CN104084702A - 不锈钢基片上料自动对位装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种不锈钢上料自动对位装置，该装置的上料平台装置通过Y向直线运动机构安装在平台基座上，可在平台基座上作Y向直线运动；初定位相机安装于上料平台装置的上方；上料基座固定在平台基座上，上料机械手安装在上料基座上，可在上料基座上作X向和Z向直线运动；精定位相机固定在平台基座上吸附平台的上方，用于调整吸附平台的位置实现不锈钢基片的精定位；吸附平台通过X向直线运动机构、Y向直线运动机构和旋转运动机构安装在平台基座上；精定位相机位于吸附平台的上方。本发明能够有效地解决不锈钢基片上料自动对位的问题，保证不锈钢基片的切割位置精度。

Description

不锈钢基片上料自动对位装置

技术领域

本发明涉及激光切割技术领域内的一种不锈钢基片上料自动对位装置。

背景技术

激光切割是一门发展极快的新技术,已成为发展新兴产业,改造传统制造业的关键技术之一。激光切割以其切割范围广、切割速度高、切缝窄、切割质量好、热影响区小、加工柔性大等优点，在现代工业中等到了极为广泛的应用，激光切割技术也成为激光加工技术最为成熟的技术之一，随着激光加工技术的不断发展，激光加工除了在传统行业应用之外，越来越多的应用到更为广阔的精细加工领域，如军工领域、电子产品加工领域、半导体加工领域等，这些领域对激光切割设备提出了更高的要求。

随着全球经济技术和科学技术的不断发展，各类电子产品的制造成本越来越低，价格成为影响电子产品广泛应用的一个重要因素。对于电子标签来说，相对其它识别技术，电子标签具有很大的优越性，有着非常广阔的应用前景，但影响电子标签使用的主要原因之一为标签的成本。作为降低电子标签成本的方法之一，采用不锈钢芯片，可有效地降低电子标签的制作成本，这样对切割工艺提出很高的要求。

不锈钢基片的上料工艺，是激光切割工艺的重要组成部分之一，直接影响切割的质量。手动直接上料，或者通过其它辅助机构上料，如果上料位置有偏差，激光切割时，会切到不锈钢芯片，造成芯片的损坏。因此，激光切割不锈钢芯片，对上料对位功能提出很高的要求。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种不锈钢基片上料自动对位装置，该装置能够有效地解决不锈钢基片上料自动对位的问题，保证不锈钢基片的切割位置精度。

为了解决上述技术问题，本发明的不锈钢上料自动对位装置包括平台基座、上料平台装置、初定位相机、上料基座、上料机械手、精定位相机、吸附平台；所述上料平台装置通过Y向直线运动机构安装在平台基座上，可在平台基座上作Y向直线运动；初定位相机安装于上料平台装置的上方；上料基座固定在平台基座上，上料机械手安装在上料基座上，可在上料基座上作X向和Z向直线运动；精定位相机固定在平台基座上吸附平台的上方；吸附平台通过X向直线运动机构、Y向直线运动机构和旋转运动机构安装在平台基座上，可在平台基座作X向、Z向直线运动和旋转运动。

在使用激光切割不锈钢芯片前，首先将不锈钢基片按一定方向放置在上料平台装置上，由初定位相机采集不锈钢基片图像并将其传送到计算机，计算机计算不锈钢基片上的识别点与相机中心点的Y向位置偏差和X向位置偏差，根据Y向位置偏差控制上料平台装置Y向运动，将不锈钢基片的识别点Y向运动到初定位相机的中心，同时记录不锈钢基片上的识别点与相机中心点的X向位置偏差数据，完成初定位。初定位完成后，上料机械手X向运动到设定的零位，此时上料机械手位于上料平台装置的上方。计算机根据记录的不锈钢基片上的识别点与相机中心点的X向位置偏差调整上料机械手X向位置，将不锈钢基片的识别点X向运动到初定位相机的中心。上料机械手向下运动拾取不锈钢基片后向上运动，再向X方向运动到限位位置(该限位位置也是吸附平台的零位)，将不锈钢基片放置到吸附平台上。吸附平台X向运动到精定位相机的下方(设定的定位位置)后，精定位相机对不锈钢基片的识别点进行精确定位，通过计算机计算识别点与精定位相机中心的偏差，包括X向偏差、Y向偏差和角度偏差，将数据传给吸附平台X向运动机构、吸附平台Y向运动机构和吸附平台旋转运动机构，吸附平台三个运动机构根据接收的数据自动调整位置，并运动到不锈钢基片下方，此时，吸附平台的X向、Y向和θ向位置均为准确位置，上料机械手Z向运动机械向下运动，将不锈钢基片放置到吸附平台上，同时，吸附平台将不锈钢基片吸附在平台上，完成不锈钢基片的上料自动对位功能。本发明能够实现不锈钢基片的上料自动对位，保证不锈钢基片的切割位置精度。

所述上料平台装置包括支架，上料平台，X向限位块，Y向限位块；支架通过Y向直线运动机构安装在平台基座上，可在平台基座上作Y向直线运动；上料平台固定在支架上，其X向的一个边上安装X向限位块，Y向的一个边上安装Y向限位块。

所述上料平台装置还包括X向光电传感器，Y向光电传感器；X向光电传感器与安装在上料平台的X向的一个边上，Y向光电传感器安装在相邻的Y向的一个边上。

所述X向限位块和X向光电传感器安装在上料平台的同一个X向的边上，Y向限位块和Y向光电传感器安装在同一个Y向的边上；上料平台的其余两个边带有缺口。

所述上料平台上带有垂直方向的真空孔，真空孔下部安装气管接头。

上料平台的两个垂直边上分别安装X向限位块和Y向限位块，在放置不锈钢基片时可以对其进行X向和Y向限位，另外两个相邻边上的缺口方便不锈钢基片的取放和对位。当不锈钢基片放置到上料平台上并靠紧X向光电传感器和Y向光电传感器时，X向光电传感器和Y向光电传感器向控制系统发送代表不锈钢基片已放置在正确位置的信号。此时外界真空装置通过气管接头为真空孔提供负压，将不锈钢基片吸附在上料平台上，以避免不锈钢基片串动。

所述上料机械手包括机械手X向直线运动机构，机械手Z向直线运动机构，吸爪连接座，吸爪固定座，气管接头和上料吸爪；机械手X向直线运动机构的固定部件安装在上料基座上，机械手Z向直线运动机构安装固定在机械手X向直线运动机构的可动部件上；吸爪固定座通过吸爪连接座固定在机械手Z向直线运动机构的可动部件上；吸爪固定座的四个角和中央各安装一个气管接头，各气管接头下端固定有上料吸爪。

所述上料机械手还包括Z模组加强板，Z模组固定板；Z模组加强板与Z模组固定板固定连接，机械手Z向直线运动机构通过Z模组加强板和Z模组固定板安装固定在机械手X向直线运动机构的可动部件上。

所述上料机械手还包括第一拖链固定板，第二拖链固定板，拖链；第一拖链固定板和第二拖链固定板分别与上料基座和Z模组加强板固定连接，拖链的两端分别与第一拖链固定板和第二拖链固定板连接。

所述吸附平台包括：吸附平台过渡连接板，吸盘连接座，位于真空吸盘外围的方环形吸盘盖板，真空吸盘，吸盘上密封圈，吸盘下密封圈；吸附平台过渡连接板通过吸附平台底座与旋转运动机构的可动部件固定连接；吸附平台过渡连接板上加工有螺纹孔，旋转气管接头与该螺纹孔连接；吸盘连接座位于吸附平台过渡连接板之上，吸附平台过渡连接板的顶面带有凸环，该凸环嵌入吸盘连接座底部的凹陷部分并与该凹陷部分的底面构成空腔；在空腔的外围两者接合面处由吸盘下密封圈密封；所述吸盘连接座的上表面中间部分加工有相互交错的气道，外围部分为平面；真空吸盘位于吸盘连接座之上，其下表面的加强筋支撑于吸盘连接座的上表面；吸盘连接座和真空吸盘的四周接合面处通过吸盘上密封圈密封；吸盘连接座上分布有多个将气道与空腔连通的真空孔；真空吸盘的上端面加工有网格状沟槽，将整个真空吸盘的上端面分割成行列排布的方块，各方块处加工有垂直方向的吸附透孔；吸盘盖板与吸盘连接座的外围部分连接，连接后吸盘盖板的上端面低于真空吸盘的上端面。

当需要真空时，外界真空装置通过气管和旋转气管接头，首先将吸附平台过渡连接板与吸盘连接座之间空腔的气体抽走，使该空腔形成真空，并使真空均化；同时，通过吸盘连接座上的真空孔和气道，将真空孔提供的真空均匀分布在整个真空吸盘下部的工作面上，再通过真空吸盘的吸附透孔均匀地将真空力作用于切割工件上，实现对切割工件切割前的吸附，切割过程中的吸附以及切割后形成的产品的吸附，能够保证切割后产品的位置精度。由于真空吸盘的上端面加工有网格状沟槽，作为切割和排渣通道，可将工件切割成不同大小规格的产品。由于吸盘连接座上表面加工相互交错的气道，真空吸盘下表面的加强筋支撑于吸盘连接座的上表面，一方面可以将真空均化在真空吸盘的整个工作面，另一方面，还可以起到支承真空吸盘的作用，避免工作时，由于真空吸附力的作用，使真空吸盘发生变形。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

图1是本发明的不锈钢基片上料自动对位装置的立体图。

图2是上料平台装置立体图。

图3是上料平台装置剖面图。

图4是上料机械手局部立体图。

图5是上料机械手局部放大图。

图6是上料机械手局部剖视图。

图7是不锈钢基片俯视图。图中91.切割后得到的产品，92.X向切割标识线，93.Y向切割标识线，94.识别点。

图8是本发明的激光切割吸附平台的立体图。

图9是吸附平台的立体图。

图10是吸附平台的剖视图。

图11是吸附平台的局部剖视图。

图12是吸盘连接座俯视图。

图13是本发明的真空吸盘立体图。

具体实施方式

如图1所示，本发明的不锈钢上料自动对位装置包括平台基座1、上料平台装置2、初定位相机33、上料基座4、上料机械手5、精定位相机63、吸附平台7；所述上料平台装置2通过Y向直线运动机构安装在平台基座1上，可在平台基座1上作Y向直线运动；初定位相机33通过初定位相机基座31、初定位相机连接块32安装在平台基座1上，且初定位相机33位于上料平台装置2的上方；上料基座4固定在平台基座1上，上料机械手5安装在上料基座9上，可在上料基座9上作X向和Z向直线运动；精定位相机63通过精定位相机连接座61和精定位相机连接块62固定在平台基座1上；吸附平台通过X向直线运动机构、Y向直线运动机构和旋转运动机构安装在平台基座1上，可在平台基座1作X向、Z向直线运动和旋转运动；精定位相机63位于吸附平台7的上方。

如图2、3所示，所述上料平台装置2包括支架2-21，上料平台2-22，X向限位块2-23，Y向限位块2-24，X向光电传感器2-25，Y向光电传感器2-27。Y向直线运动机构包括电机2-11、电机底座2-12、限位块2-13、丝杠2-14、丝杠滑板2-15；电机底座2-12固定在平台基座1上，电机2-11固定在电机底座2-12上，其输出轴与丝杠2-14连接，丝杠滑板2-15安装在丝杠2-14上，电机驱动丝杠，带动丝杠滑板2-15Y向运动；限位块2-13固定在电机底座2-12上，用于丝杠有效行程范围内的限位，保护整个装置。支架2-21安装在丝杠滑板2-15上，可随丝杠滑板2-15作Y向直线运动；上料平台2-22固定在支架2-21上，其X向的一个边上安装X向限位块2-23和X向光电传感器2-25，相邻的Y向边上安装Y向限位块2-24和Y向光电传感器2-27。X向限位块2-23和Y向限位块2-24作用在于限位不锈钢基片，X向光电传感器和Y向光电传感器用于判断上料平台上是否有不锈钢基片，或者判断不锈钢基片是否放置到位，如果没有放置到位，不能进行下一步工作，也可以起到对不锈钢基片进行初定位的作用。上料平台2-22的另两个边带有缺口2-31、2-32，方便不锈钢基片的取放和对位。上料平台2-22上带有一定数量的垂直方向的真空孔2-29，真空孔2-29下部安装气管接头2-30，可以保证上料后，不锈钢基片的平整，便于图像识别，同时，也可以保证上料后，不锈钢基片位置不会再发生偏移，保证位置精度。

如图4、5、6所示，所述上料机械手5包括机械手X向直线运动机构，机械手Z向直线运动机构，Z模组加强板5-31，Z模组固定板5-32，第一拖链固定板5-51，第二拖链固定板5-52，拖链5-53、吸爪连接座5-41，吸爪固定座5-42，气管接头5-43、上料吸爪5-44。机械手X向直线运动机构包括X轴电机5-11、X轴电机连接座5-12、X轴联轴节5-13、X轴丝杠5-14、X向丝杠滑板5-15、X轴丝杠盖板5-16；X轴电机连接座安装在上料基座4上，X轴电机与X轴电机连接座连接，X轴电机输出轴通过X轴联轴节与X轴丝杠连接，X轴电机通过驱动X轴丝杠，带动X向丝杠滑板X向运动；X轴丝杠位于X轴丝杠盖板5-16内；Z模组加强板5-31与Z模组固定板5-32和X向丝杠滑板固定连接，用于加强Z模组固定座与X向丝杠滑板的连接强度；机械手Z向直线运动机构包括Z轴电机5-21、Z轴电机连接座5-22、Z轴联轴节5-23、Z轴丝杠5-24、Z轴丝杠滑板5-25、Z轴导轨5-26、Z轴丝杠盖板5-27；Z轴电机连接座和Z轴丝杠盖板5-27固定在Z模组固定板5-32上，Z轴电机与Z轴电机连接座连接，Z轴电机的输出轴通过Z轴联轴节与Z轴丝杠连接，驱动Z轴丝杠滑板Z向运动，Z轴导轨用于Z轴丝杠滑板Z向运动的导向；Z轴丝杠5-24和Z轴导轨5-26位于Z轴丝杠盖板内；Z轴丝杠盖板和X轴丝杠盖板可有效避免工作环境的灰尘对丝杠的污染影响。第一拖链固定板5-51和第二拖链固定板5-52分别与上料基座4和Z模组加强板5-31固定连接，拖链5-53的两端分别与第一拖链固定板5-51和第二拖链固定板5-52连接。拖链5-53用于固定Z模组的电机线和相关气管，减小线和气管对X向直线运动的干扰。吸爪固定座5-42通过吸爪连接座5-41固定在机械手Z向直线运动机构的可动部件上；吸爪固定座5-42的四个角和中央各安装一个气管接头5-43，各气管接头5-43下端固定有上料吸爪5-44。

如图8所示，所述X向直线运动机构的可动部件7-12与Y向直线运动机构的固定部件7-13连接；θ向旋转运动机构的固定部件7-16通过旋转机构连接板7-15与Y向直线运动机构的可动部件7-14连接，θ向旋转运动机构的可动部件7-17通过吸附平台底座7-01与吸附平台7固定连接，可通过X向直线运动机构和Y向直线运动机构实现X向和Y向两个垂直方向的运动，可通过θ向旋转运动机构实现360度旋转运动。X向拖链7-23的一端通过第一X向拖链固定板7-21与X向直线运动机构的固定部件7-11连接，另一端通过第二X向拖链固定板7-22与X向直线运动机构的可动部件7-12连接；第一Y向拖链固定板7-24与X向直线运动机构的可动部件7-12连接，第二Y向拖链固定板7-25与Y向直线运动机构的可动部件7-14连接，Y向拖链7-26的两端分别与第一Y向拖链固定板7-24和第二Y向拖链固定板7-25连接。

如图9～13所示，所述吸附平台7包括：吸附平台过渡连接板7-02，吸盘连接座7-03，位于真空吸盘外围的方环形吸盘盖板7-04，真空吸盘7-05，吸盘上密封圈7-07，吸盘下密封圈7-08。吸附平台过渡连接板7-02上加工有螺纹孔，旋转气管接头7-06与该螺纹孔连接；设计吸附平台过度连接板13，可有效防止漏气，保证吸附的可靠性。吸盘连接座7-03位于吸附平台过渡连接板7-02之上，吸附平台过渡连接板7-02的顶面带有凸环7-022，该凸环7-022嵌入吸盘连接座7-03底部的凹陷部分并与该凹陷部分的底面构成空腔7-021；在空腔7-021的外围两者接合面处由吸盘下密封圈7-08密封，能够防止漏气。吸盘连接座7-03上表面加工有相互交错的气道7-032；真空吸盘7-05位于吸盘连接座7-03之上，其下表面的加强筋7-051支撑于吸盘连接座7-03的上表面，一方面可以将真空均化在真空吸盘的整个工作面，另一方面，还可以起到支承真空吸盘的作用，避免工作时，由于真空吸附力的作用，使真空吸盘发生变形。吸盘连接座7-03和真空吸盘7-05的四周接合面处通过吸盘上密封圈7-07密封，能够防止漏气。吸盘连接座7-03上分布有多个将气道7-032与空腔7-021连通的真空孔7-031。真空吸盘7-05的上端面加工有网格状沟槽7-053，将整个真空吸盘7-05的上端面分割成行列排布的方块7-052，各方块7-052处加工有垂直方向的吸附透孔7-054。所述吸盘连接座7-03的上表面中间部分加工有相互交错的气道7-032，外围部分为平面；吸盘盖板7-04与吸盘连接座7-03的外围部分连接，连接后吸盘盖板7-04的上端面低于真空吸盘7-05的上端面，以防止切割工件9与吸盘盖板7-04干涉。通过真空吸盘的吸附透孔7-054可以均匀地将真空力作用于切割工件9上，实现对切割工件9切割前的吸附，切割过程中的吸附以及切割后形成的产品的吸附，能够保证切割后产品的位置精度。

本发明的工作过程：手动上料(不锈钢基片)，将不锈钢基片按一定方向放置在上料平台2-22上，初定位相机33视场较大，保证上料后不锈钢基片的识别点94在视场范围内，上料后初定位相机33通过计算机图像识别软件，计算识别点与相机中心点的Y向偏差，根据Y向偏差数据控制电机2-11运转驱动上料平台装置4沿Y向运动，将不锈钢基片的识别点94Y向运动到初定位相机33的中心，同时，同时计算识别点与初定位相机中心的X向位置偏差，将数据传给上料机械手X向运动机构，完成初定位；动作完成后，上料机械手X向运动机构调整位置，运动到上料平台装置2的位置，上料机械手Z向运动机构向下运动，同时吸爪5-44提供负压，将不锈钢基片拾取，之后上料机械手Z向运动机构向上运动，上料机械手X向运动机构向X方向运动，将不锈钢基片运送到精定位相机63的下方；精定位相机63对不锈钢基片的识别点进行精确定位，通过计算机图像识别软件计算识别点与精定位相机63中心的偏差，包括X向偏差、Y向偏差和角度偏差，将根据这些数据控制吸附平台X向运动机构、吸附平台Y向运动机构和吸附平台旋转运动机构，吸附平台三个运动机构根据接收的数据自动调整位置，并运动到不锈钢基片下方，此时，吸附平台的X向、Y向和θ向位置均为准确位置，上料机械手Z向运动机构向下运动，将不锈钢基片放置到吸附平台7上，同时，吸附平台7提供真空，将不锈钢基片吸附在真空平台上，完成不锈钢基片的上料自动对位功能。

本发明不限于上述实施方式，其中的上料机械手还可以采用其他结构形式，例如，吸爪固定座、气管接头和上料吸爪可以采用磁性吸附结构替代，或者真空吸盘形式的结构替代。吸附平台也可以采用现有技术的磁性吸附平台或者其他结构形式的真空吸附平台替代。

Claims (9)

1.一种不锈钢上料自动对位装置，其特征在于包括平台基座(1)、上料平台装置(2)、初定位相机(33)、上料基座(4)、上料机械手(5)、精定位相机(63)、吸附平台(7)；所述上料平台装置(2)通过Y向直线运动机构安装在平台基座(1)上，可在平台基座(1)上作Y向直线运动；初定位相机(33)安装于上料平台装置(2)的上方；上料基座(4)固定在平台基座(1)上，上料机械手(5)安装在上料基座(9)上，可在上料基座(9)上作X向和Z向直线运动；精定位相机固定在平台基座上吸附平台的上方；吸附平台通过X向直线运动机构、Y向直线运动机构和旋转运动机构安装在平台基座(1)上，可在平台基座(1)作X向、Z向直线运动和旋转运动。 

2.根据权利要求1所述的不锈钢上料自动对位装置，其特征在于所述上料平台装置(2)包括支架(2-21)，上料平台(2-22)，X向限位块(2-23)，Y向限位块(2-24)；支架(2-21)通过Y向直线运动机构安装在平台基座(1)上，可在平台基座(1)上作Y向直线运动；上料平台(2-22)固定在支架(2-21)上，其X向的一个边上安装X向限位块(2-23)，Y向的一个边上安装Y向限位块(2-24)。 

3.根据权利要求2所述的不锈钢上料自动对位装置，其特征在于所述上料平台装置(2)还包括X向光电传感器(2-25)，Y向光电传感器(2-27)；X向光电传感器(2-25)与安装在上料平台(2-22)的X向的一个边上，Y向光电传感器(2-27)安装在相邻的Y向的一个边上。 

4.根据权利要求3所述的不锈钢上料自动对位装置，其特征在于所述X向限位块(2-23)和X向光电传感器(2-25)安装在上料平台(2-22)的同一个X向的边上，Y向限位块(2-24)和Y向光电传感器(2-27)安装在同一个Y向的边上；上料平台(2-22)的其余两个边带有缺口(2-31、2-32)。 

5.根据权利要求2所述的不锈钢上料自动对位装置，其特征在于所述上料 平台(2-22)上带有垂直方向的真空孔(2-29)，真空孔(2-29)下部安装气管接头(2-30)。 

6.根据权利要求1所述的不锈钢上料自动对位装置，其特征在于所述上料机械手(5)包括机械手X向直线运动机构，机械手Z向直线运动机构，吸爪连接座(5-41)，吸爪固定座(5-42)，气管接头(5-43)和上料吸爪(5-44)；机械手X向直线运动机构的固定部件安装在上料基座(4)上，机械手Z向直线运动机构安装固定在机械手X向直线运动机构的可动部件上；吸爪固定座(5-42)通过吸爪连接座(5-41)固定在机械手Z向直线运动机构的可动部件上；吸爪固定座(5-42)的四个角和中央各安装一个气管接头(5-43)，各气管接头(5-43)下端固定有上料吸爪(5-44)。 

7.根据权利要求6所述的不锈钢上料自动对位装置，其特征在于所述上料机械手(5)还包括Z模组加强板(5-31)，Z模组固定板(5-32)；Z模组加强板(5-31)与Z模组固定板(5-32)固定连接，机械手Z向直线运动机构通过Z模组加强板(5-31)和Z模组固定板(5-32)安装固定在机械手X向直线运动机构的可动部件上。 

8.根据权利要求7所述的不锈钢上料自动对位装置，其特征在于所述上料机械手(5)还包括第一拖链固定板(5-51)，第二拖链固定板(5-52)，拖链(5-53)；第一拖链固定板(5-51)和第二拖链固定板(5-52)分别与上料基座(4)和Z模组加强板(5-31)固定连接，拖链(5-53)的两端分别与第一拖链固定板(5-51)和第二拖链固定板(5-52)连接。 

9.根据权利要求1所述的不锈钢上料自动对位装置，其特征在于所述吸附平台(7)包括：吸附平台过渡连接板(7-02)，吸盘连接座(7-03)，位于真空吸盘外围的方环形吸盘盖板(7-04)，真空吸盘(7-05)，吸盘上密封圈(7-07)，吸盘下密封圈(7-08)；吸附平台过渡连接板(7-02)通过吸附平台底座(7-01)与旋转运动机构的可动部件(7-17)固定连接；吸附平台过渡连接板(7-02) 上加工有螺纹孔，旋转气管接头(7-06)与该螺纹孔连接；吸盘连接座(7-03)位于吸附平台过渡连接板(7-02)之上，吸附平台过渡连接板(7-02)的顶面带有凸环(7-022)，该凸环(7-022)嵌入吸盘连接座(7-03)底部的凹陷部分并与该凹陷部分的底面构成空腔(7-021)；在空腔(7-021)的外围两者接合面处由吸盘下密封圈(7-08)密封；所述吸盘连接座(7-03)的上表面中间部分加工有相互交错的气道(7-032)，外围部分为平面；真空吸盘(7-05)位于吸盘连接座(7-03)之上，其下表面的加强筋(7-051)支撑于吸盘连接座(7-03)的上表面；吸盘连接座(7-03)和真空吸盘(7-05)的四周接合面处通过吸盘上密封圈(7-07)密封；吸盘连接座(7-03)上分布有多个将气道(7-032)与空腔(7-021)连通的真空孔(7-031)；真空吸盘(7-05)的上端面加工有网格状沟槽(7-053)，将整个真空吸盘(7-05)的上端面分割成行列排布的方块(7-052)，各方块(7-052)处加工有垂直方向的吸附透孔(7-054)；吸盘盖板(7-04)与吸盘连接座(7-03)的外围部分连接，连接后吸盘盖板(7-04)的上端面低于真空吸盘(7-05)的上端面。