CN110257794A - 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 - Google Patents
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110257794A CN110257794A CN201910601912.7A CN201910601912A CN110257794A CN 110257794 A CN110257794 A CN 110257794A CN 201910601912 A CN201910601912 A CN 201910601912A CN 110257794 A CN110257794 A CN 110257794A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- motor
- vibration
- crystal
- coating machine
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 20
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，本发明通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转，实现对各组备用晶振片的选择，通过采用升降电机配合升降机构，使其实现机械手组件的上下轴向移动，通过采用机械手开合电机连接机械手组件，实现机械手组件的开合，从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换，使镀膜机炉体内的工作环境不受影响，保证工作质量与提高工作效率，而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转，使得达到定位精度高、无抖动，晶振片重复位置几乎无偏差的效果，本发明使用方便，不需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大减少，保证了工作质量，提高了工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜机设备，更具体地说，尤其涉及一种用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置。
背景技术
在真空镀膜机中，镀膜机炉体内环境为真空状态，因此当镀膜机工作时需要保证其密封性能，在镀膜过程中需要用到晶振片，该晶振片在长时间使用后精准度会有所下降，晶振片在镀膜机内工作时需定期更换，但是现有的晶振片均为手动切换，该镀膜作业中的更换晶振片的过程极为繁琐，而且需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大延长，导致其工作质量受到影响，而工作效率也不高，而且不利于镀膜机高产作业的发展前景，为此，我们提出一种维持镀膜机连续工作的晶振片自动更换装置。
发明内容
本发明针对上述缺点对现有技术进行改进，提供一种用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，技术方案如下：
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，包括有工作机台，该工作机台呈中空结构，其内部下方连接有工作位若干个，所述工作机台内部的顶壁分别对应工作位开设有切换槽，内部中心固定连接有旋转电机，该旋转电机的电机轴穿过工作机台并固定穿设有旋转盘，所述旋转盘设置于工作机台的上方，该旋转盘的上方设置有切换结构，所述切换机构包括有机械手开合电机和升降电机，该升降电机通过第一电机座固定连接于旋转盘的上方，所述升降电机的电机轴穿设有齿轮，该齿轮通过与齿条啮合使其连接有升降机构，所述升降机构设置于旋转盘的上方，其包括有升降座，该升降座的一端固定连接机械手开合电机，另一端下方连接有机械手组件，所述机械手开合电机的电机轴连接机械手组件，所述旋转盘对应机械手组件开设有活动槽。
所述工作位设置有七组，其均匀围绕固定连接工作机台的内部底壁，其中一工作位设置有工作感应片，其余工作位设置有备用镜片。
所述升降电机的电机轴连接有减速装置，并通过减速装置连接齿轮。
所述工作机台的外周壁均匀围绕连接有滑轮若干组，该滑轮的上方与旋转盘低端面相接触。
所述升降座的一侧设置有滑动轮，另一侧通过滑块连接有导轨，该滑动轮通过轮座固定连接于旋转盘的上方，且该滑动轮的一侧活动嵌设于升降座，所述滑块连接齿条，所述导轨固定连接于旋转盘的上方。
所述旋转电机和机械手开合电机均为步进电机。
所述升降电机为直流减速电机。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：本发明通过采用旋转电机使旋转盘于工作机台上旋转，实现对各组备用晶振片的选择，通过采用升降电机配合升降机构，使其实现机械手组件的上下轴向移动，通过采用机械手开合电机连接机械手组件，实现机械手组件的开合，从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换，晶振片更换流程更简洁，更换时间更简短，使镀膜机炉体内的工作环境不受影响，保证工作质量与提高工作效率，而旋转盘于工作机台上通过步进电机旋转，使得达到定位精度高、无抖动，晶振片重复位置几乎无偏差的效果，本发明结构简单，使用方便，不需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大减少，保证了工作质量，提高了工作效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍：
图1为本发明的工作机台内部结构俯视图；
图2为本发明的侧视图；
图3为本发明的剖视图；
图4为本发明的整体俯视图；
图5为本发明的主视图；
包括：工作机台10、工作位11、切换槽12、旋转电机13、旋转盘14、切换机构15、机械手开合电机16、升降电机17、第一电机座18、齿轮19、齿条20、升降机构21、升降座22、机械手组件23、活动槽24、工作感应片25、备用镜片26、减速装置27、滑轮28、滑动轮29、滑块30、导轨31、轮座32。
具体实施方式
下面结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明的保护范围。
下面将结合附图对本发明实施例作进一步地详细描述，详细如下：
用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，包括有工作机台10，该工作机台10呈中空结构，其内部下方连接有工作位11若干个，工作机台10内部的顶壁分别对应工作位11开设有切换槽12，内部中心固定连接有旋转电机13，该旋转电机13的电机轴穿过工作机台10并固定穿设有旋转盘14，旋转盘14设置于工作机台10的上方，该旋转盘14的上方设置有切换机构15，切换机构15包括有机械手开合电机16和升降电机17，该升降电机17通过第一电机座18固定连接于旋转盘14的上方，升降电机17的电机轴穿设有齿轮19，该齿轮19通过与齿条20啮合使其连接有升降机构21，升降机构21设置于旋转盘14的上方，其包括有升降座22，该升降座22的一端固定连接机械手开合电机16，另一端下方连接有机械手组件23，机械手开合电机16的电机轴连接机械手组件23，旋转盘14对应机械手组件23开设有活动槽24。
工作位11设置有七组，其均匀围绕固定连接工作机台10的内部底壁，其中一工作位11设置有工作感应片25，其余工作位11设置有备用镜片26，升降电机17的电机轴连接有减速装置27，并通过减速装置27连接齿轮19，工作机台10的外周壁均匀围绕连接有滑轮28若干组，该滑轮28的上方与旋转盘14低端面相接触，并通过滑轮28对旋转盘14进行支撑，升降座22的一侧设置有滑动轮29，另一侧通过滑块30连接有导轨31，该滑动轮29通过轮座32固定连接于旋转盘14的上方，且该滑动轮29的一侧活动嵌设于升降座22，滑块30连接齿条20，导轨31固定连接于旋转盘14的上方，旋转电机13和机械手开合电机16均为步进电机，升降电机17为直流减速电机。
动作说明：此机构为自动更换晶振片的机构，0位是空位其它6个位是有晶振片的位，感应位是第六位也就是工作位11其它是备用晶片，当第六位的晶片被用过后，就把它取出来放在0位上，再从1位取第一个晶振片放入6位的位置，当第二晶片被用过后，就取出来放在1位上，再从2位置上取一个晶振片再放入6位上使用，如此类推，直到用完这六个晶振片为止。
以工作原理结合上述结构为例，1：人工装入1至6位的晶振片，其第6位的片是工作片，其它片是预备，标准工作位11是在外面露出来(第6位)来感应作工(感应跟传递和这个机构不相干，这个机构只管换片工作)，当它的工作完成后就要把它换下来，整个机构的目的就是换片，用新的晶片来感应；当第6片被用过后，人按按钮让其机械手通过旋转电机13使其从0走到第6位，通过机械手开合电机16正转到位使机械手张开，升降电机17正转机械手下降，机械手开合电机16反转机械手合拢抓住晶片，升降电机17反转取出第6片，旋转电机13转至0位并，升降电机17正转下降，放入0位(空位)，升降电机17反转上升，旋转电机13转至1位并，升降电机17正转机械手下降，机械手开合电机16正转使机械手张开，机械手开合电机16反转机械手合拢抓住晶片，升降电机17正转机械手上升，取第1位的片，放入第6位去工作，工作其间，机械手停在零位，当第二次感应结束后，再取晶片出来放入1位(现在的空位)，从2位取备用片，放入6位工作，如此这般，直至6片全部用完了一个循环的工作就结束，进行下一次装片和循环，每次工作的时候，机械手都是停在0位的。
本发明通过采用旋转电机13使旋转盘14于工作机台10上旋转，实现对各组备用晶振片的选择，通过采用升降电机17配合升降机构21，使其实现机械手组件23的上下轴向移动，通过采用机械手开合电机16连接机械手组件23，实现机械手组件23的开合，从而实现该切换装置实现晶振片在真空状态下的自动切换，晶振片更换流程更简洁，更换时间更简短，使镀膜机炉体内的工作环境不受影响，保证工作质量与提高工作效率，而旋转盘14于工作机台10上通过步进电机旋转，使得达到定位精度高、无抖动，晶振片重复位置几乎无偏差的效果，本发明结构简单，使用方便，不需要暂停机台工作并调整环境状态，使镀膜机的镀膜工作时间大大减少，保证了工作质量，提高了工作效率。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变形，本发明的范围由所附权利要求极其等同物限定。
Claims (7)
1.用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，其特征在于：包括有工作机台(10)，该工作机台(10)呈中空结构，其内部下方连接有工作位(11)若干个，所述工作机台(10)内部的顶壁分别对应工作位(11)开设有切换槽(12)，内部中心固定连接有旋转电机(13)，该旋转电机(13)的电机轴穿过工作机台(10)并固定穿设有旋转盘(14)，所述旋转盘(14)设置于工作机台(10)的上方，该旋转盘(14)的上方设置有切换机构(15)，所述切换机构(15)包括有机械手开合电机(16)和升降电机(17)，该升降电机(17)通过第一电机座(18)固定连接于旋转盘(14)的上方，所述升降电机(17)的电机轴穿设有齿轮(19)，该齿轮(19)通过与齿条(20)啮合使其连接有升降机构(21)，所述升降机构(21)设置于旋转盘(14)的上方，其包括有升降座(22)，该升降座(22)的一端固定连接机械手开合电机(16)，另一端下方连接有机械手组件(23)，所述机械手开合电机(16)的电机轴连接机械手组件(23)，所述旋转盘(14)对应机械手组件(23)开设有活动槽(24)。
2.根据权利要求1所述的用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，其特征在于：所述工作位(11)设置有七组，其均匀围绕固定连接工作机台(10)的内部底壁，其中一工作位(11)设置有工作感应片(25)，其余工作位(11)设置有备用镜片(26)。
3.根据权利要求1所述的用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，其特征在于：所述升降电机(17)的电机轴连接有减速装置(27)，并通过减速装置(27)连接齿轮(19)。
4.根据权利要求1所述的用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，其特征在于：所述工作机台(10)的外周壁均匀围绕连接有滑轮(28)若干组，该滑轮(28)的上方与旋转盘(14)低端面相接触。
5.根据权利要求1所述的用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，其特征在于：所述升降座(22)的一侧设置有滑动轮(29)，另一侧通过滑块(30)连接有导轨(31)，该滑动轮(29)通过轮座(32)固定连接于旋转盘(14)的上方，且该滑动轮(29)的一侧活动嵌设于升降座(22)，所述滑块(30)连接齿条(20)，所述导轨(31)固定连接于旋转盘(14)的上方。
6.根据权利要求1所述的用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，其特征在于：所述旋转电机(13)和机械手开合电机(16)均为步进电机。
7.根据权利要求1所述的用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置，其特征在于：所述升降电机(17)为直流减速电机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910601912.7A CN110257794A (zh) | 2019-07-05 | 2019-07-05 | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910601912.7A CN110257794A (zh) | 2019-07-05 | 2019-07-05 | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN110257794A true CN110257794A (zh) | 2019-09-20 |
Family
ID=67924553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910601912.7A Pending CN110257794A (zh) | 2019-07-05 | 2019-07-05 | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN110257794A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110629169A (zh) * | 2019-10-29 | 2019-12-31 | 苏州华楷微电子有限公司 | 一种公转式半导体蒸发台 |
| CN110643949A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-01-03 | 苏州华楷微电子有限公司 | 一种公转式半导体蒸发台的蒸发方法 |
| CN111614319A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-09-01 | 杭州拓深科技有限公司 | 一种适用于潮湿环境的结合式晶振切换方法 |
| CN113106410A (zh) * | 2021-03-05 | 2021-07-13 | 深圳市福浪电子有限公司 | 一种用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009166003A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Humo Laboratory Ltd | 部品分類装置および前記装置を用いた電子部品特性検査分類装置 |
| CN103101764A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-15 | 刘红亮 | 柱状晶振晶片自动移载机 |
| CN107916409A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-17 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种零件切换装置以及蒸镀系统 |
| CN207435532U (zh) * | 2017-09-19 | 2018-06-01 | 武汉普迪真空科技有限公司 | 一种有机真空镀膜掩膜装置 |
| CN210215539U (zh) * | 2019-07-05 | 2020-03-31 | 佛山王氏航空光学科技有限公司 | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 |
-
2019
- 2019-07-05 CN CN201910601912.7A patent/CN110257794A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009166003A (ja) * | 2008-01-18 | 2009-07-30 | Humo Laboratory Ltd | 部品分類装置および前記装置を用いた電子部品特性検査分類装置 |
| CN103101764A (zh) * | 2013-01-25 | 2013-05-15 | 刘红亮 | 柱状晶振晶片自动移载机 |
| CN207435532U (zh) * | 2017-09-19 | 2018-06-01 | 武汉普迪真空科技有限公司 | 一种有机真空镀膜掩膜装置 |
| CN107916409A (zh) * | 2017-11-27 | 2018-04-17 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | 一种零件切换装置以及蒸镀系统 |
| CN210215539U (zh) * | 2019-07-05 | 2020-03-31 | 佛山王氏航空光学科技有限公司 | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 曲凌: "《慧鱼创意机器人设计与实践教程》", 31 May 2015, 上海交通大学出版社, pages: 151 * |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110629169A (zh) * | 2019-10-29 | 2019-12-31 | 苏州华楷微电子有限公司 | 一种公转式半导体蒸发台 |
| CN110643949A (zh) * | 2019-10-29 | 2020-01-03 | 苏州华楷微电子有限公司 | 一种公转式半导体蒸发台的蒸发方法 |
| CN110643949B (zh) * | 2019-10-29 | 2022-08-05 | 苏州华楷微电子有限公司 | 一种公转式半导体蒸发台的蒸发方法 |
| CN110629169B (zh) * | 2019-10-29 | 2024-02-27 | 苏州华楷微电子有限公司 | 一种公转式半导体蒸发台 |
| CN111614319A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-09-01 | 杭州拓深科技有限公司 | 一种适用于潮湿环境的结合式晶振切换方法 |
| CN113106410A (zh) * | 2021-03-05 | 2021-07-13 | 深圳市福浪电子有限公司 | 一种用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN110257794A (zh) | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 | |
| CN106298608B (zh) | 太阳能电池组件高效全自动装框机 | |
| CN113488403B (zh) | 一种基于转盘式测试机自动测试晶圆的方法 | |
| CN209615112U (zh) | 一种新型五轴抛光机 | |
| CN107824361B (zh) | 一种输送式油雾自动喷涂机 | |
| CN202952042U (zh) | 智能电子自动组装机 | |
| CN109807023B (zh) | 补胎用蘑菇钉循环浸胶设备 | |
| CN104576471A (zh) | 一种紧凑型片针升降机构 | |
| CN111204141A (zh) | 一种瓷坯窑印自动盖章设备 | |
| CN108731472B (zh) | 一种真空熔炼炉用多功能件切换装置 | |
| CN106003000A (zh) | 一种锯片磨削自动上下料旋转机械臂 | |
| CN109052256A (zh) | 一种智能建筑幕墙玻璃提升装置 | |
| CN106312719A (zh) | 扫光机系统的控制方法及扫光机系统 | |
| CN107628482A (zh) | 一种压盘机构 | |
| CN116749541A (zh) | 一种多功能机械密封件组装机 | |
| CN109507606A (zh) | 一种电池片电池效率检测设备 | |
| CN104400423A (zh) | 用于采血针装配线上翻转采血针的翻转机构 | |
| CN210215539U (zh) | 用于镀膜机的炉内晶振片自动切换装置 | |
| CN208861151U (zh) | 双工位钟表自动装针机 | |
| CN106450416A (zh) | 电池加工转盘机构及其软包装锂电池自动化生产线 | |
| CN204632906U (zh) | 一种天线振子自动组装机 | |
| CN209467842U (zh) | 片材自动上料装置 | |
| CN209230588U (zh) | 一种显示屏检测装置及设备 | |
| CN209127629U (zh) | 镜片加工的自动进料装置 | |
| CN206804706U (zh) | Iv测试装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |