体上设有卡接部，所述卡接部上限定有用于卡接所述支撑臂的卡接腔，所述盘体上的一侧表面设有弧形刻度线，所述弧形刻度线所在的平面为第一平面，所述弧形刻度线所对应的圆心位于所述卡接部在所述第一平面内的投影上。根据本发明的校准工具，安装支撑臂时，将支撑臂卡接在卡接腔中，将管路的出液口与弧形刻度线对应后再将支撑臂固定，能够准确定位出液口的位置，安装方便精确，可以通过弧形刻度线读取出液口喷洒的研磨液的位置，减小出液口喷洒的研磨液的位置偏差，减小研磨液对研磨效果的影响，提高研磨效果。

Description

一种校准工具
技术领域
本发明涉及研磨领域，具体涉及一种校准工具。
背景技术
在抛光过程中，研磨液通常是由在研磨盘上方的研磨液管路中流出，因为设备保养需要，此支撑臂通常可以移动，以便进行设备保养，此支撑臂复原时通常由限位槽，但在初期设定和拆除后安装时无参照位置，通常只是大致进行定位，也无法量化，在进行初次设定和拆除后安装时位置难以准确确定，不便于安装，位置不易校准，不能精确地读取数值，使得管路上的出液口的位置偏差大，在喷洒研磨液时导致研磨液的喷洒位置出现偏差，进而对研磨过程中的工艺参数造成影响，影响研磨质量。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种校准工具，用以解决在安装研磨液管路的支撑臂时，研磨液管路上的出液口的位置偏差大，在喷洒研磨液时导致研磨液的喷洒位置出现偏差，影响研磨质量的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
根据本发明实施例的校准工具，用于确定研磨液管路上的出液口在研磨盘上的滴落位置，所述管路的一端设有所述出液口，所述管路的另一端设有与所述管路垂直的支撑臂，所述校准工具包括：
盘体，所述盘体上设有卡接部，所述卡接部上限定有用于卡接所述支撑臂的卡接腔，所述盘体上的一侧表面设有弧形刻度线，所述弧形刻度线所在的平面为第一平面，所述弧形刻度线所对应的圆心位于所述卡接部在所述第一平面内的投影上。
其中，所述盘体为扇形，所述卡接部设在邻近所述盘体的弧形边的位置。
其中，所述扇形的圆心角小于或等于180度。
其中，所述盘体上背向所述弧形刻度线的一侧且位于弧形边的边沿设有凸起。
其中，所述凸起沿所述盘体的所述弧形边的周向延伸。
其中，所述卡接部包括两个间隔开设置的支撑杆，两个所述支撑杆的一端与所述盘体上所述弧形边的边沿连接以限定出所述卡接腔。
其中，两个所述支撑杆所在的平面与所述盘体所在的平面平行。
其中，两个所述支撑杆平行，所述弧形刻度线所对应的圆心位于两个所述支撑杆在所述第一平面上的投影的中心线上。
其中，所述盘体的半径等于所述研磨盘的半径。
其中，所述校准工具为塑料材质件。
本发明的上述技术方案的有益效果如下：
根据本发明实施例的校准工具，在盘体上设有卡接部，卡接部上限定有用于卡接支撑臂的卡接腔，盘体上的一侧表面设有弧形刻度线，弧形刻度线所在的平面为第一平面，弧形刻度线所对应的圆心位于卡接部在第一平面内的投影上，安装支撑臂时，将支撑臂卡接在卡接腔中，将管路的出液口与弧形刻度线对应后再将支撑臂固定，能够准确定位出液口的位置，安装方便精确，可以通过弧形刻度线读取出液口喷洒的研磨液的位置，减小出液口喷洒的研磨液的位置偏差，减小研磨液对研磨效果的影响，提高研磨效果。
附图说明
图1为本发明实施例的校准工具的一个结构示意图；
图2为本发明实施例的校准工具的一个侧视图；
图3为本发明实施例的校准工具与研磨盘配合时的示意图。
附图标记
盘体10；卡接腔11；弧形刻度线12；凸起13；支撑杆14；
管路20；支撑臂21；出液口22；
研磨盘30。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面结合附图具体描述根据本发明实施例的校准工具。
如图1至图3所示，根据本发明实施例的校准工具，用于确定研磨液管路20上的出液口22在研磨盘30上的滴落位置，管路20的一端设有出液口22，管路20的另一端设有与管路20垂直的支撑臂21，校准工具包括盘体10，盘体10上设有卡接部，卡接部上限定有用于卡接支撑臂21的卡接腔11，盘体10上的一侧表面设有弧形刻度线12，弧形刻度线12所在的平面为第一平面，弧形刻度线12所对应的圆心位于卡接部在第一平面内的投影上。
也就是说，盘体10上可以设有卡接部，在卡接部上可以限定有卡接腔11，通过卡接腔11可以用于卡接支撑臂21，盘体10上的一侧表面可以设有弧形刻度线12，弧形刻度线12所在的平面为第一平面，弧形刻度线12所对应的圆心位于卡接部在第一平面内的投影上。在安装支撑臂的过程中，先将盘体10固定在研磨盘30上，将支撑臂21卡接在卡接腔11中，将研磨液管路的出液口22与弧形刻度线12位置相对应，再将支撑臂21固定，可以通过弧形刻度线12读取出液口22的位置，便于校准出液口的位置，安装方便精确，可以通过弧形刻度线读取出液口喷洒的研磨液的位置，减小出液口喷洒的研磨液的位置偏差，在研磨液支撑臂维修拆除或清洁后可以准确的装回原位，减少因为位置的不确定而导致的工艺偏差。
在本发明的一些实施例中，如图1所示，盘体10可以为扇形，卡接部可以设在邻近盘体10的弧形边的位置，便于盘体与研磨盘的配合使用。
可选地，扇形的圆心角可以小于或等于180度，比如，圆心角可以为170度，便于与研磨盘的配合，减少盘体与研磨盘或其他部件之间的干涉。
根据本发明的一些实施例，如图2所示，盘体10上背向弧形刻度线12的一侧且位于弧形边的边沿可以设有凸起13，盘体13与研磨盘配合时，通过凸起13可以止抵研磨盘的侧壁，便于盘体与研磨盘的稳定配合。
可选地，凸起13可以沿盘体10的弧形边的周向延伸，也即是，凸起13整体呈弧形状，便于与研磨盘的侧壁配合。
在本发明的一些实施例中，如图1至图3所示，卡接部可以包括两个间隔开设置的支撑杆14，两个支撑杆14的一端与盘体10上弧形边的边沿连接以限定出卡接腔11，两个支撑杆14的一端还可以与盘体10上的凸起13的外侧连接，两个支撑杆14之间的间距可以根据支撑臂的周向尺寸合理选择，比如，支撑臂为圆柱状，两个支撑臂14之间的间距可以等于支撑臂的直径，可以将支撑臂卡接在两个支撑杆14之间，调节支撑臂使得管路的出液口置于所需位置后，再将支撑臂固定。
在本发明的另一些实施例中，如图2所示，两个支撑杆14所在的平面可以与盘体10所在的平面平行，方便工具与研磨盘以及支撑臂配合使用，便于工具的使用。
根据本发明的一些实施例，两个支撑杆14平行，弧形刻度线12所对应的圆心可以位于两个支撑杆14在第一平面上的投影的中心线上，中心线与两个支撑杆14在第一平面上的投影平行，便于支撑臂卡接在两个支撑杆14之间后盘体与研磨盘之间的配合，使得管路上的出液口的位置调节更加精确。
根据本发明的另一些实施例，盘体10的半径可以等于研磨盘的半径，将盘体与研磨盘配合后，扇形盘体10的圆心与研磨盘30的圆心可以重合，使得管路上的出液口的位置偏差更小，位置调节更加精确。
可选地，校准工具可以为塑料材质件，比如，校准工具可以为聚乙烯、聚酯、聚碳酸酯或聚氯乙烯(PVC)材质件，使用轻便灵活。本发明实施例的工具可以一体成型，加工简单方便。
在校准使用时，可以将研磨盘上部分附着物移除，将工具安装到研磨盘上方，确定位置固定且不会移动，将研磨液管路支撑臂推向需要调整的位置刻度线上方，紧固研磨液管路支撑臂。在位置读取时，将研磨盘上部分附着物移除，将工具安装到研磨盘上方，确定位置固定且不会移动，读取研磨液管路的出液口下方的刻度。
除非另作定义，本发明中使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种校准工具，用于确定研磨液管路上的出液口在研磨盘上的滴落位置，所述管路的一端设有所述出液口，所述管路的另一端设有与所述管路垂直的支撑臂，其特征在于，所述工具包括：
盘体，所述盘体上设有卡接部，所述卡接部上限定有用于卡接所述支撑臂的卡接腔，所述盘体上的一侧表面设有弧形刻度线，所述弧形刻度线所在的平面为第一平面，所述弧形刻度线所对应的圆心位于所述卡接部在所述第一平面内的投影上。
2.根据权利要求1所述的校准工具，其特征在于，所述盘体为扇形，所述卡接部设在邻近所述盘体的弧形边的位置。
3.根据权利要求2所述的校准工具，其特征在于，所述扇形的圆心角小于或等于180度。
4.根据权利要求2所述的校准工具，其特征在于，所述盘体上背向所述弧形刻度线的一侧且位于弧形边的边沿设有凸起。
5.根据权利要求4所述的校准工具，其特征在于，所述凸起沿所述盘体的所述弧形边的周向延伸。
6.根据权利要求2所述的校准工具，其特征在于，所述卡接部包括两个间隔开设置的支撑杆，两个所述支撑杆的一端与所述盘体上所述弧形边的边沿连接以限定出所述卡接腔。
7.根据权利要求6所述的校准工具，其特征在于，两个所述支撑杆所在的平面与所述盘体所在的平面平行。
8.根据权利要求7所述的校准工具，其特征在于，两个所述支撑杆平行，所述弧形刻度线所对应的圆心位于两个所述支撑杆在所述第一平面上的投影的中心线上。
9.根据权利要求2所述的校准工具，其特征在于，所述盘体的半径等于所述研磨盘的半径。
10.根据权利要求1所述的校准工具，其特征在于，所述校准工具为塑料材质件。
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