CN109998544A - 超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法 - Google Patents

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Abstract

一种超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，该方法包括如下步骤：提供支撑板，在支撑板上设置垫片胚层；在垫片胚层上制作阵列布设的电极片及导线，每一电极片与一导线相连；在导线上形成保护层，使保护层覆盖于导线上；提供柔性基板，将垫片胚层与支撑板剥离，然后将垫片胚板转移至柔性基底上，并使电极片及导线位于垫片胚层远离柔性基底的一侧；去除电极片区域及保护层区域外的垫片胚层，使垫片胚层在电极片区域下形成第一垫片层，以及在保护层区域下形成第二垫片层。该制备方法得到的超薄柔性阵列式表面肌电电极具备很好的延展性，可测得表皮小区域、大曲率、大变形位置的肌电信号。

Description

超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法
技术领域
本发明涉及人体肌电信号采集设备制造领域，尤其是一种超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法。
背景技术
肌电信号(Electromyography，简称EMG)是人体神经肌肉活动时产生的生物电信号，它能反映肌肉的功能状态。因此，肌电信号中的特征信息的提取和分析，在神经肌肉疾病检测、肢体运动识别控制等领域有重要应用。
传统的肌电信号采集电极分为两种，一种是针电极，另一种是表面电极。针电极刺入皮肤，可以采集到单个运动单元的肌电信号，但是针电极刺入皮肤，会给待测者带来疼痛感，并且需专业的医护人员进行操作，测量的准确性还依赖于进针的深浅等操作手法。而表面电极贴于皮肤表面，对表皮无损伤，测量方便，然而，传统的表面电极测量区域大，测得的是被测皮下整块肌肉的肌电信号，不能细致反映肌肉内某一运动单元的肌电信号，同时，随着对肌肉疾病诊断和分析的深入，研究上需要更为丰富肌肉活动信息，如肌电信号的空间分布信息，为此有必要在一块肌纤维区域内设置多个表面电极进行信号采集，用以测量一块肌纤维区域内多个运动单元的肌电信号，这对于肌肉疾病的检测和诊断等领域具有重要意义。但是，传统阵列式表面电极设置于基板上，由于单电极占用面积大，阵列排布后接线复杂，并导致电极整体面积大，，无法测量体表狭小或曲率大的区域的肌电信号。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，该制备方法得到的超薄柔性阵列式表面肌电电极具备很好的延展性，可测得表皮小区域、大曲率、大变形位置的肌电信号。
本发明提供了一种超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，该方法包括如下步骤：
提供支撑板，在所述支撑板上设置垫片胚层；
在垫片胚层上制作阵列布设的电极片及导线，每一电极片与一导线相连；
在导线上形成保护层，使所述保护层覆盖于所述导线上；
提供柔性基板，将所述垫片胚层与所述支撑板剥离，然后将所述垫片胚板转移至所述柔性基底上，并使所述电极片及所述导线位于所述垫片胚层远离柔性基底的一侧；
去除所述电极片区域及所述保护层区域外的所述垫片胚层，使所述垫片胚层在所述电极片区域下形成第一垫片层，以及在所述保护层区域下形成第二垫片层。
进一步地，在所述支撑板上设置所述垫片胚层该方法包括，在所述支撑板上形成牺牲层，以及在所述牺牲层上形成垫片胚层。
进一步地，在去除所述电极片区域及所述保护层区域外的所述垫片胚层后，该方法还包括，在所述柔性基板上固定无线传输单元，每一所述电极片均通过一导线与无线传输单元相连，并在所述无线传输单元外形成保护层。
进一步地，在去除所述电极片区域及所述保护层区域外的所述垫片胚层前，该方法还包括在所述电极片及所述导线的保护层外覆盖一防护膜，在去除所述电极片区域及所述保护层区域外的所述垫片胚层后，再将所述防护膜去除。
进一步地，所述防护膜为钛金属层。
进一步地，在形成保护膜时，该方法包括如下步骤：
在垫片胚层的整层上覆盖所述保护膜；
去除所述电极片区域及所述保护层区域外的防护膜。
进一步地，所述导线呈蜿蜒状延伸。
进一步地，所述电极片由呈蜿蜒状布设的电极丝组成。
进一步地，所述电极丝包括沿第一方向蜿蜒延伸的第一电极丝及沿第二方向蜿蜒延伸的第二电极丝，所述电极片由所述第一电极丝及所述第二电极丝交叉布设而成。
进一步地，所述柔性基底的厚度为50μm-300μm，所述第一垫片及所述第二垫片的厚度为3μm-50μm，所述电极片及所述导线的厚度为85nm-320nm，所述导线的保护层的厚度为3μm-50μm。整个柔性肌电电极厚度为50μm-500μm。
在本发明中，通过上述微加工的制备方法制得的超薄柔性阵列式表面肌电电极，电极片不再通过传统贴附的方法形成于柔性基底上，而是通过微加工设计来制备整个柔性电极，这样，较多的微小的电极片能够阵列布设于柔性基地上，且各电极片的布设以及导线的排布不会再相互干扰，进一步地，由于柔性基底上的电极片是由多个微小的电极片阵列布设而成，因此，其不仅能够更加灵敏地采集肌电信号，还能够极大地减少肌电电极的厚度，具有较好的延展性，可以较好地贴合表皮，以便更好地对表皮小区域、大曲率、大变形位置的肌电信号进行采集；进一步地，通过一体成型的方法，在电极片内部形成蜿蜒状结构，并将导线设置成蜿蜒状延伸，可以大幅提高肌电电极整体的可延展性；进一步地，电极的阵列式排布设计，使得可以一次性采集到表皮任意部位肌肉的肌电信号空间分布信息；进一步地，通过无线传输单元的设置，肌电信号能够通过无线传输单元进行传输，使该肌电电极能够适应于运动状态等传统电极无法适用的场合，真正实现了可穿戴的功能。
上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。
附图说明
图1至图8所示为本发明提供的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法的各步骤的结构示意图。
图9为本发明提供的制备方法制得的超薄柔性阵列式表面肌电电极的主视结构示意图。
图10为图9超薄柔性阵列式表面肌电电极的表面电极的放大结构示意图。
具体实施方式
为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，详细说明如下。
本发明提供了一种超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，该制备方法得到的超薄柔性阵列式表面肌电电极具备很好的延展性，可测得表皮小区域、大曲率、大变形位置的肌电信号。
图1至图8所示为本发明提供的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法的各步骤的结构示意图，图9为本发明提供的制备方法制得的超薄柔性阵列式表面肌电电极的主视结构示意图，图10为图9超薄柔性阵列式表面肌电电极的表面电极的放大结构示意图。如图1至图10所示，本发明提供的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法包括如下步骤：
S1：提供一支撑板11，在支撑板11上设置垫片胚层20。(见图1)
在支撑板11上设置垫片胚层20时，为了便于后续步骤中垫片胚层20与支撑板11的脱离，在支撑板11与垫片胚层20之间还可以设置牺牲层12。
在该步骤中，支撑板11可以为硅片或玻璃片材质的支撑板11。牺牲层12可以为甲基丙烯酸甲酯(Polymethyl methacrylate，简称PMMA)或光刻胶等材质的牺牲层12；垫片胚层20可以为聚酰亚胺(Polyimide，简称PI)材质的垫片胚层20。
先把支撑板11用有机溶液进行清洗，如先后使用丙酮溶液及乙醇溶液分别在70摄氏度的水浴中进行10min的离子水冲洗。
然后在支撑板11上涂上牺牲层12材料，如PMMA，并使用匀胶机将PMMA甩匀，最后对牺牲层12材料进行固化，以在支撑板11上形成牺牲层12。
更为具体地，在通过匀胶机进行甩匀工艺时，匀胶机的转速参数为先进行30s的300r/s-1000r/s的旋转，然后再进行30s的3000r/s-5000r/s的旋转。在固化阶段的温度参数为：加热至110℃-115℃保温5min-10min，继续加热至150℃-155℃保温5min-8min，继续加热至180℃-190保温10min-15min后，自然冷却50min-60min至室温，以降低牺牲层12内的应力。
在形成牺牲层12后，在牺牲层12上旋涂垫片胚层20的材料，如聚酰亚胺材料，同样使用匀胶机将垫片胚层20材料甩匀，最后对垫片胚层20的材料进行固化，以在牺牲层12上形成垫片胚层20。在通过匀胶机进行甩匀工艺时，匀胶机的转速参数为先进行30s的300r/s-1000r/s的旋转，然后再进行30s的3000r/s-5000r/s的旋转，在固化阶段的温度参数为：加热至80℃-90℃保温10min-15min，继续加热至120℃-130℃保温30min-35min，继续加热至150℃-160℃保温30min-35min，继续加热至200℃-210℃保温30min-35min，继续加热至250℃-260℃保温30min-40min。并且，自然冷却40min-60min以降低垫片胚层20内的应力。所述垫片胚层20的厚度为3μm-50μm。
在本实施例中，牺牲层12及垫片胚层20分别是直接形成于支撑板11及牺牲层12上的，可以理解地，在其它实施例中，牺牲层12及垫片胚层20可以通过贴附的工艺依次固定于支撑板11上。
S2：在垫片胚层20上制作阵列布设的电极片31及导线32，每一电极片31均与一导线32相连。(见图2，为了便于观看，图2中仅示出了与电极片31相连处的部分导线32)
在该步骤中，可以使用电子束蒸发设备采用蒸镀的方式在垫片胚层20上形成一个导电胚层(图未示)；提供一预先制备的第一掩膜板，使用光刻显影的方式，将第一掩膜板上的图形转移到光刻胶上，然后再通过湿法蚀刻工艺对导电胚层进行刻蚀，去掉电极片31区域及导线32区域外的导电胚层，以在垫片胚层20上一体形成电极片31及导线32。
进一步地，在本实施例中，如图9所示，在垫片胚层20上形成有阵列布设的多个电极片31，每一电极片31均与一导线32相连。由于电极片31及导线32是直接在垫片胚层20上形成的，这样能够在形成时就对电极片31及导线32的位置进行较好地设计与排布，提高电极片31的密度，防止多个电极片31及导线32在布设时的相互干扰。
在本实施例中，导线32呈蜿蜒状延伸(见图9)。电极片31由一条或多条呈蜿蜒状布设的电极丝33组成。如图10所示，在本实施例中，电极丝33包括内包括沿第一方向蜿蜒延伸的第一电极丝331，以及沿第二方向蜿蜒延伸的第二电极丝332，第一电极丝331及第二电极丝332相互交叉设置，以形成电极片31。在本实施例中，导线32的宽度可以为100μm-300μm，电极丝33的宽度可以为10μm-30μm。
进一步地，电极片31及导线32均包括第一金属层(图未示)及第二金属层(图未示)，第一金属层形成于垫片胚层20上，第二金属层形成于第一金属层上，第一金属层可以为铬金属层，以增加第二金属层与垫片胚层20之间的附着力，第二金属层可以为金金属层，以增加电极片31及导线32的导电性能。第一金属层的厚度可以为5nm-20nm，第二金属层的厚度可以为80nm-300nm，也即电极片31及导线的厚度可以为85nm-320nm。
S3：在导线32上形成保护层34，使所述保护层34覆盖于所述导线上。(见图3)
在该步骤中，可以通过预先制备的第二掩膜板，利用光刻显影将第二掩膜板上的图形复制到导线32上，并通过加热固化以形成保护层34。也即在此步骤后，仅在导线32上形成保护层34，电极片31裸露于外。
进一步地，在加热固化时，可以先加热至80℃保温10min，继续加热至120℃-130℃保温30min-40min，继续加热至150℃-160℃保温30min-40min，继续加热至200℃-220℃保温30min-40min，继续加热至250℃-260℃保温30min-40min，通过阶梯型的温度加热曲线，能够更好地消除保护层34内的应力，以增加其可延展性。所述导线32上的保护层34的厚度为3μm-50μm。
S4：提供一柔性基底40，将垫片胚层20与支撑板11剥离，然后将垫片胚板20转移至柔性基底40上，并使电极片31及导线32位于垫片胚层20远离柔性基底40的一侧。(如图5)
柔性基底40可以为敷料、聚酰亚胺膜、聚二甲基硅氧烷(polydimethylsiloxane，简称PDMS)或水凝胶等材质的柔性基底40，其厚度可以为50μm-300μm。
在将垫片胚层20与支撑板11剥离时，可以通过物理方式直接将垫片胚层20从支撑板11上撕下，在其它实施例中，也可以通过化学方法去除牺牲层12，以实现二者的分离。
在将垫片胚层20转移至柔性基底40上时，可以将垫片胚层20粘贴于柔性基底40上，以完成二者的固定。
S5：去除电极片31区域及保护层34区域外的垫片胚层20，以使垫片胚层20在电极片31区域下形成第一垫片层21，以及在导线32区域下形成第二垫片层22。(如图6)
在该步骤中，可以通过反应性离子刻蚀(RIE)的方法，对电极片31区域及保护层34区域外的垫片胚层20进行蚀刻，以去掉多余的垫片胚层20。其条件为氧气15sccm-30sccm，射频100W-150W，气压10Pa-30Pa。也即在此步骤后，第一垫片层21夹设于电极片31与柔性基底40之间，第二垫片层22夹设于导线32与柔性基底40之间。第一垫片层21的形状与电极片31的形状相同，也即第一垫片层21具有与电极片31内电极丝33同样的蜿蜒状布设的细微结构。第二垫片层22与导线32及保护层34的形状相同，其同样呈蜿蜒状延伸。
在本实施例中，第一垫片层21及第二垫片层22的厚度为3μm-50μm。
更为具体地，在去除电极片31区域及保护层34区域外的垫片胚层20时，为了保护电极片31及保护层34不受损害，在本实施例中，需要先在电极片31及导线32上的保护层34外覆盖一防护膜50，如钛金属膜，然后在对垫片胚层20多余的区域去除完毕后，将该防护膜50去掉。
其具体步骤如下所示：
首先在垫片胚层20的整层上覆盖防护膜50，也即，最初的保护膜50不仅覆盖了电极片31及导线32，同样也覆盖了垫片胚层20上的其它区域，其中防护膜50的厚度可以为50nm-150nm；
然后去除电极片31区域及保护层34区域外的防护膜50，使防护膜50仅覆盖于电极片31及保护层34上(如图4)。
当将多余的垫片胚层20去除完毕后，再将防护膜50去掉(如图7)。
在去掉防护膜50的步骤中，可以使用氢氟酸(HF)缓冲液将防护膜50去掉。
需要解释的是，在本实施例中，可以在垫片胚层20仍然位于支撑板11上时，在电极片31及保护层34形成防护膜50(如图4)，在形成防护膜50后，再将垫片胚层20转移到柔性基底40上(如图5)，以便在转移时增加对垫片胚层20的保护，然后再对垫片胚层20进行处理。在另一实施例中，也可以在将垫片胚层20转移至柔性基底40的步骤后，再在电极片31及保护层34上形成防护膜50。
S6：在柔性基底40上固定无线传输单元60，每一电极片31均通过一导线32与无线传输单元60相连，并在无线传输单元60外形成保护层34，(如图8)。
也即，在本实施例中，每一电极片31均通过一导线32与无线传输单元60相连，电极片31采集的肌电信号可以通过无线传输单元60传递出去，以便于该肌电电极能够真正实现可穿戴的功能。
在本实施例中，通过上述制备方法制得的超薄柔性阵列式表面肌电电极的总厚度可以为50μm-500μm。
在本发明中，通过上述微加工的制备方法制得的超薄柔性阵列式表面肌电电极，电极片不再通过传统贴附的方法形成于柔性基底上，而是通过微加工设计来制备整个柔性电极，这样，较多的微小的电极片能够阵列布设于柔性基地上，且各电极片的布设以及导线的排布不会再相互干扰，进一步地，由于柔性基底上的电极片是由多个微小的电极片阵列布设而成，因此，其不仅能够更加灵敏地采集肌电信号，还能够极大地减少肌电电极的厚度，具有较好的延展性，可以较好地贴合表皮，以便更好地对表皮小区域、大曲率、大变形位置的肌电信号进行采集；进一步地，通过一体成型的方法，在电极片内部形成蜿蜒状结构，并将导线设置成蜿蜒状延伸，可以大幅提高电极整体的可延展性；进一步地，电极的阵列式排布设计，使得可以一次性采集到表皮任意部位肌肉的肌电信号空间分布信息；进一步地，通过无线传输单元的设置，肌电信号能够通过无线传输单元进行传输，使该肌电电极能够适应于运动状态等传统电极无法适用的场合，真正实现了可穿戴的功能。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：该方法包括如下步骤：
提供支撑板，在所述支撑板上设置垫片胚层；
在垫片胚层上制作阵列布设的电极片及导线，每一电极片与一导线相连；
在导线上形成保护层，使所述保护层覆盖于所述导线上；
提供柔性基板，将所述垫片胚层与所述支撑板剥离，然后将所述垫片胚板转移至所述柔性基底上，并使所述电极片及所述导线位于所述垫片胚层远离柔性基底的一侧；
去除所述电极片区域及所述保护层区域外的所述垫片胚层，使所述垫片胚层在所述电极片区域下形成第一垫片层，以及在所述保护层区域下形成第二垫片层。
2.如权利要求1所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：在所述支撑板上设置所述垫片胚层该方法包括，在所述支撑板上形成牺牲层，以及在所述牺牲层上形成垫片胚层。
3.如权利要求1所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：在去除所述电极片区域及所述保护层区域外的所述垫片胚层后，该方法还包括，在所述柔性基板上固定无线传输单元，每一所述电极片均通过一导线与无线传输单元相连，并在所述无线传输单元外形成保护层。
4.如权利要求1所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：在去除所述电极片区域及所述保护层区域外的所述垫片胚层前，该方法还包括在所述电极片及所述导线的保护层外覆盖一防护膜，在去除所述电极片区域及所述保护层区域外的所述垫片胚层后，再将所述防护膜去除。
5.如权利要求4所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：所述防护膜为钛金属层。
6.如权利要求4所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：在形成保护膜时，该方法包括如下步骤：
在垫片胚层的整层上覆盖所述保护膜；
去除所述电极片区域及所述保护层区域外的防护膜。
7.如权利要求1所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：所述导线呈蜿蜒状延伸。
8.如权利要求1所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：所述电极片由呈蜿蜒状布设的电极丝组成。
9.如权利要求8所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：所述电极丝包括沿第一方向蜿蜒延伸的第一电极丝及沿第二方向蜿蜒延伸的第二电极丝，所述电极片由所述第一电极丝及所述第二电极丝交叉布设而成。
10.如权利要求1所述的超薄柔性阵列式表面肌电电极的制备方法，其特征在于：所述柔性基底的厚度为50μm-300μm，所述第一垫片层及所述第二垫片层的厚度为3μm-50μm，所述电极片及所述导线的厚度为85nm-320nm，所述导线的保护层的厚度为3μm-50μm，整个柔性肌电电极厚度为50μm-500μm。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108553102A (zh) * 2018-03-14 2018-09-21 浙江大学 一种柔性可拉伸多通道凸形表面肌电极及其制备方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108553102A (zh) * 2018-03-14 2018-09-21 浙江大学 一种柔性可拉伸多通道凸形表面肌电极及其制备方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111419207A (zh) * 2020-03-12 2020-07-17 中山大学 一种心脏检测装置及其制作方法

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