CN109928347A - 一种foup开启器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种FOUP开启器，包括横板，所述横板的侧壁上开设有两个放置槽，每个所述放置槽内均设有握把，且每个握把均延伸至横板的外侧，每个所述握把内均开设于凹槽，每个所述凹槽内均转动连接有钥匙，每个所述握把内均还开设有控制槽，每个所述控制槽内均设有控制装置，且每个控制装置均相对应的钥匙相互匹配，所述横板内对称开设有两个线槽，每个所述握把的侧壁上均固定连接有连接块，且两个连接块相对设置，每个所述线槽内均设有绕线装置，每个所述绕线装置均通过连接线与连接块连接。优点在于：本发明，用来开启FOUP的钥匙相互连接在一起，不会轻易的脱离而丢失，在使用的时候，操作的人员可以更加方便的对钥匙进行操作使用。

Description

一种FOUP开启器

技术领域

本发明涉及半导体行业wafer加工技术领域，尤其涉及一种FOUP 开启器。

背景技术

前开式晶圆传送盒FOUP。这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆，而其主要的组成元件为一个能容纳25片晶圆的前开式容器并有一个前开式的门框专司容器的开闭，是一种专属于12吋(300mm)晶圆厂内的自动化传送系统重要的传载容器。

FOUP在使用的时候需要开启器对其进行打开与关闭，由于开启器提及较小，在使用时不能方便的进行使用，而且容易造成丢失，使得FOUP不能进行打开与关闭。

为此，我们提出一种FOUP开启器。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中FOUP在使用的时候需要开启器对其进行打开与关闭，由于开启器提及较小，在使用时不能方便的进行使用，而且容易造成丢失，使得FOUP不能进行打开与关闭问题，而提出的一种FOUP开启器。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种FOUP开启器，包括横板，所述横板的侧壁上开设有两个放置槽，每个所述放置槽内均设有握把，且每个握把均延伸至横板的外侧，每个所述握把内均开设于凹槽，每个所述凹槽内均转动连接有钥匙，每个所述握把内均还开设有控制槽，每个所述控制槽内均设有控制装置，且每个控制装置均相对应的钥匙相互匹配，所述横板内对称开设有两个线槽，每个所述握把的侧壁上均固定连接有连接块，且两个连接块相对设置，每个所述线槽内均设有绕线装置，每个所述绕线装置均通过连接线与连接块连接。

在上述的一种FOUP开启器中，每个所述控制装置包括控制槽内设置的压板，每个所述控制槽均通过连接槽与相对应的凹槽连通，每个所述连接槽内均转动连接有连接有连接杆，且压板固定在连接杆上，位于控制槽内的所述压板上端对称固定连接有两个第一弹簧，且两个第一弹簧的上端均固定在控制槽内顶壁上，位于凹槽内的所述压板下端固定连接有卡板，且卡板位于钥匙的一侧。

在上述的一种FOUP开启器中，所述凹槽内转动连接有驱动杆，且钥匙套设在驱动杆上并与驱动杆固定连接于，所述驱动杆上对称套设有两个第二弹簧，所述驱动杆上还对称固定套设有两个安装板，且两个第二弹簧的一端分别固定在相对应的安装板上，两个所述第二弹簧的另一端均固定在凹槽的内侧壁上。

在上述的一种FOUP开启器中，每个所述绕线装置包括每个线槽内转动连接的转轴，每个所述转轴上均固定套设有线轮，且每个连接线分别缠绕在相对应的线轮上，每个所述转轴上均对称套设有第三弹簧，且每个转轴上的两个第三弹簧分别设置在相对应的线轮两端，每个所述第三弹簧的一端分别固定在相对应的线轮上，且每个第三弹簧的另一端均固定在相对应的线槽内侧壁上。

在上述的一种FOUP开启器中，每个所述压板的上端均固定连接有推杆，每个所述握把上均开设有通孔，且每个推杆分别位于通过相对应的通孔后并延伸至握把的外侧。

在上述的一种FOUP开启器中，每个所述放置槽的内侧壁上均对称固定连接有两个橡胶块，每个所述握把位于放置槽内的一端侧壁上均对称开设有两个卡槽，且每个橡胶块分别位于相对应的卡槽内并与卡槽卡合。

在上述的一种FOUP开启器中，每个所述握把的侧壁上均开设有条形槽，且每个条形槽均与相对应的凹槽连通，每个所述钥匙的侧壁上均固定连接有推块，且每个推块均位于相对应的条形槽内。

与现有的技术相比，本发明优点在于：

1：通过推块推动钥匙转动至条形槽内进行收起，可以同时可以给两个第二弹簧进行反向的转动力，然后在压动固定在压板上的推杆，使得压板带动卡板进行移动，使得钥匙可以转动至凹槽内，然后多个第一弹簧会对压板形成一个拉力，使得压板会驱动卡板对钥匙进行卡住，进而可以对钥匙进行收起保护。

2：两个握把通过连接线与线轮固定，在使用时可以通过连接线拉动线轮进行转动，使得两个握把可以脱离横板进行使用，起到了对钥匙的保护，使得钥匙不会脱离横板而丢失。

综上所述，本发明，用来开启FOUP的钥匙相互连接在一起，不会轻易的脱离而丢失，在使用的时候，操作的人员可以更加方便的对钥匙进行操作使用。

附图说明

图1为本发明提出的一种FOUP开启器的结构示意图；

图2为本发明提出的一种FOUP开启器中的握把内部结构示意图；

图3为本发明提出的一种FOUP开启器中的压板侧视图；

图4为本发明提出的一种FOUP开启器中的凹槽内部结构示意图；

图5为本发明提出的一种FOUP开启器中的线槽内部结构示意图。

图中：1横板、2握把、3橡胶块、4连接块、5连接线、6推块、 7压板、8钥匙、9第一弹簧、10推杆、11卡板、12驱动杆、13第二弹簧、14转轴、15线轮、16第三弹簧。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

参照图1-5，一种FOUP开启器，包括横板1，横板1的侧壁上开设有两个放置槽，每个放置槽内均设有握把2，可以更加方便的操作人员对其进行操作，使得FOUP可以方便的进行打开，且每个握把2 均延伸至横板1的外侧，每个握把2内均开设于凹槽，每个凹槽内均转动连接有钥匙8，每个握把2内均还开设有控制槽，每个控制槽内均设有控制装置，且每个控制装置均相对应的钥匙8相互匹配，横板 1内对称开设有两个线槽，每个握把2的侧壁上均固定连接有连接块 4，且两个连接块4相对设置，每个线槽内均设有绕线装置，每个绕线装置均通过连接线5与连接块4连接包括；

每个握把2的侧壁上均开设有条形槽，且每个条形槽均与相对应的凹槽连通，每个钥匙8的侧壁上均固定连接有推块6，且每个推块 6均位于相对应的条形槽内，便于把钥匙8压进凹槽内进行收起；

每个控制装置包括控制槽内设置的压板7，每个控制槽均通过连接槽与相对应的凹槽连通，每个连接槽内均转动连接有连接有连接杆，且压板7固定在连接杆上，位于控制槽内的压板7上端对称固定连接有两个第一弹簧9，且两个第一弹簧9的上端均固定在控制槽内顶壁上，位于凹槽内的压板7下端固定连接有卡板11，且卡板11位于钥匙8的一侧；

每个压板7的上端均固定连接有推杆10，每个握把2上均开设有通孔，且每个推杆10分别位于通过相对应的通孔后并延伸至握把 2的外侧；

凹槽内转动连接有驱动杆12，且钥匙8套设在驱动杆12上并与驱动杆12固定连接于，驱动杆12上对称套设有两个第二弹簧13，驱动杆12上还对称固定套设有两个安装板，且两个第二弹簧13的一端分别固定在相对应的安装板上，两个第二弹簧13的另一端均固定在凹槽的内侧壁上；

具体的：通过推块6推动钥匙8转动至条形槽内进行收起，可以同时可以给两个第二弹簧13进行反向的转动力，然后在压动固定在压板7上的推杆10，使得压板7带动卡板11进行移动，使得钥匙8 可以转动至凹槽内，然后多个第一弹簧13会对压板7形成一个拉力，使得压板7会驱动卡板11对钥匙8进行卡住，进而可以对钥匙8进行收起保护；

每个绕线装置包括每个线槽内转动连接的转轴14，每个转轴14 上均固定套设有线轮15，且每个连接线5分别缠绕在相对应的线轮 15上，每个转轴14上均对称套设有第三弹簧16，且每个转轴14上的两个第三弹簧16分别设置在相对应的线轮15两端，每个第三弹簧 16的一端分别固定在相对应的线轮15上，且每个第三弹簧16的另一端均固定在相对应的线槽内侧壁上，使得两个握把2上的钥匙8不会脱离横板1，对两个钥匙8进行保护，使得两个钥匙8不会丢失；

每个放置槽的内侧壁上均对称固定连接有两个橡胶块3，每个握把2位于放置槽内的一端侧壁上均对称开设有两个卡槽，且每个橡胶块3分别位于相对应的卡槽内并与卡槽卡合，可以使得每个握把2都能稳定的固定在放置槽内。

进一步说明，上述固定连接，除非另有明确的规定和限定，否则应做广义理解，例如，可以是焊接，也可以是胶合，或者一体成型设置等本领域技术人员熟知的惯用手段。

本发明中，在需要进行使用时，压动推杆10驱动压板7拉动卡板11进行移动，使得钥匙8在第二弹簧13的反向作用力下弹出凹槽，进而可以对钥匙8进行使用；。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种FOUP开启器，包括横板(1)，其特征在于，所述横板(1)的侧壁上开设有两个放置槽，每个所述放置槽内均设有握把(2)，且每个握把(2)均延伸至横板(1)的外侧，每个所述握把(2)内均开设于凹槽，每个所述凹槽内均转动连接有钥匙(8)，每个所述握把(2)内均还开设有控制槽，每个所述控制槽内均设有控制装置，且每个控制装置均相对应的钥匙(8)相互匹配，所述横板(1)内对称开设有两个线槽，每个所述握把(2)的侧壁上均固定连接有连接块(4)，且两个连接块(4)相对设置，每个所述线槽内均设有绕线装置，每个所述绕线装置均通过连接线(5)与连接块(4)连接。

2.根据权利要求1所述的一种FOUP开启器，其特征在于，每个所述控制装置包括控制槽内设置的压板(7)，每个所述控制槽均通过连接槽与相对应的凹槽连通，每个所述连接槽内均转动连接有连接有连接杆，且压板(7)固定在连接杆上，位于控制槽内的所述压板(7)上端对称固定连接有两个第一弹簧(9)，且两个第一弹簧(9)的上端均固定在控制槽内顶壁上，位于凹槽内的所述压板(7)下端固定连接有卡板(11)，且卡板(11)位于钥匙(8)的一侧。

3.根据权利要求1所述的一种FOUP开启器，其特征在于，所述凹槽内转动连接有驱动杆(12)，且钥匙(8)套设在驱动杆(12)上并与驱动杆(12)固定连接于，所述驱动杆(12)上对称套设有两个第二弹簧(13)，所述驱动杆(12)上还对称固定套设有两个安装板，且两个第二弹簧(13)的一端分别固定在相对应的安装板上，两个所述第二弹簧(13)的另一端均固定在凹槽的内侧壁上。

4.根据权利要求1所述的一种FOUP开启器，其特征在于，每个所述绕线装置包括每个线槽内转动连接的转轴(14)，每个所述转轴(14)上均固定套设有线轮(15)，且每个连接线(5)分别缠绕在相对应的线轮(15)上，每个所述转轴(14)上均对称套设有第三弹簧(16)，且每个转轴(14)上的两个第三弹簧(16)分别设置在相对应的线轮(15)两端，每个所述第三弹簧(16)的一端分别固定在相对应的线轮(15)上，且每个第三弹簧(16)的另一端均固定在相对应的线槽内侧壁上。

5.根据权利要求1所述的一种FOUP开启器，其特征在于，每个所述压板(7)的上端均固定连接有推杆(10)，每个所述握把(2)上均开设有通孔，且每个推杆(10)分别位于通过相对应的通孔后并延伸至握把(2)的外侧。

6.根据权利要求1所述的一种FOUP开启器，其特征在于，每个所述放置槽的内侧壁上均对称固定连接有两个橡胶块(3)，每个所述握把(2)位于放置槽内的一端侧壁上均对称开设有两个卡槽，且每个橡胶块(3)分别位于相对应的卡槽内并与卡槽卡合。

7.根据权利要求1所述的一种FOUP开启器，其特征在于，每个所述握把(2)的侧壁上均开设有条形槽，且每个条形槽均与相对应的凹槽连通，每个所述钥匙(8)的侧壁上均固定连接有推块(6)，且每个推块(6)均位于相对应的条形槽内。