CN109814252A - 透射式mems芯片、mems照明系统及汽车 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种透射式MEMS芯片、MEMS照明系统及汽车，涉及智能照明的技术领域，以解决现有技术中的产生亮线的技术问题。本申请所述的透射式MEMS芯片包括MEMS微挡光片阵列，所述MEMS微挡光片阵列包括多个呈阵列式排布的MEMS微挡光片，其中，相邻的两个所述MEMS微挡光片之间留有空隙，所述支撑框架上设有与所述空隙相对应的遮光结构，所述遮光结构将所述透光通道分为多个透光窗口。故本透射式MEMS芯片通过增加遮光结构，对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线起到遮挡作用，避免产生亮线，光照效果好。

Description

透射式MEMS芯片、MEMS照明系统及汽车

技术领域

本申请涉及智能照明的技术领域，具体而言，涉及一种透射式MEMS芯片、MEMS照明系统及汽车。

背景技术

透射式的MEMS芯片可用简单的光学系统，做到极高的光源利用率，并且其阵列的方案非常适合整体面光源的照明。其中，MEMS

(Micro－Electro－Mechanical System)，即微机电系统，是指由半导体材料或其它适用于微加工的材料构成的可控的微机械结构系统。它是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

现有技术中，透射式的MEMS芯片的MEMS微挡光片阵列中，各个MEMS微挡光片之间留有间隙，虽然该间隙可能很小，但是当微挡光片关闭时，光透射过该MEMS微挡光片阵列后还是会形成亮线，即不能将像素完全关闭，可明显看到从微挡光片之间间距中漏出的亮光，且明暗对比度明显，导致车灯照明效果不好，严重时，甚至会影响司机驾驶的安全性，造成事故。

发明内容

本申请的一个目的在于提供一种透射式MEMS芯片，以解决现有技术中的产生亮线的技术问题。

本申请的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种透射式MEMS芯片，包括支撑框架，所述支撑框架上设有透光通道，所述支撑框架上连接有用于开启或关闭透光通道的MEMS微挡光片阵列，所述MEMS微挡光片阵列包括多个阵列式排布的MEMS微挡光片，其中，相邻的两个所述MEMS微挡光片之间留有空隙，所述支撑框架上设有与所述空隙相对应的遮光结构，所述遮光结构将所述透光通道分为多个透光窗口。

在实际应用时，因为MEMS微挡光片发生弯曲、转动或平动，则MEMS微挡光片阵列就达到打开或者关闭透光通道的效果。各个透光窗口与各个MEMS微挡光片相对应，则各个MEMS微挡光片就达到打开或者关闭各个透光窗口的效果。

当MEMS微挡光片发生弯曲、转动或平动后，则MEMS微挡光片阵列成翘曲状态，达到打开透光通道的效果。透光通道、遮光结构和翘曲状态的MEMS微挡光片阵列形成一个窗口区域，光源发出的光线经该窗口区域射出。

当MEMS微挡光片不发生弯曲、转动或平动后，则MEMS微挡光片阵列成平直状态，达到关闭透光通道的效果。透光通道被遮光结构和平直状态的MEMS微挡光片阵列完全关闭，即各个透光窗口被各个的MEMS微挡光片完全关闭，光源发出的光线被MEMS微挡光片阵列和遮光结构完全遮挡，则不会产生亮线问题。

故关闭某一个或多个连续像素时，如果没有增加遮光结构设计，会在像素间距间留有明显的亮线，遮光结构的存在就是将亮线部分遮挡，使得像素可以彻底关闭，光照效果较好。故本透射式MEMS芯片通过增加遮光结构，对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线起到遮挡作用，避免产生亮线，提高车灯照明效果，从而提高司机驾驶的安全性。

需要说明的是，透射式MEMS芯片还包括驱动装置，驱动装置与MEMS微挡光片阵列连接，并用于驱动各个MEMS微挡光片的一端部弯曲，即可使能活动的MEMS微挡光片镜面发生弯曲、转动或平动，从而达到打开或者关闭透光通道的效果。而驱动装置的驱动方式包括但不限于静电、磁力、电流、电热、压电或者温度。

需要额外指出地是，本申请中，遮光结构的作用为将亮线部分遮挡，其与MEMS微挡光片阵列的打开方式无关，也就是说，本申请可以适用于MEMS微挡光片阵列中每个MEMS微挡光片的弯曲方向即打开方向相同的透射式MEMS芯片，也可以适用于MEMS微挡光片阵列中每个MEMS微挡光片的弯曲方向即打开方向不同的透射式MEMS芯片，例如，MEMS微挡光片阵列中两排微挡光片相对打开的对开式透射式MEMS芯片。

作为优选，所述遮光结构的最大宽度大于或者等于所述空隙的宽度。

需要指出的是，支撑框架的截面为长方形或者梯形，即支撑框架为四棱柱结构，既可以是长方体结构，也可以是梯形柱结构。遮光结构的截面为长方形、三角形或者梯形，遮光结构为四棱柱结构，既可以是长方体结构，也可以是梯形柱结构，极限情况下截面也可以是三角形，即为三棱柱结构，即只需能保证遮挡效果即可。故单个遮光结构的宽度可能不是一个定值，可能为一个范围值。

遮光结构的最大宽度大于或者等于空隙的宽度，则可以保证遮光结构能对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线全部起到遮挡作用，避免产生亮线。

作为优选，所述透光通道为通孔，所述MEMS微挡光片阵列设于所述透光通道内，所述遮光结构的至少一个端部固定在所述透光通道的内侧壁上。

透光通道为通孔，即透光通道为贯穿支撑框架的孔，其孔可以为任意形状的，即孔截面为任意形状的，可以是方孔、圆孔、三角孔等形状。MEMS微挡光片阵列设于该通孔内，并能在该通孔内弯曲或者转动，从而开启或者关闭透光通道。遮光结构的端部固定在透光通道的内侧壁上，即无论遮光结构是什么形状，其至少一端部固定在透光通道的内侧壁，从而限制遮光结构的移动或者位置，以确保遮档效果。遮光结构可以是各种形状的，可能具有多个端部，则其多个端部均可以固定在透光通道的内侧壁上。

在另一个具体的实施例中，透光通道还可以为盲孔，MEMS微挡光片阵列设于透光通道内，遮光结构固定在透光通道的内底面上。其中，遮光结构凸设于透光通道的内底面上，则缩短了遮光结构与空隙之间的间距，保证遮挡效果。

作为优选，所述透光通道开设在所述支撑框架的上表面上，所述MEMS微挡光片阵列与所述支撑框架的上表面连接，所述遮光结构位于所述空隙的正下方。

遮光结构位于空隙的正下方，即遮光结构与空隙的位置关系和光照方向相同，这可以保证遮光结构能对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线全部起到遮挡作用，避免产生亮线。

作为优选，所述遮光结构与所述支撑框架为一体成型的或者通过装配的方式连接在一起。

遮光结构可以与支撑框架为一体成型的，则成本低廉，且便于制作。

遮光结构可以与支撑框架为分体式结构，即遮光结构部分也可作为单独的部件，可通过装配或其他特殊工艺的方式与支撑框架连接在一起，则可以灵活变换、调整遮光结构的具体位置，以保证遮光效果。其中，遮光结构与支撑框架的连接方式包括但不限于粘结、焊接、滑轨连接、键合、机械装配、固联。

作为优选，所述遮光结构为由具有不透光性能的材质制成的。

遮光结构为由具有不透光性能的材质制成的，即遮光结构的材质只需能对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线起到遮挡作用即可。需要说明的是，遮光结构的材质包括但不限于硅、聚合物、或者金属。

作为优选，在所述MEMS微挡光片阵列中，所述MEMS微挡光片被设置为多个排和列，各个所述排为由沿第一方向排布的所述MEMS微挡光片组成，各个所述列为沿第二方向排布的所述MEMS微挡光片组成，所述第一方向和所述第二方向成相交设置，

所述空隙包括第一空隙，所述第一空隙为沿所述第一方向相邻的两个所述MEMS微挡光片之间留有的，所述遮光结构包括第一遮光结构，所述第一遮光结构与所述第一空隙对应。

需要说明的是，第一空隙即相邻的两列MEMS微挡光片之间留有的空隙，第一遮光结构可以是由若干个长条组成的，其中，一个长条可以与相邻的两列MEMS微挡光片之间留有的一个空隙及第一空隙对应。其中，第一方向和第二方向成相交设置，进一步地，第一方向和第二方向成垂直设置。

作为优选，所述空隙还包括第二空隙，所述第二空隙为沿所述第二方向相邻的两个所述MEMS微挡光片之间留有的，所述遮光结构还包括第二遮光结构，所述第二遮光结构与所述第二空隙对应。

需要说明的是，第二空隙即相邻的两排MEMS微挡光片之间留有的空隙，第二遮光结构可以是由若干个凸块组成的，第二遮光结构的两端固定在第一遮光结构或者透光通道的内侧壁上。其中，一个凸块可以与相邻的两排MEMS微挡光片之间留有的一个空隙及第二空隙对应。

本申请的另一目的在于提供一种MEMS照明系统，以解决现有技术中的产生亮线的技术问题。

本申请的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种MEMS照明系统，包括光源和如上所述的透射式MEMS芯片，所述透射式MEMS芯片的MEMS微挡光片阵列在所述MEMS微挡光片弯曲后，能与多个所述透光窗口形成窗口区域，所述光源发出的光线能经过所述窗口区域射出。

由于上述的透射式MEMS芯片具有上述的技术效果，具有该透射式MEMS芯片的MEMS照明系统也具有相同的技术效果。

本申请的另一目的在于提供一种汽车，以解决现有技术中的产生亮线的技术问题。

本申请的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

一种汽车，包括车灯总成，所述车灯总成包括如上所述的MEMS照明系统。

由于上述的MEMS照明系统具有上述的技术效果，具有该MEMS照明系统的汽车也具有相同的技术效果。

基于此，本申请较之原有技术，具有不会产生亮线，光照效果好的优点。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请透射式MEMS芯片实施例一在MEMS微挡光片阵列打开时的结构示意图；

图2为本申请透射式MEMS芯片实施例一在MEMS微挡光片阵列打开时的立体图；

图3为本申请透射式MEMS芯片实施例一在MEMS微挡光片阵列打开时的剖视图；

图4为图3的A部放大图；

图5为本申请透射式MEMS芯片实施例一在MEMS微挡光片阵列打开时的半剖视图；

图6为本申请透射式MEMS芯片实施例二在MEMS微挡光片阵列打开时的结构示意图；

图7为本申请透射式MEMS芯片实施例二在MEMS微挡光片阵列打开时的另一视角下的结构示意图。

图标：1－支撑框架；2－透光通道；3－MEMS微挡光片阵列；4－遮光结构；41－第一遮光结构；42－第二遮光结构。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，并不表示排列序号，也不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下面结合附图，对本申请的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

透射式MEMS芯片的实施例一：

见图1、图2、图3、图4、图5，一种透射式MEMS芯片，包括支撑框架1，支撑框架1上设有透光通道2，支撑框架1上连接有用于开启或关闭透光通道2的MEMS微挡光片阵列3，MEMS微挡光片阵列3包括多个阵列式排布的MEMS微挡光片，

其中，相邻的两个MEMS微挡光片之间留有空隙，支撑框架1上设有与空隙相对应的遮光结构4，遮光结构4将透光通道2分成多个透光窗口。

在实际应用时，因为MEMS微挡光片发生弯曲、转动或平动，则MEMS微挡光片阵列就达到打开或者关闭透光通道的效果。各个透光窗口与各个MEMS微挡光片相对应，则各个MEMS微挡光片就达到打开或者关闭各个透光窗口的效果。

当MEMS微挡光片发生弯曲、转动或平动后，则MEMS微挡光片阵列成翘曲状态，达到打开透光通道的效果。透光通道、遮光结构和翘曲状态的MEMS微挡光片阵列形成一个窗口区域，光源发出的光线经该窗口区域射出。

当MEMS微挡光片不发生弯曲、转动或平动后，则MEMS微挡光片阵列成平直状态，达到关闭透光通道的效果。透光通道被遮光结构和平直状态的MEMS微挡光片阵列完全关闭，即各个透光窗口被各个的MEMS微挡光片完全关闭，光源发出的光线被MEMS微挡光片阵列和遮光结构完全遮挡，则不会产生亮线问题。

故关闭某一个或多个连续像素时，如果没有增加遮光结构设计，会在像素间距间留有明显的亮线，遮光结构的存在就是将亮线部分遮挡，使得像素可以彻底关闭，光照效果较好。故本透射式MEMS芯片通过增加遮光结构，对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线起到遮挡作用，避免产生亮线，提高车灯照明效果，从而提高司机驾驶的安全性。

需要说明的是，透射式MEMS芯片还包括驱动装置，驱动装置与MEMS微挡光片阵列连接，并用于驱动各个MEMS微挡光片的一端部弯曲，即可使能活动的MEMS微挡光片镜面发生弯曲、转动或平动，从而可以达到打开或者关闭透光通道的效果。而驱动装置的驱动方式包括但不限于静电、磁力、电流、电热、压电或者温度。

需要额外指出地是，遮光结构的作用为将亮线部分遮挡，其与MEMS微挡光片阵列的打开方式无关，也就是说，本申请可以适用于MEMS微挡光片阵列中每个MEMS微挡光片的弯曲方向即打开方向相同的透射式MEMS芯片，也可以适用于MEMS微挡光片阵列中每个MEMS微挡光片的弯曲方向即打开方向不同的透射式MEMS芯片，例如，MEMS微挡光片阵列中两排微挡光片相对打开的对开式透射式MEMS芯片。

见图2、图5，遮光结构4的最大宽度大于或者等于空隙的宽度。

需要指出的是，支撑框架的截面为长方形或者梯形，即支撑框架为四棱柱结构，既可以是长方体结构，也可以是梯形柱结构。遮光结构的截面为长方形、三角形或者梯形，遮光结构为四棱柱结构，既可以是长方体结构，也可以是梯形柱结构，极限情况下截面也可以是三角形，即为三棱柱结构，即只需能保证遮挡效果即可。故单个遮光结构的宽度可能不是一个定值，可能为一个范围值。

遮光结构的最大宽度大于或者等于空隙的宽度，则可以保证遮光结构能对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线全部起到遮挡作用，避免产生亮线。在本实施例中，遮光结构的宽度处处相等，即为一个定值，而该定值大于空隙的宽度。

见图1、图2、图3、图4、图5，透光通道2为通孔，MEMS微挡光片阵列3设于透光通道2内，遮光结构4的至少一个端部固定在透光通道2的内侧壁上。

透光通道为通孔，即透光通道为贯穿支撑框架的孔，其孔可以为任意形状的，即孔截面为任意形状的，可以是方孔、圆孔、三角孔等形状。MEMS微挡光片阵列设于该通孔内，并能在该通孔内弯曲或者转动，从而开启或者关闭透光通道。遮光结构的端部固定在透光通道的内侧壁上，即无论遮光结构是什么形状，其至少一端部固定在透光通道的内侧壁，从而限制遮光结构的移动或者位置，以确保遮档效果。遮光结构可以是各种形状的，可能具有多个端部，则其多个端部均可以固定在透光通道的内侧壁上。

在另一个具体的实施例中，透光通道还可以为盲孔，MEMS微挡光片阵列设于透光通道内，遮光结构固定在透光通道的内底面上。其中，遮光结构凸设于透光通道的内底面上，则缩短了遮光结构与空隙之间的间距，保证遮挡效果。

见图2、图3、图4、图5，透光通道2开设在支撑框架1的上表面上，MEMS微挡光片阵列3与支撑框架1的上表面连接，遮光结构4位于空隙的正下方。

遮光结构位于空隙的正下方，即遮光结构与空隙的位置关系和光照方向相同，这可以保证遮光结构能对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线全部起到遮挡作用，避免产生亮线。

见图2、图3、图5，遮光结构4与支撑框架1为一体成型的或者通过装配的方式连接在一起。

遮光结构可以与支撑框架为一体成型的，则成本低廉，且便于制作。

遮光结构可以与支撑框架为分体式结构，即遮光结构部分也可作为单独的部件，可通过装配或其他特殊工艺的方式与支撑框架连接在一起，则可以灵活变换、调整遮光结构的具体位置，以保证遮光效果。其中，遮光结构与支撑框架的连接方式包括但不限于粘结、焊接、滑轨连接、键合、固联。在本实施例中，遮光结构与支撑框架为一体成型的。

在本实施例中，遮光结构凸设于透光通道的内底面上，是由若干个长条组成的，其中，一个长条可以与相邻的MEMS微挡光片之间留有的一个空隙对应。

在本实施例中，遮光结构4为由具有不透光性能的材质制成的。

遮光结构为由具有不透光性能的材质制成的，即遮光结构的材质只需能对光源透过相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的空隙的光线起到遮挡作用即可。需要说明的是，遮光结构的材质包括但不限于硅、聚合物、或者金属。

透射式MEMS芯片的实施例二：

见图6、图7，在MEMS微挡光片阵列3中，MEMS微挡光片被设置为多个排和列，各个排为由沿第一方向排布的MEMS微挡光片组成，各个列为沿第二方向排布的MEMS微挡光片组成，第一方向和第二方向成相交设置，

空隙包括第一空隙，第一空隙为沿第一方向相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的，遮光结构4包括第一遮光结构41，第一遮光结构41与第一空隙对应。

空隙还包括第二空隙，第二空隙为沿第二方向相邻的两个MEMS微挡光片之间留有的，遮光结构4还包括第二遮光结构42，第二遮光结构42与第二空隙对应。

其余部分与透射式MEMS芯片的实施例一相同。

需要说明的是，第一空隙即相邻的两列MEMS微挡光片之间留有的空隙，第一遮光结构可以是由若干个长条组成的，其中，一个长条可以与相邻的两列MEMS微挡光片之间留有的一个空隙及第一空隙对应。第二空隙即相邻的两排MEMS微挡光片之间留有的空隙，第二遮光结构可以是由若干个凸块组成的，第二遮光结构的两端固定在第一遮光结构或者透光通道的内侧壁上。其中，一个凸块可以与相邻的两排MEMS微挡光片之间留有的一个空隙及第二空隙对应。

其中，第一方向和第二方向成相交设置，在本实施例中，第一方向和第二方向成垂直设置，遮光结构为黑框式，即矩形网格式。

MEMS照明系统的实施例一：

一种MEMS照明系统，包括光源和上述任一实施例的透射式MEMS芯片，透射式MEMS芯片的MEMS微挡光片阵列3在MEMS微挡光片弯曲后，能与多个透光窗口形成窗口区域，光源发出的光线能经过窗口区域射出。

由于上述的透射式MEMS芯片具有上述的技术效果，具有该透射式MEMS芯片的MEMS照明系统也具有相同的技术效果。

汽车的实施例一：

一种汽车，包括车灯总成，车灯总成包括上述的MEMS照明系统。

由于上述的MEMS照明系统具有上述的技术效果，具有该MEMS照明系统的汽车也具有相同的技术效果。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种透射式MEMS芯片，其特征在于：包括支撑框架，所述支撑框架上设有透光通道，所述支撑框架上连接有用于开启或关闭透光通道的MEMS微挡光片阵列，所述MEMS微挡光片阵列包括多个阵列式排布的MEMS微挡光片，

其中，相邻的两个所述MEMS微挡光片之间留有空隙，所述支撑框架上设有与所述空隙相对应的遮光结构，所述遮光结构将所述透光通道分为多个透光窗口。

2.根据权利要求1所述的透射式MEMS芯片，其特征在于：所述遮光结构的最大宽度大于或者等于所述空隙的宽度。

3.根据权利要求1所述的透射式MEMS芯片，其特征在于：所述透光通道为通孔结构，所述MEMS微挡光片阵列设于所述透光通道内，所述遮光结构的至少一个端部固定在所述透光通道的内侧壁上。

4.根据权利要求3所述的透射式MEMS芯片，其特征在于：所述透光通道开设在所述支撑框架的上表面上，所述MEMS微挡光片阵列与所述支撑框架的上表面连接，所述遮光结构位于所述空隙的正下方。

5.根据权利要求4所述的透射式MEMS芯片，其特征在于：所述遮光结构与所述支撑框架为一体成型的或者通过装配的方式连接在一起。

6.根据权利要求1所述的透射式MEMS芯片，其特征在于：所述遮光结构为由具有不透光性能的材质制成的。

7.根据权利要求1至6任一项所述的透射式MEMS芯片，其特征在于：在所述MEMS微挡光片阵列中，所述MEMS微挡光片被设置为多个排和列，各个所述排为由第一方向排布的所述MEMS微挡光片组成，各个所述列为沿第二方向排布的所述MEMS微挡光片组成，所述第一方向和所述第二方向成相交设置，

所述空隙包括第一空隙，所述第一空隙为沿所述第一方向相邻的两个所述MEMS微挡光片之间留有的，所述遮光结构包括第一遮光结构，所述第一遮光结构与所述第一空隙对应。

8.根据权利要求7所述的透射式MEMS芯片，其特征在于：所述空隙还包括第二空隙，所述第二空隙为沿所述第二方向相邻的两个所述MEMS微挡光片之间留有的，所述遮光结构还包括第二遮光结构，所述第二遮光结构与所述第二空隙对应。

9.一种MEMS照明系统，其特征在于：包括光源和如权利要求1至8中任一项所述的透射式MEMS芯片，所述透射式MEMS芯片的MEMS微挡光片阵列在所述MEMS微挡光片弯曲后，能与多个所述透光窗口形成窗口区域，所述光源发出的光线能经过所述窗口区域射出。

10.一种汽车，其特征在于：包括车灯总成，所述车灯总成包括如权利要求9所述的MEMS照明系统。