CN109702320A - 一种玻璃激光标刻系统 - Google Patents

Abstract

本发明实施例适用于激光标刻领域，提供了一种玻璃激光标刻系统，其包括用于对玻璃板进行激光标刻的光路系统和用于定位玻璃板以及驱使光路系统在X轴和Z轴方向移动的机械系统，光路系统安装在机械系统上，机械系统包括机座、用于吸附玻璃板的吸附组件以及用于定位玻璃板的定位组件，吸附组件安装在机座上，光路系统位于吸附组件上方，定位组件安装在吸附组件上，定位组件包括用于对玻璃板进行粗定位的机械定位装置以及用于对玻璃板进行精定位的CCD定位装置。本发明通过机械定位装置对玻璃板进行粗定位以及通过CCD定位装置对玻璃板进行精定位，提高了玻璃板的定位精度，并进一步提高玻璃板的加工精度。

Description

一种玻璃激光标刻系统

技术领域

本发明属于激光标刻技术领域，尤其涉及一种玻璃激光标刻系统。

背景技术

ITO薄膜是指铟锡氧化物的半导体透明导电薄膜，通常将ITO薄膜镀在玻璃基板上，其厚度范围为100-500nm。传统的ITO刻线采用的是化学试剂刻蚀，这种方法主要是因其废品率高、成本高而逐渐被淘汰。现在ITO刻线慢慢开始偏向于成本低、无污染、易操作、良品率高的激光刻蚀技术。

新型的激光刻蚀方式是通过调节高能激光束的焦点位置，使其直接作用于ITO薄膜层，并调整激光能量，使得ITO层瞬间气化而不影响基底玻璃面板，从而达到蚀刻的效果。激光蚀刻后均未对玻璃面板造成损伤，尺寸精度误差在15um以内，且激光蚀刻设备相较于化学试剂刻蚀，设备体积更加小巧、易操作、成本低、良品率高，ITO激光刻蚀已逐渐成为行业中的主力军,但目前的激光蚀刻设备的定位精度及加工精度仍无法满足更加精细的生产技术要求。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题在于提供一种玻璃激光标刻系统，旨在解决现有技术中用激光标刻玻璃板时定位精度以及加工精度不高的问题。

本发明实施例是这样实现的:一种玻璃激光标刻系统，其包括用于对玻璃板进行激光标刻的光路系统和用于定位玻璃板以及驱使所述光路系统在X轴和Z轴方向移动的机械系统，所述光路系统安装在所述机械系统上；

所述机械系统包括机座、用于吸附玻璃板的吸附组件以及用于定位玻璃板的定位组件，所述吸附组件安装在所述机座上，所述光路系统位于所述吸附组件上方，所述定位组件安装在所述吸附组件上，所述定位组件包括用于对玻璃板进行粗定位的机械定位装置以及用于对玻璃板进行精定位的CCD定位装置，所述机械定位装置和所述CCD定位装置固定在所述吸附组件周围。

进一步地，所述吸附组件包括用于承载和吸附玻璃板的吸附夹具、支撑所述吸附夹具的夹具支撑装置以及用于对所述吸附夹具上的玻璃板进行顶升的顶升装置；

所述吸附夹具安装于所述夹具支撑装置上，所述顶升装置设置于吸附夹具下方，所述顶升装置包括若干个支撑柱、支撑板以及安装于支撑板下方的升降机构，所述支撑柱设置在所述支撑板上，所述支撑柱穿过所述吸附夹具，所述吸附夹具上开设有与所述支撑柱对应的通孔；

所述升降机构包括升降支架、用于驱动所述升降支架升降的升降气缸、传感器支架以及用于检测玻璃板位置的传感器，所述升降气缸安装于所述升降支架下方，所述传感器支架安装于所述升降支架上方，所述传感器安装在所述传感器支架上，所述升降气缸的活塞杆在玻璃板下料时推动所述支撑板以及所述支撑柱向上移动。

进一步地，所述机械定位装置设置于所述吸附夹具四周，所述机械定位装置包括定位气缸和定位柱，所述吸附夹具的相邻两个侧面均设置有两个所述定位气缸，位于所述吸附夹具的同一个侧面的两个所述定位气缸的对面分别对应设置有若干个所述定位柱，所述定位气缸能推动所述玻璃板向所述定位柱方向移动，并能抵靠于所述定位柱，所述定位柱和所述定位气缸共同定位玻璃板。

进一步地，所述CCD定位装置设置于所述吸附夹具四周且位于所述吸附夹具下方，所述CCD定位装置具有五组，其中四组所述CCD定位装置分别位于所述吸附夹具的四个侧面的中点处，第五组所述CCD定位装置设置于所述吸附夹具其中一个侧面的四分之一位置处。

进一步地，所述机械系统还包括X-Y运动组件和Z轴升降组件；

所述X-Y运动组件安装在所述机座上，所述X-Y运动组件包括X轴固定板、X轴移动平台、Y轴固定板以及Y轴移动平台，所述X轴移动平台安装在所述X轴固定板上，所述Y轴固定板安装在所述X轴移动平台上，所述Y轴移动平台安装在所述Y轴固定板上，所述Z轴升降组件安装在所述Y轴固定板上，所述Z轴升降组件装载所述光路系统。

进一步地，所述Z轴升降组件包括电机、Z轴底板、第一导轨、第二导轨、第三导轨、第一滑块、第二滑块、第三滑块、Z轴上斜块、Z轴下斜块以及Z轴导向块，所述Z轴上斜块固定所述光路系统，所述Z轴底板固定在所述Y轴固定板上，所述第一导轨固定于所述Z轴底板上，所述第一滑块可水平滑动地安装在所述第一导轨上，所述Z轴下斜块固定在所述Z轴下斜块上，所述Z轴下斜块的顶面为斜面，所述Z轴上斜块的顶面上安装所述第二导轨，所述第二滑块可滑动地安装在所述第二导轨上，所述Z轴上斜块的底面为斜面，所述Z轴上斜块的底面与所述第二滑块固定连接，所述Z轴上斜块的侧面为竖直面，所述Z轴上斜块的侧面上安装有第三导轨，所述第三滑块可竖直上下滑动地安装在所述第三导轨上，所述第三滑块固定于所述Z轴导向块上，所述Z轴导向块安装在所述Z轴底板上，所述Z轴下斜块与所述电机的输出轴传动连接，所述电机驱动所述Z轴下斜块水平滑动并带动所述光路系统做升降运动。

进一步地，所述光路系统包括激光器、光路传导系统以及振镜扫描系统，所述激光器发射的激光束经过所述光路传导系统后入射至所述振镜扫描系统；所述光路系统具有四组，每组所述光路系统包括四个所述激光器、四组所述光路传导系统以及四组所述振镜扫描系统。

进一步地，所述玻璃激光标刻系统还包括检测系统，所述检测系统包括检测底板、用于检测玻璃Mark电阻值的探针检测组件、用于检测激光器功率的能量探头组件以及用于检测激光标刻效果的CCD组件，所述检测底板固定在所述Y轴移动平台上；

所述探针检测组件包括第一探针调节板、第一调节气缸、第二探针调节板、第二调节气缸、探针夹块以及探针，所述第一探针调节板固定于检测底板上，所述第一调节气缸与所述第一探针调节板固定连接，所述第二探针调节板与所述第一调节气缸固定连接，所述第二调节气缸与所述第二探针调节板固定连接，所述探针夹块安装在所述第二调节气缸上，所述探针夹块安装所述探针；

所述能量探头组件包括第一探头支架、第一伸缩气缸、第二探头支架、第二伸缩气缸以及激光探头，所述第一探头支架固定在所述检测底板上，所述第一伸缩气缸安装在所述第一探头支架下方，所述第二探头支架与所述第一伸缩气缸固定连接，所述第二伸缩气缸与第二探头支架固定连接，所述激光探头安装在所述第二伸缩气缸上；

所述CCD组件包括CCD安装底板、微动平台以及CCD相机，所述CCD安装底板固定在所述检测底板上，所述微动平台安装在所述检测底板上，所述CCD相机可上下移动地安装在所述微动平台上。

进一步地，所述玻璃激光标刻系统还包括抽尘系统。

本发明实施例与现有技术相比，有益效果在于：本发明使用吸附组件吸附玻璃板，使得玻璃板水平固定，然后先通过机械定位装置对玻璃板进行粗定位，再通过CCD定位装置确定玻璃板的中心，计算玻璃板的倾斜角度，并通过CCD定位装置与电脑连接计算玻璃面板上需要进行标刻的精确位置，对玻璃板进行精确定位，提高了玻璃板的定位精度，并进一步提高玻璃板的加工精度。

附图说明

图1是本发明实施例提供的玻璃激光标刻系统整体结构示意图；

图2是图1中的部分结构示意图；

图3是图1中的吸附组件结构示意图；

图4是图1中的定位组件结构示意图；

图5是图3中的吸附夹具结构示意图；

图6是图3中的支撑板和支撑柱结构示意图；

图7是图3中的升降机构结构示意图；

图8是图1中的光路系统结构示意图；

图9是图1中的升降台组件结构示意图；

图10是图9中的内部结构示意图；

图11是图2中的检测系统结构示意图。

在附图中，各附图标记表示：

1、机座；2、大理石基座；3、机械系统；4、X-Y运动组件；5、吸附组件；401、X轴固定板；402、X轴移动平台；403、Y轴固定板；404、Y轴移动平台；501、夹具支撑装置；502、支撑柱；503、吸附夹具；504、支撑板；505、升降机构；506、升降气缸；507、升降支架；508、传感器支架；509、CCD定位装置；510、传感器；9、机械定位装置；901、定位气缸；902、定位柱；6、光路系统；601、激光器；602、光路传导系统；603、振镜扫描系统；7、升降台组件；701、升降台防护罩；702、Z轴底板；703、第一导轨；704、第一滑块；705、Z轴下斜块；706、第二导轨；707、第二滑块；708、Z轴上斜块；709、第三导轨；710、第三滑块；711、Z轴导向块；712、电机；8、检测系统；80、探针检测组件；81、能量探头组件；82、CCD组件；801、检测底板；802、第一探针调节板；803、第一调节气缸；804、第二探针调节板；805、第二调节气缸；806、探针夹块；807、探针；808、第一探头支架；809、第一伸缩气缸；810、第二探头支架；811、第二伸缩气缸；812、激光探头；813、CCD安装底板；814、微动平台；815、CCD相机；816、电器板防护罩；12、抽尘系统；10、上下料机械臂；11、定位组件。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1至图3所示，是本发明实施例提供的一种玻璃激光标刻系统。该玻璃激光标刻系统包括用于对玻璃板进行激光标刻的光路系统6和用于定位玻璃板以及驱使光路系统6在X轴和Z轴方向移动的机械系统3，光路系统6安装在机械系统3上；机械系统3包括机座1、用于吸附玻璃板的吸附组件5以及用于定位玻璃板的定位组件11，吸附组件5安装在机座1上，光路系统6位于吸附组件5上方，定位组件11安装在吸附组件5上，定位组件11包括用于对玻璃板进行粗定位的机械定位装置9以及用于对玻璃板进行精定位的CCD定位装置509，机械定位装置9和CCD定位装置509固定在吸附组件5周围。

上述实施例中，如图4至图7所示，吸附组件5包括用于承载和吸附玻璃板的吸附夹具503、支撑吸附夹具503的夹具支撑装置501以及用于对吸附夹具503上的玻璃板进行顶升的顶升装置；吸附夹具503安装于夹具支撑装置501上，顶升装置设置在吸附夹具503下方，顶升装置包括若干个支撑柱502、支撑板504以及安装于支撑板504下方的升降机构505，支撑柱502设置在支撑板504上，支撑柱502穿过吸附夹具503，吸附夹具503上开设有与支撑柱502对应的通孔；升降机构505包括升降支架507、升降气缸506、传感器510支架508以及传感器510，升降气缸506安装于升降支架507下方，升降气缸506能够驱动升降支架507升降，传感器510支架508安装在升降支架507上方，传感器510安装在传感器510支架508上，当玻璃板下料时，升降气缸506的活塞杆推动升降支架507上升，并带动支撑板504和支撑柱502向上移动，玻璃板放置在支撑柱502上，传感器510支架508上的传感器510检测到玻璃板已经放置完毕后，反馈信号给控制系统，控制系统控制升降气缸506工作，带动支撑板504和支撑柱502向下降，直到玻璃板到吸附夹具503处。采用吸附夹具503吸附玻璃板，保证玻璃板水平固定，标刻过程中保持PET(Polyethylene terephthalate，聚对苯二甲酸类塑料)薄膜的完整，从背面支撑待玻璃板区域，防止切断瞬间由于掉落产生应力破坏标刻边缘效果，并且方便玻璃板的后续处理和放置。

上述实施例中，如图3所示，机械定位装置9设置在吸附夹具503四周，机械定位装置9包括定位气缸901和定位柱902，定位气缸901分别位于吸附夹具503的相邻两个侧面，每个侧面设置有两个定位气缸901，定位柱902设置在定位气缸901的对面，位于同一个侧面的两个定位气缸901的对面分别对应设置有若干个定位柱902，定位气缸901能够推动玻璃板向定位柱902方向移动，并能抵靠于定位柱902，定位柱902和定位气缸901共同定位玻璃板，使得玻璃板在X方向和Y方向上完成粗定位。如图3和图4所示，CCD定位装置509设置于吸附夹具503四周且位于吸附夹具503下方，所CCD定位装置509具有五组，其中四组CCD定位装置509分别位于吸附夹具503的四个侧面的中点处，第五组CCD定位装置509设置于吸附夹具503其中一个侧面的四分之一距离处。在机械定位装置9对玻璃板完成粗定位之后，位于吸附夹具503三个不同侧面的三组CCD定位装置509对玻璃板的中心进行确定，第四个侧面的的两组CCD定位装置509则计算玻璃板倾斜角度，并通过电脑计算玻璃面板上需要进行标刻的精确位置，为下一步激光标刻做准备。

上述实施例中，如图8所示，光路系统6包括激光器601、光路传导系统602以及振镜扫描系统603，激光器601发射的激光束经过光路传导系统602后入射至振镜扫描系统603；光路系统6具有四组，每组光路系统6包括四个激光器601、四组光路传导系统602以及四组振镜扫描系统603。优选的，本发明实施例采用紫外激光器601，利用激光切割技术对玻璃面板基底上的ITO导电膜进行激光蚀刻加工，凭借紫外激光短波长及冷加工的优点，在加工玻璃面板时，其精细度大大提高，同时使热影响降到了最低，尺寸精度误差控制在±5um以内；本发明实施例适用于标刻1500×1850mm的玻璃面板，实际应用中还可应用于其他一系列的玻璃面板。优选的，本发明实施例还包括抽尘系统12，抽尘系统12可对玻璃板进行粉尘处理，并能减少噪音，使得加工过程更加环保节能。

另外，如图9和图10所示，机械系统3还包括X-Y运动组件4和Z轴升降组件；X-Y运动组件4安装在机座1上，X-Y运动组件4包括X轴固定板401、X轴移动平台402、Y轴固定板403以及Y轴移动平台404，X轴移动平台402安装在X轴固定板401上，Y轴固定板403安装在X轴移动平台402上，Y轴移动平台404安装在Y轴固定板403上，Z轴升降组件安装在Y轴固定板403上，Z轴升降组件装载光路系统6，X轴移动平台402能让光路系统6在X轴上移动，实现切割或打标，Z轴升降组件则让光路系统6在Z轴方向运动。Z轴升降组件包括电机712、Z轴底板702、第一导轨703、第二导轨706、第三导轨709、第一滑块704、第二滑块707、第三滑块710、Z轴上斜块708、Z轴下斜块以及Z轴导向块711，Z轴上斜块708固定光路系统6，Z轴底板702固定在Y轴固定板403上，第一导轨703固定于Z轴底板702上，第一滑块704可水平滑动地安装在第一导轨703上，Z轴下斜块705固定在Z轴下斜块705上，Z轴下斜块705的顶面为斜面，顶面上安装第二导轨706，第二滑块707可滑动地安装在第二导轨706上，Z轴上斜块708的底面为斜面，底面与第二滑块707固定连接，Z轴上斜块708的侧面为竖直面，侧面上安装有第三导轨709，第三滑块710可竖直上下滑动地安装在第三导轨709上，第三滑块710固定在Z轴导向块711上，Z轴导向块711安装在Z轴底板702上，Z轴下斜块705与电机712的输出轴传动连接，电机712驱动Z轴下斜块705水平滑动，由于Z轴上斜块708与Z轴下斜块705之间滑块和导轨的作用，并且Z轴上斜块708固定在Z轴导向块711上，Z轴上斜块708做竖直方向的升降运动，并带动光路系统6升降。

优选的，如图11所示，本发明实施例的玻璃激光标刻系统还包括检测系统8，检测系统8包括检测底板801、用于检测玻璃Mark(位置识别点)电阻值的探针807检测组件80、用于检测激光器601功率的能量探头组件81以及用于检测激光标刻效果的CCD组件82，检测底板801固定在Y轴移动平台404上，检测系统8能够在Y轴方向上移动；

探针807检测组件80包括第一探针调节板802、第一调节气缸803、第二探针调节板804、第二调节气缸805、探针夹块806以及探针807，第一探针调节板802固定于检测底板801上，第一调节气缸803与第一探针调节板802固定连接，第二探针调节板804与第一调节气缸803固定连接，第二调节气缸805与第二探针调节板804固定连接，探针夹块806安装在第二调节气缸805上，探针夹块806安装探针807。第一调节气缸803与第二调节气缸805串联分布，能够有效节省安装空间，均可调节探在Z轴方向的位置。探针检测组件80可以定期检测玻璃板上回字形Mark电阻值，确保每个激光头能将ITO薄膜剥离净，回字形Mark内外电阻值需要大于10兆欧，若小于10兆欧，设备会报警。

能量探头组件81包括第一探头支架808、第一伸缩气缸809、第二探头支架810、第二伸缩气缸811以及激光探头812，第一探头支架808固定在检测底板801上，第一伸缩气缸809安装在第一探头支架808下方，第二探头支架810与第一伸缩气缸809固定连接，第二伸缩气缸811与第二探头支架810固定连接，激光探头812安装在第二伸缩气缸811上。第一伸缩气缸809与第二伸缩气缸811串联分布，能够有效节省安装空间，可分别或同时调节激光探头812在X轴方向的位置。能量探头组件81能够定期对激光器601的功率进行检测，能够及时对激光器601功率进行补偿。

CCD组件82包括CCD安装底板813、微动平台814以及CCD相机815，CCD安装底板813固定在检测底板801上，微动平台814安装在检测底板801上，CCD相机815可上下移动地安装在微动平台814上，CCD相机815在Z轴的位置可通过调节微动平台814来改变。CCD相机815可检测产品的标刻效果。

综上所述，本发明实施例提供的玻璃激光标刻系统工作过程大致如下：

第一步：在激光标刻加工前，校正X轴移动平台402、振镜扫描系统603的精度以及设置标刻加工的精确位置，然后对激光器601的激光的中心和CCD相机815的中心进行偏移校准，并通过设置工控电脑的产品的图形模板以计算标刻加工的精确位置；

第二步：升降机构505动作，支撑柱502上升，上下料机械臂10将玻璃板放置于支撑柱502上；

第三步：升降机构505动作，支撑柱502下降，定位气缸901和定位柱902对玻璃板进行机械定位；

第四步：吸附夹具503动作，吸附住玻璃板，CCD定位组件检测玻璃板的边角位置，然后通过工控电脑计算玻璃面板上需要进行标刻的精确位置；

第四步：控制激光器601根据上述精确位置对玻璃板进行激光标刻加工，即：通过激光器601发射激光束，发射的激光束经过光路传导系统602后入射至振镜扫描系统603。激光器601为Nd：YVO4型固体紫外激光器601，激光器601的功率为10W～30W，激光器601所发射激光束的波长为355nm，脉宽范围为20ns～30ns；

第五步：通过振镜扫描系统603对激光束进行聚焦处理，使激光束在玻璃板内部形成光斑，聚焦光斑的直接范围为10um～20um；

第六步：通过抽尘系统12对玻璃板进行粉尘处理；

第七步：使用CCD相机815来检测产品的标刻效果；

第八步：升降机构505动作，支撑柱502上升，上下料机械臂10将玻璃板从支撑柱502上移走。

综上所述，本发明的玻璃激光标刻系统具有如下优点：1)本发明利用激光束较小的脉冲宽度和较短的波长以非接触方式实现产品的标刻，避免了机械方法对产品产生的接触应力，以及在标刻加工过程中因热加工机制产生微裂纹、挂渣、变形等问题；2)采用机械定位与CCD定位相结合对产品进行定位，定位精度和加工精度高；3)通过使用吸附夹具503使玻璃板水平固定，标刻过程中保持PET薄膜的完整，从背面支撑玻璃板区域，防止切断瞬间由于掉落产生应力破坏标刻边缘效果，并且方便玻璃板的后续处理和放置；4)通过抽尘系统12，减少噪音，使得加工过程更加环保节能；5)采用16个激光器601组合，能对尺寸为1850x1500mm玻璃面板进行标刻，大大提高了生产效率。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述玻璃激光标刻系统包括用于对玻璃板进行激光标刻的光路系统(6)和用于定位玻璃板以及驱使所述光路系统(6)在X轴和Z轴方向移动的机械系统(3)，所述光路系统(6)安装在所述机械系统(3)上；

所述机械系统(3)包括机座(1)、用于吸附玻璃板的吸附组件(5)以及用于定位玻璃板的定位组件(11)，所述吸附组件(5)安装在所述机座(1)上，所述光路系统(6)位于所述吸附组件(5)上方，所述定位组件(11)安装在所述吸附组件(5)上，所述定位组件(11)包括用于对玻璃板进行粗定位的机械定位装置(9)以及用于对玻璃板进行精定位的CCD定位装置(509)，所述机械定位装置(9)和所述CCD定位装置(509)固定在所述吸附组件(5)周围。

2.如权利要求1所述的玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述吸附组件(5)包括用于承载和吸附玻璃板的吸附夹具(503)、支撑所述吸附夹具(503)的夹具支撑装置(501)以及用于对所述吸附夹具(503)上的玻璃板进行顶升的顶升装置；

所述吸附夹具(503)安装于所述夹具支撑装置(501)上，所述顶升装置设置于吸附夹具(503)下方，所述顶升装置包括若干个支撑柱(502)、支撑板(504)以及安装于支撑板(504)下方的升降机构(505)，所述支撑柱(502)设置在所述支撑板(504)上，所述支撑柱(502)穿过所述吸附夹具(503)，所述吸附夹具(503)上开设有与所述支撑柱(502)对应的通孔；

所述升降机构(505)包括升降支架(507)、用于驱动所述升降支架(507)升降的升降气缸(506)、传感器支架(508)以及用于检测玻璃板位置的传感器(510)，所述升降气缸(506)安装于所述升降支架(507)下方，所述传感器支架(508)安装于所述升降支架(507)上方，所述传感器(510)安装在所述传感器支架(508)上，所述升降气缸(506)的活塞杆在玻璃板下料时推动所述支撑板(504)以及所述支撑柱(502)向上移动。

3.如权利要求2所述的玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述机械定位装置(9)设置于所述吸附夹具(503)四周，所述机械定位装置(9)包括定位气缸(901)和定位柱(902)，所述吸附夹具(503)的相邻两个侧面均设置有两个所述定位气缸(901)，位于所述吸附夹具(503)的同一个侧面的两个所述定位气缸(901)的对面分别对应设置有若干个所述定位柱(902)，所述定位气缸(901)能推动玻璃板向所述定位柱(902)方向移动，并能抵靠于所述定位柱(902)，所述定位柱(902)和所述定位气缸(901)共同定位玻璃板。

4.如权利要求3所述的玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述CCD定位装置(509)设置于所述吸附夹具(503)四周且位于所述吸附夹具(503)下方，所述CCD定位装置(509)具有五组，其中四组所述CCD定位装置(509)分别位于所述吸附夹具(503)的四个侧面的中点处，其中一组所述CCD定位装置(509)设置于所述吸附夹具(503)其中一个侧面的四分之一位置处。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述机械系统(3)还包括X-Y运动组件(4)和Z轴升降组件；

所述X-Y运动组件(4)安装在所述机座(1)上，所述X-Y运动组件(4)包括X轴固定板(401)、X轴移动平台(402)、Y轴固定板(403)以及Y轴移动平台(404)，所述X轴移动平台(402)安装在所述X轴固定板(401)上，所述Y轴固定板(403)安装在所述X轴移动平台(402)上，所述Y轴移动平台(404)安装在所述Y轴固定板(403)上，所述Z轴升降组件安装在所述Y轴固定板(403)上，所述Z轴升降组件装载所述光路系统(6)。

6.如权利要求5所述的玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述Z轴升降组件包括电机(712)、Z轴底板(702)、第一导轨(703)、第二导轨(706)、第三导轨(709)、第一滑块(704)、第二滑块(707)、第三滑块(710)以及Z轴导向块(711)、Z轴上斜块(708)以及Z轴下斜块(705)，所述Z轴上斜块(708)固定所述光路系统(6)，所述Z轴底板(702)固定在所述Y轴固定板(403)上，所述第一导轨(703)固定于所述Z轴底板(702)上，所述第一滑块(704)可水平滑动地安装在所述第一导轨(703)上，所述Z轴下斜块(705)固定在所述Z轴下斜块(705)上，所述Z轴下斜块(705)的顶面为斜面，所述Z轴下斜块(705)的顶面上安装所述第二导轨(706)，所述第二滑块(707)可滑动地安装在所述第二导轨(706)上，所述Z轴上斜块(708)的底面为斜面，所述Z轴上斜块(708)的底面与所述第二滑块(707)固定连接，所述Z轴上斜块(708)的侧面为竖直面，所述Z轴上斜块(708)的侧面上安装有第三导轨(709)，所述第三滑块(710)可竖直上下滑动地安装在所述第三导轨(709)上，所述第三滑块(710)固定在所述Z轴导向块(711)上，所述Z轴导向块(711)安装在所述Z轴底板(702)上，所述Z轴下斜块(705)与所述电机(712)的输出轴传动连接，所述电机(712)驱动所述Z轴下斜块(705)水平滑动并带动所述光路系统(6)做升降运动。

7.如权利要求6所述的玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述光路系统(6)包括激光器(601)、光路传导系统(602)以及振镜扫描系统(603)，所述激光器(601)发射的激光束经过所述光路传导系统(602)后入射至所述振镜扫描系统(603)；所述光路系统(6)具有四组，每组所述光路系统(6)包括四个所述激光器(601)、四组所述光路传导系统(602)以及四组所述振镜扫描系统(603)。

8.如权利要求5所述的玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述玻璃激光标刻系统还包括检测系统(8)，所述检测系统(8)包括检测底板(801)、用于检测玻璃Mark电阻值的探针检测组件(80)、用于检测激光器(601)功率的能量探头组件(81)以及用于检测激光标刻效果的CCD组件(82)，所述检测底板(801)固定在所述Y轴移动平台(404)上；

所述探针检测组件(80)包括第一探针调节板(802)、第一调节气缸(803)、第二探针调节板(804)、第二调节气缸(805)、探针夹块(806)以及探针(807)，所述第一探针调节板(802)固定于检测底板(801)上，所述第一调节气缸(803)与所述第一探针调节板(802)固定连接，所述第二探针调节板(804)与所述第一调节气缸(803)固定连接，所述第二调节气缸(805)与所述第二探针调节板(804)固定连接，所述探针夹块(806)安装在所述第二调节气缸(805)上，所述探针夹块(806)安装所述探针(807)；

所述能量探头组件(81)包括第一探头支架(808)、第一伸缩气缸(809)、第二探头支架(810)、第二伸缩气缸(811)以及激光探头(812)，所述第一探头支架(808)固定在所述检测底板(801)上，所述第一伸缩气缸(809)安装在所述第一探头支架(808)下方，所述第二探头支架(810)与所述第一伸缩气缸(809)固定连接，所述第二伸缩气缸(811)与第二探头支架(810)固定连接，所述激光探头(812)安装在所述第二伸缩气缸(811)上；

所述CCD组件(82)包括CCD安装底板(813)、微动平台(814)以及CCD相机(815)，所述CCD安装底板(813)固定在所述检测底板(801)上，所述微动平台(814)安装在所述检测底板(801)上，所述CCD相机(815)可上下移动地安装在所述微动平台(814)上。

9.如权利要求1所述的玻璃激光标刻系统，其特征在于，所述玻璃激光标刻系统还包括抽尘系统(12)。