CN110118621A - 一种自修复柔性压力传感器及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例提供一种自修复柔性压力传感器及其制作方法，涉及传感器技术领域。其中，压力传感器包括：第一电极、第二电极和介电层薄膜，第一电极和第二电极的导电面分别与介电层薄膜的两面紧贴，其中，第一电极和第二电极为包含银纳米线层或金层的自修复聚氨酯薄膜，介电层薄膜为包含石墨烯的自修复聚氨酯薄膜。利用石墨烯制备得到的介电层薄膜可以大幅提高介电常数，进而提高了压力传感器的灵敏度，且由于第一电极具有波浪状微结构可以进一步提高传感器的灵敏度。此外，利用自修复聚氨酯作为柔性基底，使该柔性压力传感器不仅具有良好的力学强度和良好的生物相容性，还具有自修复性能，当传感器受到物理破坏后可重新修复，从而延长使用寿命。

Description

一种自修复柔性压力传感器及其制作方法
技术领域
本发明属于传感器技术领域，尤其涉及一种压力传感器及制作方法。
背景技术
自1962年Kulite公司研制出硅微压力传感器以来，微传感器得到迅速发展，其中，微传感器采用刚性衬底，如硅片，石英。随着人工智能的发展，对于能够贴于非平面的柔性传感器需求越来越大。电容型压力传感器因其能耗低、动态响应迅速等优点受到广泛的关注，在柔性显示、柔性可穿戴设备以及医疗等领域表现出极大的应用前景。
现有的电容型柔性压力传感器主要包括基于空腔结构的电容式压力传感器和薄膜电容压力传感器，且一般为变间距式传感器，而空腔结构电容式压力传感器的介电层为空气，薄膜电容压力传感器介电层一般为纯聚合物。一般在制备电容型柔性压力传感器时，将导电材料与聚合物基底复合来制备传感器件。其中，聚合物基底以聚二甲基硅氧烷(PDMS)居多，介电层多为纯聚合物，这样会造成电容型柔性压力传感器的灵敏度低。此外，由于以聚合物为基底的柔性器件表面硬度低，易受到刮擦而形成损伤裂纹，裂纹一旦形成便迅速扩展直至器件失效，导致传感器的使用寿命短。
为解决上述问题，目前采用的方案是基于水凝胶制备自修复压力传感器，其制作方法是利用无定型碳酸钙(ACC)纳米粒子、聚丙烯酸(PAA)和海藻酸钠三者物理交联而成的离子水凝胶作为电极，介电层采用的是聚乙烯薄膜。由于基底为水凝胶，强度低，受环境影响大，且中间层为聚乙烯不可自修复，不适于长期使用。
发明内容
本发明提供一种自修复柔性压力传感器及其制作方法，旨在解决现有的电容型柔性压力传感器灵敏度低及寿命短的问题。
本发明提供的一种自修复柔性压力传感器，包括：第一电极、第二电极和介电层薄膜，第一电极和第二电极的导电面分别与介电层薄膜的两面紧贴；
其中，第一电极和第二电极为包含银纳米线层或金层的自修复聚氨酯薄膜，介电层薄膜为包含石墨烯的自修复聚氨酯薄膜。
本发明提供的一种自修复柔性压力传感器的制作方法，包括：
将银纳米线涂布于具有波浪状微结构的PDMS电极模板上或在具有波浪状微结构的电极模板上喷镀金层，并将自修复聚氨酯溶液倾倒于银纳米线层或金层上，干燥，除去电极模板，得到第一电极；
将自修复聚氨酯浇注于模具中，烘干成膜，并将银纳米线涂布于自修复聚氨酯膜或在自修复聚氨酯膜上喷镀金层，干燥，得到第二电极；
将石墨烯分散于有机溶剂中，得到浓度为2～3g/L的悬浮液，并将悬浮液与自修复聚氨酯按照质量比2～6:1混合，置于模具中，干燥，得到介电层薄膜；
将第一电极、介电层薄膜和第二电极依次重叠进行组装，得到自修复柔性压力传感器。
本发明提供的一种自修复柔性压力传感器及其制作方法，利用石墨烯制备得到的介电层薄膜可以大幅提高介电常数，进而提高了压力传感器的灵敏度，且由于第一电极具有波浪状微结构可以进一步提高传感器的灵敏度。此外，利用自修复聚氨酯作为柔性基底，使该柔性压力传感器不仅具有良好的力学强度和良好的生物相容性，还具有自修复性能，当传感器受到物理破坏后可重新修复，从而延长使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例。
图1是本发明实施例提供的一种自修复柔性压力传感器的结构示意图；
图2是本发明实施例提供的一种自修复柔性压力传感器制备流程示意图；
图3是本发明实施例1制备得到的自修复柔性压力传感器修复前后响应曲线图。
具体实施方式
为使得本发明的发明目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而非全部实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，图1本发明实施例提供的自修复压力传感器，包括：第一电极101、介电层薄膜102及第二电极103；
其中，第一电极101和第二电极103的导电面分别与介电层薄膜102的两面紧贴。
第一电极101和第二电极103为包含银纳米线层或金层的自修复聚氨酯薄膜，介电层薄膜102为包含石墨烯的自修复聚氨酯薄膜。
具体地，第一电极101的厚度为200～300μm，第一电极101上的银纳米线层厚度为0.5～1μm或金层的厚度为30～40nm。第一电极101为具有波浪状微结构的电极。
具体地，第二电极103的厚度为200～300μm，第二电极103上的银纳米线层厚度为0.5～1μm或金层的厚度为30～40nm。
具体地，介电层薄膜102为石墨烯与自修复聚氨酯的复合材料，其中，石墨烯的质量分数为0.5～1.5％。其中，石墨烯的片径为0.5～2μm，厚度为0.8μm，单层率为80％。本发明实施例中，可以通过调整加入石墨烯的质量比来调节传感器的灵敏度。优选地，石墨烯的质量分数为1％。
本发明实施例提供的一种自修复柔性压力传感器，利用石墨烯制备得到的介电层薄膜可以大幅提高介电常数，进而提高了压力传感器的灵敏度，且由于第一电极具有波浪状微结构可以进一步提高传感器的灵敏度。此外，利用自修复聚氨酯作为柔性基底，使该柔性压力传感器不仅具有良好的力学强度和良好的生物相容性，还具有自修复性能，当传感器受到物理破坏后可重新修复，从而延长使用寿命。
本发明实施例提供一种自修复柔性压力传感器的制作方法，该方法包括：
步骤一、将银纳米线涂布于具有波浪状微结构的PDMS电极模板上或在具有波浪状微结构的电极模板上喷镀金层，并将自修复聚氨酯溶液倾倒于银纳米线层或金层上，干燥，除去电极模板，得到第一电极；
步骤二、将自修复聚氨酯浇注于模具中，烘干成膜，并将银纳米线涂布于自修复聚氨酯膜或在自修复聚氨酯膜上喷镀金层，干燥，得到第二电极；
步骤三、将石墨烯分散于有机溶剂中，得到浓度为2～3g/L的悬浮液，并将悬浮液与自修复聚氨酯按照质量比2～6:1混合，置于模具中，干燥，得到介电层薄膜；
步骤四、将第一电极、介电层薄膜和第二电极依次重叠进行组装，得到自修复的柔性压力传感器。
具体地，步骤一中，电极模板的制作方法具体为：
将PDMS膜拉伸20～50％，利用紫外光照射5～15min后释放以形成具有波浪状微结构的电极模板。
在实际应用中，这种波浪形结构可以有效的增大传感器的灵敏度，这是因为：1、由于波浪状的电极结构可以使电极和介电层之间有一定的间隙，大大减小聚合物的弹性阻力。2、当受到压力时，间隙中的空气被压缩，取而代之的是介电常数更大的自修复聚氨酯，电极间距的变小和介电常数的增大使得电容变化增大，进而提高灵敏度。优选地，将PDMS拉伸至30％，再利用紫外光照射10min后释放，会在PDMS表面自发形成波浪状微结构。
可选地，电极模板为由激光刻蚀制备得到的具有方形列阵或金字塔形列阵的PDMS模板。
具体地，步骤一中，银纳米线膜中的银纳米线的直径为70nm，长度为100～200μm。将银纳米线的乙醇悬浮液稀释超声分散于水中，通过真空抽滤的方式抽滤成膜，再将银纳米线膜漂浮于水面上，继而转移到电极模板上并烘干水分，由于被紫外光处理后的PDMS表面为亲水表面，在水的表面张力作用下，银纳米线形成与模板一致的波浪结构薄膜，然后将合成的自修复聚氨酯溶液倾倒在银纳米线膜上，放至70℃经过12小时除去溶剂，由于液体自修复聚氨酯溶液可渗透到银纳米线形成的网络中，银纳米线牢牢嵌入于成膜后的自修复聚氨酯中，除去电极模板，得到银纳米线嵌入自修复聚氨酯的具有波浪状微结构的电极。
具体地，步骤二中，第二电极的制备过程包括：
将自修复聚氨酯溶液浇注于聚四氟乙烯模具当中，烘干成膜后再通过上述真空抽滤与水辅助转移的方法将银纳米线膜转移至自修复聚氨酯膜上，在120℃加热10分钟后慢慢冷却至室温，得到第二电极。由于经过120℃加热，该自修复聚氨酯膜中将发生狄尔斯-阿德尔(Diels-Alder)反应的逆反应，分子链流动性增加，银纳米线将自发嵌入于自修复聚氨酯膜表层当中，使银纳米线与自修复聚氨酯基底结合更加紧密。
具体地，步骤二中，将银纳米线转移到电极模板的方法包括：
将银纳米线的乙醇悬浮液分散于水中，进行抽滤得到银纳米线膜；
将银纳米线膜同抽滤膜一起斜插入水中使银纳米线膜浮于水面，再转移到电极模板上，干燥，以使银纳米线膜与电极模板紧贴。
具体地，步骤三中，石墨烯的片径为0.5～2μm，厚度为0.8μm，单层率为80％。将单片层石墨烯通过搅拌和超声分散至N,N-二甲基甲酰胺(DMF)溶剂中，得到2g/L的悬浮液，将石墨烯悬浮液与自修复聚氨酯溶液按照不同的比例混合，超声处理2小时得到不同石墨烯含量的溶液，将各含量溶液倾倒于聚四氟乙烯模具当中，烘干溶剂后得到各介电层薄膜。
需要说明的是，由于该柔性压力传感器的上下电极以及中间介电层所用的基底均为自修复聚氨酯，因此，在具有较好的机械性能之外，还可进行自修复。如该自修复传感器受到划伤或者整体断裂都可进行自修复。具体修复步骤为：将划伤处或者断口处清理干净，保证伤口或断裂面之间充分接触，将其在120℃烘箱中放置30分钟，随后慢慢降至60℃并保温12小时，其外观和传感性能可得到良好的恢复。
于本发明的一个实施例，请参阅图2，图2为本发明实施例提供的压力传感器制备的流程示意图。
本发明提供的一种自修复柔性压力传感器的制作方法，利用石墨烯制备得到的介电层薄膜可以大幅提高介电常数，进而提高了压力传感器的灵敏度，且由于第一电极具有波浪状微结构可以进一步提高传感器的灵敏度。此外，利用自修复聚氨酯作为柔性基底，使该柔性压力传感器不仅具有良好的力学强度和良好的生物相容性，还具有自修复性能，当传感器受到物理破坏后可重新修复，从而延长使用寿命。
实施例1
1、将聚二甲基硅氧烷(PDMS)拉伸至30％，用紫外光照射10分钟，释放，PDMS表面形成波浪状微结构，作为电极模板；
2、将银纳米线(AgNWs)的乙醇悬浮液稀释并使用超声分散于纯水中，使用真空抽滤的方法抽滤成膜，再将AgNWs膜漂浮于水面上，继而转移到PDMS模板上并烘干水分，形成与模板一致的波浪状微结构薄膜；
3、将自修复聚氨酯溶液倾倒在波浪状微结构的AgNWs膜上，放至70℃烘箱经过12小时除去溶剂，剥离电极模板后得到第一电极；
4、将自修复聚氨酯溶液浇注于聚四氟乙烯模具当中，烘干成膜后通过步骤2的方法将AgNWs薄膜直接转移至自修复聚氨酯膜上，在120℃条件下加热10分钟后慢慢冷却至室温，得到无微结构的第二电极。
5、将石墨烯通过搅拌和超声分散至N,N-二甲基甲酰胺(DMF)溶剂中，得到2g/L的悬浮液，将悬浮液与自修复聚氨酯溶液按照质量比2:1通过超声充分混合，并倾倒于聚四氟乙烯模具当中，烘干溶剂后得到介电层薄膜。
6、将上述第一电极、介电层和第二电极依次排列进行组装，得到可自修复柔性压力传感器。
如图3所示，图3是本发明实施例1制备得到的自修复柔性压力传感器修复前后响应曲线图，由图3可知，当石墨烯质量分数为0.5％时，在0～3kPa压力范围内其灵敏度可达到0.4kPa-1，且该传感器具有良好的自修复性能，修复后其灵敏度可达到其原始灵敏度的80％以上。
实施例2
1、将聚二甲基硅氧烷(PDMS)拉伸至30％，用紫外光照射10分钟，释放，PDMS表面形成波浪状微结构，作为电极模板；
2、将银纳米线(AgNWs)的乙醇悬浮液稀释并使用超声分散于纯水中，使用真空抽滤的方法抽滤成膜，再将AgNWs膜漂浮于水面上，继而转移到PDMS模板上并烘干水分，形成与模板一致的波浪结构薄膜；
3、将自修复聚氨酯溶液倾倒在波浪微结构的AgNWs膜上，放至70℃烘箱经过12小时除去溶剂，剥离电极模板后得到第一电极；
4、将自修复聚氨酯溶液浇注于聚四氟乙烯模具当中，烘干成膜后通过步骤2的方法将AgNWs薄膜直接转移至自修复聚氨酯膜上，在120℃条件下加热10分钟后慢慢冷却至室温，得到无微结构的第二电极；
5、将石墨烯通过搅拌和超声分散至N,N-二甲基甲酰胺(DMF)溶剂中，得到2g/L的悬浮液，将悬浮液与自修复聚氨酯溶液按照质量比4:1通过超声充分混合，并倾倒于聚四氟乙烯模具当中，烘干溶剂后得到介电层薄膜；
6、将上述第一电极、介电层和第二电极依次排列进行组装，得到可自修复柔性压力传感器。
实施例3
1、将聚二甲基硅氧烷(PDMS)拉伸至30％，用紫外光照射10分钟，释放，PDMS表面形成翘曲的波浪结构，作为电极模板；
2、将银纳米线(AgNWs)的乙醇悬浮液稀释并使用超声分散于纯水中，使用真空抽滤的方法抽滤成膜，再将AgNWs膜漂浮于水面上，继而转移到PDMS模板上并烘干水分，形成与模板一致的波浪结构薄膜；
3、将自修复聚氨酯溶液倾倒在波浪微结构的AgNWs膜上，放至70℃烘箱经过12小时除去溶剂，剥离电极模板后得到第一电极；
4、将自修复聚氨酯溶液浇注于聚四氟乙烯模具当中，烘干成膜后通过步骤2的方法将AgNWs薄膜直接转移至自修复聚氨酯膜上，在120℃条件下加热10分钟后慢慢冷却至室温，得到无微结构的第二电极；
5、将石墨烯通过搅拌和超声分散至N,N-二甲基甲酰胺(DMF)溶剂中，得到2g/L的悬浮液，将悬浮液与自修复聚氨酯溶液按照质量比6:1通过超声充分混合，并倾倒于聚四氟乙烯模具当中，烘干溶剂后得到介电层薄膜；
6、将上述第一电极、介电层和第二电极依次排列进行组装，得到可自修复柔性压力传感器。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种自修复柔性压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括：第一电极、第二电极和介电层薄膜，第一电极和第二电极的导电面分别与介电层薄膜的两面紧贴；
其中，第一电极和第二电极为包含银纳米线层或金层的自修复聚氨酯薄膜，介电层薄膜为包含石墨烯的自修复聚氨酯薄膜。
2.根据权利要求1所述的自修复柔性压力传感器，其特征在于，所述第一电极的厚度为200～300μm，所述第一电极上的银纳米线层厚度为0.5～1μm或金层的厚度为30～40nm。
3.根据权利要求1所述的自修复柔性压力传感器，其特征在于，所述第二电极的厚度为200～300μm，所述第二电极上的银纳米线层厚度为0.5～1μm或金层的厚度为30～40nm。
4.根据权利要求1所述的自修复柔性压力传感器，其特征在于，所述介电层薄膜为石墨烯与自修复聚氨酯的复合材料，其中，石墨烯的质量分数为0.5～1.5％。
5.一种自修复柔性压力传感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括：
将银纳米线涂布于具有波浪状微结构的聚二甲基硅氧烷(PDMS)电极模板上或在具有波浪状微结构的电极模板上喷镀金层，并将自修复聚氨酯溶液倾倒于银纳米线层或金层上，干燥，除去电极模板，得到第一电极；
将自修复聚氨酯浇注于模具中，烘干成膜，并将银纳米线涂布于自修复聚氨酯膜或在自修复聚氨酯膜上喷镀金层，干燥，得到第二电极；
将石墨烯分散于有机溶剂中，得到浓度为2～3g/L的悬浮液，并将悬浮液与自修复聚氨酯按照质量比2～6:1混合，置于模具中，干燥，得到介电层薄膜；
将第一电极、介电层薄膜和第二电极依次重叠进行组装，得到自修复柔性压力传感器。
6.根据权利要求1所述的自修复柔性压力传感器，其特征在于，电极模板的制作方法具体为：
将PDMS膜拉伸20～50％，利用紫外光照射5～15min后释放以形成具有波浪状微结构的电极模板。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将银纳米线转移至电极模板的方法包括：
将银纳米线的乙醇悬浮液分散于水中，进行抽滤得到银纳米线膜；
将银纳米线膜同抽滤膜一起斜插入水中使银纳米线膜浮于水面，再转移到电极模板上，干燥，以使银纳米线膜与电极模板紧贴。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述石墨烯的片径为0.5～2μm，厚度为0.8μm，单层率为80％。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述银纳米线膜中的银纳米线的直径为70nm，长度为100～200μm。
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Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110487450A (zh) * 2019-08-23 2019-11-22 南方科技大学 一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用
CN110527120A (zh) * 2019-10-09 2019-12-03 南昌航空大学 一种高强度的柔性导电自修复薄膜的制作方法
CN110579296A (zh) * 2019-09-30 2019-12-17 西安交通大学 倾斜结构增强的双电层电容式柔性压力传感器及制造方法
CN110993373A (zh) * 2019-11-20 2020-04-10 五邑大学 一种具有柔性应力传感功能的超级电容器的制备方法
CN111048619A (zh) * 2019-10-25 2020-04-21 深圳大学 基于黑磷/石墨烯/二硫化钼异质结的光电探测器及其制备方法
CN111551291A (zh) * 2020-05-25 2020-08-18 苏州大学 液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器
CN112679964A (zh) * 2020-12-28 2021-04-20 南京柔速科技有限公司 一种银纳米线/有机硅弹性体自修复柔性材料及其制备方法、柔性传感器
CN112932466A (zh) * 2019-12-11 2021-06-11 天津大学 一种基于微尺度网格状介电层的柔性传感器及其制备方法和应用
CN112945428A (zh) * 2019-12-11 2021-06-11 天津大学 一种微尺度网格状介电层及其制备方法和应用
CN112985648A (zh) * 2019-12-13 2021-06-18 天津大学 一种介电层及其制备方法、电容压力传感器及其应用
CN113005644A (zh) * 2021-03-04 2021-06-22 东华大学 一种可拉伸自愈合热电复合薄膜的制备方法
CN113953525A (zh) * 2021-10-18 2022-01-21 中国人民解放军国防科技大学 一种大尺寸功率半导体集成电路封装互连用纳米线银膜的制备方法
CN114739504A (zh) * 2022-03-09 2022-07-12 大连理工大学 基于石墨烯-水凝胶的柔性水听器及其制造方法
CN115371854A (zh) * 2022-09-20 2022-11-22 南京工业职业技术大学 一种复合结构的交流阻抗谱式压力传感器
CN116399929A (zh) * 2023-06-02 2023-07-07 北京东方红航天生物技术股份有限公司 一种快速检测灵芝三萜中灵芝酸a的便携式分子印迹功能膜及其制备方法和应用

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102589759A (zh) * 2012-02-20 2012-07-18 浙江大学 基于压阻式和电容式组合的仿生柔性触觉传感阵列
CN105865667A (zh) * 2016-05-19 2016-08-17 北京印刷学院 基于微结构化介电层的电容式柔性压力传感器及其制备方法
CN106017748A (zh) * 2016-05-19 2016-10-12 北京印刷学院 基于复合材料介电层的电容式柔性压力传感器及其制备方法
CN106947239A (zh) * 2017-03-15 2017-07-14 东莞市雄林新材料科技股份有限公司 一种具有自动修复功能的tpu薄膜及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102589759A (zh) * 2012-02-20 2012-07-18 浙江大学 基于压阻式和电容式组合的仿生柔性触觉传感阵列
CN105865667A (zh) * 2016-05-19 2016-08-17 北京印刷学院 基于微结构化介电层的电容式柔性压力传感器及其制备方法
CN106017748A (zh) * 2016-05-19 2016-10-12 北京印刷学院 基于复合材料介电层的电容式柔性压力传感器及其制备方法
CN106947239A (zh) * 2017-03-15 2017-07-14 东莞市雄林新材料科技股份有限公司 一种具有自动修复功能的tpu薄膜及其制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张太亮，李黎明，田天，张径晗: "《PU/AgNWs/PDMS弹性导电复合材料的制备及性能研究》", 《化工新材料》 *

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110487450A (zh) * 2019-08-23 2019-11-22 南方科技大学 一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用
CN110487450B (zh) * 2019-08-23 2021-09-07 南方科技大学 一种柔性触觉传感器及其制备方法和应用
CN110579296A (zh) * 2019-09-30 2019-12-17 西安交通大学 倾斜结构增强的双电层电容式柔性压力传感器及制造方法
CN110527120A (zh) * 2019-10-09 2019-12-03 南昌航空大学 一种高强度的柔性导电自修复薄膜的制作方法
CN111048619A (zh) * 2019-10-25 2020-04-21 深圳大学 基于黑磷/石墨烯/二硫化钼异质结的光电探测器及其制备方法
CN110993373A (zh) * 2019-11-20 2020-04-10 五邑大学 一种具有柔性应力传感功能的超级电容器的制备方法
CN112945428A (zh) * 2019-12-11 2021-06-11 天津大学 一种微尺度网格状介电层及其制备方法和应用
CN112932466A (zh) * 2019-12-11 2021-06-11 天津大学 一种基于微尺度网格状介电层的柔性传感器及其制备方法和应用
CN112985648A (zh) * 2019-12-13 2021-06-18 天津大学 一种介电层及其制备方法、电容压力传感器及其应用
CN111551291A (zh) * 2020-05-25 2020-08-18 苏州大学 液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器
CN111551291B (zh) * 2020-05-25 2022-04-05 苏州大学 液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器
CN112679964A (zh) * 2020-12-28 2021-04-20 南京柔速科技有限公司 一种银纳米线/有机硅弹性体自修复柔性材料及其制备方法、柔性传感器
CN113005644A (zh) * 2021-03-04 2021-06-22 东华大学 一种可拉伸自愈合热电复合薄膜的制备方法
CN113953525A (zh) * 2021-10-18 2022-01-21 中国人民解放军国防科技大学 一种大尺寸功率半导体集成电路封装互连用纳米线银膜的制备方法
CN113953525B (zh) * 2021-10-18 2024-01-16 中国人民解放军国防科技大学 一种大尺寸功率半导体集成电路封装互连用纳米线银膜的制备方法
CN114739504A (zh) * 2022-03-09 2022-07-12 大连理工大学 基于石墨烯-水凝胶的柔性水听器及其制造方法
CN114739504B (zh) * 2022-03-09 2023-11-14 大连理工大学 基于石墨烯-水凝胶的柔性水听器及其制造方法
CN115371854A (zh) * 2022-09-20 2022-11-22 南京工业职业技术大学 一种复合结构的交流阻抗谱式压力传感器
CN116399929A (zh) * 2023-06-02 2023-07-07 北京东方红航天生物技术股份有限公司 一种快速检测灵芝三萜中灵芝酸a的便携式分子印迹功能膜及其制备方法和应用

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