CN110131811A - 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统及方法 - Google Patents

适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN110131811A
CN110131811A CN201910570811.8A CN201910570811A CN110131811A CN 110131811 A CN110131811 A CN 110131811A CN 201910570811 A CN201910570811 A CN 201910570811A CN 110131811 A CN110131811 A CN 110131811A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure difference
branch
pressure
toilet
blower
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201910570811.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN110131811B (zh
Inventor
张华廷
陈家冰
李强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CMCU Engineering Co Ltd
Original Assignee
CMCU Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CMCU Engineering Co Ltd filed Critical CMCU Engineering Co Ltd
Priority to CN201910570811.8A priority Critical patent/CN110131811B/zh
Publication of CN110131811A publication Critical patent/CN110131811A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN110131811B publication Critical patent/CN110131811B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00—Control or safety arrangements
    • F24F11/50—Control or safety arrangements characterised by user interfaces or communication
    • F24F11/61—Control or safety arrangements characterised by user interfaces or communication using timers
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00—Control or safety arrangements
    • F24F11/62—Control or safety arrangements characterised by the type of control or by internal processing, e.g. using fuzzy logic, adaptive control or estimation of values
    • F24F11/63—Electronic processing
    • F24F11/65—Electronic processing for selecting an operating mode
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00—Control or safety arrangements
    • F24F11/70—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof
    • F24F11/72—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure
    • F24F11/74—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure for controlling air flow rate or air velocity
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00—Control or safety arrangements
    • F24F11/70—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof
    • F24F11/72—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure
    • F24F11/74—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure for controlling air flow rate or air velocity
    • F24F11/77—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof for controlling the supply of treated air, e.g. its pressure for controlling air flow rate or air velocity by controlling the speed of ventilators
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00—Control or safety arrangements
    • F24F11/89—Arrangement or mounting of control or safety devices
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F2110/00—Control inputs relating to air properties
    • F24F2110/40—Pressure, e.g. wind pressure
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
    • Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Fuzzy Systems (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Electric Vacuum Cleaner (AREA)
  • Air Conditioning Control Device (AREA)
  • Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)

Abstract

本发明涉及一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法，属于电子工业洁净室领域。包括无级调速直流无刷新风机组、集中控制器、电动调节阀、风压传感器、无级调速直流无刷支路风机、压差传感器、压差控制器。从调试阶段分为工作模式和值班模式，两种模式初始设置均为各自的调试状态。洁净室的压差控制优先调节直流无刷支路风机的运转频率，各电动调节阀开度均保持100％，当直流无刷支路风机停止运行压差仍然超压时，再调低相应电动调节阀开度。新风机组调速采用定静压控制，风压传感器设置于支路风机入口附近，以各支路间的实时最低静压点作为定静压点。本发明具有较高的控制精度和节能性，控制逻辑清晰，工程适应性强。

Description

适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法
技术领域
本发明属于电子工业洁净室领域，涉及一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法。
背景技术
电子产品已渗透到各行各业，电子信息产业对社会变化影响力日益加大，被全球各主要国家作为战略性发展产业。随着以平板电视、智能手机等为代表的市场热点产品的发展，速度进一步加快，2018年1-2月，规模以上电子信息制造业增加值同比增长12.1％，快于全部规模以上工业增速4.9个百分点，在制造业细分行业中增速排名居前列。
洁净室是电子工业的基础，对于保障电子产品生产质量具有非常重要的作用。MAU+FFU+DCC洁净系统是电子工业洁净室中应用得十分广泛的洁净形式。压差是电子洁净室的重要控制参数之一，对于保证电子洁净室的室内空气环境具有十分重要的作用。
动态压差控制对于保障洁净室洁净度和降低运行成本意义明显，当前，关于洁净室压差控制的研究相对较少，而且大都集中设计工况(稳态)下送风量与压差的对应关系上，而关于运行状态下动态压差控制的研究更少，且停留在定性研究层面，工程适应性和可操作性均较差。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统及方法，具有较高的控制精度和节能性，而且控制逻辑清晰，工程适应性强，能够很好地解决MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制问题。
为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
一方面，本发明提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接进行控制；
所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀、风压传感器和支路风机均通过信号线与压差控制器信号连接，所述压差控制器与集中控制器信号连接；所述电动调节阀用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器设置在支路风机入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机用于调节洁净室的进风量。
进一步，所述新风机组风机与支路风机均为无级调速直流无刷风机，调速范围均为0％～100％，新风机组风机的风量按系统计算风量的1.15倍进行确定，支路风机的风量按所在支路风管计算风量的1.3倍进行确定，以适应洁净室压差从欠压、正常、超压不同情况下的风量变化，既保证压差控制效果，又降低风机运行能耗。
另一方面，本发明提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，基于上述控制系统，从调试阶段即分为工作模式和值班模式，各洁净室的压差值根据控制精度要求设为压差下限值、压差目标值、压差上限值，当压差触及到下限值或者上限值时，新风机组风机、电动调节阀、支路风机会相应动作，以保证压差始终处于控制范围之内；
工作模式调试时，各洁净室处于动态运行状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为工作模式调试状态；
值班模式调试时，让各洁净室处于静态运行状态且排风系统处于关闭状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为值班模式调试状态。
进一步，新风机组的调速采用定静压控制，定静压点为实时动态点，实时对比各洁净室的支路风管上的风压传感器所测风压数据，将其中的最低静压点作为定静压点。
进一步，工作模式的压差控制包括以下步骤：
S1：系统启动进入工作模式，将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度初始设置为工作模式调试状态；
S2：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到下限值时，将该洁净室的支路风机的运转速度与电动调节阀的开度均开至最大，以使压差迅速回升；当该洁净室压差回升至上限值时，支路风机运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟；对于压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机的运转速度与电动调节阀的开度状态维持不变；
S3：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到上限值时，将支路风机的运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟，若支路风机停止运行压差仍然超压时，按10％的开度比例逐步调低电动调节阀的开度直至达到压差目标值，开度减少过程中的每一阀位开度维持时间为5分钟，压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机运转速度与电动调节阀阀位状态维持不变；
S4：根据各支路中最低静压点的静压值调整新风机组的运转速度，直至最低静压点的静压值稳定至设定值。
进一步，值班模式的控制方式为：将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度设置为值班模式调试状态，并始终维持此状态。
本发明的有益效果在于：本发明从调试阶段即分为工作模式和值班模式，两种控制模式的初始设置均设为各自的调试状态。各洁净室的压差控制优先调节直流无刷支路风机的运转频率，各电动调节阀开度均保持100％，当直流无刷支路风机停止运行压差仍然超压时，再行调低相应电动调节阀开度。新风机组调速采用定静压控制，风压传感器设置于支路风机入口附近，以各支路间的实时最低静压点作为定静压点；本发明明确了新风机组风机与支路风机的选型风量、工作模式与值班模式的压差调试方法、工作模式的压差控制步骤、值班模式的压差控制方法。本发明具有较高的控制精度和节能性，而且控制逻辑清晰，工程适应性强，能够很好地解决MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制问题。
本发明的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明作优选的详细描述，其中：
图1为本发明所述适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统结构示意图；
图2为本发明所述末端压差控制装置结构示意图。
附图标记：新风机组1、末端压差控制装置2、压差传感器3、集中控制器4、电动调节阀5、风压传感器6、支路风机7、压差控制器8。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本发明的限制；为了更好地说明本发明的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，附图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。
本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本发明的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
一方面，本发明提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，如图1所示，包括新风机组1、末端压差控制装置2、压差传感器3和集中控制器4；所述新风机组1设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置2设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器3设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器4与新风机组1、末端压差控制装置2及压差传感器3通过信号线连接进行控制；
如图2所示，所述末端压差控制装置2包括电动调节阀5、风压传感器6、支路风机7和压差控制器8；所述电动调节阀5、风压传感器6和支路风机7均通过信号线与压差控制器8信号连接，所述压差控制器8与集中控制器4信号连接；所述电动调节阀5用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器6设置在支路风机7入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机7用于调节洁净室的进风量。
进一步，所述新风机组1风机与支路风机7均为无级调速直流无刷风机，调速范围均为0％～100％，新风机组1风机的风量按系统计算风量的1.15倍进行确定，支路风机7的风量按所在支路风管计算风量的1.3倍进行确定，以适应洁净室压差从欠压、正常、超压不同情况下的风量变化，既保证压差控制效果，又降低风机运行能耗。
另一方面，本发明提供一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，基于上述控制系统，从调试阶段即分为工作模式和值班模式，各洁净室的压差值根据控制精度要求设为压差下限值、压差目标值、压差上限值，当压差触及到下限值或者上限值时，新风机组1风机、电动调节阀5、支路风机7会相应动作，以保证压差始终处于控制范围之内；
工作模式调试时，各洁净室1～n处于动态运行状态，所有支路的电动调节阀5开度均为100％，调整支路风机7的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组1运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组1的运转速度、支路风机7的运转速度、电动调节阀5的开度信息作为工作模式调试状态；
值班模式调试时，让各洁净室1～n处于静态运行状态且排风系统处于关闭状态，所有支路的电动调节阀5开度均为100％，调整支路风机7的运转速度直至各洁净室1～n的压差处于控制范围之内，新风机组1运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组1运转速度、支路风机7的运转速度、电动调节阀5的开度信息作为值班模式调试状态。
新风机组1的调速采用定静压控制，定静压点为实时动态点，实时对比洁净室1～n的支路风管上的风压传感器6所测风压数据，将其中的最低静压点作为定静压点。
工作模式的压差控制包括以下步骤：
S1：系统启动进入工作模式，将新风机组1风机的运转速度、支路风机7的运转速度、电动调节阀5的开度初始设置为工作模式调试状态；
S2：当洁净室x的压差传感器3所测定的压差达到下限值时，将该洁净室的支路风机7的运转速度与电动调节阀5的开度均开至最大，以使压差迅速回升；当该洁净室压差回升至上限值时，支路风机7运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟；对于压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机7的运转速度与电动调节阀5的开度状态维持不变；
S3：当洁净室x的压差传感器3所测定的压差达到上限值时，将支路风机7的运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟，若支路风机7停止运行压差仍然超压时，按10％的开度比例逐步调低电动调节阀5的开度直至达到压差目标值，开度减少过程中的每一阀位开度维持时间为5分钟，压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机7运转速度与电动调节阀5阀位状态维持不变；
S4：根据各支路中最低静压点的静压值调整新风机组1的运转速度，直至最低静压点的静压值稳定至设定值。
值班模式的控制方式为：将新风机组1风机的运转速度、支路风机7的运转速度、电动调节阀5的开度设置为值班模式调试状态，并始终维持此状态。
最后说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (6)

1.一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，其特征在于：包括新风机组、末端压差控制装置、压差传感器和集中控制器；所述新风机组设置在风管干路上，用于调节整个系统的进风量；所述末端压差控制装置设置在通入各洁净室的风管支路上，用于控制压差；所述压差传感器设置在各洁净室内，用于采集洁净室内的压差值；所述集中控制器与新风机组、末端压差控制装置及压差传感器通过信号线连接进行控制；
所述末端压差控制装置包括电动调节阀、风压传感器、支路风机和压差控制器；所述电动调节阀、风压传感器和支路风机均通过信号线与压差控制器信号连接，所述压差控制器与集中控制器信号连接；所述电动调节阀用于调节风管支路的开口大小，所述风压传感器设置在支路风机入口处，用于检测风管支路的风压值，所述支路风机用于调节洁净室的进风量。
2.根据权利要求1所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，其特征在于：所述新风机组风机与支路风机均为无级调速直流无刷风机，调速范围均为0％～100％，新风机组风机的风量按系统计算风量的1.15倍进行确定，支路风机的风量按所在支路风管计算风量的1.3倍进行确定。
3.一种适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，其特征在于：基于权利要求1-2任一所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制系统，从调试阶段即分为工作模式和值班模式，各洁净室的压差值根据控制精度要求设为压差下限值、压差目标值、压差上限值，当压差触及到下限值或者上限值时，新风机组风机、电动调节阀、支路风机会相应动作，以保证压差始终处于控制范围之内；
工作模式调试时，各洁净室处于动态运行状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为工作模式调试状态；
值班模式调试时，让各洁净室处于静态运行状态且排风系统处于关闭状态，所有支路的电动调节阀开度均为100％，调整支路风机的运转速度直至各洁净室的压差处于控制范围之内，新风机组运转速度根据各支路中最低静压点的静压值进行调整，确保最低静压点的静压值稳定，调试完毕后，记录下新风机组运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度信息作为值班模式调试状态。
4.根据权利要求3所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，其特征在于：新风机组的调速采用定静压控制，定静压点为实时动态点，实时对比各洁净室的支路风管上的风压传感器所测风压数据，将其中的最低静压点作为定静压点。
5.根据权利要求3所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，其特征在于：工作模式的压差控制包括以下步骤：
S1：系统启动进入工作模式，将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度初始设置为工作模式调试状态；
S2：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到下限值时，将该洁净室的支路风机的运转速度与电动调节阀的开度均开至最大，以使压差迅速回升；当该洁净室压差回升至上限值时，支路风机运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟；对于压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机的运转速度与电动调节阀的开度状态维持不变；
S3：当洁净室的压差传感器所测定的压差达到上限值时，将支路风机的运转速度按5％的降幅逐渐降低直至达到压差目标值，降速过程中每一运转速度维持时间为5分钟，若支路风机停止运行压差仍然超压时，按10％的开度比例逐步调低电动调节阀的开度直至达到压差目标值，开度减少过程中的每一阀位开度维持时间为5分钟，压差处于下限值与上限值之间的其他洁净室，其支路风机运转速度与电动调节阀阀位状态维持不变；
S4：根据各支路中最低静压点的静压值调整新风机组的运转速度，直至最低静压点的静压值稳定至设定值。
6.根据权利要求3所述的适用于MAU+FFU+DCC电子洁净室的压差控制方法，其特征在于：值班模式的控制方式为：将新风机组风机的运转速度、支路风机的运转速度、电动调节阀的开度设置为值班模式调试状态，并始终维持此状态。
CN201910570811.8A 2019-06-26 2019-06-26 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统及方法 Active CN110131811B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910570811.8A CN110131811B (zh) 2019-06-26 2019-06-26 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910570811.8A CN110131811B (zh) 2019-06-26 2019-06-26 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN110131811A true CN110131811A (zh) 2019-08-16
CN110131811B CN110131811B (zh) 2024-03-29

Family

ID=67566575

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910570811.8A Active CN110131811B (zh) 2019-06-26 2019-06-26 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110131811B (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110486905A (zh) * 2019-08-19 2019-11-22 珠海格力电器股份有限公司 风机静压自动调整方法、装置及空调系统
CN110595666A (zh) * 2019-08-28 2019-12-20 长江存储科技有限责任公司 一种机台压力监控系统
CN110793115A (zh) * 2019-10-17 2020-02-14 华润三九（雅安）药业有限公司 一种制药厂房洁净空调系统风量自动测控系统
CN110989471A (zh) * 2019-12-28 2020-04-10 江苏富泰净化科技股份有限公司 一种ffu控制方法
CN111412561A (zh) * 2020-02-28 2020-07-14 上海碳索能源服务股份有限公司 基于mau和dcc的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法
CN112286131A (zh) * 2020-10-23 2021-01-29 中国电子系统工程第二建设有限公司 一种mau控制系统及电子洁净厂房mau高精度控制方法
CN113757833A (zh) * 2021-09-14 2021-12-07 北京联合大学 基于数据驱动的生产模式与值班模式切换方法及系统
CN113757971A (zh) * 2021-08-28 2021-12-07 浙江美阳国际工程设计有限公司 一种双控制结合的洁净室压力控制系统及其应用

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001091036A (ja) * 1999-09-24 2001-04-06 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 空調制御方法
CN101008519A (zh) * 2007-01-29 2007-08-01 杭州华电华源环境工程有限公司 一种变风量空调系统的可变静压控制方式和系统
CN106051966A (zh) * 2016-04-11 2016-10-26 柏诚工程股份有限公司 一种洁净室自动化新风控制系统
CN205860342U (zh) * 2016-06-23 2017-01-04 重庆海润节能技术股份有限公司 干管设定静压通风系统
CN106909179A (zh) * 2017-03-13 2017-06-30 深圳市昶檀实业有限公司 一种大型无尘室压差监测与调整方法
CN210267556U (zh) * 2019-06-26 2020-04-07 中机中联工程有限公司 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001091036A (ja) * 1999-09-24 2001-04-06 Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd 空調制御方法
CN101008519A (zh) * 2007-01-29 2007-08-01 杭州华电华源环境工程有限公司 一种变风量空调系统的可变静压控制方式和系统
CN106051966A (zh) * 2016-04-11 2016-10-26 柏诚工程股份有限公司 一种洁净室自动化新风控制系统
CN205860342U (zh) * 2016-06-23 2017-01-04 重庆海润节能技术股份有限公司 干管设定静压通风系统
CN106909179A (zh) * 2017-03-13 2017-06-30 深圳市昶檀实业有限公司 一种大型无尘室压差监测与调整方法
CN210267556U (zh) * 2019-06-26 2020-04-07 中机中联工程有限公司 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
王向宏等: "《智能建筑节能工程》", 东南大学出版社, pages: 40 - 47 *

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110486905A (zh) * 2019-08-19 2019-11-22 珠海格力电器股份有限公司 风机静压自动调整方法、装置及空调系统
CN110486905B (zh) * 2019-08-19 2020-09-22 珠海格力电器股份有限公司 风机静压自动调整方法、装置及空调系统
CN110595666A (zh) * 2019-08-28 2019-12-20 长江存储科技有限责任公司 一种机台压力监控系统
CN110595666B (zh) * 2019-08-28 2021-08-13 长江存储科技有限责任公司 一种机台压力监控系统
CN110793115A (zh) * 2019-10-17 2020-02-14 华润三九（雅安）药业有限公司 一种制药厂房洁净空调系统风量自动测控系统
CN110989471A (zh) * 2019-12-28 2020-04-10 江苏富泰净化科技股份有限公司 一种ffu控制方法
CN111412561A (zh) * 2020-02-28 2020-07-14 上海碳索能源服务股份有限公司 基于mau和dcc的半导体洁净室恒温恒湿控制系统和控制方法
CN112286131A (zh) * 2020-10-23 2021-01-29 中国电子系统工程第二建设有限公司 一种mau控制系统及电子洁净厂房mau高精度控制方法
CN113757971A (zh) * 2021-08-28 2021-12-07 浙江美阳国际工程设计有限公司 一种双控制结合的洁净室压力控制系统及其应用
CN113757833A (zh) * 2021-09-14 2021-12-07 北京联合大学 基于数据驱动的生产模式与值班模式切换方法及系统
CN113757833B (zh) * 2021-09-14 2022-04-08 北京联合大学 基于数据驱动的生产模式与值班模式切换方法及系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN110131811B (zh) 2024-03-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110131811A (zh) 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统及方法
CN103822332B (zh) 基于睡眠状态调节温度的空调及其控制方法
Wang et al. Secondary forecasting based on deviation analysis for short-term load forecasting
CN105650811B (zh) 控制空调室内机的方法和装置
CN107270649A (zh) 冰箱的控制方法、控制系统以及冰箱、计算机装置
CN110726218B (zh) 空调器及其控制方法、装置、存储介质和处理器
CN104525011B (zh) 一种动态配气仪及配气方法
CN106979599B (zh) 家用电器控制方法和装置、服务器
CN106885333B (zh) 空调器控制方法、控制器及空调器
CN113357779B (zh) 用于空气调节的控制方法及装置、家电设备
DE102011106962A1 (de) Gebläse
CN103548700B (zh) 独立换气笼的控制系统中流量及笼盒对外压差测量方法及控制方法
CN101893296A (zh) 精密温度调节系统及其控制装置
CN108954665A (zh) 一种空调扫风角度自动校正方法及装置
CN110658381A (zh) 功率检测方法、装置、空调器以及存储介质
CN105972775A (zh) 一种用于空调的出风口温度控制方法、装置及空调
CN111089406A (zh) 风机盘管出风控制方法、装置及控制器和空调机组
CN109323379A (zh) 空调器及其控制方法和装置
CN105091223B (zh) 空调器的耗电量检测方法、装置和空调器
CN108252932B (zh) 用于运行多个泵单元中的至少一个泵单元的方法
CN109341012A (zh) 空调器及其控制方法和装置
DE112020000352T5 (de) Steuersystem für eine elektrische flüssigkeitsbewegungsvorrichtung
WO2024060454A1 (zh) 参数计算辅助方法、系统、设备及存储介质
CN106196440B (zh) 空调节能控制方法、控制装置及空调
CN210267556U (zh) 适用于mau+ffu+dcc电子洁净室的压差控制系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant