CN109751961A - 一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置，所述方法包括：在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像；控制测量探针追踪所述目标图像；当所述测量探针追踪到所述目标图像时，控制所述测量探针对所述膜层厚度开始检测。本发明提供的点位自动调整方法，解决了现有的膜厚测量仪在测量膜层厚度时，需手动校正测量探针的初始测量点，造成测量仪的工作效率低下的技术问题。

Description

一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置

技术领域

本发明涉及平板显示行业设备领域，尤其涉及一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)是目前市场上应用最为广泛的显示产品，其中，液晶显示器主要包括液晶显示面板和背光模块，液晶显示面板中的基板在生产完毕后，需要使用膜厚测量仪进行测量，膜厚测量设备作为面板显示行业重要膜厚参数量测设备，在整个工艺流程中起到了膜厚监控的任务。

目前，测量方式可分为接触式测量和光学非接触式测量，光学非接触式测量具有测量速度快、用时快的特点，但是测量的精度及稳定性要差于接触式测量，接触式测量精度高且稳定行强，但是测量速度慢，Recipe建立耗时长，光学非接触式测量由于测量快捷的特点长用于便携式测量，而对于基板的测量则需要选用稳定性强且精度高的接触式测量，接触式测量一般使用测量探针在基板上移动，根据测量探针在移动过程中发生的位移变化计算出膜的厚度。

然而，当测量探针对基板测量完毕再开始测量下一个基板时，需要对初始测量点进行定位和手动调整，以保证每次测量时都是从相同的起始位置开始的，这样有利于后期对各基板的测量参数曲线进行图像比对，但是，每次测量新的基板时，需要手动校正测量初始位置，导致测量工作的工作量增大，测量时间延长，测量工作的工作效率下降。

发明内容

针对现有技术中的上述缺陷，本发明提供了一种膜厚测量仪的点位自动调整方法及膜层厚度测量装置，以解决现有膜厚测量仪中需要手动校正测量探针的初始测量位置只是工作效率低下的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述方法包括：

在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像；

控制测量探针追踪所述目标图像；

当所述测量探针追踪到所述目标图像时，控制所述测量探针对所述膜层厚度开始检测。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述控制测量探针追踪所述目标图像，包括：

控制所述测量探针对所述基板进行扫描，获取扫描图像；

将所述扫描图像与预先存储的所述目标图像进行比对；

当所述扫描图像与所述目标图像相同时，获取所述扫描图像在所述基板上的位置；

根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述对所述基板进行扫描之前，还包括：

将所述目标图像保存到所述测量仪中。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动，包括：

根据所述扫描图像获取所述目标图像的中心点位置；

对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，以使所述测量探针与所述目标图像的中心点对齐。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，包括：

将所述测量探针向所述目标图像的中心点移动预设距离；

判断所述测量探针与所述目标图像的中心点是否重合；

当所述测量探针与所述目标图像的中心点重合，则完成校正；

当所述测量探针与所述目标图像的中心点未重合，则继续将所述测量探针向所述目标图像的中心点移动，直至所述测量探针与所述目标图像的中心点重合。

如上所述的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，所述在所述基板上设置目标图像，包括：

在所述基板上的红色滤光层、绿色滤光层和蓝色滤光层中的任一滤光层上设置目标图像。

本发明还提供一种膜层厚度测量装置，包括：

可移动的测量探针以及用于控制所述测量探针的控制单元，

所述控制单元用于控制所述测量探针对设置在基板的目标图像进行追踪，且当所述测量探针追踪到所述目标图像时，控制所述测量探针对所述膜层厚度开始检测。

进一步地，所述控制单元包括获取模块、控制模块、处理模块，所述获取模块用于在所述测量探针对所述基板进行扫描，获取扫描图像；

所述处理模块用于将所述获取模块获取的扫描图像与预先存储的所述目标图像进行比对；

所述获取模块还用于当所述扫描图像与所述目标图像相同时，获取所述扫描图像在所述基板上的位置；

所述控制模块用于根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动。

进一步地，所述控制单元还包括：存储模块，所述存储模块用于存储所述目标图像以及所述扫描图像。

进一步地，所述获取模块还用于根据所述扫描图像获取所述目标图像的中心点位置；

所述控制单元还包括：校正模块，所述校正模块用于对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，以使所述测量探针与所述目标图像的中心点对齐。

本发明提供一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，通过在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像，目标图像可以是多边形或者是组合图像以便于追踪，再控制测量探针追踪预设的目标图像，在对膜层厚度开始测量时，先让测量探针对目标图像进行追踪，以确定测量探针的初始测量点，确定初始测量点以便于测量探针在对每一张待测基板开始测量时，均能够从该初始测量点开始检测，方便后期对各基板膜层厚度的结果进行图像比对，当测量探针追踪到目标图像后，测量探针再从目标图像所在的位置开始对膜层厚度进行检测，相当于目标图像所在的位置即为确定的初始测量点，测量探针每次测量时均可从确定的初始测量点开始对待测基板的膜层开始检测，使得测量探针可自动校正初始测量点的位置，现有技术中，测量探针在每次测量新的待测基板时，需要人工手动校正测量探针的初始测量点，不仅耗费大量的时间且人工手动校正易于发生误差，不利于膜层厚度检测结果的精确性，与现有技术相比，本实施例提供的点位自动调整方法，采用预设设置目标图像，在测量探针开始测量时，由测量探针自动追踪目标图像来确定初始测量点，确定初始测量点后，测量探针再从初始测量点开始测量膜层厚度，整个位置校正的过程有测量探针自动完成，不仅节省了手动校正的繁重工作量且避免了手动校正所带来的误差，解决了现有技术中，工作人员建立校正点位需要大量时间，导致工作效率及设备的稼动率低下的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例一提供的点位自动调整方法的流程示意图；

图2为本发明实施例一提供的点位自动调整方法的又一流程示意图；

图3为本发明实施例一提供的点位自动调整方法的再一流程示意图；

图4为本发明实施例一提供的点位自动调整方法中另一流程示意图；

图5为本发明实施例二提供的膜层厚度测量装置的整体结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明的优选实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。下面结合附图对本发明的实施例进行详细说明。

实施例一

本实施例提供一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，应用于接触式的膜层厚度测量仪，膜层厚度测量仪能够准确高效的测量出待测基板的膜层厚度，本方式有效减少膜厚测量仪在准备阶段的校正准备时间，提升工作效率。

其中，如图1所示，本实施例所提供的一种膜厚测量仪的点位自动调整方法具体包括如下步骤：

步骤101、在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像。

膜层厚度检测主要应用于检测显示面板的基板，显示面板的基板一般包括：阵列基板和彩膜基板，其中彩色滤光膜是显示面板中的重要组成部分，一般的彩色滤光膜设置在彩膜基板上，但是有些时候也会设置在阵列基板上，本实施例中的用于膜厚测量仪的点位自动调整方法，优选的，是用于测量彩色滤光膜的膜层厚度，因此，在设有彩色滤光膜的基板上设置目标图像，目标图像是用于一个预设的可以用于后期追踪的图像，该图像可以为多边形或组合图形，这里不做过多的限制，但是目标图像尽量不要设置成简单的圆形或矩形等图案，应设置为便于追踪的图形组合或边角较多的图案，节省后续的追踪和图形对比的时间。

步骤102、控制测量探针追踪所述目标图像。

设置好目标图像后，在测量仪开始测量时，首先先控制测量探针对目标图像进行追踪，也就是，每次在开始测量的时候将追踪目标图像，实际上是用于校正测量探针的初始测量点，现有技术中，这个校正的操作一般是人工手动进行校正的，在测量彩色滤光膜时，由于个基板存在些许的差异，而测量仪在对每一张基板测量时，需要保证都是从同一个测量点开始的，这样在测量结束后，便于将测量后生成的曲线图像进行比对，将曲线图形与原始图形进行比对可得知待测基板的膜层厚度是否合格，将各待测基板之间的曲线图进行比对可得到每个批次生产的显示面板的膜层总体误差率，这些数据都是后期重要的检测指标，而为了保证检测数据的精准性，就需要在每次检测时都从同一个检测点开始，如果每次的初始检测点均不相同，那么在后期检测结果的对比上就出现明显的误差，但是，在测量探针的校正工序中，一般都是依靠人工手动校正，每次待检测基板就位后，手动对测量探针的初始测量点进行校正，然而，校正时没有明确的参照物且人工手动校正本身就容易由于操作不当出现误差，因此，该校正方式不仅不准备且手动校正会耗费大量的时间增加操作人员的工作量，而本步骤中测量探针自动对目标图像进行追踪，追踪到目标图像后就自动确定了测量探针的初始检测点。

步骤103、当所述测量探针追踪到所述目标图像时，控制所述测量探针对所述膜层厚度开始检测。

测量探针追踪到预设的目标图像后，测量仪会自动控制测量探针从目标图像处开始膜层厚度的检测，也就是说，预设的目标图像所在的位置就是初始测量点，同时，也是校正测量探针初始位置的参照物，通过对目标图像进行追踪，就能准确的完成测量探针的校正工作，保证测量探针每次对待测基板开始测量时，都能够从同一测量点开始，且追踪目标图像时是自动进行追踪的，不仅减少了操作人员校正的工作量且避免了手动校正时带来的误差。

本实施例提供一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，通过在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像，目标图像可以是多边形或者是组合图像以便于追踪，再控制测量探针追踪预设的目标图像，在对膜层厚度开始测量时，先让测量探针对目标图像进行追踪，以确定测量探针的初始测量点，确定初始测量点以便于测量探针在对每一张待测基板开始测量时，均能够从该初始测量点开始检测，方便后期对各基板膜层厚度的结果进行图像比对，当测量探针追踪到目标图像后，测量探针再从目标图像所在的位置开始对膜层厚度进行检测，相当于目标图像所在的位置即为确定的初始测量点，测量探针每次测量时均可从确定的初始测量点开始对待测基板的膜层开始检测，使得测量探针可自动校正初始测量点的位置，现有技术中，测量探针在每次测量新的待测基板时，需要人工手动校正测量探针的初始测量点，不仅耗费大量的时间且人工手动校正易于发生误差，不利于膜层厚度检测结果的精确性，与现有技术相比，本实施例提供的点位自动调整方法，采用预设设置目标图像，在测量探针开始测量时，由测量探针自动追踪目标图像来确定初始测量点，确定初始测量点后，测量探针再从初始测量点开始测量膜层厚度，整个位置校正的过程有测量探针自动完成，不仅节省了手动校正的繁重工作量且避免了手动校正所带来的误差，解决了现有技术中，工作人员建立校正点位需要大量时间，导致工作效率及设备的稼动率低下的技术问题。

进一步地，如图2所示，控制测量探针追踪目标图像，即上述步骤102中还包括如下步骤：

步骤1022、控制所述测量探针对所述基板进行扫描，获取扫描图像。

测量探针追踪目标图像时，首先需要对整个基板进行扫描，具体的，目标图像已经预先设置在基板上，通过对基板进行扫描获取预先设置的目标图像，并得到扫描图像。

步骤1023、将所述扫描图像与预先存储的所述目标图像进行比对。

将获得的扫描图像与预先储存好的目标图像进行图像比对，具体的，将扫描后得到的扫描图像传输到膜厚测量仪中，测量仪中预先储存有与预设在基板上的目标图像相同的图像，将扫描图形与预存的目标图像进行比对，如果对比的结果中，扫描图像与预存的目标图像相同，则就无需再进行扫描，可直接进入步骤1025，如果对比的结果中，扫描图像与预存的目标图像不相同，则转回执行步骤1022，再次对待测基板进行扫描，以获取扫描图像。

步骤1024、当所述扫描图像与所述目标图像相同时，获取所述扫描图像在所述基板上的位置。

通过将扫描图像与预存的目标图像进行图像对比，判断出扫描图像与目标图像一致时，即可确定扫描到的扫描图像就是预先设置在基板上的目标图像，那么，此时就可以将获取扫描图像在待测基板上的位置信息。

步骤1025、根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动。

根据获取到的扫描图像的位置信息，可以确定出该位置信息中在待测基板上的位置就是初始测量点，确定出初始测量点后，控制测量探针移动的初始测量点后，完成测量探针的校正工序，测量探针从初始测量点开始对待测基板进行膜层厚度测量。

进一步地，对待测的基板进行扫描之前，还包括如下步骤：

步骤1021、将所述目标图像保存到所述测量仪中。

在控制测量探针对待测基板进行扫描之前，首先需将预设的目标图像保存在测量仪中，以便于后期使用保存的目标图像与扫描图像之间进行图像比对。

进一步地，如图3所示，根据确定出的图像位置控制测量探针向目标图像移动，包括如下步骤：

步骤10251、根据所述扫描图像获取所述目标图像的中心点位置。

预设的目标图像为图像的形式，具体的，可为便于追踪的多边形或者图像组合，但是测量探针在待测基板上的确定的初始测量点是一个点，因此，根据扫描图像获取目标图像的中心点所在的位置，这个中心点所在的位置才是测量探针的初始测量点，而目标图像的位置只是初始测量点所在的一个区域。

步骤10252、对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，以使所述测量探针与所述目标图像的中心点对齐。

确定好目标图像的中心点后，移动测量探针，对比测量探针的位置与中心点的位置，并对两个位置信息之间将进行位置校正，保证测量探针与中心点的位置对齐。

进一步地，如图4所示，对测量探针在目标图像上的位置进行校正，还包括如下步骤：

步骤10252A、将所述测量探针向所述目标图像的中心点移动预设距离。

测量探针在进行位置校正时，先将测量探针向目标图像的中心点移动一个预设的距离，预设的距离可根据实际的情况进行设定，例如每次移动的距离可为测量探针和中心点之间距离的一半，或者其他预设距离，这是为了保证测量探针和中心点对齐的精准性。

步骤10252B、判断所述测量探针与所述目标图像的中心点是否重合。

测量探针每次移动预设距离后，都检测测量探针和目标图像的中心点是否重合，并判断接下来要执行的步骤。

步骤10252C、当所述测量探针与所述目标图像的中心点重合，则完成校正。

当判断出测量探针与目标图像的中心点重合时，则完成校正工作，此时，测量探针所在的位置即为初始测量点。

步骤10252D、当所述测量探针与所述目标图像的中心点未重合，则继续将所述测量探针向所述目标图像的中心点移动，直至所述测量探针与所述目标图像的中心点重合。

当判断出测量探针与目标图像的中心点没有重合时，执行步骤10252A、将测量探针向目标图像的中心点移动预设距离，然后进行判断，当判断出测量探针与目标图像的中心点重合时，则执行步骤103，判断出没有重合时，继续执行步骤10252A，直至判断出测量探针和目标图像的中心点重合为止。

进一步地，在基板上设置目标图像，还包括如下步骤：

在所述基板上的红色滤光层、绿色滤光层和蓝色滤光层中的任一滤光层上设置目标图像。

目标图像是设置在设有彩色滤光膜的基板上，具体的，该目标图像可以设置在彩色滤光膜中的，红色滤光层、绿色滤光层和蓝色滤光层中的任一滤光层上，设置在上述任一固定的滤光层上，以便于后续对目标图像进行追踪和比对。

实施例二

本实施例提供一种膜层厚度测量装置，上述实施例提供的点位自动调整方法可应用于测量装置中，如图5所示，测量装置包括：可移动的测量探针以及用于控制测量探针的控制单元，其中，测量探针是测量装置的执行机构及数据采集装置，控制单元用于控制测量探针，包括控制测量探针在待测基板上追踪目标图像，以及控制测量探针从初始测量点开始进行膜层厚度检测。

本实施例提供的膜层厚度测量装置，主要应用于检测彩色滤光层的膜层厚度，预设目标图像在彩色滤光层上，可以是红色滤光层、绿色滤光层和蓝色滤光层中的任一滤光层上，之后由控制模块控制测量探针在待测基板上寻找预设的目标图像的位置，并控制测量探针移动到目标图像所在的位置后，控制模块控制测量探针开始对待测基板进行膜层厚度检测，现有技术中，膜厚检测仪没有测量探针的点位自动校正功能，每次检测新的待测基板时，需要手动校正测量探针的初始检测点，费时费力且手动校正易出现误差，与现有技术相比，本实施例提供的膜层厚度测量装置，应用于上述实施例中提供的点位自动调整方法，在测量探针开始检测时，对测量探针的初始检测点进行位置自动校正，节省了人为的工作量且避免了手动校正所带来的误差，解决了现有技术中的膜层厚度测量装置，因为没有点位自动调整功能，而造成的建立调整点位耗费大量时间，致使工作效率和装置的稼动率低下的技术问题。

进一步地，膜层厚度测量装置中的控制单元包括：获取模块、控制模块和处理模块，其中，测量探针在检测开始时先对待测基板进行扫描后，扫描后通过获取模块获得扫描图像，获取到扫描图像后传输到处理模块中，在处理模块中，扫描图像与预先储存的目标图像进行图像比对，依据处理模块比对的结果，当比对的结果为扫描图像与目标图像不符时，处理模块会发出信息要求测量探针再次对待测基板进行扫描，并将再次获取的扫描图像进行比对，当处理模块比对的结果中，扫描图像与目标图像相同时，处理模块判断出扫描图像所在的位置即为初始测量点，处理模块会发送信息给控制模块，控制模块根据获取到的位置信息，将测量探针移动到初始测量点，并控制测量探针开始对待测基板进行膜层厚度检测。

进一步地，控制单元还包括：储存模块，储存模块可将预先设置的目标图像储存起来，并接收获取模块得到的扫描图像，将扫描图像与目标图像储存起来，随时等待处理模块对图像进行调用和比对。

进一步地，获取模块除了获取扫描图像外，还用于获取目标图像的中心点位置，当处理模块比对目标图像和扫描图像一致时，处理模块判断出初始测量点所在的区域为扫描图像的位置，同时获取模块通过扫描图像的位置获取到扫描图像中心点所在的位置信息，并确定出该位置信息即为初始测量点的位置信息，控制单元还包括：校正模块，校正模块用于检测测量探针与初始测量点之间的位置，获取模块将初始测量点的位置信息发送给校正模块，校正模块开始检测测量探针目前所在的位置和初始测量点的位置信息之间的关系，当检测的结果为两者之间不重合时，校正模块会发出信息给控制模块，并由控制模块控制测量探针向初始测量点移动，然后校正模块再次开始检测，如果检测的结果为测量探针与初始测量点之间的位置不重合，则继续发送信息给控制模块，直至校正模块检测出测量探针与初始检测点之间的位置重合，校正模块会再次发送信息给控制模块，此时的控制模块会控制测量探针开始对待测基板进行膜层厚度的测量。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或可以互相通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要理解的是，本文中使用的术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种膜厚测量仪的点位自动调整方法，其特征在于，所述方法包括：

在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像；

控制测量探针追踪所述目标图像；

当所述测量探针追踪到所述目标图像时，控制所述测量探针对所述膜层厚度开始检测。

2.根据权利要求1所述的点位自动调整方法，其特征在于，所述控制测量探针追踪所述目标图像，包括：

控制所述测量探针对所述基板进行扫描，获取扫描图像；

将所述扫描图像与预先存储的所述目标图像进行比对；

当所述扫描图像与所述目标图像相同时，获取所述扫描图像在所述基板上的位置；

根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动。

3.根据权利要求2所述的点位自动调整方法，其特征在于，所述对所述基板进行扫描之前，还包括：

将所述目标图像保存到所述测量仪中。

4.根据权利要求3所述的点位自动调整方法，其特征在于，所述根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动，包括：

根据所述扫描图像获取所述目标图像的中心点位置；

对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，以使所述测量探针与所述目标图像的中心点对齐。

5.根据权利要求4所述的点位自动调整方法，其特征在于，对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，包括：

将所述测量探针向所述目标图像的中心点移动预设距离；

判断所述测量探针与所述目标图像的中心点是否重合；

当所述测量探针与所述目标图像的中心点重合，则完成校正；

当所述测量探针与所述目标图像的中心点未重合，则继续将所述测量探针向所述目标图像的中心点移动，直至所述测量探针与所述目标图像的中心点重合。

6.根据权利要求1-5任一所述的点位自动调整方法，其特征在于，所述在设有彩色滤光膜层的基板上设置目标图像，包括：

在所述基板上的红色滤光层、绿色滤光层和蓝色滤光层中的任一滤光层上设置目标图像。

7.一种膜层厚度测量装置，其特征在于，包括：

可移动的测量探针以及用于控制所述测量探针的控制单元，

所述控制单元用于控制所述测量探针对设置在基板的目标图像进行追踪，且当所述测量探针追踪到所述目标图像时，控制所述测量探针对所述膜层厚度开始检测。

8.根据权利要求7所述的膜层厚度测量装置，其特征在于，所述控制单元包括获取模块、控制模块、处理模块，所述获取模块用于在所述测量探针对所述基板进行扫描，获取扫描图像；

所述处理模块用于将所述获取模块获取的扫描图像与预先存储的所述目标图像进行比对；

所述获取模块还用于当所述扫描图像与所述目标图像相同时，获取所述扫描图像在所述基板上的位置；

所述控制模块用于根据确定出的图像位置控制所述测量探针向所述目标图像移动。

9.根据权利要求8所述的膜层厚度测量装置，其特征在于，所述控制单元还包括：存储模块，所述存储模块用于存储所述目标图像以及所述扫描图像。

10.根据权利要求9所述的膜层厚度测量装置，其特征在于，所述获取模块还用于根据所述扫描图像获取所述目标图像的中心点位置；

所述控制单元还包括：校正模块，所述校正模块用于对所述测量探针在所述目标图像上的位置进行校正，以使所述测量探针与所述目标图像的中心点对齐。