CN109713155B - 封装薄膜、显示面板及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种封装薄膜、显示面板及其制备方法。所述封装薄膜包括层叠设置的第一无机层、有机层和第二无机层。所述有机层位于所述第一无机层和所述第二无机层形成的密闭空间内。所述封装薄膜还包括保护层设置于所述第一无机层和所述第二无机层的侧面。所述第一无机层具有第一填充槽，在所述第一填充槽中填充有机物包裹的干燥剂。所述保护层可以增加所述封装薄膜与其他的金属层接触的界面，避免所述封装薄膜开裂或者脱落，增强所述封装薄膜的可靠性。

Description

封装薄膜、显示面板及其制备方法

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种封装薄膜、显示面板及其制备方法。

背景技术

近年来，随着社会的发展与科技的进步，智能终端设备和可穿戴设备的技术发展日新月异，对于平板显示的要求也逐渐提高，需求也越来越多样化。有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,简称OLED)器件越来越受到人们的广泛关注。OLED器件可以采用不同的种类的封装薄膜进行封装。传统的封装薄膜与底层的金属层结构容易不匹配，导致水汽很容易沿着封装薄膜与金属层结构的界面侵入OLED器件层，导致OLED器件水氧后失效。

发明内容

基于此，有必要针对传统的封装薄膜与底层的金属层结构容易不匹配，导致水汽很容易沿着封装薄膜与金属层结构的界面侵入OLED器件层，导致OLED器件水氧后失效的问题，提供一种封装薄膜、显示面板及其制备方法。

本申请一个实施例中提供一种封装薄膜，包括依次层叠设置的第一无机层、有机层和第二无机层，其中所述有机层位于所述第一无机层和所述第二无机层形成的密闭空间内；

所述封装薄膜还包括环绕所述第一无机层和所述第二无机层设置的保护层；

所述第一无机层具有第一填充槽，在所述第一填充槽中填充有机物包裹的干燥剂，所述干燥剂与所述有机层具有接触界面。

在一个实施例中，所述保护层为纳米级棒状薄膜。

在一个实施例中，所述保护层与所述第一无机层和所述第二无机层接触的表面为非平整表面。

在一个实施例中，所述保护层选自有机物、无机物或者混合物中的任意一种；其中，所述有机物至少包括有机纤维；所述无机物至少包括氧化石墨烯或者无机硅胶；所述混合物为以有机物为基质，以Na₂SO₄、CaO或Al₂O₃中至少一种无机物作为掺杂而组成的混合物。

在一个实施例中，在所述第一无机层指向所述第二无机层的方向上，所述第一填充槽贯穿所述第一无机层设置；

所述第二无机层具有第二填充槽，在所述第一无机层指向所述第二无机层的方向上，所述第二填充槽贯穿所述第二无机层设置。

在一个实施例中，所述第一填充槽和所述第二填充槽在所述第一无机层指向所述第二无机层的方向上的投影重叠。

在一个实施例中，在所述第一无机层和所述第二无机层均设置填充孔，所述填充孔中填充有机物包裹的干燥剂。

一种显示面板，包括显示基板和上述任一项所述的封装薄膜，所述封装薄膜覆盖于所述显示基板。

一种封装薄膜的制备方法，包括以下步骤：

S100，提供第一无机层，对所述第一无机层开设第一填充槽，并向所述第一填充槽中沉积填充有机物包裹的干燥剂；

S200，在所述第一无机层的表面沉积有机层，所述有机层位于所述第一无机层和所述第二无机层形成的密闭空间内；

S300，在所述有机层远离所述第一无机层的表面沉积第二无机层；

S400，在层叠设置的所述第一无机层、所述有机层以及所述第二无机层的侧面沉积保护层，所述保护层环绕所述第一无机层和所述第二无机层设置。

在一个实施例中，在所述S400的步骤之后，所述方法还包括：

S410，获取所述第一填充槽沿所述第一无机层指向所述第二无机层方向上的投影位置，按照所述投影位置在所述第二无机层开设所述第二填充槽，以使得所述第一填充槽和所述第二填充槽在所述第一无机层指向所述第二无机层方向上的投影重叠；

S420，向所述第二填充槽中沉积填充有机物包裹的干燥剂。

本申请涉及一种封装薄膜、显示面板及其制备方法。所述封装薄膜包括层叠设置的第一无机层、有机层和第二无机层。所述有机层位于所述第一无机层和所述第二无机层形成的密闭空间内。所述封装薄膜还包括保护层设置于所述第一无机层和所述第二无机层的侧面。所述第一无机层具有第一填充槽，在所述第一填充槽中填充有机物包裹的干燥剂。所述保护层可以增加所述封装薄膜与其他的金属层接触的界面，避免所述封装薄膜开裂或者脱落，增强所述封装薄膜的可靠性。

附图说明

图1为本申请一个实施例中提供的封装薄膜的结构示意图；

图2为本申请一个实施例中提供的封装薄膜的结构示意图；

图3为本申请一个实施例中提供的封装薄膜的结构示意图；

图4为本申请一个实施例中提供的封装薄膜的结构示意图；

图5为本申请一个实施例中提供的封装薄膜的结构示意图；

图6为本申请一个实施例中提供的封装薄膜的结构示意图；

图7为本申请一个实施例中提供的封装薄膜的结构示意图；

图8为本申请一个实施例中提供的所述显示面板的结构示意图。

附图标号说明：

显示面板100

显示基板10

封装薄膜20

第一无机层210

第一填充槽211

填充孔212

有机层220

第二无机层230

第二填充槽231

保护层240

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请封装薄膜、显示面板及其制备方法进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

正如背景技术所述的OLED器件的封装薄膜与底层的金属层结构容易不匹配，导致水汽很容易沿着封装薄膜与金属层结构的界面侵入OLED器件层，导致OLED器件水氧后失效的问题。经发明人研究发现，出现这种问题的原因在于，封装薄膜中无机层的边界应力较为集中，并且无机层和其下层的金属层结构不匹配。封装薄膜与下层的金属层结构导致水汽很容易沿着封装薄膜与金属层结构的界面侵入OLED器件层，导致OLED器件水氧后失效。

基于以上原因，本申请提供了一种封装薄膜，提供在原有的封装薄膜的侧面设置保护层，来减小封装薄膜与下层的金属层结构之间的应力，增强封装薄膜与金属层结构界面的附着力。

请参阅图1，提供一种封装薄膜20包括第一无机层210、有机层220、第二无机层230和保护层240。

所述第一无机层210和所述第二无机层230的材料都可以选取透明的氧化物或者氮化硅系列。所述有机层220位于所述第一无机层210和所述第二无机层230形成的密闭空间内。所述有机层220一般选用有机聚合物。所述第二无机层230设置于所述有机层220远离所述第一无机层210的表面。所述保护层240设置于所述第一无机层210和所述第二无机层230的侧面。比如，所述保护层240可以围绕所述第一无机层210和所述第二无机层230的侧面设置为层叠结构。所述保护层240的材料可以是有机物，比如可以是有机纤维。

请参阅图2和图3，在一个实施例中，所述第一无机层210具有第一填充槽211。具体的所述第一填充槽211可以为一个或者多个。在所述第一填充槽211中填充有机物包裹的干燥剂。所述干燥剂可以包括R氧基环氧化铝干燥剂、透明硅胶干燥剂或者分子筛干燥剂中的一种或者多种。所述第一填充槽211的形状并不作具体的限定，比如可以是半圆形、椭圆形、U型、方形或者其他的不规则形状。在一个实施例中，所述第一填充槽211设置在不被所述有机层220遮挡的位置。在另一个实施例中，所述第一填充槽211可以设置在所述第一无机层210的任意位置。本实施例中，在所述第一无机层210设置所述第一填充槽211可以使得所述第一无机层210的集中应力得到部分的释放。

本实施例中，所述保护层240设置于所述第一无机层210、所述有机层220以及所述第二无机层230的侧面。对所述第一无机层210开设第一填充槽211，并向所述第一填充槽211中沉积填充有机物包裹的干燥剂可以增强所述封装薄膜20阻隔水氧的能力。具体的，如图1所示，所述保护层240可以增加所述封装薄膜20与其他的金属层接触的界面，避免所述封装薄膜开裂或者脱落，增强所述封装薄膜的可靠性。

在一个实施例中，所述保护层240为纳米级棒状薄膜。

选用纳米级棒状薄膜的所述保护层240与无机层的结合较为紧密。同时，由于纳米级棒状薄膜的粗糙表面和粒子之间松散的排列情况，使得纳米级棒状薄膜与有机层有效接触面积更大且部分彼此贯穿，可有效地提高纳米级棒状薄膜和有机层之间的结合程度，从而防止无机层和有机层之间在弯折、拉伸等工况下发生剥离。

在一个实施例中，所述保护层240与所述第一无机层210和所述第二无机层230接触的侧面至少部分表面为非平整表面。

由于菲涅尔效应的存在，当光从一种具有折射率的介质向另一种具有折射率的介质传播时，在两者的交界面可能会同时发生光的反射和折射。因此，降低菲涅尔效应，可改善出光率在一定程度上提高显示效果。

本实施例中，所述保护层240与所述第一无机层210和所述第二无机层230接触的侧面至少部分表面为非平整表面。一方面，当有光线打到所述保护层240与无机层接触的表面时，可以减轻出射光线从封装结构出射时的反射程度，从而降低光损耗，进而降低菲涅尔效应，提高光取出率及显示效果；另一方面增加接触面积，提高膜层之间结合力。

在一个实施例中，所述保护层240选自有机物、无机物或者混合物中的任意一种；其中，所述有机物至少包括有机纤维；所述无机物至少包括氧化石墨烯或者无机硅胶；所述混合物为以有机物为基质，以Na₂SO₄、CaO或Al₂O₃中至少一种无机物作为掺杂而组成的混合物。

本实施例中，所述保护层240选取的材料不同，可以帮助增加所述封装薄膜20与其他的金属层接触的界面，避免所述封装薄膜20开裂或者脱落，增强所述封装薄膜20的可靠性。

在一个实施例中，所述有机层220的长度小于所述第一无机层210的长度，所述第一无机层210的长度等于所述第二无机层230的长度。

所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向为第一方向。在同一个平面内与所述第一方向垂直的方向为第二方向。所述第一无机层210和所述第二无机层230沿所述第二方向的长度相等。所述有机层220沿所述第二方向的长度小于所述第一无机层210沿所述第二方向的长度。本实施例中，设置所述第一无机层210、所述有机层220和所述第二无机层230设置为以上的长度关系可以更好的保证所述封装薄膜20对水汽、氧气的阻隔性能。

在一个实施例中，所述保护层240沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的厚度等于层叠设置的所述第一无机层210、所述有机层220和所述第二无机层230沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的总厚度。本实施例中，所述保护层240沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的厚度等于层叠设置的所述第一无机层210、所述有机层220和所述第二无机层230沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的总厚度，可以在一定程度上保证所述无机层210和所述第二无机层230成膜的均匀性和平整性。

在一个实施例中，所述保护层240沿所述第二方向的边界宽度可以为5纳米-20微米。比如可以是5纳米、20纳米、30纳米、1微米、2微米、5微米、12微米或者18微米。

本实施例中，沿所述第二方向设置合理宽度的所述保护层240可以在保证所述封装薄膜20阻隔水氧的优良特性的前提下，避免了所述封装薄膜20有较长的外延宽度，避免后续增加OLED器件的非显示区宽度。

在一个实施例中，在所述封装薄膜20中还可以沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向交替设置多层无机层和多层有机层，以进一步增强所述封装薄膜20阻隔水氧的特性。

请参阅图4，在另一个实施例中，所述第一填充槽211在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向贯穿所述第一无机层210。本实施例中，可以设置一个或者多个贯穿于所述第一无机层210的所述第一填充槽211。在贯穿于所述第一无机层210的所述第一填充槽211中填充带干燥剂的有机物，当所述封装薄膜20受到压力、发生移动或者弯折时，填充物收到挤压可以释放干燥剂，从而更有效的缓解应力。释放的干燥剂也可以进一步的吸收水氧，增强所述封装薄膜20阻隔水氧的特性。

请参阅图5，在一个实施例中，所述第二无机层230具有第二填充槽231。具体所述第二填充槽231的厚度、形状、材料或者沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向投影的位置可以是与所述第一填充槽211相同。所述第二填充槽231可以设置一个或者多个。所述第二填充槽231设置于所述第二无机层230时，可以与所述第二无机层230的厚度相同，也可以和所述第二无机物230的厚度不同。

请参阅图6，在另一个实施例中，所述第二填充槽231在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向贯穿所述第二无机层230设置。在贯穿于所述第二无机层230的所述第二填充槽231中填充带干燥剂的有机物，当所述封装薄膜20受到压力、发生移动或者弯折时，填充物收到挤压可以释放干燥剂，从而更有效的缓解应力。释放的干燥剂也可以进一步的吸收水氧，增强所述封装薄膜20阻隔水氧的特性。

所述第一填充槽211和所述第二填充槽231可以贯穿所述第一无机层210和所述第二无机层230设置。所述第一填充槽211和所述第二填充槽231在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向上的投影可以分离、相切、交叉或者重叠。在另一个实施例中，所述第一填充槽211和所述第二填充槽231在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向上的投影重叠。本实施例中，所述第一填充槽211和所述第二填充槽231在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向上的投影重叠，可以有效的释放所述封装薄膜20的整体的应力。

请参阅图7，在另一个实施例中，在所述第一无机层210和所述第二无机层230均设置填充孔212，所述填充孔212中填充有机物包裹的干燥剂。

本实施例中，在所述第一无机层210和所述第二无机层230中均设置所述填充孔212。所述填充孔212的直径可以不做限定。所述填充孔212可以是通过激光打孔机设置的。所述填充孔212可以是不贯穿所述第一无机层210的填充孔。在所述填充孔212中填充的物质可以与所述第一填充槽211和所述第二填充槽231中填充的物质相同。

请参阅图8，在一个实施例中提供一种显示面板100包括显示基板10和上述任一个实施例中的所述封装薄膜20。

所述显示基板10可以包括衬底、薄膜晶体管(Thin-film Transistor，简称TFT)和有机发光二极管单元。所述封装薄膜20覆盖于所述显示基板10的表面。所述封装薄膜20与所述显示基板10直接接触的表面可能为镁/铝(Mg/Al一般可以作为阴极)金属。

本实施例中，所述封装薄膜20与所述显示基板10接触的表面设置有所述保护层240。所述保护层240可以减小所述封装薄膜20与所述显示基板10接触界面的应力。并且使得所述封装薄膜20和所述显示基板10的接触界面具有较高的结构匹配度。在高温、高湿环境下所述封装薄膜20仍然可以很好的阻隔水氧，保证所述显示面板100的使用寿命。

一种封装薄膜的制备方法，包括以下步骤：

S100，提供第一无机层210，对所述第一无机层210开设第一填充槽211，并向所述第一填充槽211中沉积填充有机物包裹的干燥剂；

S200，在所述第一无机层210的表面沉积有机层220，所述有机层220位于所述第一无机层210和所述第二无机层230形成的密闭空间内；

S300，在所述有机层220远离所述第一无机层210的表面沉积第二无机层230；

S400，在层叠设置的所述第一无机层210、所述有机层220以及所述第二无机层230的侧面沉积保护层240，所述保护层240环绕所述第一无机层210和所述第二无机层230设置。

本实施例中，所述保护层240设置于所述第一无机层210、所述有机层220以及所述第二无机层230的侧面。一方面所述保护层240可以增加所述封装薄膜20与其他的金属层接触的界面。另一方面，所述保护层240设置的位置使得所述封装薄膜20在高温、高湿环境下更容易起到阻隔水氧的作用。本实施例中，采用所述封装薄膜的制备方法制备的各层结构的设置使得所述封装薄膜20拥有较为稳定的界面，能够充分阻隔水氧。本实施例中，对所述第一无机层210开设第一填充槽211，并向所述第一填充槽211中沉积填充有机物包裹的干燥剂可以增强所述封装薄膜20阻隔水氧的能力。所述第一填充槽211中填充的材料可以为有机物包裹的干燥剂。所述第一填充槽211的形状以及沿着所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向和所述第二方向延伸的长度都不作具体的限定。本实施例中，在所述第一无机层210设置所述第一填充槽211可以使得所述第一无机层210的集中应力得到部分的释放。

在一个实施例中，所述封装薄膜20的制备方法可以应用于显示面板100的制备方法中。在制备显示面板100的过程中，可以将以上各步骤的顺序切换或者颠倒。比如所述S400，可以在所述步骤S100、S200或者S300中的任一步骤之前。在制备所述显示面板100中的所述封装薄膜20的过程中，可以采用一定形状的掩膜版在显示基板10的表面先沉积所述保护层240，在所述保护层240的框架基础上可以进一步沉积所述第一无机层210、有机层220和所述第二无机层230。

在一个实施例中，所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向为第一方向，在同一个平面内与所述第一方向垂直的方向为第二方向；

所述S300中，所述有机层220沿着所述第二方向的长度小于所述第一无机层210沿所述第二方向的长度，所述第二无机层230沿所述第二方向的长度等于所述第一无机层210沿所述第二方向的长度；

所述S400中，所述保护层240沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的厚度等于层叠设置的所述第一无机层210、所述有机层220和所述第二无机层230沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的总厚度。

本实施例中，设置所述有机层220沿着所述第二方向的长度小于所述第一无机层210沿所述第二方向的长度，可以通过所述第一无机层210和所述第二无机层230有效的包裹所述有机层220，避免水汽、氧气进入所述有机层220。本实施例中，设置为以上的长度关系和厚度关系，可以更好的保证所述封装薄膜20对水汽、氧气的阻隔性能。另外，所述保护层240沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的厚度等于层叠设置的所述第一无机层210、所述有机层220和所述第二无机层230沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的总厚度，可以在一定程度上保证所述无机层210和所述第二无机层230成膜的均匀性和平整性。

在一个实施例中，在所述S400的步骤之后，所述方法还包括：

S410，获取所述第一填充槽211沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的投影位置，按照所述投影位置在所述第二无机层230开设所述第二填充槽231，以使得所述第一填充槽211和所述第二填充槽231在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向的投影重叠；

S420，向所述第二填充槽231中沉积填充有机物包裹的干燥剂。

本实施例中，提供一种制备所述第二填充槽231的方法步骤。具体所述第二填充槽231的厚度、形状、材料或者沿所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向投影的位置可以是与所述第一填充槽211相同。所述第二填充槽231可以设置一个或者多个。所述第二填充槽231设置于所述第二无机层230时，可以与所述第二无机层230的厚度相同，也可以和所述第二无机物230的厚度不同。所述第二填充槽231可以在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向贯穿所述第二无机层230设置。在贯穿于所述第二无机层230的所述第二填充槽231中填充带干燥剂的有机物，当所述封装薄膜20受到压力、发生移动或者弯折时，填充物收到挤压可以释放干燥剂，从而更有效的缓解应力。释放的干燥剂也可以进一步的吸收水氧，增强所述封装薄膜20阻隔水氧的特性。

在一个实施例中，所述第一填充槽211和所述第二填充槽231在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向上的投影可以有多种位置关系，比如可以是分离、相切、交叉或者重叠。本实施例中，所述第一填充槽211和所述第二填充槽231在所述第一无机层210指向所述第二无机层230的方向上的投影重叠，可以在所述第一填充槽211和所述第二填充槽231中统一的填充有机物包裹的干燥剂。比如有机物可以是有机纤维。所述干燥剂可以包括R氧基环氧化铝干燥剂、透明硅胶干燥剂或者分子筛干燥剂中的一种或者多种。在一个实施例中，还可以选取流动方便的液体干燥剂。

在一个实施例中，可以采用激光或者刻蚀的方法对所述第一无机层210和所述第二无机层230进行打孔，具体的孔可以是通孔或者是半通孔或者是其他形状的开槽。可以向所述填充孔212中填充所述保护层240的材料。本实施例中，在所述第一无机层210和所述第二无机层230设置所述填充孔212可以更好的保证所述封装薄膜20对水汽、氧气的阻隔性能。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种封装薄膜，其特征在于，包括依次层叠设置的第一无机层(210)、有机层(220)和第二无机层(230)，其中所述有机层(220)位于所述第一无机层(210)和所述第二无机层(230)形成的密闭空间内；

所述封装薄膜(20)还包括保护层(240)，设置于所述第一无机层(210)和所述第二无机层(230)的侧面；

所述第一无机层(210)具有第一填充槽(211)，在所述第一填充槽(211)中填充有机物包裹的干燥剂，在所述第一无机层(210)指向所述第二无机层(230)的方向上，所述第一填充槽(211)贯穿所述第一无机层(210)设置；

所述第二无机层(230)具有第二填充槽(231)，在所述第二填充槽(231)中填充有机物包裹的干燥剂，在所述第一无机层(210)指向所述第二无机层(230)的方向上，所述第二填充槽(231)贯穿所述第二无机层(230)设置；

所述第一填充槽(211)和所述第二填充槽(231)在所述第一无机层(210)指向所述第二无机层(230)的方向上的投影重叠，所述第一填充槽(211)和所述第二填充槽(231)围绕所述有机层(220)设置。

2.如权利要求1所述的封装薄膜，其特征在于，所述保护层(240)为纳米级棒状薄膜。

3.如权利要求1所述的封装薄膜，其特征在于，所述保护层(240)与所述第一无机层(210)和所述第二无机层(230)接触的表面为非平整表面。

4.如权利要求1-3中任一项所述的封装薄膜，其特征在于，所述保护层(240)选自有机物、无机物或者混合物中的任意一种；其中，所述有机物至少包括有机纤维；所述无机物至少包括氧化石墨烯或者无机硅胶；所述混合物为以有机物为基质，以Na₂SO₄、CaO或Al₂O₃中至少一种无机物作为掺杂而组成的混合物。

5.如权利要求4所述的封装薄膜，其特征在于，在所述第一无机层(210)和所述第二无机层(230)均设置填充孔(212)，所述填充孔(212)中填充有机物包裹的干燥剂。

6.一种显示面板，其特征在于，包括显示基板(10)和如权利要求1-5中任一项所述的封装薄膜(20)，所述封装薄膜(20)覆盖于所述显示基板(10)。

7.一种封装薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S100，提供第一无机层(210)，对所述第一无机层(210)开设第一填充槽(211)，并向所述第一填充槽(211)中沉积填充有机物包裹的干燥剂；

S200，在所述第一无机层(210)的表面沉积有机层(220)；

S300，在所述有机层(220)远离所述第一无机层(210)的表面沉积第二无机层(230)，所述有机层(220)位于所述第一无机层(210)和所述第二无机层(230)形成的密闭空间内；

S400，在层叠设置的所述第一无机层(210)、所述有机层(220)以及所述第二无机层(230)的侧面沉积保护层(240)，所述保护层(240)环绕所述第一无机层(210)和所述第二无机层(230)设置；

S410，获取所述第一填充槽(211)沿所述第一无机层(210)指向所述第二无机层(230)方向上的投影位置，按照所述投影位置在所述第二无机层(230)开设第二填充槽(231)，以使得所述第一填充槽(211)和所述第二填充槽(231)在所述第一无机层(210)指向所述第二无机层(230)的方向上的投影重叠，所述第一填充槽(211)和所述第二填充槽(231)围绕所述有机层(220)设置；

S420，向所述第二填充槽(231)中沉积填充有机物包裹的干燥剂。

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