CN110118500B - 环形热管 - Google Patents

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Abstract

本发明提供环形热管，抑制工作流体的液体滞留。环形热管具备蒸发器、冷凝器、液管(14)以及蒸汽管。液管(14)由多个金属层(41‑46)层叠而构成。多个金属层包含第1金属层(43)，该第1金属层(43)包含在厚度方向贯通的第1贯通孔(43X)。液管(14)包含：流路(14r)，包含第1贯通孔(43X)；以及多孔质体(14s(43s、44s)、42t、45t)，划定流路(14r)的上壁、下壁以及两个侧壁中的至少两个。

Description

环形热管
技术领域
本公开涉及环形热管。
背景技术
作为对搭载于电子设备的半导体器件(例如，CPU(Central Processing Unit：中央处理器)等)的发热零件进行冷却的器件，公开有利用了工作流体的相变的热管。
专利文献1公开了环形热管。该环形热管具有将蒸发部、蒸汽管、冷凝部以及液管串联连接的环构造，在内部封入有工作流体。蒸发部从发热零件受热而使工作流体从液相变化为气相，气相的工作流体经过蒸汽管流入冷凝部。冷凝部通过散热使气相的工作流体冷凝而变化为液相，液相的工作流体经过液管流入蒸发部。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特许第6146484号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在环形热管中，存在例如在液管中产生工作流体的液体滞留的问题。液体滞留会通过例如在环形热管的热循环测试中短时间内重复进行工作流体的凝固和膨胀，从而导致环形热管的变形(鼓起)。这样变形的环形热管成为疵品。因此，要求抑制工作流体的液体滞留。
用于解决课题的手段
一实施方式的环形热管，具备：蒸发器，使工作流体气化；冷凝器，对通过所述蒸发器气化的所述工作流体进行液化；液管，将所述冷凝器连接到所述蒸发器，具有使通过所述冷凝器液化的所述工作流体流向所述蒸发器的流路；以及蒸汽管，将所述蒸发器连接到所述冷凝器，使通过所述蒸发器气化的所述工作流体流向所述冷凝器，所述液管由多个金属层层叠而构成，多个金属层包含第1金属层，该第1金属层包含在厚度方向贯通的第1贯通孔，所述流路至少由所述第1贯通孔形成，具有划定所述流路的4个壁，所述液管还包含形成所述流路的4个壁中的至少两个壁的多个多孔质体。
另一实施方式的环形热管，具备金属层叠体，该金属层叠体包括一对最外金属层和位于一对最外金属层之间的多个中间金属层，所述金属层叠体包含蒸发器、蒸汽管、冷凝器以及液管，蒸发器、蒸汽管、冷凝器以及液管连接成环状，所述液管包含：一个或多个流路，各流路沿着所述液管从所述冷凝器延伸到所述蒸发器而作为单一连通孔形成，并且在厚度方向贯通所述多个中间金属层的至少一个，各流路具有划定该流路的4个壁；以及多个多孔质体，形成在所述多个中间金属层的至少两个，以形成各流路的4个壁中的至少两个壁的方式配置。
发明效果
根据本发明，能够抑制工作流体的液体滞留。
附图说明
图1是例示性的环形热管的概略俯视图。
图2是示出液管的沿着图1的2-2线的概略剖视图。
图3是示出形成多孔质体的金属层的图2的液管的部分概略俯视图。
图4是形成图1的环形热管的最上金属层的概略俯视图。
图5是形成图1的环形热管的中间金属层的概略俯视图。
图6是形成图1的环形热管的最下金属层的概略俯视图。
图7A～图7E是说明中间金属层的制造工序的概略剖视图。
图8A～图8E是说明最下金属层的制造工序的概略剖视图。
图9A是示出变形例的液管的概略剖视图。
图9B是示出形成多孔质体的金属层的图9A的液管的部分概略俯视图。
图10A、10B、11A、11B、12A、12B以及13是示出各种变形例的液管的概略俯视图。
图14A和图14B是示出各种变形例的包含多孔质体的金属层的部分概略俯视图。
图15A是示出另一变形例的包含多孔质体的金属层的部分概略俯视图。
图15B是沿图15A的b-b线的剖视图。
图16A和图16B是示出各种变形例的包含有底孔的金属层的概略剖视图。
具体实施方式
以下，对各种实施方式进行说明。另外，关于附图，存在为了容易理解而放大示出构成要素的情况，存在构成要素的尺寸比与实际的尺寸比或者其他附图中的尺寸比不同的情况。另外，为了容易理解，存在在俯视图中附上阴影(梨皮模样)的情况以及在剖视图中省略部分部件的阴影的情况。另外，在本说明书中，“俯视”是指以剖视图中的垂直方向(例如，图2的上下方向)观察对象物，“平面形状”是指俯视下的对象物的形状。
如图1所示，环形热管1例如被收纳在智能手机或平板终端等移动型的电子设备2。
环形热管1包含蒸发器11、蒸汽管12、冷凝器13以及液管14。蒸发器11具有使工作流体C气化而生成蒸汽Cv的功能。冷凝器13具有对工作流体C的蒸汽Cv进行液化的功能。蒸汽管12将蒸发器11连接到冷凝器13，使通过蒸发器11而被气化的工作流体C流向冷凝器13。液管14将冷凝器13连接到蒸发器11，使通过冷凝器13而被液化的工作流体C流向蒸发器11。蒸发器11与冷凝器13通过蒸汽管12和液管14连接，从而形成工作流体C或蒸汽Cv流动的环状的流路。在本实施方式中，液管14和蒸汽管12例如具有相同长度。另外，液管14与蒸汽管12也可以具有不同的长度。例如，也可以是蒸汽管12比液管14短。
蒸发器11构成为，与搭载于电子设备2的未图示的发热零件密接而被固定。蒸发器11通过由发热零件产生的热来对工作流体C进行气化而生成蒸汽Cv。另外，虽然未图示，但是也可以在蒸发器11与发热零件之间介有导热部件(TIM：Thermal Interface Material)。导热部件减少发热零件与蒸发器11之间的接触热阻，使从发热零件向蒸发器11的导热顺利地进行。通过蒸发器11产生的蒸汽Cv，经由蒸汽管12而导向冷凝器13。
冷凝器13包含：具有大的散热用面积的散热板13p；以及在散热板13p的内部蜿蜒的流路13r。流路13r作为上述的环状的流路部分来发挥功能。冷凝器13对经由蒸汽管12引导的蒸汽Cv进行液化。在冷凝器13中液化的工作流体C经由液管14而导向蒸发器11。
液管14包含位于其宽度方向(图1的上下方向)两侧的一对壁部14w、多孔质体14s以及多孔质体14s与各壁部14w之间的一对流路14r。多孔质体14s沿着液管14从冷凝器13延伸到蒸发器11。多孔质体14s通过在该多孔质体14s产生的毛细管力，将通过冷凝器13液化的工作流体C导向蒸发器11。流路14r作为上述的环状的流路部分来发挥功能。流路14r促进经过液管14的向蒸发器11的工作流体C的顺利的流动。另外，蒸发器11也包含多孔质体11s。
该环形热管1使在发热零件产生的热从蒸发器11移动到冷凝器13，在该冷凝器13中进行散热。并且，环形热管1通过工作流体C的循环来冷却发热零件。
作为工作流体C，优选使用蒸汽压高且蒸发潜热大的流体。通过使用这种工作流体C，从而能够通过蒸发潜热高效地对发热零件进行冷却。作为工作流体C，例如，能够使用氨、水、氟利昂、酒精或丙酮等。
图2是示出液管14的沿着图1的2-2线的概略剖视图。液管14由多个(本例中为6个)金属层41～46的金属层叠体(metal layer stack)形成。另外，以下，有时将金属层41称为最外金属层41(或者最上金属层41)，有时将金属层46称为最外金属层46(或者最下金属层46)，有时将金属层42～45称为中间金属层42～45。在不需要区别最外金属层和中间金属层时，有时将这些金属层简单地称为金属层41～46。各金属层41～46例如为导热性优秀的铜层，通过固相接合等而彼此直接接合。另外，在图2中，虽然为了容易理解用实线区分金属层41～46，但是例如使金属层41～46通过扩散接合而一体化时，各金属层41～46的界面有时会消失，存在金属层41～46的边界不明确的情况。
另外，金属层41～46不限于铜层，也可以由不锈钢层、铝层或镁合金层等形成。另外，也可以使用与其他金属层不同的材料形成金属层41～46中的一个或几个。可以使各金属层41～46的厚度为例如50μm～200μm左右。其中，也可以使金属层41～46中的一个或几个具有与其他金属层不同的厚度。或者，也可以使所有的金属层具有彼此不同的厚度。
如图1所示，蒸发器11、蒸汽管12以及冷凝器13也与图2所示的液管14相同，通过金属层41～46的金属层叠体形成。即，图1所示的环形热管1通过金属层41～46的金属层叠体形成。金属层的层叠数不限于6层，可以是5层以下或7层以上。
如图1和图2所示，由金属层41～46的金属层叠体构成的液管14，包含一对壁部14w、多孔质体14s、42t、45t以及一对流路14r。
如图2所示，多孔质体14s包含分别形成在金属层叠体的金属层41～46中的中间金属层43、44的多孔质体43s、44s。各流路14r包含分别在厚度方向上贯通中间金属层43、44的贯通孔43X、44X。另外，在本实施方式中，在最外金属层41、46没有形成有孔或槽。
中间金属层43包含在厚度方向上贯通的两个贯通孔43X、位于这些贯通孔43X的外侧的两个壁部43w以及两个贯通孔43X间的多孔质体43s。同样，中间金属层44包含在厚度方向上贯通的两个贯通孔44X、位于这些贯通孔44X的外侧的两个壁部44w以及两个贯通孔44X间的多孔质体44s。
中间金属层43、44以俯视时贯通孔43X、44X重叠的方式被层叠。
在中间金属层43的上表面层叠有中间金属层42，在中间金属层44的下表面层叠有中间金属层45。通过包含贯通孔43X、44X的中间金属层43、44以及层叠在它们的中间金属层42、45，划定出两个流路14r。各流路14r通过壁部43w、44w、多孔质体43s、44s以及中间金属层42、45而被包围。壁部43w、44w划定各流路14r的两个侧壁中的一个，多孔质体43s、44s划定各流路14r的两个侧壁中的另一个。中间金属层42划定各流路14r的上壁(顶板部)，中间金属层45划定各流路14r的下壁(底部)。
如图2所示，多孔质体43s包含：从中间金属层43的上表面到该金属层43的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔43u；以及从中间金属层43的下表面到该金属层43的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔43d。如图3所示，各有底孔43u、43d俯视呈圆形状，直径能够设为100μm～400μm。其中，也可以使各有底孔43u、43d的俯视形状为椭圆形或多角形等其他任意的形状。各有底孔43u的内壁可以是从中间金属层43的上表面朝向中央缩小的锥形状。同样，各有底孔43d的内壁可以是从中间金属层43的下表面朝向中央缩小的锥形状。
如图2和图3所示，有底孔43u、43d在俯视时部分重叠。在该重叠部分中，有底孔43u、43d彼此连通而形成细孔43z。另外，如图3所示的有底孔43u、43d的排列状态为一例，能够通过任意的其他排列状态来形成有底孔43u、43d的部分重叠(细孔43z)。包含有底孔43u、43d和细孔43z的多孔质体43s构成多孔质体14s的部分。另外，虽然没有在图2中示出，但是各贯通孔43X与有底孔43u、43d中的至少一个连通。例如，各贯通孔43X穿过与该贯通孔43X相邻的多孔质体43s的侧面的一部分而与有底孔43u、43d中的至少一个连通。在中间金属层43的壁部43w没有形成有孔或槽。
与多孔质体43s同样，多孔质体44s包含：从中间金属层44的上表面到该金属层44的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔44u；以及从中间金属层44的下表面到该金属层44的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔44d。有底孔44u、44d可以具有与多孔质体43s的有底孔43u、43d相同的形状，例如俯视呈圆形状。另外，有底孔44u、44d在俯视时部分重叠。在该重叠部分中，有底孔44u、44d彼此连通而形成细孔44z。包含有底孔44u、44d和细孔44z的多孔质体44s构成多孔质体14s的部分。另外，虽然没有在图2中示出，但是各贯通孔44X与有底孔44u、44d中的至少一个连通。例如，各贯通孔44X穿过与该贯通孔44X相邻的多孔质体44s的侧面的部分而与有底孔44u、44d中的至少一个连通。在中间金属层44的壁部44w没有形成有孔或槽。
中间金属层42在流路14r的紧挨着的上方包含多孔质体42t。多孔质体42t沿着各自流路14r延伸。各多孔质体42t划定对应的流路14r的上壁(顶板部)。多孔质体42t包含：从中间金属层42的上表面到该金属层42的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔42u；以及从中间金属层42的下表面到该金属层42的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔42d。有底孔42u、42d可以具有与多孔质体43s的有底孔43u、43d相同的形状，例如俯视呈圆形状。另外，有底孔42u、42d在俯视时部分重叠。在该重叠部分中有底孔42u、42d彼此连通而形成细孔42z。细孔42z可以具有与多孔质体43s的细孔43z相同的形状。中间金属层42在多孔质体42t的各个外侧包含壁部42w。在壁部42w没有形成有孔或槽。另外，中间金属层42还包含两个多孔质体42t之间的中间部分42a。在该中间部分42a也没有形成有孔或槽。
中间金属层45在流路14r的紧挨着的下方包含多孔质体45t。多孔质体45t沿着各自的流路14r延伸。各多孔质体45t划定对应的流路14r的下壁(底部)。多孔质体45t包含：从中间金属层45的上表面到该金属层45的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔45u；以及从中间金属层45的下表面到该金属层45的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔45d。有底孔45u、45d可以具有与多孔质体43s的有底孔43u、43d相同的形状，例如俯视呈圆形状。另外，有底孔45u、45d在俯视时部分重叠。在该重叠部分中有底孔45u、45d彼此连通而形成细孔45z。细孔45z可以具有与多孔质体43s的细孔43z相同的形状。中间金属层45在多孔质体45t的各个外侧包含壁部45w。在壁部45w没有形成有孔或槽。另外，中间金属层45还包含两个多孔质体45t之间的中间部分45a。在该中间部分45a也没有形成有孔或槽。
如上所述，液管14的各流路14r被多孔质体14s(43s、44s)、42t、45t以及壁部14w(43w、44w)包围。换言之，各流路14r的上壁、下壁以及一个侧壁通过多孔质体42t、45t、14s(43s、44s)而被分别划定，各流路14r的另一个侧壁通过壁部14w而被划定。
中间金属层42的多孔质体42t与流路14r接触，中间金属层42的有底孔42d与中间金属层43的贯通孔43X连通。另外，中间金属层45的多孔质体45t与流路14r接触，中间金属层45的有底孔45u与中间金属层44的贯通孔44X连通。另外，中间金属层43的多孔质体43s与流路14r接触，各贯通孔43X与中间金属层43的有底孔43u、43d中的至少一个连通。另外，中间金属层44的多孔质体44s与流路14r接触，各贯通孔44X与中间金属层44的有底孔44u、44d中的至少一个连通。
在图2所示的液管14的结构中，多孔质体14s、42t、45t沿着液管14从冷凝器13延伸到蒸发器11。多孔质体14s、42t、45t通过在该多孔质体14s、42t、45t产生的毛细管力，将由冷凝器13液化的工作流体C导向蒸发器11。流路14r在液管14内促进经过液管14的工作流体C向蒸发器11的顺利的流动。
如图2所示，各流路14r被多孔质体14s、42t、45t以及壁部14w包围。流过各流路14r的工作流体C，通过由包围该流路14r的多孔质体14s、42t、45t引起的毛细管力，容易向多孔质体14s、42t、45t分散。因此，工作流体C难以在各流路14r发生液体滞留。因此，在对环形热管1实施热循环测试时，抑制由于滞留的工作流体C在低温度下冻结而引起的工作流体C的体积增加以及在高温度下产生的蒸汽Cv的体积增加等。因此，抑制液管14的变形和损坏。
接着，对环形热管1的制造方法进行说明。
图4～图6是在环形热管1的制造中使用的金属层的俯视图。图4是在环形热管1的最外金属层(最上金属层和最下金属层)41、46(参照图2)中使用的金属层61的俯视图。
图5是在分别包含多孔质体42t、45t的中间金属层42、45(参照图2)中使用的金属层62的俯视图。图6是在包含多孔质体14s(43s、44s)和流路14r的中间金属层43、44(参照图2)中使用的金属层63的俯视图。
图4～图6所示的金属层61～63分别通过将例如厚度为100μm的铜层例如通过湿蚀刻而图案化为给定形状来制成。如图4所示，金属层61为没有形成孔或槽的实心状的金属层。
如图5所示，金属层62包含与通过蒸发器11、蒸汽管12、冷凝器13以及液管14形成的环状的流路(参照图1)的形状对应的开口部62Y。另外，金属层62包含与多孔质体42t、45t(参照图2)对应的多孔质部分62t。另外，虽然在图5没有详细示出，但是在该多孔质部分62t形成有多孔质体42t、45t的有底孔42u、42d、45u、45d(参照图2)。
如图6所示，金属层63包含与通过蒸发器11、蒸汽管12、冷凝器13以及液管14形成的环状的流路(参照图1)的形状对应的开口部63Y。另外，金属层63在与液管14的贯通孔43X、44X(参照图2)对应的位置包含贯通孔63X。另外，金属层63包含与各多孔质体43s、44s(参照图2)对应的多孔质部分63s。另外，虽然在图6没有详细示出，但是在该多孔质部分63s形成有各多孔质体43s、44s的有底孔43u、43d、44u、44d(参照图2)。
此处，对多孔质体42t、45t的有底孔42u、42d、45u、45d的形成方法进行说明。
图7A～图7E是示出形成与图5的金属层62(此处为中间金属层42)的液管14对应的部分的工序的剖视图。
首先，在图7A所示的工序中，准备平板状的金属板80。金属板80为最终用作中间金属层42的部件，例如，可以由铜、不锈钢、铝或者镁合金等形成。金属板80的厚度可以为例如50μm～200μm左右。
接着，在图7B所示的工序中，在金属板80的上表面形成抗蚀层81，在金属板80的下表面形成抗蚀层82。作为抗蚀层81、82，例如能够使用感光性的干膜抗蚀剂等。
接着，在图7C所示的工序中，对抗蚀层81进行曝光和显影，形成使金属板80的上表面选择性地露出的开口部81X。开口部81X形成为图2所示的与有底孔42u对应的形状和位置。同样，对抗蚀层82进行曝光和显影，形成使金属板80的下表面选择性地露出的开口部82X。开口部82X形成为图2所示的与有底孔42d对应的形状和位置。
接着，在图7D所示的工序中，对于向开口部81X内露出的金属板80，从其上表面侧进行蚀刻，并且对于向开口部82X内露出的金属板80，从其下表面侧进行蚀刻。由此，在金属板80的上表面形成有底孔42u，在金属板80的下表面形成有底孔42d。有底孔42u、42d在俯视时部分重叠，在该重叠部分中有底孔42u、42d彼此连通而形成细孔42z。对于金属板80的蚀刻，例如能够使用氯化铁溶液。
接着，在图7E所示的工序中，通过剥离液对抗蚀层81、82进行剥离。通过进行以上的工序，形成在图2的中间金属层42中使用的图5的金属层62。另外，通过进行与图7A～图7E所示的工序相同的工序，形成在图2的中间金属层45中使用的金属层62。
接着，对多孔质体14s(43s、44s)的有底孔43u、43d、44u、44d以及流路14r(贯通孔43X、44X)的形成方法进行说明。
图8A～图8E是示出形成图6的金属层63(此处为中间金属层43)的与液管14对应的部分的工序的剖视图。
首先，在图8A所示的工序中，准备平板状的金属板90。金属板90是最终用作中间金属层43的部件，例如可以由铜、不锈钢、铝或者镁合金等形成。金属板90的厚度可以为例如50μm～200μm左右。
接着，在图8B所示的工序中，在金属板90的上表面形成抗蚀层91，在金属板90的下表面形成抗蚀层92。作为抗蚀层91、92，例如能够使用感光性的干膜抗蚀剂等。
接着，在图8C所示的工序中，对抗蚀层91进行曝光和显影，形成使金属板90的上表面选择性地露出的开口部91X、91Y。同样，对抗蚀层92进行曝光和显影，形成使金属板90的下表面选择性地露出的开口部92X、92Y。开口部91X、92X形成为图2所示的与有底孔43u、43d对应的形状和位置。开口部91Y、92Y形成为图2所示的与贯通孔43X对应的形状和位置。
接着，在图8D所示的工序中，对于向开口部91X、91Y内露出的金属板90，从其上表面侧进行蚀刻，并且对于向开口部92X、92Y内露出的金属板90，从其下表面侧进行蚀刻。由此，在金属板90的上表面中在开口部91X的位置形成有底孔43u，在金属板90的下表面中在开口部92X的位置形成有底孔43d。有底孔43u、43d在俯视时部分重叠，在该重叠部分中有底孔43u、43d彼此连通而形成细孔43z。另外，在俯视时重叠的开口部91Y、92Y的位置形成有贯通孔43X。对于金属板90的蚀刻，例如能够使用氯化铁溶液。
接着，在图8E所示的工序中，通过剥离液对抗蚀层91、92进行剥离。通过进行以上的工序，形成在图6的中间金属层43中使用的图6的金属层63。另外，通过进行与图8A～图8E所示的工序相同的工序，形成在图2的中间金属层44中使用的金属层63。
接着，准备没有形成孔或槽的实心状的金属层61(参照图4)。
接着，依次层叠使用了图4的金属层61的最上金属层41、使用了图5的金属层62的中间金属层42、使用了图6的金属层63的中间金属层43、使用了图6的金属层63的中间金属层44、使用了图5的金属层62的中间金属层45以及使用了图4的金属层61的最下金属层46。
并且，一边将金属层61～63加热到给定温度(例如，约900℃)一边对金属层61～63进行冲压，从而通过扩散接合将金属层61～63接合。之后，使用未图示的真空泵将液管14等的空气排出，从未图示的注入口将工作流体C(例如水)注入到液管14，将注入口密封。
本实施方式具有以下的优点。
(1)环形热管1包含：使工作流体C气化的蒸发器11；对蒸汽Cv进行液化的冷凝器13；使气化的工作流体(蒸汽Cv)流入冷凝器13的蒸汽管12；以及使液化的工作流体C流入蒸发器11的液管14。液管14包含多孔质体14s、42t、45t以及流路14r。各流路14r被多孔质体14s、42t、45t以及壁部14w包围。流过各流路14r的工作流体C，通过由包围该流路14r的多孔质体14s、42t、45t引起的毛细管力，分散到多孔质体14s、42t、45t。因此，能够抑制流路14r中的工作流体C的液体滞留。
另外，关于在以下的各变形例中与上述实施方式相同的构成部件，进而在各变形例之间相同的构成部件，有时附上相同的附图标记并省略其说明的部分或全部。另外，在以下的各变形例中，关于液管以外的结构，由于与上述实施方式(图1)相同，因此省略附图及详细的说明。
如图9A所示，液管14A由金属层41～46的金属层叠体构成，包含一对壁部14w、多孔质体14s、42t、45t以及一对流路14r。
流路14r被多孔质体14s(43s、44s)、42t、45t以及壁部14w(43w、44w)包围。换言之，各流路14r的上壁、下壁以及一个侧壁通过多孔质体42t、45t、14s(43s、44s)而被分别划定，各流路14r的另一个侧壁通过壁部14w而被划定。
多孔质体14s包含分别形成在金属层叠体的金属层41～46中的中间金属层43、44的多孔质体43s、44s。这些多孔质体43s、44s与上述实施方式(图2)的液管14内的多孔质体同样形成，多孔质体43s包含有底孔43u、43d，多孔质体44s包含有底孔44u、44d。
各流路14r包含分别在厚度方向贯通金属层41～46中的中间金属层43、44的贯通孔43X、44X。这些贯通孔43X、44X与上述实施方式(图2)的液管14内的贯通孔同样形成。
中间金属层42在流路14r的紧挨着的上方包含多孔质体42t。多孔质体42t包含：从中间金属层42的上表面到该金属层42的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔42u；以及从中间金属层42的下表面到该金属层42的大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔42d。
图9B示出形成在图9A的金属层42的有底孔42u、42d以及细孔42z。有底孔42u、42d排列成多个列状，在各列中有底孔42u、42d交替配置。有底孔42u虽然在与列方向(图9B的上下方向、即工作流体C从冷凝器13朝向蒸发器11的方向)垂直的方向(图9B的左右方向)上相邻，但是彼此分开配置。同样，有底孔42d虽然在与列方向垂直的方向相邻，但是彼此分开配置。有底孔42u、42d在列方向交替配置，并且在俯视时部分重叠。在该重叠部分中有底孔42u、42d彼此连通而形成细孔42z。各列优选沿着工作流体C流动的方向形成。在如上所述形成的多孔质体42t中，工作流体C经过在列方向交替排列的有底孔42u、42d以及在这些重叠部分中将有底孔42u、42d彼此连通的细孔42z，在列方向流过多孔质体42t。
如图10A所示，液管14B由金属层41～46的金属层叠体构成，包含一对壁部14w、多孔质体14s、42t、45t以及一对流路14r。
多孔质体14s形成在除了最上金属层41和最下金属层46的中间金属层42～45。在图10A所示的例子中，多孔质体14s包含分别形成在中间金属层42～45的多孔质体42s、43s、44s、45s。各流路14r包含形成在中间金属层43、44的贯通孔43X、44X。
流路14r被多孔质体14s(43s、44s)、42t、45t以及壁部14w(43w、44w)包围。换言之，各流路14r的上壁、下壁以及一个侧壁通过多孔质体42t、45t、14s(43s、44s)而被分别划定，各流路14r的另一个侧壁通过壁部14w而被划定。
中间金属层42包含贯通孔43X(流路14r)紧挨着的上方的两个多孔质体42t以及这两个多孔质体42t之间的多孔质体42s。多孔质体42s与多孔质体42t连通，并且与中间金属层43的多孔质体43s连通。多孔质体42s与多孔质体42t同样，包含在中间金属层42的上表面中凹陷的有底孔42u、在中间金属层42的下表面中凹陷的有底孔42d以及将有底孔42u、42d彼此连通的细孔42z。因此，在中间金属层42中，除了两端的壁部42w以外的部分，整体形成为多孔质体。另外，对于多孔质体42t和多孔质体42s，可以彼此区分，也可以不彼此区分。
中间金属层45包含贯通孔44X(流路14r)紧挨着的下方的两个多孔质体45t以及这两个多孔质体45t之间的多孔质体45s。多孔质体45s与多孔质体45t连通，并且与中间金属层44的多孔质体44s连通。多孔质体45s与多孔质体45t同样，包含在中间金属层45的上表面中凹陷的有底孔45u、在中间金属层45的下表面中凹陷的有底孔45d以及将有底孔45u、45d彼此连通的细孔45z。因此，在中间金属层45中，除了两端的壁部45w以外的部分，整体形成为多孔质体。另外，对于多孔质体45t和多孔质体45s，可以彼此区分，也可以不彼此区分。
在如上所述形成的液管14B中，由于与流路14r接触或者包围流路14r的多孔质体(14s(42s～45s)、42t、45t)的量多，因此能够使更多的工作流体C移动。而且，由于与流路14r接触或者包围流路14r的多孔质体(14s(42s～45s)、42t、45t)的量多，因此能够使工作流体C进一步分散，能够进一步减少液体滞留来进一步抑制热循环测试等中的液管14B的变形或损坏。
如图10B所示，液管14C由金属层41～46的金属层叠体构成，包含一对壁部14w、多孔质体14s、42t、44t以及四个流路14r。
多孔质体14s形成在除了最上金属层41和最下金属层46以外的中间金属层42～45。在图10B所示的例子中，多孔质体14s包含分别形成在中间金属层42～45的多孔质体42s、43s、44s、45s。各流路14r包含在厚度方向贯通中间金属层43的贯通孔43X或者在厚度方向贯通中间金属层45的贯通孔45X。
因此，中间金属层43中的各流路14r(贯通孔43X)被多孔质体14s(43s)、42t、44t以及壁部14w(43w)包围。换言之，中间金属层43的各流路14r的上壁、下壁以及一个侧壁通过多孔质体42t、44t、14s(43s)而被分别划定，该流路14r的另一个侧壁通过壁部14w(43w)而被划定。
另外，中间金属层45中的各流路14r(贯通孔45X)被多孔质体14s(45s)、44t、壁部14w(45w)以及最下金属层46的上表面包围。换言之，中间金属层45的各流路14r的上壁和一个侧壁通过多孔质体44t、14s(45s)而被分别划定，该流路14r的另一个侧壁通过壁部14w(45w)而被划定，该流路14r的下壁通过最下金属层46的上表面而被划定。
中间金属层42包含贯通孔43X(流路14r)紧挨着的上方的两个多孔质体42t以及这两个多孔质体42t之间的多孔质体42s。多孔质体42s与多孔质体42t连通，并且与中间金属层43的多孔质体43s连通。多孔质体42t与中间金属层43的贯通孔43X(流路14r)连通。在中间金属层42中，除了两端的壁部42w以外的部分全体形成为多孔质体。
中间金属层43包含在厚度方向贯通的两个贯通孔43X、位于这些贯通孔43X的外侧的两个壁部43w以及两个贯通孔43X间的多孔质体43s。各贯通孔43X穿过与该贯通孔43X相邻的多孔质体43s的侧面的部分，而与有底孔43u、43d中的至少一个连通。
中间金属层44包含贯通孔45X(流路14r)紧挨着的上方的两个多孔质体44t以及这两个多孔质体44t之间的多孔质体44s。多孔质体44s与多孔质体44t同样，包含在中间金属层44的上表面中凹陷的有底孔44u、在中间金属层44的下表面中凹陷的有底孔44d以及将有底孔44u、44d彼此连通的细孔44z。因此，在中间金属层44中，除了两端的壁部44w以外的部分，整体形成为多孔质体。
多孔质体44s与多孔质体44t连通，并且与中间金属层43、45的多孔质体43s、45s连通。多孔质体44t与中间金属层43的贯通孔43X(流路14r)和中间金属层45的贯通孔45X(流路14r)连通。例如，中间金属层44的有底孔44u与中间金属层43的贯通孔43X(流路14r)连通，中间金属层44的有底孔44d与中间金属层45的贯通孔45X(流路14r)连通。
中间金属层45包含在厚度方向贯通的两个贯通孔45X、位于这些贯通孔45X的外侧的两个壁部45w以及两个贯通孔45X间的多孔质体45s。各贯通孔45X穿过与该贯通孔45X相邻的多孔质体45s的侧面的部分，与有底孔45u、45d中的至少一个连通。
在如上所述形成的液管14C中，由于与流路14r接触或者包围流路14r的多孔质体(14s(42s～45s)、42t、44t)的量多，因此能够使更多的工作流体C移动。而且，由于与流路14r接触或者包围流路14r的多孔质体(14s(42s～45s)、42t、44t)的量多，因此能够使工作流体C进一步分散，能够减少液体滞留而进一步抑制热循环测试等中的液管14C的变形或损坏。
如图11A所示，液管14D由金属层41～46的金属层叠体构成，包含一对壁部14w、多孔质体14s、42t、43t、44t、45t以及两个流路14r。
多孔质体14s形成在除了最上金属层41和最下金属层46以外的中间金属层42～45。在图11A所示的例子中，多孔质体14s包含分别形成在中间金属层42～45的多孔质体42s、43s、44s、45s。各流路14r包含在厚度方向贯通中间金属层42、43的贯通孔42X、43X或者在厚度方向贯通中间金属层44、45的贯通孔44X、45X。贯通孔42X、43X形成于在俯视时不与贯通孔44X、45X重叠的位置。
中间金属层42、43在与中间金属层44、45的贯通孔44X、45X重叠的位置分别包含多孔质体42t、43t。中间金属层44、45在与中间金属层42、43的贯通孔42X、43X重叠的位置分别包含多孔质体44t、45t。中间金属层42～45在彼此重叠的位置分别包含多孔质体42s、43s、44s、45s。
中间金属层43的多孔质体43s与多孔质体43t同样，包含在中间金属层43的上表面中凹陷的有底孔43u、在中间金属层43的下表面中凹陷的有底孔43d以及将有底孔43u、43d彼此连通的细孔43z。
由贯通孔42X、43X构成的流路14r被多孔质体14s(42s、43s)、44t、壁部14w(42w、43w)以及最上金属层41的下表面包围。换言之，由贯通孔42X、43X构成的流路14r的下壁和一个侧壁，通过多孔质体44t、14s(42s、43s)而被分别划定，该流路14r的另一个侧壁通过壁部14w(42w、43w)而被划定，该流路14r的上壁通过最上金属层41的下表面而被划定。
另外，由贯通孔44X、45X构成的流路14r被多孔质体14s(44s、45s)、43t、壁部14w(44w、45w)以及最下金属层46的上表面包围。换言之，由贯通孔44X、45X构成的流路14r的上壁和一个侧壁，通过多孔质体43t、14s(44s、45s)而被分别划定，该流路14r的另一个侧壁通过壁部14w(44w、44w)而被划定，该流路14r的下壁通过最下金属层46的上表面而被划定。
在如上所述形成的液管14D中，由于与流路14r接触或者包围该流路14r的多孔质体(14s(42s～45s)、42t～45t)的量多，因此能够使更多的工作流体C移动。而且，由于与流路14r接触或者包围该流路14r的多孔质体(14s(42s～45s)、42t～45t)的量多，因此能够使工作流体C进一步分散，能够进一步减少液体滞留而进一步抑制热循环测试等中的液管14D的变形或损坏。
如图11B所示，液管14E由金属层41～46的金属层叠体构成，包含一对壁部14w、多孔质体14s、42t、45t以及两个流路14r。液管14E与图9A所示的液管14A的结构不同点在于，在金属层42、45形成有多孔质体42s、45s。
即，多孔质体14s包含分别形成在除了最上金属层41和最下金属层46以外的中间金属层42～45的多孔质体42s、43s、44s、45s。
各流路14r包含中间金属层43、44的贯通孔43X、44X。各流路14r被多孔质体14s(43s、44s)、42t、45t以及壁部14w(43w、44w)包围。换言之，各流路14r的上壁、下壁以及一个侧壁通过多孔质体42t、45t、14s(43s、44s)而被分别划定，各流路14r的另一个侧壁通过壁部14w(43w、44w)而被划定。
中间金属层42包含贯通孔43X(流路14r)紧挨着的上方的两个多孔质体42t以及这两个多孔质体42t之间的多孔质体42s。在多孔质体42t中，有底孔42u、42d与图9B同样排列为多个列状，在各列中有底孔42u、42d交替地配置。各列优选沿着工作流体C流动的方向形成。
中间金属层43包含两个贯通孔43X以及这两个贯通孔43X之间的多孔质体43s。中间金属层44包含两个贯通孔44X以及这两个贯通孔44X之间的多孔质体44s。
中间金属层45包含贯通孔44X(流路14r)紧挨着的下方的两个多孔质体45t以及这两个多孔质体45t之间的多孔质体45s。在多孔质体45t中，有底孔45u、45d与图9B同样排列为多个列状，在各列中有底孔45u、45d交替地配置。各列优选沿着工作流体C流动的方向形成。
在如上所述形成的液管14E中，由于与流路14r接触或者包围该流路14r的多孔质体(14s(42s～44s)、42t、45t)的量多，因此能够使更多的工作流体C移动。而且，由于与流路14r接触或者包围该流路14r的多孔质体(14s(42s～44s)、42t、45t)的量多，因此能够使工作流体C进一步分散，能够减少液体滞留而进一步抑制热循环测试等中的液管14E的变形或损坏。并且，在流路14r紧挨着的上方的多孔质体42t中有底孔42u、42d配置成列状，在流路14r紧挨着的下方的多孔质体45t中有底孔45u、45d配置成列状，因此能够使工作流体C沿着各流路14r更顺利地移动。
如图12A所示，液管14F由金属层41～46的金属层叠体构成，包含一对壁部14w、多孔质体14s、42t、45t以及一对流路14r。
多孔质体14s形成在除了最上金属层41和最下金属层46以外的中间金属层42～45。在图12A所示的例子中，多孔质体14s包含分别形成在中间金属层42～45的多孔质体42s、43s、44s、45s。各流路14r包含形成在中间金属层43、44的贯通孔43X、44X。
各流路14r被多孔质体14s(43s、44s)、42t、45t以及壁部14w(43w、44w)包围。换言之，各流路14r的上壁、下壁以及一个侧壁通过多孔质体42t、45t、14s(43s、44s)而被分别划定，各流路14r的另一个侧壁通过壁部14w(43w、44w)而被划定。
中间金属层42包含贯通孔43X(流路14r)紧挨着的上方的两个多孔质体42t以及这两个多孔质体42t之间的多孔质体42s。中间金属层43包含两个贯通孔43X以及这两个贯通孔43X之间的多孔质体43s。中间金属层44包含两个贯通孔44X以及这两个贯通孔44X之间的多孔质体44s。中间金属层45包含贯通孔44X(流路14r)紧挨着的下方的两个多孔质体45t以及这两个多孔质体45t之间的多孔质体45s。
多孔质体42s的有底孔42d与多孔质体43s的有底孔43u配置在俯视时重叠的位置。此时，由于能够增大彼此层叠的中间金属层42、43的接触面积，因此能够在中间金属层42、43之间实现强固的接合。
另外，多孔质体43s的有底孔43d与多孔质体44s的有底孔44u配置在俯视时部分重叠的位置。并且，在该重叠部分中，有底孔43d、44u彼此连通而形成细孔47z。如上所述，金属层42～45包含细孔42z～45z，并且在与被层叠的两个金属层(例如，金属层43、44)的界面形成有细孔47z。由此，能够使细孔的总数增加，能够提高由细孔产生的毛细管力。
在如上所述形成的液管14F中，由于与流路14r接触或者包围该流路14r的多孔质体(14s(42s～45s)、42t、45t)的量多，因此能够使更多的工作流体C移动。而且，由于与流路14r接触或者包围该流路14r的多孔质体(14s(42s～45s)、42t、45t)的量多，因此能够使工作流体C进一步分散，能够减少液体滞留而进一步抑制热循环测试等中的液管14F的变形或损坏。
另外，中间金属层42～45的层叠构造不限定于图12A所示的构造。只要以上侧的有底孔与下侧的有底孔在中间金属层42～45间的各界面或者一些界面重叠的方式层叠中间金属层42～45即可。或者，只要以在中间金属层42～45间的各界面或者一些界面形成细孔的方式层叠中间金属层42～45即可。
如图12B所示，液管14G由金属层41～46的金属层叠体构成。该液管14G的中间金属层42～45与图12A所示的液管14F的中间金属层42～45同样形成。
最上金属层41包含从该金属层41的下表面到大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔41d。有底孔41d配置在俯视时与相邻于最上金属层41的中间金属层42的有底孔42u部分重叠的位置。因此，在最上金属层41与中间金属层42之间的界面上，有底孔41d、42u彼此连通而形成细孔48z。
最下金属层46包含从该金属层46的上表面到大致中央为止在厚度方向凹陷的有底孔46u。有底孔46u配置在俯视时与相邻于最下金属层46的中间金属层45的有底孔45d部分重叠的位置。因此，在最下金属层46与中间金属层45之间的界面上，有底孔46u、45d彼此连通而形成细孔49z。
如上所述，在液管14G中，在最上金属层41和最下金属层46分别形成有底孔41d、46u，从而能够增大多孔质体的量而使更多的工作流体C移动。另外，由于多孔质体的量多，因此能够进一步使工作流体C分散，能够进一步减少液体滞留而进一步抑制热循环测试等中的液管14G的变形或损坏。
如图13所示，液管14H弯曲形成。液管14H的中间金属层42包含有底孔42u、42d。有底孔42u、42d沿着弯曲的液管14H交替地排列，并且彼此部分重叠而形成细孔42z。由此，能够使工作流体C沿着弯曲的液管14H顺利地移动。例如，工作流体C在液管14H以直角弯曲的部分(例如，图1所示的环形热管1的右上的弯曲部分)也能够容易流动。另外，虽然省略图示，但是形成在中间金属层43～45的多孔质体和流路也同样，能够沿着弯曲的液管14H形成。
接着，示出能够对上述实施方式和上述各变形例应用的其他变形例。
图14A示出能够代替各金属层42～45应用的、包含变形例的多孔质构造的金属层100。该金属层100包含有底孔100u、100d。有底孔100u形成在金属层100的上表面，有底孔100d形成在金属层100的下表面。有底孔100u、100d配置成多个列状。有底孔100u、100d在各列中交替地配置。另外，有底孔100u、100d在与列方向垂直的方向(图14A的左右方向)上交替地配置。
图14B示出能够代替各金属层42～45应用的、包含另一变形例的多孔质构造的金属层110。该金属层110包含大小不同的有底孔110u、110d。在图14B的例子中，有底孔110u比有底孔110d大。其中，有底孔110d也可以比有底孔110u大。另外，也可以将这种具有不同大小的有底孔110u、110d应用到在两个金属层间相邻的有底孔。另外，也可以适当变更有底孔110u、110d的排列。
图15A和15B示出能够代替各金属层42～45应用的、包含另一变形例的多孔质构造的金属层120。金属层120包含有底孔120u、120d和槽121u、121d。图15B示出图15A的b-b线剖视图。
有底孔120u从金属层120的上表面到大致中央为止在厚度方向凹陷，有底孔120d从金属层120的下表面到大致中央为止在厚度方向凹陷。有底孔120u、120d排列成多个列状，并且在各列中交替地配置。在列方向(图15A的上下方向)上交替地配置的有底孔120u、120d彼此部分重叠。有底孔120u、120d在该重叠部分中彼此连通而形成细孔120z。另外，有底孔120u、120d在与列方向垂直的方向(图15A的左右方向)上交替地配置。
槽121u形成在金属层120的上表面，各槽121u连通邻近的两个有底孔120u。槽121d形成在金属层120的下表面，各槽121d连通邻近的两个有底孔120d。
在列方向(图15A的上下方向)交替地形成的有底孔120u、120d，使工作流体C向该列方向移动。并且，金属层120的上表面中的槽121u使工作流体C在通过该槽121u连通的两个有底孔120u间移动。同样，金属层120的下表面中的槽121d使工作流体C在通过该槽121d连通的两个有底孔120d间移动。如上所述，槽121u(121d)使工作流体C向有底孔120u(120d)与有底孔120u(120d)交替地排列的方向以外的方向移动。
另外，这种槽121u(121d)形成在上述实施方式和各变形例中的各金属层42～45，或者图12B所示的变形例中的最上金属层41与最下金属层46中的至少一个。
也可以适当变更上述实施方式和各变形例所示的有底孔的形状。例如，各有底孔的内壁不限定于锥形状，也可以是对各有底孔的底面垂直。另外，各有底孔(例如，图2等所示的有底孔43u、43d)的内表面也可以是弯曲面。即，各有底孔也可以是弯曲凹形状。例如，如图16A所示，各有底孔131u、131d具有俯视时大致半圆形状或俯视时大致半椭圆形状。这种有底孔131u、131d也能够彼此连通而形成细孔131z。另外，图16B示出另一有底孔132u、132d。如图16B所示，各有底孔132u、132d的内壁与底面也可以以圆弧状连续，这种有底孔132u、132d也能够彼此连通而形成细孔132z。
在上述实施方式和各变形例中，上侧的有底孔的深度与下侧的有底孔的深度也可以不同。另外，图16A和图16B所示的上侧的有底孔131u、132u的深度与下侧的有底孔131d、132d的深度也可以不同。
也能够适当组合上述实施方式和各变形例的部分或全部来实施。
附图标记说明
10 环形热管
11 蒸发器
12 蒸汽管
13 冷凝器
14、14A～14H 液管
14s 多孔质体
14r 流路
14w 壁部
41～46 金属层
42X～45X 贯通孔
42s～45s 多孔质体
42t～45t 多孔质体
42u～46u 有底孔
41d～45d 有底孔
42z～45z 细孔
47z～49z 细孔

Claims (9)

1.一种环形热管，具备：
蒸发器，使工作流体气化；
冷凝器，对通过所述蒸发器气化的所述工作流体进行液化；
液管，将所述冷凝器连接到所述蒸发器，具有使通过所述冷凝器液化的所述工作流体流向所述蒸发器的流路；以及
蒸汽管，将所述蒸发器连接到所述冷凝器，使通过所述蒸发器气化的所述工作流体流向所述冷凝器，
所述液管由多个金属层层叠而构成，多个金属层包含：第1金属层，该第1金属层包含在厚度方向贯通的第1贯通孔：以及第2金属层，该第2金属层覆盖所述第1贯通孔，
所述流路至少由所述第1贯通孔形成，具有划定所述流路的4个壁，
4个所述壁包括上壁、下壁及彼此相对且将所述上壁和所述下壁连结的2个侧壁，
所述液管还包含形成所述流路的所述上壁、所述下壁及2个所述侧壁中的至少两个壁的多个多孔质体，
所述多个多孔质体包含：
第1多孔质体，形成在所述第1金属层，与所述第1贯通孔相邻；以及
第2多孔质体，形成在所述第2金属层，至少覆盖所述第1贯通孔。
2.根据权利要求1所述的环形热管，其中，
所述第1多孔质体包含：
第1有底孔，在所述第1金属层的上表面中凹陷；
第2有底孔，在所述第1金属层的下表面中凹陷；以及
细孔，由所述第1有底孔与所述第2有底孔部分地连通而成。
3.根据权利要求1所述的环形热管，其中，
所述多个金属层还包含第3金属层，该第3金属层位于所述第2金属层的相反侧并覆盖所述第1贯通孔，
所述多个多孔质体还包含第3多孔质体，该第3多孔质体形成在所述第3金属层，至少覆盖所述第1贯通孔。
4.根据权利要求3所述的环形热管，其中，
所述多个金属层还包含：
第1最外金属层，层叠在所述第2金属层；以及
第2最外金属层，层叠在所述第3金属层。
5.根据权利要求3所述的环形热管，其中，
所述多个金属层在所述第1金属层与所述第2金属层之间还包含第4金属层，该第4金属层包含在与所述第1贯通孔重叠的位置处在厚度方向贯通的第2贯通孔，
所述流路包含所述第1贯通孔和所述第2贯通孔，
所述多个多孔质体还包含第4多孔质体，该第4多孔质体形成在所述第4金属层，与所述第2贯通孔相邻。
6.根据权利要求3所述的环形热管，其中，
所述多个金属层还包含：
第5金属层，层叠在所述第3金属层，包含在与所述第1贯通孔重叠的位置处在厚度方向贯通的第3贯通孔；以及
最外金属层，层叠在所述第5金属层，覆盖所述第3贯通孔，
所述流路包含第1流路和第2流路，所述第1流路包含所述第1贯通孔，所述第2流路包含所述第3贯通孔，
所述多个多孔质体还包含第5多孔质体，该第5多孔质体形成在所述第5金属层，与所述第3贯通孔相邻，
形成在所述第3金属层的所述第3多孔质体至少覆盖所述第1贯通孔和第3贯通孔。
7.根据权利要求1所述的环形热管，其中，
所述多个金属层在所述第1金属层与所述第2金属层之间还包含第6金属层，该第6金属层包含在不与所述第1贯通孔重叠的位置处在厚度方向贯通的第4贯通孔，
所述流路包含第1流路和第3流路，所述第1流路包含所述第1贯通孔，所述第3流路包含所述第4贯通孔，
所述多个多孔质体还包含第6多孔质体，该第6多孔质体形成在所述第6金属层，与所述第4贯通孔相邻。
8.根据权利要求4所述的环形热管，其中，
所述第1最外金属层包含第3有底孔，该第3有底孔在所述第1最外金属层的与所述第2金属层相邻的面中凹陷，
所述第2最外金属层包含第4有底孔，该第4有底孔在所述第2最外金属层的与所述第3金属层相邻的面中凹陷。
9.一种环形热管，具备金属层叠体，该金属层叠体包括一对最外金属层和位于一对最外金属层之间的多个中间金属层，
所述金属层叠体包含蒸发器、蒸汽管、冷凝器以及液管，蒸发器、蒸汽管、冷凝器以及液管连接成环状，
所述液管包含：
一个或多个流路，各流路沿着所述液管从所述冷凝器延伸到所述蒸发器而作为单一连通孔形成，并且在厚度方向贯通所述多个中间金属层的至少一个，各流路具有划定该流路的4个壁，4个所述壁包括上壁、下壁及彼此相对且将所述上壁和所述下壁连结的2个侧壁；以及
多个多孔质体，形成在所述多个中间金属层的至少两个，以形成各流路的所述上壁、所述下壁及2个所述侧壁中的至少两个壁的方式配置，
所述多个中间金属层包含：第1金属层，该第1金属层包含在厚度方向贯通的第1贯通孔；以及第2金属层，该第2金属层覆盖所述第1贯通孔，
所述多个多孔质体包含：
第1多孔质体，形成在所述第1金属层，与所述第1贯通孔相邻；以及
第2多孔质体，形成在所述第2金属层，至少覆盖所述第1贯通孔。
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