CN109762979A - 一种退火效果好的新型磁场退火炉 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种退火效果好的新型磁场退火炉，退火仓顶端和底部分别设置有二组加磁装置，供纵磁和横磁退火仓通过安装支架固定，安装支架一侧设置有温控装置，温控装置一侧设置有真空泵，退火仓、温控装置及真空泵通过线缆与电控箱相连，安装支架内侧设置有升降轨道，托料盘推送支架与升降轨道活动相连，托料盘推送支架远离升降轨道一端设置有托料盘，托料盘下表面设置有旋转电机，安装支架外侧底部设置有电机，导轨安装于安装支架内侧底部，导轨上设置有托架盘承载架，该发明结构合理，将退火件放置在托料盘上，当进入退火炉后，托盘通过旋转电机开始旋转，再通过磁场加热进行配合，退火效果大大提高。

Description

一种退火效果好的新型磁场退火炉

技术领域

本发明涉及退火炉技术领域，具体为一种退火效果好的新型磁场退火炉。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

传统退火炉使用过程中退火件一般静置，退火时间较长，效率较低，因此，亟待一种改进的技术来解决现有技术中所存在的这一问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种退火效果好的新型磁场退火炉，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种退火效果好的新型磁场退火炉，包括退火仓、第一加磁装置、安装支架、温控装置、真空泵、电控箱、升降轨道、托料盘推送支架、旋转电机、托料盘、电机、导轨及托架盘承载架，所述退火仓顶端设置有第一加磁装置，所述退火仓通过安装支架固定，所述安装支架一侧设置有温控装置，所述温控装置一侧设置有真空泵，所述安装支架另一侧设置有电控箱，所述退火仓、温控装置及真空泵通过线缆与电控箱相连，所述安装支架内侧设置有升降轨道，所述托料盘推送支架与升降轨道活动相连，所述托料盘推送支架远离升降轨道一端设置有托料盘，所述托料盘下表面设置有旋转电机，所述安装支架外侧底部设置有电机，所述导轨安装于安装支架内侧底部，所述导轨上设置有托架盘承载架。

优选的，所述托料盘内部设置有旋转盘，所述托料盘内部的旋转盘与旋转电机相连，托料盘内部的旋转盘上垂直方向还设置有若干牵引柱。

优选的，所述托架盘承载架中间开有孔槽，所述旋转电机活动设置于孔槽内。

优选的，所述退火仓的内部顶端通过转轴与柱形加热主体相连，所述柱形加热主体外部均匀分布有若干磁加热杆，所述磁加热杆之间通过导线相连，任意一个所述磁加热杆通过导线与第一加磁装置相连，所述柱形加热主体底端外侧表面设置有若干扣片，所述扣片与托料盘内部的旋转盘相连，所述扣片通过导线与磁加热杆相连。

优选的，所述真空泵通过导管与电机相连。

优选的，一种退火效果好的新型磁场退火炉，其使用方法包括以下步骤：

步骤一：将退火部件放置在托料盘上，然后通过导轨将托架盘承载架连同托料盘移动至退火仓正下方；

步骤二：通过托料盘推送支架将托料盘夹持，并沿升降轨道上升，托料盘推送支架带动托料盘上升，使托料盘与退火仓底部接合，托料盘内部的旋转盘与扣片相连；

步骤三：退火仓通过真空泵将仓内抽成真空；

步骤四：旋转电机启动，带动托料盘内的旋转盘进行旋转，托料盘内的旋转盘上的牵引柱穿过扣片并带动柱形加热主体进行旋转，从而使退火件在炉内旋转，退火仓进行加磁加热，在恒定的温度下维持一段的时间，完成组件退火；

步骤五：旋转电机停止转动，电机带动托料盘推送支架下降，随后通过导轨将部件移动至导轨最外侧，取出退火件即可。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

（1）将退火件放置在托料盘上，当进入退火炉后，托盘通过旋转电机开始旋转，再带动退火仓的内部的柱形加热主体旋转，通过磁场加热进行配合，退火效果大大提高。

（2）较传统退火炉采用了自动进出料的方式，配合特制的磁场退火炉，节省了人工，当批量加工时，生产效率有显著的提升。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为托架盘承载架俯视结构示意图。

图3为退火仓结构示意图。

图4为退火仓仰视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，本发明提供一种技术方案：一种退火效果好的新型磁场退火炉，包括退火仓1、第一加磁装置2、安装支架3、温控装置4、真空泵5、电控箱6、升降轨道7、托料盘推送支架8、旋转电机9、托料盘10、电机11、导轨12及托架盘承载架13，退火仓1顶端设置有第一加磁装置2，退火仓1通过安装支架3固定，安装支架3一侧设置有温控装置4，温控装置4一侧设置有真空泵5，安装支架3另一侧设置有电控箱6，退火仓1、温控装置4及真空泵5通过线缆与电控箱6相连，安装支架3内侧设置有升降轨道7，托料盘推送支架8与升降轨道7活动相连，托料盘推送支架8远离升降轨道7一端设置有托料盘10，托料盘10下表面设置有旋转电机9，安装支架3外侧底部设置有电机11，真空泵5通过导管与电机11相连，导轨12安装于安装支架3内侧底部，导轨12上设置有托架盘承载架13。

托料盘10内部设置有旋转盘，托料盘10内部的旋转盘与旋转电机9相连，旋转盘上垂直方向还设置有若干牵引柱。

如图2所示，托架盘承载架13中间开有孔槽131，旋转电机9活动设置于孔槽131内，当托架盘承载架13托载托料盘10时，旋转电机9穿过孔槽131位于托架盘承载架13下方。

如图3-4所示，退火仓1的内部顶端通过转轴与柱形加热主体14相连，柱形加热主体14外部均匀分布有若干磁加热杆15，磁加热杆15之间通过导线相连，任意一个磁加热杆15通过导线与第一加磁装置2相连，柱形加热主体15底端外侧表面设置有若干扣片16，扣片16与托料盘10内部的旋转盘相连，扣片16通过导线与磁加热杆15相连。

实施例的，退火仓1内部的磁加热杆15也可横向分布于柱形加热主体14外侧表面，磁加热杆15也可横向与纵向结合的方式分布于柱形加热主体14外侧表面。

一种退火效果好的新型磁场退火炉，其使用方法包括以下步骤：

步骤一：将退火部件放置在托料盘10上，然后通过导轨12将托架盘承载架13连同托料盘10移动至退火仓1正下方；

步骤二：通过托料盘推送支架8将托料盘10夹持，并沿升降轨道7上升，托料盘推送支架8带动托料盘10上升，使托料盘10与退火仓1底部接合，托料盘10内部的旋转盘与扣片16相连；

步骤三：退火仓1通过真空泵5将仓内抽成真空；

步骤四：旋转电机9启动，带动托料盘10内的旋转盘进行旋转，托料盘10内的旋转盘上的牵引柱穿过扣片16并带动柱形加热主体14进行旋转，从而使退火件在炉内旋转，退火仓1进行加磁加热，在恒定的温度下维持一段的时间，完成组件退火；

步骤五：旋转电机9停止转动，电机11带动托料盘推送支架8下降，随后通过导轨12将部件移动至导轨12最外侧，取出退火件即可。

本发明可专供坡莫金合、非晶合金、硅钢合金等多种合金退火，功能性较强，退料盘采用旋转电机进行驱动旋转，在磁场退火炉中为首次使用该技术，经过试验证明，将退火件放置在托料盘上，当进入退火炉后，托盘通过旋转电机开始旋转，从而带动柱带动柱形加热主体进行旋转，再通过磁场加热进行配合，退火效果大大提高。

实施例的，底端的旋转电机也可不安装，本发明的退火效果较现有的退火设备的退火效果也有显著提高。

较传统退火炉采用了自动进出料的方式，配合特制的磁场退火炉，节省了人工，当批量加工时，生产效率有显著的提升。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种退火效果好的新型磁场退火炉，其特征在于：包括退火仓（1）、第一加磁装置（2）、安装支架（3）、温控装置（4）、真空泵（5）、电控箱（6）、升降轨道（7）、托料盘推送支架（8）、旋转电机（9）、托料盘（10）、电机（11）、导轨（12）及托架盘承载架（13），所述退火仓（1）顶端设置有第一加磁装置（2），所述退火仓（1）通过安装支架（3）固定，所述安装支架（3）一侧设置有温控装置（4），所述温控装置（4）一侧设置有真空泵（5），所述安装支架（3）另一侧设置有电控箱（6），所述退火仓（1）、温控装置（4）及真空泵（5）通过线缆与电控箱（6）相连，所述安装支架（3）内侧设置有升降轨道（7），所述托料盘推送支架（8）与升降轨道（7）活动相连，所述托料盘推送支架（8）远离升降轨道（7）一端设置有托料盘（10），所述托料盘（10）下表面设置有旋转电机（9），所述安装支架（3）外侧底部设置有电机（11），所述导轨（12）安装于安装支架（3）内侧底部，所述导轨（12）上设置有托架盘承载架（13）。

2.根据权利要求1所述的一种退火效果好的新型磁场退火炉，其特征在于：所述托料盘（10）内部设置有旋转盘，所述托料盘（10）内部的旋转盘与旋转电机（9）相连，所述托料盘（10）内部的旋转盘上垂直方向还设置有若干牵引柱。

3.根据权利要求1所述的一种退火效果好的新型磁场退火炉，其特征在于：所述托架盘承载架（13）中间开有孔槽（131），所述旋转电机（9）活动设置于孔槽（131）内。

4.根据权利要求1所述的一种退火效果好的新型磁场退火炉，其特征在于：所述退火仓（1）的内部顶端通过转轴与柱形加热主体（14）相连，所述柱形加热主体（14）外部均匀分布有若干磁加热杆（15），所述磁加热杆（15）之间通过导线相连，任意一个所述磁加热杆（15）通过导线与第一加磁装置（2）相连，所述柱形加热主体（15）底端外侧表面设置有若干扣片（16），所述扣片（16）与托料盘（10）内部的旋转盘相连，所述扣片（16）通过导线与磁加热杆（15）相连。

5.根据权利要求1所述的一种退火效果好的新型磁场退火炉，其特征在于：所述真空泵（5）通过导管与电机（11）相连。

6.一种退火效果好的新型磁场退火炉，其特征在于：其使用方法包括以下步骤：

步骤一：将退火部件放置在托料盘（10）上，然后通过导轨（12）将托架盘承载架（13）连同托料盘（10）移动至退火仓（1）正下方；

步骤二：通过托料盘推送支架（8）将托料盘（10）夹持，并沿升降轨道（7）上升，托料盘推送支架（8）带动托料盘（10）上升，使托料盘（10）与退火仓（1）底部接合，托料盘（10）内部的旋转盘与扣片（16）相连；

步骤三：退火仓（1）通过真空泵（5）将仓内抽成真空；

步骤四：旋转电机（9）启动，带动托料盘（10）内的旋转盘进行旋转，托料盘（10）内的旋转盘上的牵引柱穿过扣片（16）并带动柱形加热主体（14）进行旋转，从而使退火件在炉内旋转，退火仓（1）进行加磁加热，在恒定的温度下维持一段的时间，完成组件退火；

步骤五：旋转电机（9）停止转动，电机（11）带动托料盘推送支架（8）下降，随后通过导轨（12）将部件移动至导轨（12）最外侧，取出退火件即可。