CN110153481A - 平面气浮移动装置及铣削机床 - Google Patents

Abstract

本发明属于加工车床技术领域，尤其涉及一种平面气浮移动装置及铣削机床，平面气浮移动装置包括机架、工件安装台、两个横向气浮移动机构和纵向气浮移动机构，机架上设有加工区，两个横向气浮移动机构平行地设置于机架上且分别位于加工区的两端，纵向气浮移动机构的两端分别与两个横向气浮移动机构的驱动端连接，且在横向气浮移动机构的驱动下能够沿横向移动，工件安装台安装于纵向气浮移动机构的驱动端上，且在纵向气浮移动机构的驱动下能够沿纵向移动，通过在加工区的两端分别设置一个横向气浮移动机构，使得纵向气浮移动机构的两端分别连接在两个横向气浮移动机构的驱动端上，使得铣削机床的气浮模组在大跨距的移动下具有良好的移动精度。

Description

平面气浮移动装置及铣削机床

技术领域

本发明属于加工车床技术领域，尤其涉及一种平面气浮移动装置及铣削机床。

背景技术

铣削机床一般应用于对工件进行铣削加工或对工件的表面进行铣削加工或抛光，通常铣刀旋转运动为主运动，工件和铣刀通过平面气浮移动装置的移动为进给运动。现有铣削机床的平面气浮移动装置一般是通过滑块与滑轨的配合实现移动，采用该种方式一般会由于滑块与滑轨在移动的过程中相互接触产生摩擦力，导致移动精度受到影响，进而导致工件加工精度不高。针对这一情况，现有技术中有通过气浮模组代替滑块与滑轨的配合，使得工件在移动的过程中，气浮滑台与气浮滑轨之间呈气浮的非接触状态，从而移动精度得到较大的提高。

然而，现有的铣削机床水平方向上的气浮模组在安装时，一般是在水平方向上设置两个相互垂直的移动轴，即一个X轴和一个Y轴，其中Y轴安装在X轴的驱动端上并随着X轴移动，而工件安装Y轴的驱动端上并随Y轴移动，从而实现工件在平面内任意移动，在竖直方向对应地设置Z轴移动，铣刀安装在Z轴上并随Z轴上下移动，从而实现对工件进行铣削加工。但是由于Y轴直接在X轴上移动就导致需要X轴进行支撑，从而当Y轴的较长(即工件需要相对垂直于X轴方向进行大跨距的移动)时，当工件移动至Y轴的极限位置后，工件与Y轴之间就产生较大的力矩，从而使得X轴无法稳固地对Y轴进行支撑，即Y轴会发生位置变形，导致移动精度得不到保障。

发明内容

本发明的目的在于提供一种平面气浮移动装置及铣削机床，旨在解决现有技术中的铣削机床，气浮模组无法保证大跨距的移动精度的技术问题。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：一种平面气浮移动装置，包括机架、工件安装台、两个横向气浮移动机构和纵向气浮移动机构，所述机架上设有加工区，两个所述横向气浮移动机构平行地设置于所述机架上且分别位于所述加工区的两端，所述纵向气浮移动机构的两端分别与两个所述横向气浮移动机构的驱动端连接，且在所述横向气浮移动机构的驱动下能够沿横向移动，所述工件安装台安装于所述纵向气浮移动机构的驱动端上，且在所述纵向气浮移动机构的驱动下能够沿纵向移动。

优选地，所述纵向气浮移动机构包括纵向支架、纵向直线驱动件和纵向气浮模组，所述纵向支架安装于所述横向气浮移动机构的驱动端上，所述纵向直线驱动件安装于所述纵向支架上，所述纵向气浮模组包括纵向供气组件、纵向导轨和纵向滑台，所述纵向导轨安装于所述纵向支架上且与所述纵向支架同方向延伸，所述纵向滑台安装于所述纵向导轨上，所述纵向供气组件的输出端朝向所述纵向导轨和所述纵向滑台之间供气以使得所述纵向导轨和所述纵向滑台之间呈间隙安装，所述纵向直线驱动件的输出端与所述纵向滑台连接并驱动所述纵向滑台沿着所述纵向导轨来回移动，所述工件安装台安装于所述纵向滑台上。

优选地，所述纵向滑台上与所述纵向导轨同方向延伸的两端分别设有多个供气体通过的纵向气浮节流器，各所述纵向气浮节流器均连通于所述纵向滑台与所述纵向导轨的表面之间。

优选地，所述纵向滑台上朝向所述机架的端面上设有多个用于朝向所述机架的端面吹出气体的气浮出气口。

优选地，所述纵向滑台上朝向所述机架的端面上设有多个用于朝向所述机架的端面吸入气体的真空吸气口。

优选地，所述横向气浮移动机构包括横向直线驱动件和横向气浮模组，所述横向直线驱动件安装于所述机架上，所述横向气浮模组包括横向供气组件、横向导轨和横向滑台，所述横向导轨安装于所述机架上且沿着横向延伸，所述横向滑台安装于所述横向导轨上，所述横向供气组件的输出端朝向所述横向导轨和所述横向滑台之间供气以使得所述横向导轨和所述横向滑台之间呈间隙安装，所述横向直线驱动件的输出端与所述横向滑台连接并驱动所述横向滑台沿着所述横向导轨来回移动，所述纵向气浮移动机构安装于所述横向滑台上。

优选地，所述横向滑台上与所述横向滑轨同方向延伸的两端分别设有多个供气体通过的横向气浮节流器，各所述横向气浮节流器均连通于所述横向滑台与所述横向导轨的表面之间。

本发明的有益效果：本发明的平面气浮移动装置，通过在加工区的两端分别设置一个横向气浮移动机构，使得纵向气浮移动机构的两端分别连接在两个横向气浮移动机构的驱动端上，这样使得纵向气浮移动机构的两端同时受到支撑并且同步移动，从而保证纵向气浮移动机构在加工区内横向移动时稳定。那么，不管当工件安装台移动到纵向气浮移动机构哪一端的极限位置时，纵向气浮移动机构均具有足够的结构刚度对安装有工件的工件安装台进行支撑，进而保证工件安装台在纵向气浮移动机构上的移动精度，使得铣削机床的气浮模组在大跨距的移动下具有良好的移动精度。

本发明采用的另一技术方案是：一种铣削机床，包括铣刀机构和上述的平面气浮移动装置，所述铣刀机构包括用于安装铣刀模组的铣刀安装座和竖向气浮移动机构，所述竖向气浮移动机构呈竖向安装于所述机架上，所述铣刀安装座安装于所述竖向气浮移动机构的驱动端上并位于所述加工区内，所述铣刀安装座在所述竖向气浮移动机构的驱动下能够沿竖向移动。

本发明的铣削机床，由于使用有上述的平面气浮移动装置，加工工件时，铣刀模组安装在铣刀安装座上，工件安装在工件安装台上，竖向气浮移动机构带动铣刀在上下方向运动，工件随着横向气浮移动机构和纵向气浮移动机构在水平方向上移动，这样铣刀模组和工件就可以在加工区内相互配合移动，从而使得铣刀模组可以在指定加工位置处按照既定的加工路径对工件进行精确的铣削加工。

优选地，所述竖向气浮移动机构包括竖向直线驱动件、竖向供气组件、竖向导轨和竖向滑台，所述竖向直线电机安装于所述机架上，所述竖向导轨安装于所述竖向支架上且与所述竖向支架同方向延伸，所述竖向滑台安装于所述竖向导轨上，所述竖向供气组件的输出端朝向所述竖向导轨和所述竖向滑台之间供气以使得所述竖向导轨和所述竖向滑台之间呈间隙安装，所述竖向直线电机的动子与所述竖向滑台连接并驱动所述竖向滑台沿着所述竖向导轨来回移动，所述铣刀安装座安装于所述竖向滑台上。

优选地，所述竖向气浮移动机构还包括竖向配重气缸，所述竖向配重气缸安装于所述机架上，所述竖向配重气缸的输出端与所述竖向滑台连接并驱动所述竖向滑台沿着所述竖向导轨来回移动。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的铣削机床的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的平面气浮移动装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的纵向气浮移动机构的结构示意图一；

图4为本发明实施例提供的纵向气浮移动机构的结构示意图二；

图5为本发明实施例提供的横向滑块的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的铣刀机构的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的精度检测器的结构示意图。

其中，图中各附图标记：

10—机架 11—加工区 20—工件安装台

30—横向气浮移动机构 31—横向支架 32—横向直线驱动件

33—横向气浮模组 40—纵向气浮移动机构 41—纵向支架

42—纵向直线驱动件 43—纵向气浮模组 50—铣刀机构

51—竖向气浮移动机构 52—铣刀安装座 53—精度检测器

60—刀具定位仪 331—横向导轨 332—横向滑台

431—纵向导轨 432—纵向滑台 511—竖向支架

512—竖向直线驱动件 513—竖向气浮模组 514—竖向配重气缸

531—检测支架 532—检测气缸 533—检测探头

534—滑动模组 3321—横向气浮节流器 4321—纵向气浮节流器

4322—气浮出气口 4323—真空吸气口 4324—纵向限位缓冲器

5131—竖向导轨 5132—竖向滑台 5341—滑轨

5342—滑块。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图1～7描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1～7所示，本发明实施例提供了一种平面气浮移动装置，应用于铣削机床上以使得铣削机床的移动轴在水平方向上可以实现大跨距的移动，且移动的过程中可以保持移动精度。具体地，平面气浮移动装置包括机架10、工件安装台20、两个横向气浮移动机构30和纵向气浮移动机构40，机架10上设有加工区11，两个横向气浮移动机构30平行地设置于机架10上且分别位于加工区11的两端，纵向气浮移动机构40的两端分别与两个横向气浮移动机构30的驱动端连接，且在横向气浮移动机构30的驱动下能够沿横向移动，工件安装台20安装于纵向气浮移动机构40的驱动端上，且在纵向气浮移动机构40的驱动下能够沿纵向移动。

具体地，本发明实施例的平面气浮移动装置，通过在加工区11的两端分别设置一个横向气浮移动机构30，使得纵向气浮移动机构40的两端分别连接在两个横向气浮移动机构30的驱动端上，这样使得纵向气浮移动机构40的两端同时受到支撑并且同步移动，从而保证纵向气浮移动机构40在加工区11内横向移动时稳定，那么，不管当工件安装台20移动到纵向气浮移动机构40哪一端的极限位置时，纵向气浮移动机构40均具有足够的结构刚度对安装有工件的工件安装台20进行支撑，进而保证工件安装台20在纵向气浮移动机构40上的移动精度，使得铣削机床的气浮模组在大跨距的移动下具有良好的移动精度。

在本发明的另一个实施例中，如图1～4所示，纵向气浮移动机构40包括纵向支架41、纵向直线驱动件42和纵向气浮模组43，纵向支架41安装于横向气浮移动机构30的驱动端上，纵向直线驱动件42安装于纵向支架41上，纵向气浮模组43包括纵向供气组件(图未示)、纵向导轨431和纵向滑台432，纵向导轨431安装于纵向支架41上且与纵向支架41同方向延伸，纵向滑台432安装于纵向导轨431上，纵向供气组件的输出端朝向纵向导轨431和纵向滑台432之间供气以使得纵向导轨431和纵向滑台432之间呈间隙安装，纵向直线驱动件42的输出端与纵向滑台432连接并驱动纵向滑台432沿着纵向导轨431来回移动，工件安装台20安装于纵向滑台432上。具体地，在使用时，纵向供气组件朝向纵向导轨431和纵向滑台432之间提供过滤好的气体，且气体压强在0.5Mpa～1Mpa之间，通气后，纵向滑台432相对纵向导轨431浮起，此时纵向滑台432与纵向导轨431便形成非接触式的安装，纵向滑台432与纵向导轨431之间几乎没有摩擦力，移动阻力非常小，从而实现工件安装台20在纵向高精度移动的目标，这样配合横向气浮移动机构30可以在横向高精度地移动，那么工件安装台20就可以在加工区11内的水平方向高精度地自由移动，使用效果极好。

在本发明的另一个实施例中，如图1～2所示，纵向支架41呈纵向安装在横向滑台332上。

在本发明的另一个实施例中，如图1、6所示，纵向直线驱动件42为纵向直线电机，纵向直线电机的定子铺设在纵向支架41上并与纵向支架41同方向延伸，纵向直线电机的动子通电后在纵向直线电的定子上来回移动。

在本发明的另一个实施例中，如图3～4所示，纵向滑台432上与纵向导轨431同方向延伸的两端分别设有多个供气体通过的纵向气浮节流器4321，各纵向气浮节流器4321均连通于纵向滑台432与纵向导轨431的表面之间。具体地，纵向导轨431为大理石的高精度气浮导轨，其左侧面和右侧面均为纵向气浮面，纵向滑台432呈“口”字型套接在纵向导轨431上的外部的四个侧面上，纵向滑台432两端端部的左侧、右侧和下侧均设有纵向气浮节流器4321，使用时，经过滤好的气体通过各个纵向气浮节流器4321后与纵向气浮面之间，使得纵向滑台432的左侧和右侧与纵向导轨431形成气浮的非接触状态，这样实现高精度的移动。

在本发明的另一个实施例中，如图4所示，纵向滑台432上朝向机架10的端面上设有多个用于朝向机架10的端面吹出气体的气浮出气口4322。具体地，经过滤好的气体还由各个气浮出气口4322吹出，使得纵向滑台432朝向机架10大理石台面的一侧面受到气体向上的反冲力以克服自重，从而使得纵向滑台432的上下两端面与纵向导轨431进一步形成气浮的非接触状态，并且配合上述各个纵向气浮节流器4321的作用，实现纵向滑台432在纵向导轨431上移动的阻力非常小，这样实现高精度的移动。

在本发明的另一个实施例中，如图4所示，纵向滑台432的下端面上位于各个气浮出气口4322的外周均设有“十”字排气槽，各个“十”字排气槽分别为提高各个气浮出气口4322的均化作用，使得各个气浮出气口4322排出的气体作用于机架10端面的力更加均匀，提升气浮的稳定性。

在另一个实施例中，如图4所示，纵向滑台432上朝向机架10的端面上设有多个用于朝向机架10的端面吸入气体的真空吸气口4323。具体地，真空吸气口4323由机架10端面的外侧朝向纵向滑台432的内侧吸入气体，这样就会使得纵向滑台432受到一个向下的吸力，从而使得该向下的吸力与上述向上的气浮反冲力相互配合，使得纵向滑台432在移动的过程中可以始终受到稳定的气浮力，以保持平衡状态，保证纵向滑台432在纵向导轨431上移动的精度。

在本发明的另一个实施例中，如图4所示，纵向滑台432上位于各个真空吸气口4323的外周均设有“十”字排气孔，各个“十”字排气孔分别为提高各个真空吸气口4323的均化作用，使得各个真空吸气口4323吸入的气体作用于纵向滑台432上的吸力更加均匀，提升气浮的稳定性。

在本发明的另一个实施例中，如图3～4所示，纵向滑台432的两端均设有与纵向导轨431同方向延伸的纵向限位缓冲器4324，且各个纵向限位缓冲器4324均朝向背离纵向滑台432延伸，这样就可以使得纵向滑台432在纵向导轨431上移动的过程中不会与两端的横向气浮移动机构30刚性接触，避免因碰撞造成结构的损坏。

在本发明的另一个实施例中，如图2、5所示，横向气浮移动机构30包括横向直线驱动件32和横向气浮模组33，横向直线驱动件32安装于机架10上，横向气浮模组33包括横向供气组件(图未示)、横向导轨331和横向滑台332，横向导轨331安装于机架10上且沿着横向延伸，横向滑台332安装于横向导轨331上，横向供气组件的输出端朝向横向导轨331和横向滑台332之间供气以使得横向导轨331和横向滑台332之间呈间隙安装，横向直线驱动件32的输出端与横向滑台332连接并驱动横向滑台332沿着横向导轨331来回移动，纵向气浮移动机构40安装于横向滑台332上。具体地，在使用时，横向供气组件朝向横向导轨331和横向滑台332之间提供过滤好的气体，且气体压强在0.5Mpa～1Mpa之间，通气后，横向滑台332相对横向滑轨浮起，此时横向滑台332与横向滑轨便形成非接触式的安装，横向滑台332与横向滑轨之间几乎没有摩擦力，移动阻力非常小，从而实现纵向气浮移动机构40在横向高精度移动的目标，使用效果极好。

在本发明的本发明的另一个实施例中，如图2、5所示，横向气浮移动机构30还包括横向支架31，而横向直线驱动件32为横向直线电机，其中，横向支架31呈横向安装于机架10上，横向直线电机的定子铺设在横向支架31上并与横向支架31同方向延伸，横向直线电机的动子通电后在横向直线电机的定子上来回移动。

在本发明的另一个实施例中，如图5所示，横向滑台332上与横向滑轨同方向延伸的两端分别设有多个供气体通过的横向气浮节流器3321，各横向气浮节流器3321均连通于横向滑台332与横向导轨331的表面之间。具体地，横向导轨331为大理石的高精度气浮导轨，其左侧面、上侧面和右侧面均为横向气浮面，横向滑台332呈倒“U”型扣设在横向导轨331上的左侧面、上侧面和右侧面上，使用时，经过滤好的气体通过各个横向气浮节流器3321后与横向气浮面之间形成气浮的非接触状态，使得横向滑台332在横向导轨331上移动的阻力非常小，进而实现高精度的移动。

本发明实施例还提供了一种铣削机床，包括铣刀机构50和上述的平面气浮移动装置，铣刀机构50包括用于安装铣刀模组的铣刀安装座52和竖向气浮移动机构51，竖向气浮移动机构51呈竖向安装于机架10上，铣刀安装座52安装于竖向气浮移动机构51的驱动端上并位于加工区11内，铣刀安装座52在竖向气浮移动机构51的驱动下能够沿竖向移动。

本发明实施例的铣削机床，由于使用有上述的平面气浮移动装置，加工工件时，铣刀模组安装在铣刀安装座52上，工件安装在工件安装台20上，竖向气浮移动机构51带动铣刀在上下方向运动，工件随着横向气浮移动机构30和纵向气浮移动机构40在水平方向上移动，这样铣刀模组和工件就可以在加工区11内相互配合移动，从而使得铣刀模组可以在指定加工位置处按照既定的加工路径对工件进行精确的铣削加工。

在本发明的另一个实施例中，铣刀模组包括高转速的空气主轴和铣刀，铣刀安装在空气主轴上，空气主轴最高的转速可达到16万转/分钟，且空气主轴的端部跳动和径向跳动都在1um以内。该铣刀模组适用于对平面进行抛光或铣削加工，以及适用于均匀非球面金属样品的抛光，特别适用于非回转对称金属件的抛光加工，铣刀模组作为工件加工的最后一道工序。该铣刀模组配合上述高精度的移动轴系，可以对工件进行高精度的抛光，比如对要求很高的镜面光学模具，光学元器件等进行加工。采用单个铣刀模组可尽可能节省移动轴系的配置成本。铣刀模组工作时根据工件的具体形状，工件可根据实际需要转动或不转动。

在本发明的另一个实施例中，如图1、6所示，竖向气浮移动机构51包括竖向直线驱动件512和竖向气浮模组513，竖向直线驱动件512安装于机架10上，竖向气浮模组513包括竖向供气组件(图未示)、竖向导轨5131和竖向滑台5132，竖向导轨5131安装于机架10上且在竖直方向延伸，竖向滑台5132安装于竖向导轨5131上，竖向供气组件的输出端朝向竖向导轨5131和竖向滑台5132之间供气以使得竖向导轨5131和竖向滑台5132之间呈间隙安装，竖向直线驱动件512的输出端与竖向滑台5132连接并驱动竖向滑台5132沿着竖向导轨5131来回移动，铣刀安装座52安装于竖向滑台5132上。具体地，在使用时，竖向供气组件朝向竖向导轨5131和竖向滑台5132之间提供过滤好的气体，且气体压强在0.5Mpa～1Mpa之间，通气后，竖向滑台5132相对竖向导轨5131浮起，此时竖向滑台5132与竖向导轨5131便形成非接触式的安装，竖向滑台5132与竖向导轨5131之间几乎没有摩擦力，移动阻力非常小，从而实现铣刀安装座52在竖向高精度移动的目标，使用效果极好。

在本发明中的另一个实施例中，如图1、6所示，竖向气浮移动机构51还包括竖向支架511，而竖向直线驱动件512为铣刀直线电机，其中，竖向支架511呈竖直状安装于机架10上，竖向直线电机的定子铺设在竖向支架511上并与竖向支架511同方向延伸，竖向直线电机的动子通电后在竖向直线电机的定子上来回移动。

在本发明的另一个实施例中，如图6所示，竖向气浮移动机构51还包括竖向配重气缸514，竖向配重气缸514安装于机架10上，竖向配重气缸514的输出端与竖向滑台5132连接并驱动竖向滑台5132沿着竖向导轨5131来回移动。具体地，通过在竖向气浮移动机构51上设置竖向配重气缸514，使得铣刀在上下移动的过程中，可以利用竖向配重气缸514的动力对铣刀进行辅助移动，有效地减少铣刀直线驱动件的载荷，进而有效提高铣刀上下移动过程中的定位精度和移动的灵敏度，使用效果好。

在本发明的另一个实施例中，如图6所示，竖向配重气缸514安装于竖向支架511上。

在本发明的另一个实施例中，如图7所示，竖向气浮移动机构51还包括精度检测器53，精度检测器530包括检测气缸532和检测探头533，检测气缸532安装于竖向移动机构50的驱动端上，检测气缸532的输出端竖直向下延伸至加工区11内，检测探头533安装于检测气缸532的输出端上。具体地，检测探头533用于对工件的加工精度进行检测，检测时，检测气缸532推动检测探头533出来与工件进行抵接，然后使得检测探头533沿着工件的加工轨迹行走进行数据采集以完成检测，检测完后，检测气缸532推动检测探头533回缩以远离工件。

在本发明的另一个实施例中，如图6～7所示，精度检测器530还包括检测支架531，检测支架531安装于竖向移动机构50的驱动端上，检测气缸532安装于检测机架10上，这样检测机架10就可以使得检测气缸532具有足够的空间而稳固地安装在竖向移动机构50的驱动端上，从而使得检测气缸532在推动检测探头533对工件进行精度检测时，更加稳定，沿着工件的轮廓移动时更加平稳，得到的检测结果更加精确。

在本发明的另一个实施例中，如图7所示，精度检测器530还包括滑动模组534，滑动模组534包括滑轨5341和滑块5342，滑轨5341呈竖直状安装于检测支架531上，滑块5342安装于检测探头533上并与滑轨5341滑动连接，检测气缸532的输出端与滑块5342连接。具体地，滑轨5341与检测气缸532均竖直地安装在检测支架531上，检测探头533通过滑块5342与滑轨5341实现滑动连接，这样检测气缸532通过推动滑块5342在滑轨5341上滑动而实现检测探头533上下移动。

在本发明的另一个实施例中，精度检测器530还包括保护罩，保护罩罩设于检测气缸532的外周并连接于检测支架531上。具体地，保护罩安装在检测支架531上并罩设在检测气缸532的外周，这样当不需要对工件的加工精度进行检测时，检测气缸532带动检测探头533回缩至护罩内进行保护起来，使用效果好。

在本发明的另一个实施例中，如图1所示，铣削加工机床还包括用于对刀具进行检测定位的刀具定位仪60，刀具定位仪60安装于工件安装台20上。具体地，在完铣刀安装座52上安装刀具时，通过刀具定位仪60可以准确地定位刀具的安装位置，使得刀具在对工件进行加工时更加准确，并且其检测的精度可以达到0.1um。

在本发明的另一个实施例中，在机架10上设有延伸至加工区11内的油雾发生器，该油雾发生器的喷头用于在工件加工时朝向工件的加工面喷射油雾，使得工件在加工时，可以进行冷却和润滑，起到保护加工平面的作用，从而进一步地保证工件具有良好的加工精度。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种平面气浮移动装置，其特征在于：包括机架、工件安装台、两个横向气浮移动机构和纵向气浮移动机构，所述机架上设有加工区，两个所述横向气浮移动机构平行地设置于所述机架上且分别位于所述加工区的两端，所述纵向气浮移动机构的两端分别与两个所述横向气浮移动机构的驱动端连接，且在所述横向气浮移动机构的驱动下能够沿横向移动，所述工件安装台安装于所述纵向气浮移动机构的驱动端上，且在所述纵向气浮移动机构的驱动下能够沿纵向移动。

2.根据权利要求1所述的平面气浮移动装置，其特征在于：所述纵向气浮移动机构包括纵向支架、纵向直线驱动件和纵向气浮模组，所述纵向支架安装于所述横向气浮移动机构的驱动端上，所述纵向直线驱动件安装于所述纵向支架上，所述纵向气浮模组包括纵向供气组件、纵向导轨和纵向滑台，所述纵向导轨安装于所述纵向支架上且与所述纵向支架同方向延伸，所述纵向滑台安装于所述纵向导轨上，所述纵向供气组件的输出端朝向所述纵向导轨和所述纵向滑台之间供气以使得所述纵向导轨和所述纵向滑台之间呈间隙安装，所述纵向直线驱动件的输出端与所述纵向滑台连接并驱动所述纵向滑台沿着所述纵向导轨来回移动，所述工件安装台安装于所述纵向滑台上。

3.根据权利要求2所述的平面气浮移动装置，其特征在于：所述纵向滑台上与所述纵向导轨同方向延伸的两端分别设有多个供气体通过的纵向气浮节流器，各所述纵向气浮节流器均连通于所述纵向滑台与所述纵向导轨的表面之间。

4.根据权利要求2所述的平面气浮移动装置，其特征在于：所述纵向滑台上朝向所述机架的端面上设有多个用于朝向所述机架的端面吹出气体的气浮出气口。

5.根据权利要求2所述的平面气浮移动装置，其特征在于：所述纵向滑台上朝向所述机架的端面上设有多个用于朝向所述机架的端面吸入气体的真空吸气口。

6.根据权利要求1～5任一项所述的平面气浮移动装置，其特征在于：所述横向气浮移动机构包括横向直线驱动件和横向气浮模组，所述横向直线驱动件安装于所述机架上，所述横向气浮模组包括横向供气组件、横向导轨和横向滑台，所述横向导轨安装于所述机架上且沿着横向延伸，所述横向滑台安装于所述横向导轨上，所述横向供气组件的输出端朝向所述横向导轨和所述横向滑台之间供气以使得所述横向导轨和所述横向滑台之间呈间隙安装，所述横向直线驱动件的输出端与所述横向滑台连接并驱动所述横向滑台沿着所述横向导轨来回移动，所述纵向气浮移动机构安装于所述横向滑台上。

7.根据权利要求6所述的平面气浮移动装置，其特征在于：所述横向滑台上与所述横向滑轨同方向延伸的两端分别设有多个供气体通过的横向气浮节流器，各所述横向气浮节流器均连通于所述横向滑台与所述横向导轨的表面之间。

8.一种铣削机床，其特征在于：所述铣削机床包括铣刀机构和权利要求1～7任一项所述的平面气浮移动装置，所述铣刀机构包括用于安装铣刀模组的铣刀安装座和竖向气浮移动机构，所述竖向气浮移动机构呈竖向安装于所述机架上，所述铣刀安装座安装于所述竖向气浮移动机构的驱动端上并位于所述加工区内，所述铣刀安装座在所述竖向气浮移动机构的驱动下能够沿竖向移动。

9.根据权利要求8所述的铣削机床，其特征在于：所述竖向气浮移动机构包括竖向直线驱动件和竖向气浮模组，所述竖向直线驱动件安装于所述机架上，所述竖向气浮模组包括竖向供气组件、竖向导轨和竖向滑台，所述竖向导轨安装于所述机架上且在竖直方向延伸，所述竖向滑台安装于所述竖向导轨上，所述竖向供气组件的输出端朝向所述竖向导轨和所述竖向滑台之间供气以使得所述竖向导轨和所述竖向滑台之间呈间隙安装，所述竖向直线驱动件的输出端与所述竖向滑台连接并驱动所述竖向滑台沿着所述竖向导轨来回移动，所述铣刀安装座安装于所述竖向滑台上。

10.根据权利要求8所述的铣削机床，其特征在于：所述竖向气浮移动机构还包括竖向配重气缸，所述竖向配重气缸安装于所述机架上，所述竖向配重气缸的输出端与所述竖向滑台连接并驱动所述竖向滑台沿着所述竖向导轨来回移动。