CN109764829A - 一种接触角检测模组、制作方法及检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明实施例提供一种接触角检测模组、制作方法及检测方法，其中接触角检测模组包括：相对设置的第一基板和第二基板；第一基板包括：第一衬底基板、位于第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于平坦化层上的光电探测器阵列，光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；第二基板包括：导光板、位于导光板上的准直光栅阵列，覆盖准直光栅阵列的低折射率层，低折射率层的折射率小于预设阈值；接触角检测模组还包括：位于导光板入光侧的光源；位于光源出光侧的可控光栅结构，可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。降低了人工参与程度，提高了测试精度和测试效率。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种接触角检测模组、制作方法及检测方法。
背景技术
在显示器件制造过程中，功能薄膜表面的浸润性(疏水性或亲水性)对工艺制作以及器件功能起着关键作用，比如对于数字微流控器件，微液滴接触表面要求具有强的疏水特性，以便降低驱动电压；对于氧化铟锡(Indium tin oxide，简称ITO)膜层的湿法刻蚀工艺，ITO膜层表面需要强的亲水特性，便于刻蚀液与ITO表面接触等。
目前，膜层表面接触角的测试采用半自动测试。测试过程中，测试设备控制注射器在膜层表面滴下一滴检测液体，然后摄像机捕捉液滴与膜层界面的图片，然后人工操作软件量取接触角度，这种测试方法不仅耗时，而且人工测试误差较大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种接触角检测模组、制作方法及检测方法，以解决现有技术中在对接触角进行检测时，存在耗时且检测误差大的问题。
为了达到上述目的，本发明一方面提供一种接触角检测模组，其特征在于，包括：
相对设置的第一基板和第二基板；
所述第一基板包括：第一衬底基板、位于所述第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于所述平坦化层上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；
所述第二基板包括：导光板、位于所述导光板上的准直光栅阵列，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；
所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板入光侧的光源；位于所述光源出光侧的可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。
进一步的，所述准直光栅阵列在所述第一基板上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板上的正投影所在区域内。
进一步的，还包括控制模块，用于控制所述第一基板在垂直于所述第一基板的方向上移动。
进一步的，所述薄膜晶体管阵列包括N个薄膜晶体管，所述光电探测器阵列包括N个光电探测器，N个薄膜晶体管与N个光电探测器一一对应设置，所述薄膜晶体管的源极或者漏极与所述薄膜晶体管所对应的光电探测器的上电极接触，N为正整数。
本发明另一方面提供一种接触角检测模组制作方法，包括：
制作第一基板；
制作第二基板；
其中，所述制作第一基板包括：
在第一衬底基板上制作薄膜晶体管阵列；
制作覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层；
在所述平坦化层上制作光电探测器阵列；
所述制作第二基板包括：
在导光板上制作准直光栅阵列；
在所述准直光栅阵列上覆盖低折射率层，其中，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；
在所述导光板入光侧处设置光源；
在所述光源出光侧设置可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。
进一步的，所述准直光栅阵列在所述第一基板上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板上的正投影所在区域内。
进一步的，在制作第一基板之后，还包括：
提供一控制模块，控制模块用于控制所述第一基板在垂直于所述第一基板的方向上移动。
本发明还提供一种接触角检测方法，应用于上述的接触角检测模组，所述方法包括：
将待测透明基板放置在第二基板上，所述待测透明基板上放置有检测液滴，所述检测液滴为检测液体滴在待测透明基板形成的液滴；所述检测液滴在所述第二基板上的正投影位于准直光栅阵列在所述第二基板上的正投影所在区域内；
控制第一基板移动至目标位置，其中，所述第一基板位于所述目标位置处时，光电探测器阵列检测到折射光线的汇聚点；所述汇聚点为光线经过所述检测液滴折射后所述折射光线汇聚成的点；
确定所述检测液滴的半径；
获取所述第一基板与所述待测透明基板之间的距离；
根据所述半径和所述距离，确定接触角。
进一步的，所述确定检测液滴的半径，包括：
确定第一位置点，所述第一位置点为第一光线在所述光电探测器阵列上的入射位置点，所述第一光线为入射角小于预设角的光线；
将所述第一位置点中距离所述汇聚点最近的点确定为第一子位置点；
根据所述汇聚点和所述第一子位置点，确定所述检测液滴的半径。
进一步的，所述根据所述汇聚点和所述第一子位置点，确定所述检测液滴的半径，包括：
确定所述汇聚点所在的第一光电探测器，以及第一子位置点所在的第二光电探测器，其中，所述光电探测器阵列包括所述第一光电探测器和所述第二光电探测器；
将所述第一光电探测器和所述第二光电探测器之间的距离，确定为所述检测液滴的半径。
本发明实施例中，本实施例提供的接触角检测模组，包括相对设置的第一基板和第二基板；所述第一基板包括：第一衬底基板、位于所述第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于所述平坦化层上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；所述第二基板包括：导光板、位于所述导光板上的准直光栅阵列，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板入光侧的光源；位于所述光源出光侧的可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。通过光电探测器阵列对入射至其上的光线的偏折角度和光线的光信号强度进行检测，以确定检测液滴的中心点和边缘点，使得后续可根据中心点和边缘点来计算获得接触角，降低了人工参与程度，提高了测试精度和测试效率。
附图说明
图1是本发明实施例提供的接触角检测模组的一种结构图；
图2是接触角示意图；
图3是本发明实施例提供的接触角检测模组制作方法的流程图；
图4是本发明实施例提供的接触角检测方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
实施例一
请参见图1，图1是本发明实施例提供的一种接触角检测模组的结构图，如图1所示，本实施例提供一种接触角检测模组，包括：相对设置的第一基板1和第二基板2；
所述第一基板1包括：第一衬底基板11、位于所述第一衬底基板11上的薄膜晶体管阵列(由多个薄膜晶体管12组成)、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层13，以及位于所述平坦化层13上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器14；
所述第二基板2包括：导光板21、位于所述导光板21上的准直光栅阵列(由多个准直光栅22组成)，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层23，所述低折射率层23的折射率小于预设阈值；
所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板21入光侧的光源5；位于所述光源5出光侧的可控光栅结构6，所述可控光栅结构6用于控制光源5出射光线的出射角度。
第一衬底基板11上设置有薄膜晶体管阵列，薄膜晶体管阵列包括多个薄膜晶体管12，各个薄膜晶体管12之间留有空隙。平坦化层13覆盖在薄膜晶体管阵列上，并且填充各个薄膜晶体管12之间的空隙。
光电探测器14阵列设置在平坦化层13上。光电探测器阵列包括多个光电探测器14，光电探测器14可以是硅基PIN光电探测器、或者有机PIN光电探测器、或者其他光电探测器。
薄膜晶体管阵列包括N个薄膜晶体管12，光电探测器阵列包括N个光电探测器14，N个薄膜晶体管12与N个光电探测器14一一对应设置，每个薄膜晶体管12的源极或者漏极与该薄膜晶体管12所对应的光电探测器14的上电极141接触，N为正整数。
单个准直光栅22的宽度为几十纳米或者几个微米，光电探测器14的尺寸在制作上很难与准直光栅22的尺寸一致，在本实施例中，单个光电探测器14在第一基板1上的正投影所在区域可包括多个准直光栅22在第一基板1上的正投影。
进一步的，准直光栅阵列在所述第一基板1上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板1上的正投影所在区域内。优选的，准直光栅阵列在所述第一基板1上的正投影与所述光电探测器阵列在所述第一基板1上的正投影重合。
在光电探测器14上制作公共电极15，并在公共电极15上制作钝化层16，形成可以单独寻址的光电探测器阵列即，光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器14。
所述第二基板2包括导光板21、准直光栅阵列和低折射率层23。准直光栅阵列设置在导光板21上，准直光栅阵列包括多个准直光栅22，各个准直光栅22之间留有空隙。低折射率层23覆盖在准直光栅阵列上，填充各个准直光栅22之间的空隙。低折射率层23可使得准直光栅阵列所在的层平坦化。低折射率层23的折射率小于预设阈值，预设阈值可根据实际情况进行设置，在此不做限定。低折射率层23可采用低折射率介电材料。低折射率层23与第一基板1相对设置。
如图2所示，图中θ为接触角。在待测透明基板3上放置检测液滴4，检测液滴4为检测液体滴在待测透明基板3形成的液滴，接触角θ为检测液滴4与待测透明基板3的接触角度。
使用接触角检测模组进行检测时，将待测透明基板3放置在低折射率层23上，从准直光栅阵列出射的光垂直入射至待测透明基板3。由于待测透明基板3上放置检测液滴4，因此，经过检测液滴4的光线发生折射，光电探测器阵列可对入射光线的入射角度进行检测。未经过检测液滴4折射的光线垂直于待测透明基板3射出，并射入光电探测器阵列中。
经过检测液滴4折射的光会汇聚为一点，为便于描述，该点可称为汇聚点，图1中的C2点所示即为汇聚点。
进一步的，接触角检测模组还包括控制模块(图1中未示出)，用于控制所述第一基板1在垂直于所述第一基板1的方向上移动。
具体的，控制模块用于控制第一基板1移动至目标位置，当第一基板1位于目标位置时，光电探测器阵列可获取到光信号强度最大的位置点，该位置点即为汇聚点。
汇聚点在待测透明基板3上的正投影与检测液滴4的中心点重合，检测液滴4的中心点为检测液滴4在待测透明基板3上的正投影的中心点。检测液滴4在待测透明基板3上的正投影可视为圆形。线段A1点到C1点之间的距离可视为该圆形的半径。根据半径可以计算得到检测液滴4的表面曲率。
如图1所示，A1点和B1点为检测液滴4、待测透明基板3以及空气的交界点，A1点的左侧处、B1点的右侧处的光线垂直于待测透明基板3出射后，垂直于第一基板1入射至光电探测器阵列中。光电探测器阵列可对入射光线的入射角度进行检测。
未经过检测液滴4折射的光线垂直于待测透明基板3射出，并入射(为便于描述，该入射的光线称为第一光线)至光电探测器阵列中，光电探测器阵列检测到第一光线的入射角小于预设角，预设角根据实际情况进行设置，在此不做限定。理想情况下，该入射角等于0°。
经过检测液滴4折射的光线从待测透明基板3射出，并以一定偏折角度入射(为便于描述，该入射的光线称为第二光线)至光电探测器阵列中，此种情况下，光电探测器阵列检测到第二光线的入射角不小于预设角。
根据折射定律，由于n1(n1为空气的折射率)和n2(n2为检测液滴4的折射率)为定值，随着从C1点向A1点靠近，随着θ2逐渐变大，θ1也逐渐变大。如果从待测透明基板3出射的某光线非常接近A点位置，极限情况下折射光线(如图1中标号L所示的光线)与A1点相切，此时折射光线L与待测透明基板3的夹角就为检测液滴4的接触角。
根据表达式：α＝arctan(Y/r)计算接触角，其中，α为接触角，Y为第一基板1与待测透明基板3之间的距离，也可将第一基板1与第二基板2之间的距离作为第一基板1与待测透明基板3之间的距离，r为线段A1点到C1点之间的距离。
接触角检测模组还包括：位于所述导光板21入光侧的光源5，例如，发光二极管(Light Emitting Diode，LED)光源；位于所述光源5出光侧的可控光栅结构6，所述可控光栅结构6用于控制光源5出射光线的出射角度。通过可控光栅结构6可控制LED光源的出射光线从第1个光栅扫描到第n个光栅，n为准直光栅阵列的总光栅数量。
本实施例中提供的接触角检测模组用于检测待测透明基板3的亲水性。
本实施例提供的接触角检测模组，包括相对设置的第一基板1和第二基板2；所述第一基板1包括：第一衬底基板11、位于所述第一衬底基板11上的薄膜晶体管阵列、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层13，以及位于所述平坦化层13上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器14；所述第二基板2包括：导光板21、位于所述导光板21上的准直光栅阵列，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层23，所述低折射率层23的折射率小于预设阈值；所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板21入光侧的光源5；位于所述光源5出光侧的可控光栅结构6，所述可控光栅结构6用于控制光源5出射光线的出射角度。通过光电探测器阵列对入射至其上的光线的偏折角度和光线的光信号强度进行检测，以确定检测液滴4的中心点和边缘点，使得后续可根据中心点和边缘点来计算获得接触角，降低了人工参与程度，提高了测试精度和测试效率。
请参见图3，图3是本发明实施例提供的接触角检测模组制作方法的流程图，如图3所示，本实施例提供一种接触角检测模组制作方法，包括：
步骤101、制作第一基板；
步骤102、制作第二基板；
其中，步骤101、制作第一基板包括：
在第一衬底基板上制作薄膜晶体管阵列；
制作覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层；
在所述平坦化层上制作光电探测器阵列；
步骤102、制作第二基板包括：
在导光板上制作准直光栅阵列；
在所述准直光栅阵列上覆盖低折射率层，其中，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；
在所述导光板入光侧处设置光源；
在所述光源出光侧设置可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。
步骤101与步骤102的制作顺序不限定。
进一步的，所述准直光栅阵列在所述第一基板上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板上的正投影区域内。
进一步的，在步骤101、制作第一基板之后，还包括：
提供一控制模块，控制模块用于控制所述第一基板在垂直于所述第一基板的方向上移动。
本实施例提供的接触角检测模组制作方法用于制作图1所示实施例中的接触角检测模组，接触角检测模组中各部件的结构及功能具体可参见图1所示实施例中的记载，为避免重复，这里不再赘述。
本实施例提供的接触角检测模组制作方法，包括制作第一基板；制作第二基板；其中，制作第一基板包括：在第一衬底基板上制作薄膜晶体管阵列；制作覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层；在所述平坦化层上制作光电探测器阵列；制作第二基板包括：在导光板上制作准直光栅阵列；在所述准直光栅阵列上覆盖低折射率层，其中，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；在所述导光板入光侧处设置光源；在所述光源出光侧设置可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。通过光电探测器阵列对入射至其上的光线的偏折角度和光线的光信号强度进行检测，以确定检测液滴的中心点和边缘点，使得后续可根据中心点和边缘点来计算获得接触角，降低了人工参与程度，提高了测试精度和测试效率。
请参见图4，图4是本发明实施例提供的接触角检测方法的流程图，如图4所示，本实施例提供一种接触角检测方法，包括：
步骤201、将待测透明基板放置在第二基板上，所述待测透明基板上放置有检测液滴，所述检测液滴为检测液体滴在待测透明基板形成的液滴；所述检测液滴在所述第二基板上的正投影位于准直光栅阵列在所述第二基板上的正投影所在区域内；
步骤202、控制第一基板移动至目标位置，其中，在所述第一基板位于所述目标位置处时，光电探测器阵列检测到折射光线的汇聚点；所述汇聚点为光线经过所述检测液滴折射后所述折射光线汇聚成的点。
其中，第一基板在垂直于第一基板的方向上移动，光电探测器阵列对入射的光线的光信号强度进行检测。
通过控制可控光栅结构，从而控制光源出射光线的出射角度，使出射光线覆盖整个准直光栅阵列，然后调整第一基板的位置，即调整第一基板在垂直于第一基板的方向上移动，光电探测器阵列对入射的光线的光信号强度进行检测。当第一基板位于目标位置处时，光电探测器阵列检测到目标位置处的入射光的光信号强度最大，记录该目标位置，该目标位置即为汇聚点。入射光为从所述检测液滴出射后射入所述光电探测器阵列的光。
步骤203、确定所述检测液滴的半径。检测液滴在待测透明基板上的投影为圆形，检测液滴的半径即该圆形的半径。
步骤204、获取所述第一基板与所述待测透明基板之间的距离。当待测透明基板较薄时，可将第一基板与第二基板之间的距离，作为第一基板与待测透明基板之间的距离。
步骤205、根据所述半径和所述距离，确定接触角。
如图1所示，根据表达式：α＝arctan(Y/r)计算接触角，其中，α为接触角，Y为所述距离，r为半径，即线段A1点到C1点之间的距离。根据半径还可以计算得到检测液滴的表面曲率。
本实施例提供的接触角检测方法，将待测透明基板放置在第二基板上，所述待测透明基板上放置有检测液滴，所述检测液滴为检测液体滴在待测透明基板形成的液滴；所述检测液滴在所述第二基板上的正投影位于准直光栅阵列在所述第二基板上的正投影区域内；控制第一基板移动至目标位置，其中，光电探测器阵列在所述第一基板位于所述目标位置处时，检测到的入射光的光信号强度最大；所述入射光为从所述检测液滴出射后射入所述光电探测器阵列的光；确定所述检测液滴的半径；获取所述第一基板与所述第二基板之间的距离；根据所述半径和所述距离，确定接触角。通过光电探测器阵列对入射至其上的光线的偏折角度和光线的光信号强度进行检测，以确定检测液滴的中心点(即图1中的C1点)和边缘点(即图1中的A1点)，使得后续可根据中心点和边缘点来获取半径和距离，从而计算获得接触角，降低了人工参与程度，提高了测试精度和测试效率。
进一步的，步骤203、确定检测液滴的半径，包括：
确定第一位置点，所述第一位置点为第一光线在所述光电探测器阵列上的入射位置点，所述第一光线为入射角小于预设角的光线；第一光线可理解为未经过检测液滴折射的光线。
将所述第一位置点中距离所述汇聚点最近的点确定为第一子位置点。如图1中所示的A2点即为第一子位置点。
根据所述汇聚点和所述第一子位置点，确定所述检测液滴的半径。如图1中所示的C2点即为汇聚点。
具体的，第一子位置点即光线未经过检测液滴偏折，且距离汇聚点最近的点，第一子位置点可认为是最靠近检测液滴的边缘上的点在光电探测器阵列上的正投影。汇聚点与第一子位置点之间的距离可作为检测液滴的半径。
进一步的，所述根据所述汇聚点和所述第一子位置点，确定所述检测液滴的半径，包括：
确定汇聚点所在的第一光电探测器，以及第一子位置点所在的第二光电探测器，其中，所述光电探测器阵列包括所述第一光电探测器和所述第二光电探测器；
将所述第一光电探测器和所述第二光电探测器之间的距离，确定为所述检测液滴的半径。
具体的，汇聚点位于第一光电探测器上，第一子位置点位于第二光电探测器上，可将第一光电探测器和第二光电探测器之间的距离作为汇聚点与第一子位置点之间的距离。依据光探测器阵列中光电探测器的宽度和间距就可以得到第一光电探测器和第二光电探测器之间的距离，从而得到检测液滴的半径。
本实施例提供的接触角检测方法，应用于图1所示实施例中的接触角检测模组。
本实施例中，将待测透明基板放置在第二基板上，所述待测透明基板上放置有检测液滴，所述检测液滴为检测液体滴在待测透明基板形成的液滴；所述检测液滴在所述第二基板上的正投影位于准直光栅阵列在所述第二基板上的正投影所在区域内；控制第一基板移动至目标位置，其中，所述第一基板位于所述目标位置处时，光电探测器阵列检测到折射光线的汇聚点；所述汇聚点为光线经过所述检测液滴折射后所述折射光线汇聚成的点；确定所述检测液滴的半径；获取所述第一基板与所述待测透明基板之间的距离；根据所述半径和所述距离，确定接触角。通过光电探测器阵列对入射至其上的光线的偏折角度和光线的光信号强度进行检测，以确定检测液滴的中心点(即图1中的C1点)和边缘点(即图1中的A1点)，使得后续可根据中心点和边缘点来获取半径和距离，从而计算获得接触角，降低了人工参与程度，提高了测试精度和测试效率。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种接触角检测模组，其特征在于，包括：
相对设置的第一基板和第二基板；
所述第一基板包括：第一衬底基板、位于所述第一衬底基板上的薄膜晶体管阵列、覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层，以及位于所述平坦化层上的光电探测器阵列，所述光电探测器阵列包括多个可单独寻址的光电探测器；
所述第二基板包括：导光板、位于所述导光板上的准直光栅阵列，覆盖所述准直光栅阵列的低折射率层，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；
所述接触角检测模组还包括：位于所述导光板入光侧的光源；位于所述光源出光侧的可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。
2.根据权利要求1所述的接触角检测模组，其特征在于，所述准直光栅阵列在所述第一基板上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板上的正投影所在区域内。
3.根据权利要求1所述的接触角检测模组，其特征在于，还包括控制模块，用于控制所述第一基板在垂直于所述第一基板的方向上移动。
4.根据权利要求1所述的接触角检测模组，其特征在于，所述薄膜晶体管阵列包括N个薄膜晶体管，所述光电探测器阵列包括N个光电探测器，N个薄膜晶体管与N个光电探测器一一对应设置，所述薄膜晶体管的源极或者漏极与所述薄膜晶体管所对应的光电探测器的上电极接触，N为正整数。
5.一种接触角检测模组制作方法，其特征在于，包括：
制作第一基板；
制作第二基板；
其中，所述制作第一基板包括：
在第一衬底基板上制作薄膜晶体管阵列；
制作覆盖所述薄膜晶体管阵列的平坦化层；
在所述平坦化层上制作光电探测器阵列；
所述制作第二基板包括：
在导光板上制作准直光栅阵列；
在所述准直光栅阵列上覆盖低折射率层，其中，所述低折射率层的折射率小于预设阈值；
在所述导光板入光侧处设置光源；
在所述光源出光侧设置可控光栅结构，所述可控光栅结构用于控制光源出射光线的出射角度。
6.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，所述准直光栅阵列在所述第一基板上的正投影位于所述光电探测器阵列在所述第一基板上的正投影所在区域内。
7.根据权利要求5所述的制作方法，其特征在于，在制作第一基板之后，还包括：
提供一控制模块，控制模块用于控制所述第一基板在垂直于所述第一基板的方向上移动。
8.一种接触角检测方法，其特征在于，应用于权利要求1-4中任一项所述的接触角检测模组，所述方法包括：
将待测透明基板放置在第二基板上，所述待测透明基板上放置有检测液滴，所述检测液滴为检测液体滴在待测透明基板形成的液滴；所述检测液滴在所述第二基板上的正投影位于准直光栅阵列在所述第二基板上的正投影所在区域内；
控制第一基板移动至目标位置，其中，所述第一基板位于所述目标位置处时，光电探测器阵列检测到折射光线的汇聚点；所述汇聚点为光线经过所述检测液滴折射后所述折射光线汇聚成的点；
确定所述检测液滴的半径；
获取所述第一基板与所述待测透明基板之间的距离；
根据所述半径和所述距离，确定接触角。
9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，所述确定检测液滴的半径，包括：
确定第一位置点，所述第一位置点为第一光线在所述光电探测器阵列上的入射位置点，所述第一光线为入射角小于预设角的光线；
将所述第一位置点中距离所述汇聚点最近的点确定为第一子位置点；
根据所述汇聚点和所述第一子位置点，确定所述检测液滴的半径。
10.根据权利要求9所述的检测方法，其特征在于，所述根据所述汇聚点和所述第一子位置点，确定所述检测液滴的半径，包括：
确定所述汇聚点所在的第一光电探测器，以及第一子位置点所在的第二光电探测器，其中，所述光电探测器阵列包括所述第一光电探测器和所述第二光电探测器；
将所述第一光电探测器和所述第二光电探测器之间的距离，确定为所述检测液滴的半径。
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