CN110249198B - 光延迟线、实现该线的低相干干涉仪、实现该干涉仪的装置和测量方法 - Google Patents

光延迟线、实现该线的低相干干涉仪、实现该干涉仪的装置和测量方法 Download PDF

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Abstract

一种用于在干涉仪中使用的光延迟线(LR)，包括旋转多边形(29)。该多边形(29)布置成调制来自被称为测量光束的同一光束并穿过所述多边形(29)分别导向所述第一和第二反射器(21、22)的第一和第二光束(Li1、Li2)的相应光路，以便通过所述第一和第二光束(Li1、Li2)的光路之间的差产生光学延迟。在集成低干涉干涉仪的光学测量装置中的使用。

Description

光延迟线、实现该线的低相干干涉仪、实现该干涉仪的装置和 测量方法
技术领域
本发明涉及光延迟线。本发明还涉及实现该线的低相干干涉仪，以及实现该干涉仪的装置和测量方法。
本发明的领域尤其是测量在微米或纳米尺寸中的层的厚度和相对距离的领域。
背景技术
特别是在时域中实现的低相干干涉仪需要使用能够在与期望测量范围相对应的光束之间引入步长的延迟或差异的光延迟线。延迟线可以扫描测量范围的频率与干涉仪的测量频率相对应。该采集频率也构成了时域中低相干干涉仪的显着限制。
在现有的线的技术中，已知文献FR2817039公开了一种实现振幅分割干涉仪的光学测量装置。特别地，该文献公开了一种基于旋转平行面多边形的延迟线，该延迟线使得可以沿着横穿多边形的光束从一侧到另一侧调制光路。旋转装置的使用使得可以在高速下产生几毫米的步长差异。然而，该装置的缺点在于，光路根据多边形的旋转而强烈地非线性地变化，这需要以非常大的带宽进行检测以在整个测量范围内检测干涉图。该装置的另一个缺点是多边形中的光路很大，如果多边形的材料是色散的，这会降低测量的质量。
本发明的目的在于提供一种光延迟线装置，该装置使得可以在时域中用于低相干干涉仪。
本发明的目的还在于提供一种使得可以在高频下引入厘米光路变化的光延迟线装置。
本发明的目的还在于提供一种使得可以以基本恒定的速度引入光路变化的光延迟线装置。
本发明的目的还在于提供一种使得可以最小化所引入的光学色散的光延迟线装置。
发明内容
该目的通过在干涉仪中使用的光延迟线来实现，其包括旋转多边形以及第一和第二反射器。
根据本发明，该多边形布置成调制来自被称为测量光束的同一光束并分别穿过多边形导向第一和第二反射器的第一和第二光束的相应光路，以便通过该第一和第二光束的光路之间的差产生光学延迟。
根据本发明的光延迟线还有利地包括光束调节元件和被称为解码分离器元件的分离器元件，以将测量光束分离成分别在相同或不同的多边形的面上分别沿着第一入射角和第二入射角入射的第一和第二光束，使得该第一和第二光束通过分别在在多边形的两个平行面上发生两次折射而分别到达第一和第二反射器并且被反射然后通过多边形导向至解码分离器元件，该第一和第二光束被布置成使得第一和第二入射角不同。
第一和第二光束优选地被布置成使得第一和第二入射角在多边形的旋转的至少一部分期间在相反方向上变化。
第一和第二光束例如被布置成使得当第一或第二入射角中的一个在最小值或零值与最大值之间变化时，所述第一或第二入射角中的另一个在该最大值与该最小值或零值之间变化。
在根据本发明的延迟线的具体实施方式中，第一和第二光束被布置成沿着穿过多边形的旋转中心的轴线在所述多边形上入射。
多边形可以是具有平行面的多边形。多边形可以包括例如四个、六个或八个面。
多边形例如可以由以下材料中的一种制成：折射率大于1.4的材料、折射率大于2的材料、玻璃、硅(其在红外线中具有约为3.6的折射率)。应注意的是，折射率越高，光路差或由给定尺寸的多边形引入的延迟就越大。
第一和第二光束可以有利地通过以下装置中的至少一种导向多边形：光纤、带有平面波导的集成光学电路、自由传播。
根据本发明的另一方面，提出了一种低相干干涉仪，其实现了根据本发明的延迟线，包括宽谱光源、编码分离器元件、在延迟线内的旋转多边形以及第一和第二反射器，和检测器装置，其中，所述编码分离器元件光学连接到光源并且布置成(i)用于发射光束以照射物体和(ii)用于将由该物体反射的光束传输到布置成将该反射光束分离为两个第一和第二光束的解码分离器元件；所述旋转多边形被设置用于(i)接收入射的第一和第二光束并且将它们分别导向第一和第二反射器和(ii)调节第一和第二光束的各自的光路；所述检测器装置光学连接到解码分离器元件并布置成处理第一和第二反射光束以检测表示干涉的信号。
在根据本发明的低相干干涉仪的具体实施方式中，其还包括激光干涉仪，所述激光干涉仪包括用于发射计量光束的激光源和用于将该计量光束插入到延迟线中的装置，并且解码分离器元件还被布置成将计量光束分离成分别与在多边形上入射的第一和第二光束叠加的两个第一和第二计量光束。
根据本发明的低相干干涉仪还可以有利地还包括通过光学连接到解码分离器元件的计量分离器元件与激光源相关联的计量检测器，以及作为计量光束的插入装置一方面插入在计量分离器元件和解码分离器元件之间和另一方面插入在检测器装置和解码分离器元件之间的光学多路复用器/光学解复用器。
在根据本发明的低相干干涉仪的特别有利的实施方式中，其还包括设置在编码分离器元件和物体之间的准直器装置，并且该准直器装置设置为准直或聚焦测量光束并通过部分内部反射产生参考光束，沿着第一和第二光束的在解码分离器元件与相应的第一和第二反射器之间的总光学距离差被调节以再现准直器装置和物体之间的期望的光学距离。
根据本发明的干涉仪还可以有利地包括设置在旋转多边形的旋转轴上的角度编码装置，以及用于分别测量第一和第二光束中的一个和/或另一个在第一和第二反射器中的一个和/或另一个上的位移的装置。
根据本发明的又一方面，提出了一种用于在物体上的光学测量装置，其实现了低相干干涉仪，所述干涉仪包括宽谱光源、编码分离器元件、在延迟线内的旋转多边形以及第一和第二反射器，和检测器装置，其中，所述编码分离器元件光学连接到该光源并且布置为(i)发射光束以照射物体和(ii)将由物体反射的光束传输到被布置成将反射光束分离成两个第一和第二光束的解码分离器元件；所述旋转多边形设置为用于(i)接收入射的第一和第二光束并且将它们分别导向第一和第二反射器和(ii)调节第一和第二光束的各自的光路；所述检测器装置光学地连接到解码分离器元件并且被布置成处理第一和第二反射光束以便生成表示干涉的信号，该光学测量装置还包括用于分析该表示干涉的信号的装置以生成与物体有关的测量数据。
根据本发明的又一方面，提出了一种用于在物体上进行光学测量的方法，其实现了低相干干涉仪技术，所述低相干干涉仪技术使用宽谱光源、编码分离器元件、在延迟线内的旋转多边形以及第一和第二反射器，和检测器装置，其中，所述编码分离器元件光学连接到所述光源并且布置为(i)发射光束以照射所述物体和(ii)将由所述物体反射的光束传输到被布置成将所述反射光束分离成两个第一和第二光束的解码分离器元件；所述旋转多边形设置为用于(i)接收入射的第一和第二光束并且将它们分别导向所述和第二反射器和(ii)调节第一和第二光束的各自的光路；所述检测器装置光学地连接到解码分离器元件并且被布置成处理第一和第二反射光束以便生成表示干涉的信号，所述光学测量方法还包括分析该表示干涉的信号以生成与物体有关的测量数据。
本发明使得可以产生更大幅度的光路变化，尤其是具有良好线性的光路变化。
利用本发明，可以实现比例如利用文献FR2817039中公开的干涉测量装置获得的光路变化的频率和幅度高得多的频率和幅度。特别地，用本发明获得的光路的变化幅度是用上述现有技术文献中公开的干涉测量装置获得的光路的两倍。举例来说，在几百赫兹的情况下，用玻璃制成的八边形(n＝1.5，直径10cm)可以观察到20mm的幅度。
此外，本发明提供了光路变化的良好线性，其允许使用更灵敏的窄频带检测。相反，在FR2817039中公开的干涉测量装置中，光路变化是高度非线性的，其在非常大的频率范围内产生干涉条纹。
另外，在本发明中观察到旋转多边形中的折射率色散的补偿，这是由于测量了在旋转元件中行进基本相同长度的光路的光束之间的差异，这与在现有技术的光学测量装置中发生的情况相反，其中单个光束通过多边形并且由于整个厚度而经历折射率色散。应注意的是，折射率色散表示随着波长变化的折射率变化，这特别导致干涉图的加宽。
本发明还使得可以使用高折射率但高度色散的材料，从而允许更大的光路变化。例如，可以提及具有IR波长(1310nm/1550nm)的硅(n＝3.6)。
多边形可以是与目标物体相同的材料，例如硅，这允许对目标物体中的色散进行全部补偿。该多边形以恒定速度旋转，这防止加速/减速现象和振动。
附图说明
通过阅读非限制性的实施和实施方式的详细描述以及以下附图，本发明的其他优点和特性将显现：
-图1是现有技术的实施方式的示意图，其示出了操作原理；
-图2是根据本发明的干涉测量光学测量装置的特定实施方式的示意图；以及
-图3示出了根据本发明的延迟线中的光路变化随多边形的旋转角度而变化的示例。
这些实施方式决不是限制性的，尤其可以考虑本发明的变型，其仅包括下文中与所描述或说明的其他特征隔离的所描述或说明的特征的选集(即使该选集在包括其他特征的语句中被隔离)，只要这些特征的选集足以赋予技术优势或将本发明与现有技术区分开。该选集包括至少一个优选的功能性特征而没有结构细节和/或仅具有部分结构细节，只要该部分单独足以赋予技术优势或将本发明与现有技术区分开。
图1示出了现有技术的低相干干涉仪的原理图，该低相干干涉仪基于简单的迈克尔逊干涉仪并且使用基于旋转多边形的延迟线，如文献FR2817039中所述的那种。
该装置包括光纤干涉仪，其中光源4以耦合器5的形式提供光束分离器5。光源可以是诸如LED(发光二极管)、S-LED(超级发光二极管)、E-LED(边缘发光二极管)等宽谱源或超荧光光源。
耦合器5使得可以获得两个光束，发送到待测物体6的第一光束11和在延迟线中发送到镜子10的第二光束12。这两个光束被反射然后发送回到耦合器5中，所述耦合器将所述两个光束的混合物传输到接收器7。延迟线包括多边形9，在所示的实施方式中具有八个面，并设置在镜子10的上游。该多边形是旋转的。
来自耦合器5的第二光束在到达镜子10之前通过在两个平行面上经历两次折射而穿过多边形9。在每个时刻，该光束通过其法线相对于光束的入射方向呈入射角θ的面进入多边形9。由于穿过平行面，无论角度θ的值如何，穿过多边形的该第二光束总是平行于其自身。镜子10布置成垂直于光束，这使得能够将该光束发送回到自身并且在另一次穿过多边形9之后将其耦合在相同的光纤中。
延迟线的第二光束在多边形内不经历全反射，该多边形构成平行面叶片，其厚度根据入射角θ而变化。
在装置中，延迟线的作用是在来自物体6和镜子10的信号之间进行时间相关操作。因此，取决于由延迟线引入的延迟，在接收器7的输出端获得干涉图。
应注意的是，该装置也可以在没有光纤的情况下以自由传播进行处理。
在所示的实施方式中，该装置包括准直器12，该准直器使得可以准直或聚焦来自光纤的第二光束，其距离与镜子10穿过多边形9的距离相对应。
如前所述，入射角θ(t)随多边形9的旋转而变化。
在作为参考点的准直器12和镜子之间，第二光束在延迟线中行进的光程：
L(θ)＝L1(θ)+L2(θ)+L3(θ) (等式1)
其中L1(θ)是光束在准直器和多边形9的输入面之间行进的光学距离，L2(θ)是光束在多边形9内部行进的光学距离，L3(θ)是光束在多边形9和镜子10之间行进的光学距离。要提醒的是，光学距离对应于几何距离乘以介质的折射率。
对于面之间距离为Dp和折射率n的八边形，有：
Figure GDA0003039799760000071
Figure GDA0003039799760000072
Figure GDA0003039799760000073
Dfp表示沿着来自准直器的光束的轴线的准直器与多边形9的旋转中心之间的距离。Dpm表示沿同一轴线的多边形9的旋转中心与镜子之间距离。d(θ)表示多边形出口处光束的位移，表示如下：
Figure GDA0003039799760000074
现在将参考图2描述根据本发明的干涉光学测量装置的特定实施例。
配备有光纤的该干涉测量装置包括低相干干涉仪，其设置有光源24，该光源例如以具有围绕1310nm的波长的宽谱(约80nm)的超发光二极管的形式实现。该光源24通过光纤连接到编码耦合器25，该编码耦合器通过光学测量光纤250将照射测量光束通过准直器28发射到待测物体26。反射光由编码耦合器25向解码耦合器40传输。
反射光可以包括测量光束在物体26的界面上的反射，并且可选地包括例如通过在准直器28处的测量光纤250的末端处的菲涅耳反射或通过任何其他方式产生的参考波。该参考波可用于测量距离而不受光纤中的干涉的影响。
反射光被解码耦合器40分离成两个光束Li1、Li2，所述两个光束Li1、Li2导向根据本发明的延迟线LR内的旋转多边形29。在通过多边形29调制它们的光路和在镜面反射器21、22上的反射之后，这些光束Li1、Li2被解码耦合器40导向检测器27。
当在延迟线LR中再现传输光束的两次反射之间的延迟时，例如在由物体的界面反射的测量光束与参考光束之间的延迟，在检测器27上获得干涉的峰值。该干涉峰值的宽度对应于源的相干长度。沿着光束Li1、Li2的解码耦合器40和反射镜21、22之间的总光学距离根据准直器28(或参考光束)与物体26之间的期望工作距离来调节。
因此可以测量物体26的层之间的光学厚度和/或相对于参考的距离。
光学测量装置还包括激光干涉仪IL，用于在延迟线LR中直接测量在光束Li1、Li2之间引入的光路差。该激光干涉仪IL包括计量激光源31(例如在1550nm的波长发射的激光二极管)，具有比在延迟线LR中可达到的光路差更大的相干波长。它还包括第一多路复用器33，以在延迟线LR中插入由计量激光源31发射的计量光束的，以使该计量光束由解码耦合器40分离成分别与两个光束Li1、Li2叠加的两个计量光束。激光干涉仪IL还包括多路分解器30，多路分解器30使得来自解码耦合器40的低相干干涉仪的光束(在1310nm)和激光干涉仪(在1550nm)的光束被分离，以使得将反射光束分别传输到计量检测器32以测量在分别来自入射光束Li1、Li2的计量光束之间的连续计量干涉信号，并且传输到低相干干涉仪的检测器27。
对计量干涉信号的分析使得可以获得延迟线LR中的光路变化的测量，这也是低相干干涉仪的光束所经历的。作为非限制性示例，该分析可以包括相位展开或过零检测。
现在，我们将参考图2和3更详细地描述延迟线LR及其各种部件的实施例。
在所示的实施方式中，多边形29包括八个面。面之间的距离Dp等于10厘米。多边形29由玻璃(BK7)制成，其折射率n约为1.5。还可以设想具有大于2的高折射率的材料，例如折射率为3.6的硅，其对于近红外波长是透明的。
如果多边形29以与100Hz的旋转频率相对应的恒定速度旋转，则由于每转可进行16次测量(每面两次)，因此获得1.6kHz的测量频率。
第一光束Li1以角度θ1入射在多边形上，角度θ1是输入面的法线与光束的入射方向之间的角度。
第二光束Li2以角度θ2入射到多边形上，该角度θ2是输入面的法线与光束的入射方向之间的角度。
出于简化的原因并且因为这不影响光路的计算，在整个说明书中，入射角θ1和θ2以绝对值或无符号计算。
入射光束Li1和Li2的相应入射轴或入射方向布置成穿过多边形的旋转中心。这种情况不是必需的，但可以最佳地和对称地利用每个面提供的光程变化范围。
入射光束Li1、Li2被布置成使得至少在多边形的部分旋转期间输入面上的各个入射角θ1和θ2在相反方向上变化。实际上，当这些角度在相反方向上变化时，沿着入射光束Li1、Li2的相应光路变化也在相反方向上变化，因此所述光路变化的差是累积的。优选地，为了优化光路的变化幅度，调整相应的入射角θ1和θ2，使得：
θ2＝θmax-θ1， (等式6)
θmax是入射方向经过多边形旋转中心的光束的面上的最大入射角(也是无符号绝对值)。
在这些条件下，当光束在一端朝着两个连续面之间的边缘到达多边形的面时，达到该角度θmax。
如上所述，入射光束Li1、Li2也可以布置成使得具有小于θmax的最大入射角度差，但是在这种情况下，可利用的测量范围受到限制，这是因为入射角θ1和θ2在多边形旋转的一部分期间在相同方向上变化。
作为如图2所示的非限制性示例，调节入射光束Li1、Li2，使得当：
-θ1＝0(入射光束Li1垂直于输入面的中心)，以及
-θ2＝θmax(在面上沿着最大入射角朝向该面的边缘的入射光束Li2)。
当多边形29具有八个面时，θmax＝22.5度。更一般地，对于具有N个面的多边形，θmax＝360/N/2。
因此，在正面通过期间，光束Li1、Li2的入射角分别以绝对值如下变化：
θ1＝22.5...0...22.5，以及θ2＝0...22.5...0。
在这些条件下，延迟线LR中的光路变化对应于：
DL(θ1)＝2[Li1(θ1)-Li2(θ2)]
＝2[L1(θ1)+L2(θ1)+L3(θ1)-L1(θmax-θ1)-L2(θmax-θ1)-L3(θmax-θ1)].
(等式7)
为了检测路程开始和结束，该装置可以包括在多边形的旋转轴上的角度编码器。当在面之间的边缘穿过以检测这些变换时，也可以使用光束中断。
图3示出了使用具有八个面的多边形获得的结果，其面之间的距离Dp等于10cm并且折射率n等于1.5。
曲线51示出了沿着光束12的总光路变化(OPD)随着入射角θ的变化，如图1所示的现有技术的延迟线所获得的。注意到该曲线是非线性的，θ＝0时的变化率为零。在这些条件下，检测器上的干涉条纹的频率从准连续到高频变化，因此需要非常大的检测带宽并且不利于低噪声检测。
曲线51还示出了沿着本发明的装置中的第一入射光束Li1的总光路变化2*Li1。
曲线52示出了沿着本发明的装置中的第二入射光束Li2的总光路变化(OPD)2*Li2。
曲线51和52相对于其原始值标准化。
曲线53示出了总光路变化DL随着第一入射光束Li1的入射角θ的变化，如利用本发明的延迟线通过光路2*Li1和2*Li2之间的差获得的。注意到该光路变化具有优异的线性，这允许使用窄带检测。另外，获得了与用单个入射光束(大于20mm)可实现的光路的两倍相对应的光路变化(或测量范围)。
根据实施方式的变型，入射光束Li1、Li2可以位于多边形的相同面上或不同面上。
根据实施方式的变型，激光计量光束可以与低相干干涉仪的入射光束Li1、Li2不同。在这种情况下，激光计量可以以不同于低相干干涉仪的干涉仪的形式实现。
根据实施方式的变型，在本发明的上下文中可以想到在同一多边形上的多个干涉仪。
特别地，可以在多边形的厚度方向上叠加多个光束，和/或可以在多个面上设置多条通道。
当然，本发明不限于刚刚描述的示例，并且可以在不脱离本发明的范围的情况下对这些示例进行许多调整。

Claims (15)

1.一种用于在干涉仪中使用的光延迟线(LR)，包括：
-旋转的多边形(29)，
-第一和第二反射器(21、22)，
-称为测量光束的光束，
-解码分离器元件(40)，
-由解码分离器元件(40)分离测量光束而产生的第一和第二光束(Li1、Li2)，
其特征在于：
所述多边形(29)布置成调制来自同一测量光束并穿过所述多边形(29)分别导向所述第一和第二反射器(21、22)的所述第一和第二光束(Li1、Li2)的相应光路，以便通过所述第一和第二光束(Li1、Li2)的光路之间的差产生光学延迟；
所述第一和第二光束(Li1、Li2)：
-分别在所述多边形(29)的相同或不同的面上分别沿着第一入射角(θ1)和第二入射角(θ2)入射，使得当第一或第二入射角(θ1、θ2)中的一个在最小值或零值与最大值之间变化时，所述第一或第二入射角(θ1、θ2)中的另一个在所述最大值与所述最小值或零值之间变化，并且
-沿着穿过所述多边形(29)的旋转中心的轴线入射在所述多边形(29)上。
2.根据权利要求1所述的光延迟线(LR)，其特征在于，所述延迟线还包括光束调节元件和被称为解码分离器元件(40)的分离器元件，以将测量光束分离成所述第一和第二光束(Li1、Li2)，使得所述第一和第二光束通过分别在所述多边形(29)的两个平行面发生两次折射而分别到达第一和第二反射器(21、22)并且被反射然后通过所述多边形(29)导向至解码分离器元件(40)，所述第一和第二光束(Li1、Li2)被布置成使得所述第一和第二入射角(θ1、θ2)不同。
3.根据权利要求2所述的光延迟线(LR)，其特征在于，所述第一和第二光束(Li1、Li2)被布置成使得第一和第二入射角(θ1、θ2)在所述多边形(29)的旋转的至少一部分期间在相反方向上变化。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光延迟线(LR)，其特征在于，所述多边形(29)是具有平行面的多边形。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的光延迟线(LR)，其特征在于，所述多边形(29)由以下材料中的一种制成：折射率大于1.4的材料、折射率大于2的材料、玻璃、硅。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的光延迟线(LR)，其特征在于，第一和第二光束(Li1、Li2)通过以下装置中的至少一种导向多边形(29)：光纤、带有平面波导的集成光学电路、自由传播。
7.一种低相干干涉仪，其实现根据前述权利要求中任一项所述的光延迟线(LR)，包括宽谱的光源(24)、编码分离器元件(25)和检测器装置(27)，其中，所述编码分离器元件(25)光学连接到所述光源(24)并且布置成(i)用于发射光束以照射物体(26)和(ii)用于将由所述物体(26)反射的光束传输到布置成将反射光束分离为所述第一和第二光束(Li1、Li2)的解码分离器元件(40)；所述光延迟线的旋转的多边形(29)被设置用于(i)接收入射的所述第一和第二光束(Li1、Li2)并且将它们分别朝着所述第一和第二反射器(21、22)导向和(ii)调节所述第一和第二光束(Li1、Li2)的各自的光路；所述检测器装置(27)光学连接到所述解码分离器元件(40)并布置成处理第一和第二反射光束以检测表示干涉的信号。
8.根据权利要求7所述的低相干干涉仪，其特征在于，所述干涉仪还包括激光干涉仪(IL)，所述激光干涉仪包括用于发射计量光束的激光源(31)和用于将所述计量光束插入到延迟线(LR)中的装置，并且其中，解码分离器元件(40)还被布置成将所述计量光束分离成分别与在多边形(29)上入射的第一和第二光束(Li1、Li2)叠加的两个第一和第二计量光束。
9.根据权利要求8所述的低相干干涉仪，其特征在于，所述干涉仪还包括通过与所述解码分离器元件(40)光学连接的计量分离器元件(30)与激光源(31)相关联的计量检测器(32)。
10.根据权利要求9所述的低相干干涉仪，其特征在于，所述干涉仪还包括作为计量光束的插入装置插入在所述激光源(31)和解码分离器元件之间的光学多路复用器/光学解复用器(33)。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的低相干干涉仪，其特征在于，所述干涉仪还包括设置在编码分离器元件(25)和物体(26)之间的准直器装置(28)，该准直器装置(28)设置为准直或聚焦测量光束并通过部分内部反射产生参考光束，沿着第一和第二光束(Li1、Li2)的在解码分离器元件(40)与相应的第一和第二反射器(21、22)之间的总光学距离差被调节以再现所述准直器装置(28)和所述物体(26)之间的期望的光学距离。
12.根据权利要求7至11中任一项所述的低相干干涉仪，其特征在于，所述干涉仪还包括设置在旋转的多边形的旋转轴上的角度编码装置。
13.根据权利要求7至12中任一项所述的低相干干涉仪，其特征在于，所述干涉仪还包括用于分别测量所述第一和第二光束中的一个和/或另一个分别在第一和第二反射器(21、22)中的一个和/或另一个上的位移的装置。
14.一种用于在物体(26)上的光学测量装置，该装置实现了低相干干涉仪，所述干涉仪包括宽谱的光源(24)、编码分离器元件(25)和检测器装置(27)，其中，所述编码分离器元件(25)光学连接到所述光源(24)并且布置为(i)发射光束以照射所述物体(26)和(ii)将由所述物体(26)反射的光束传输到根据权利要求1至6中任一项所述的光延迟线(LR)；所述光延迟线(LR)的旋转的多边形(29)设置为用于(i)接收入射的所述第一和第二光束并且将它们分别导向所述第一和第二反射器(21、22)和(ii)调节所述第一和第二光束(Li1、Li2)的各自的光路；所述检测器装置(27)光学连接到所述解码分离器元件(40)并布置成处理第一和第二反射光束以检测表示干涉的信号，所述光学测量装置还包括用于分析该表示干涉的信号的装置以生成与所述物体有关的测量数据。
15.一种用于在物体(26)上进行光学测量的方法，该方法实现了低相干干涉仪技术，所述低相干干涉仪技术使用宽谱的光源(24)、编码分离器元件(25)和检测器装置(27)，其中，所述编码分离器元件(25)光学连接到所述光源(24)并且布置为(i)发射光束以照射所述物体(26)和(ii)将由所述物体(26)反射的光束传输到根据权利要求1至6中任一项所述的光延迟线(LR)；所述光延迟线(LR)的旋转的多边形(29)设置为用于(i)接收入射的所述第一和第二光束(Li1、Li2)并且将它们分别导向所述第一和第二反射器(21、22)和(ii)调节所述第一和第二光束(Li1、Li2)的各自的光路；所述检测器装置(27)光学连接到所述解码分离器元件(40)并布置成处理第一和第二反射光束以生成表示干涉的信号，所述光学测量方法还包括分析该表示干涉的信号以生成与所述物体(26)有关的测量数据。
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