CN109581705A - 光屏蔽式修复方法 - Google Patents

Abstract

本发明光屏蔽式修复方法包括下列步骤：备妥设有偏振片的模块；检查上述偏振片的缺陷；在上述偏振片上发现缺陷时，把发生了上述缺陷的领域挖掉；为被挖掉的部分供应光屏蔽物质；及让上述光屏蔽物质固化；本发明能轻易修复发生于偏振片的缺陷。

Description

光屏蔽式修复方法

技术领域

本发明涉及一种光屏蔽式修复方法，更详细地说，本发明涉及一种能轻易修复发生于偏振片的缺陷的光屏蔽式修复方法。

背景技术

液晶显示装置根据视频信号调节液晶的透光率后显示图像。因此，液晶显示装置包括设有排列成矩阵形态的元件(cell)的液晶显示面板、根据视频信号控制各元件的透光率的驱动电路。

此时，液晶显示面板的元件亮度调节原理如下。背光所提供的光通过液晶层并且偏振，偏振的光则通过附接在玻璃的偏振片进入人的眼睛。此时，偏振的光的方向越垂直于偏振片的偏振方向，偏振的光越难通过偏振片，越接近水平的话偏振的光越能通过偏振片。其结果，通过控制施加在两个玻璃之间的电压地调节液晶层的偏振程度而得以调节元件亮度。

但是异物可能会夹入偏振片与玻璃之间或者异物可能会流入偏振片。因此，背光所提供的光在通过偏振片时由于异物而散射并且呈现出较亮形态，这却构成了液晶显示面板的缺陷。现有技术在偏振片发生缺陷时从玻璃拆下偏振片后更换新的偏振片。因此，半导体制造工艺的生产率及效率低落。还提高了半导体的生产成本。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：KR 2012-0055369 A

发明内容

本发明的目的是提供一种能轻易修复发生于偏振片的缺陷的光屏蔽式修复方法。

本发明的另一个目的是提供一种能提高半导体制造工艺的生产率及效率的光屏蔽式修复方法。

本发明包括下列步骤：备妥设有偏振片的模块；检查上述偏振片的缺陷；在上述偏振片上发现缺陷时，把发生了上述缺陷的领域挖掉；为被挖掉的部分供应光屏蔽物质；及让上述光屏蔽物质固化。

上述模块还包括背光、液晶层、上述液晶层上的彩色滤光片、层叠在上述彩色滤光片上的玻璃层，上述偏振片形成于上述玻璃上。

检查上述偏振片的缺陷的步骤包括下列步骤：在上述背光生成光；及在上述偏振片查找上述光散射的领域。

在上述偏振片查找上述光散射的领域的步骤包括下列步骤，亦即，在上述偏振片查找光强比其它领域高的领域。

把发生了上述缺陷的领域挖掉的步骤包括下列步骤：预先备妥相异的多个拟挖领域的尺寸值；测量发生了上述缺陷的领域的尺寸；在上述多个尺寸值中选择尺寸大于上述缺陷的尺寸值；及根据所选择的尺寸值把发生了上述缺陷的领域挖掉。

为上述被挖掉的部分供应光屏蔽物质的步骤包括下列步骤：预先备妥基于上述多个尺寸值的多个光屏蔽物质供应值；在上述多个供应值中选择对应于所选尺寸值的供应值；及根据所选择的供应值为被挖掉的部分供应光屏蔽物质。

把发生了上述缺陷的领域挖掉的步骤包括下列步骤，亦即，利用激光束清除上述偏振片中上述光散射的领域。

为上述被挖掉的部分供应光屏蔽物质的步骤包括下列步骤，亦即，让吐出上述光屏蔽物质的喷嘴一边沿着上述被挖掉的部分的形状移动一边吐出光屏蔽物质。

让上述喷嘴一边移动一边吐出光屏蔽物质的步骤包括下列步骤，亦即，让上述喷嘴从上述被挖掉的部分的中心领域往被挖掉的部分的外廓领域移动。

上述缺陷由于附接在上述玻璃的异物及上述偏振片内的异物中的至少某一个而发生，上述背光上生成的光由于上述异物而在上述偏振片散射。

上述光屏蔽物质包括黑色油墨(ink)。

根据本发明的实施例，能轻易修复发生于偏振片的缺陷。亦即，把偏振片中发生缺陷的领域予以光屏蔽而修复。因此，不更换整个偏振片而是修复发生了缺陷的偏振片后使用。因此，能提高半导体制造工艺的生产率及效率。

附图说明

图1示出了本发明实施例的光屏蔽式修复装置的结构。

图2是示出本发明实施例的光屏蔽式修复方法的流程图。

图3示出了本发明实施例的光屏蔽式修复过程。

图4示出了把本发明实施例的偏振片中发生缺陷的领域予以清除的过程。

符号说明

100：光屏蔽式修复装置

110：清除单元

111：激光发生器

120：供应单元

121：喷嘴

122：电源供应器

123：储存容器

130：控制单元

具体实施方式

下面参考附图详细说明本发明的本发明的实施例。本发明可以通过各种互不相同的形态实现，本实施例只是有助于本发明的完整揭示，其主要目的是向本发明所属领域中具有通常知识者完整地说明本发明的范畴。为了详细说明本发明，附图可能会夸张地显示，附图中同一图形号码表示同一构成要素。

图1示出了本发明实施例的光屏蔽式修复装置的结构。

请参阅图1，本发明实施例的光屏蔽式修复装置100是一种把设于模块的偏振片予以光屏蔽地修复的装置，包括检查单元(未图示)、清除单元110、供应单元120、固化单元(未图示)及控制单元130。

作为一例，模块可包括根据薄膜晶体管(TFT：Thin Film Transistor)玻璃层与彩色滤光片(CF：Color Filter)玻璃层(以下简称“玻璃”)之间的控制电压而偏振的液晶层、为了调节玻璃下部的彩色滤光片与透光率而控制液晶层的偏振程度的半导体电路层、附接在玻璃上部的偏振片、像素电极、共用电极、背光及黑色矩阵等。但模块的结构不限定于此并且可实现各种变形。

彩色滤光片形成于按照一定样式(pattern)配置的多个黑色矩阵之间。是彩色滤光片并且设有红色R、绿色G及蓝色B的彩色滤光片，组合各彩色滤光片的颜色后可做出各式各样的颜色。

彩色滤光片与共用电极之间可设有平坦膜。由于红色、绿色、蓝色的彩色滤光片的厚度不均匀而无法均匀地安装共用电极。因此，可以在彩色滤光片与共用电极之间铺设平坦膜而得以平坦地形成并且稳定地安装共用电极。

偏振片(POL Film：Polarizing plate Film)包含起偏器，该起偏器在聚乙烯醇系(PVA：Polyvinyl Alcohol)膜上吸附并定向配置碘系化合物或二向色偏振物质，在起偏器的一面按序层叠起偏器保护膜，起偏器的另一面则按序层叠起偏器保护膜、与液晶元件(cell)接合的粘结剂层与离型膜，从而具备多层结构。但偏振片的结构不限定于此并且可实现各种变形。

此时，偏振片由于形成多层结构而可能在形成偏振片的层之间夹入异物。或者，在异物附接于玻璃表面的状态下附接偏振片的话异物可能会夹在玻璃与偏振片之间。进而导致偏振片发生缺陷。

检查单元检查偏振片的缺陷。附接在玻璃的异物及偏振片内的异物中的至少某一个可能会引起缺陷。亦即，可能会出现背光上生成的光受到异物影响在偏振片散射的缺陷。从而使得发生了缺陷的领域会比其它领域亮。因此，可以利用背光生成光并且在偏振片找出光强比其它领域大的领域，因而判断该领域发生了缺陷。

例如，检查单元可设有测量光的光强的传感器。为此，检查单元安装在偏振片上并且能在偏振片内找出光强比其它领域高的领域。或者，检查单元能检测到光强测量值大于预设的设定值的领域。因此能轻易发现偏振片中因为异物导致光散射的领域。

而且，检查单元能算出光在偏振片散射的领域的面积。例如，利用摄影机拍摄偏振片而生成图像并且标出光散射的领域。因此，在整体图像上算出标示部的面积就能得知发生了缺陷的部分的面积。

清除单元110则挖掉偏振片中发生缺陷的领域地予以清除。例如，清除单元110向偏振片上照射激光束地清除发生了缺陷的领域。清除单元110包括激光发生器111、狭缝(slit)112、扫描器(未图示)、相机113及物镜114。

激光发生器111能产生激光束。激光发生器111能由一个激光源同时振荡出波长不同的激光束。激光发生器111把发生的激光束予以分歧并振荡出波长不同的激光束，还能把分歧的各激光束的移动路径开放或关闭。

例如，让红外线(IR:Infrared Ray)激光束(波长范围是780nm以上)分歧成可见光(Visible)激光束(波长范围380～780nm)与紫外线(UV:Ultraviolet)激光束(波长范围380nm以下)而振荡出三种激光。而且，可以把分歧的激光束的移动路径中的至少某一个予以开放或封闭地选择激光束的波长。因此，能够选择性地使用波长不同的激光束地挖掉偏振片的一部分。但本发明不限定于此，激光发生器111也可设有多个激光源，分歧的激光束的种类或振荡的激光束的个数也可以是多样化的。

狭缝112配置在激光发生器111上发生的激光束的移动路径中。狭缝112可以调节往物镜114移动的激光束的大小与形态。但狭缝112的位置不限定于此并且可实现各种变形。

扫描器可配置在激光发生器111与狭缝112之间或者配置在狭缝112与物镜114之间。扫描器可以调节激光束的行进方向。因此，不必移动整个光屏蔽式修复装置100而是控制扫描器的运作地让激光束照射到偏振片11上的领域移动。

例如，扫描器可包括把激光束予以反射的第一扫描器反射镜(scanner mirror)与第二扫描器反射镜。调节第一扫描器反射镜的倾斜度地调节左右方向的激光束行进方向，调节第二扫描器反射镜的倾斜度地调节前后方向的激光束行进方向。因此，随着作业人员所需要的形状移动激光束的话偏振片中被激光束照射的领域就会按照该形状被清除。但本发明并不限定于此，能以各式各样的方法调节激光束的行进方向。

相机113可以拍摄偏振片。作为一例，相机113可以使用CCD相机(Charge-CoupledDevice Camera)并且可以拍摄利用激光束挖掉偏振片的一部分的过程。相机113可以凭借着配置在物镜114与扫描器之间的激光镜(laser mirror)拍摄彩色滤光片。此时，激光镜的一面让激光束透射而另一面则把偏振片所反射的光予以反射并且导引到相机113。因此能利用相机113监测激光束照射到偏振片的情形。

物镜114压缩激光束后予以照射。亦即，物镜114让激光束接入偏振片。物镜114以左轮形式(revolver type)或线性形式构成以便能够选择性地使用具备相异倍率的多个物镜114。例如，物镜114可包括×5物镜114、×10物镜114、×20物镜114、×50物镜114。因此能根据作业而选择物镜114倍率而调节激光束的尺寸。物镜114的倍率及可变更的倍率的个数不限定于此并且可实现各种变形。

供应单元120为偏振片的被挖掉的部分供应光屏蔽物质。供应单元120可连接在清除单元110的一侧。供应单元120包括吐出光屏蔽物质的喷嘴121、为喷嘴121供应电源以便在偏振片与喷嘴121之间形成电场的电源供应器122及储存光屏蔽物质的储存容器123。此时，光屏蔽物质可以是液体状态的黑色油墨(ink)。

喷嘴121在内部形成了让光屏蔽物质移动的路径，喷嘴121的末端则形成有可吐出光屏蔽物质的吐出口。喷嘴121则可以在偏振片的上侧移动地安装。喷嘴121的吐出口可以朝下，喷嘴121可以朝下倾斜地配置。此时，喷嘴121能以比金属容易加工处理的玻璃或塑料之类的材质制作，从而能以所需要的较小面积形成吐出光屏蔽物质的领域的面积。

而且，以金属材质的材料涂敷(coating)喷嘴121的表面而让喷嘴121发挥电极功能。可以为了让喷嘴121的吐出口吐出极少量的光屏蔽物质而细微地形成。由于以金属材质的材料均匀地涂敷喷嘴121表面而得以形成均匀的电场。因此，能对喷嘴121内部的光屏蔽物质施加均匀的力量地吐出而得以精密地控制光屏蔽物质的吐出量。但喷嘴121的结构及材质不限定于此并且可实现各种变形。

储存容器123在内部设有储存光屏蔽物质的空间。储存容器123连接喷嘴121并且为喷嘴121供应光屏蔽物质。储存容器123以绝缘材质制成或进行绝缘处理以便让电气在喷嘴121只往模块流动。但储存容器123的连接结构不限定于此并且可实现各种变形。

电源供应器122为喷嘴121供应电源以便在喷嘴121与模块之间形成电场。电源供应器122则和涂敷在喷嘴121表面的金属材质的材料连接。因此，整个喷嘴121以模块为基准具备一定的电位并且凭借着喷嘴121与模块10之间的电位差形成电场。为喷嘴121供应直流电源时，模块10需要连接电极。另一方面，为喷嘴121供应交流电源时，不必另行对模块进行接地而得以让装置的结构简单化。

根据电源供应器122所供应的电源的强度、频率、电流量之类的因素决定油墨(ink)形态的光屏蔽物质的吐出量、以水滴形态(droplet)吐出光屏蔽物质还是连续吐出。因此，控制电源供应器122的运作使得电源强度越变高的话喷嘴121所吐出的光屏蔽物质的形态越会从水滴形态变成喷雾形态。而且，每秒吐出的水滴的数量会随着频率而改变，因此能以调节频率的方式控制光屏蔽物质的吐出量。

另一方面，不仅以电源进行调节，还以气压辅助地调节油墨吐出量的话，只要改变气压强度就能让凭借气压形成的新月(Meniscus：毛细管现象使得油墨在喷嘴末端具备凸出形状)形状也跟着改变，凭此得以控制光屏蔽物质的吐出量。例如，气压变高时新月较大地而使得吐出的体积变大，此时，即使降低电源地供应也能通过喷嘴121吐出光屏蔽物质。

光屏蔽物质可以是黑色油墨。所以背光上生成的光可能无法通过填充了光屏蔽物质的领域。因此即使让背光运作，填充了光屏蔽物质的部分也可能不亮而呈现为黑色。

固化单元连接到供应单元120的一侧并且把吐出到偏振片的被激光束清除部分的光屏蔽物质予以干燥或固化。作为一例，固化单元可以使用UV灯(Ultraviolet Lamp，或紫外线灯)。光屏蔽物质含有能被UV灯固化的物质，照射UV就能让光屏蔽物质干燥或固化。或者，固化单元也可以使用照射UV激光束(或紫外线激光束)的激光单元。但固化单元让光屏蔽物质干燥或固化的方法不限定于此并且可实现各种变形。

控制单元130连接到清除单元110及供应单元120。控制单元130控制清除单元110的运作而按照预设的尺寸值中的某一个清除发生了缺陷的领域。而且，控制单元130控制供应单元120的运作而对应于尺寸值地根据预设的供应值中的某一个值为偏振片中被清除的部分供应光屏蔽物质。

尺寸值是对于清除单元110拟清除的偏振片的某一个部分的面积的值。因此，清除单元110能根据从多个尺寸值中选择的一个尺寸值清除偏振片的发生了缺陷的领域。因此能预先得知清除单元110拟清除的部分的面积。

此时，能预先设定清除单元110拟清除的部分的深度。本发明的实施例把发生了缺陷的领域进行光屏蔽，因此即使不清除引起缺陷的异物也能利用光屏蔽物质让缺陷无法呈现出来。因此，清除单元110清除偏振片的一部分时不清除到异物所在的深度而只清除到能形成收容光屏蔽物质的空间的深度。因此，不用变更清除单元110清除偏振片的一部分的深度而只选择一个值。

例如，清除单元110所清除的部分的深度可以从相对于偏振片厚度的30～80％的深度值中选择某一个。清除单元110所清除的部分的厚度低于相对于偏振片厚度的30％的话，填充了光屏蔽物质的领域的厚度太薄而使得光屏蔽物质对于发生了缺陷的领域的光屏蔽效果非常小。

与此相反地，清除单元110所清除的部分的厚度超过了相对于偏振片厚度的80％的话，会让偏振片轻易受损。因此，为了既能防止偏振片受损又能让光屏蔽物质有效地对发生了缺陷的领域进行光屏蔽，清除单元110所清除的部分的深度可以在相对于偏振片厚度的30～80％的深度值中选择某一个。但清除单元110所清除的部分的深度值不限定于此并且可实现各种变形。

知道了偏振片中拟清除的(或者清除的)部分的尺寸值与深度就能得知拟清除的部分的体积。因此，能准确地预先算出为了填充拟清除的领域而需要供应给拟清除领域的光屏蔽物质的量。因此，能预先设定对应于多个尺寸值地供应给拟清除的部分的光屏蔽物质的多个供应值。

亦即，可以为了处理以各式各样的尺寸形成的缺陷而预先设定多个尺寸值，根据各尺寸值和预先设定的深度算出需要填充到被清除的部分的光屏蔽物质供应量，因此还能预先设定多个供应量。因此，可以选择其面积为缺陷面积以上并且最接近缺陷面积的尺寸值后清除发生了缺陷的领域，然后按照对应于所选尺寸值的供应量把光屏蔽物质供应给被清除的领域。根据该供应值供应光屏蔽物质的话，就能防止光屏蔽物质过多或过少地供应给拟清除的领域。因此，对应于缺陷尺寸地执行最佳修复作业，还能提高修复工艺的效率。

而且，由于每次作业时不必针对以各式各样的尺寸发生的缺陷测量缺陷体积并且算出基于所测体积值的光屏蔽物质量，从而使得修复工艺简单化并且缩短修复时间。由于能够精密地控制所吐出的光屏蔽物质的量而得以对细微地清除的领域精密地供应所需要的光屏蔽物质量，能够防止由于吐出过多而造成的光屏蔽物质浪费。

图2是示出本发明实施例的光屏蔽式修复方法的流程图，图3示出了本发明实施例的光屏蔽式修复过程，图4示出了把本发明实施例的偏振片中发生缺陷的领域予以清除的过程。下面说明本发明实施例的光屏蔽式修复方法。

请参阅图2，本发明实施例的光屏蔽式修复方法把设于模块的偏振片予以光屏蔽地修复，包括下列步骤：备妥设有偏振片的模块(步骤S110)、检查偏振片的缺陷(步骤S120)、在偏振片上发现缺陷时把发生了缺陷的领域挖掉(步骤S140)、为被挖掉的部分供应光屏蔽物质(步骤S150)、把光屏蔽物质予以固化(步骤S160)。

首先，如图3的(a)所示地备妥设有偏振片11的模块10。模块10可包括背光、液晶层、液晶层上的彩色滤光片13、层叠在彩色滤光片13上的玻璃层及形成于玻璃层的偏振片11。此时，玻璃层可以是玻璃12，偏振片11可以附接在玻璃12。

彩色滤光片13形成于按照一定样式配置的多个黑色矩阵14之间。是彩色滤光片并且设有红色R、绿色G及蓝色B的彩色滤光片13，组合各彩色滤光片13的颜色后做出各式各样的颜色。

彩色滤光片13与共用电极之间可设有平坦膜15。由于红色、绿色、蓝色的彩色滤光片13的厚度不均匀而无法均匀地安装共用电极。因此可以在彩色滤光片13与共用电极之间铺设平坦膜15而得以平坦地形成并且能稳定地安装共用电极。

此时，偏振片11由于具有多层结构，因此在形成偏振片11的层之间可能会夹入异物M。或者，在异物M附接于玻璃12表面的状态下附接偏振片11的话异物M可能会夹在玻璃12与偏振片11之间。进而导致偏振片11发生缺陷。

接着，检查设于模块10的偏振片11的缺陷。附接在玻璃12的异物M及偏振片11内的异物M中的至少某一个可能会引起缺陷。亦即，可能会出现背光上生成的光受到异物M影响在偏振片11散射的缺陷。能利用该特性检查偏振片11的缺陷。

为了检查缺陷而在背光生成光。背光上生成的光通过液晶层与彩色滤光片13。在玻璃12与偏振片11之间存在异物M或者在偏振片11内存在异物M的话，背光上生成的光在偏振片11散射。因此，为了检查是否发生了缺陷而在偏振片11查找光散射的领域。

由于光在发生了缺陷的领域散射，因此运作背光时就会比其它领域亮。可以设有测量光强的传感器并且检查整个偏振片11。因此，能一边利用背光生成光一边在偏振片11查找光强比其它领域高的领域，能判断该领域发生了缺陷。或者能检测到光强测量值大于预设的设定值的领域。因此能轻易发现偏振片11中因为异物M导致光散射的领域。

接着，在偏振片11把发生了缺陷的领域挖掉。为了把发生了缺陷的领域挖掉，可以预先备妥相异的多个拟挖领域的尺寸值。亦即，尺寸值可以是偏振片11中拟清除的领域的面积值。因此，能根据从多个尺寸值中选择的一个尺寸值把偏振片11的发生了缺陷的领域挖掉(或清除)。此时，清除单元110清除的部分的深度也能预先设定一个值。

可以测量发生了缺陷的领域的尺寸。亦即，在偏振片11发现缺陷时，可以算出缺陷面积或者在偏振片11中光散射领域的面积。例如，生成对于偏振片的图像后在图像标示出光散射的领域。因此，算出整体图像上标示部的面积就能得知发生了缺陷的部分的面积。

知道了发生了缺陷的领域的面积时，可以在多个尺寸值中选择尺寸(或面积)大于缺陷的尺寸值。可以在所选择的尺寸值中选择最小值。因此，如图3的(b)所示地选择具备大于缺陷的面积值并且最类似于缺陷尺寸的尺寸值。从而能尽量减少偏振片11中没有发生缺陷却被清除的领域。

接着，如图3的(c)所示地根据所选择的尺寸值把发生了缺陷的领域挖掉。可以为了把发生了缺陷的领域挖掉而使用激光束。例如，利用激光束扫描偏振片11中光散射的领域地挖掉。

亦即，激光束可以沿着预先设定的形状扫描偏振片11的上表面。例如，如图4所示地沿着具备所选尺寸值的正方形形状进行激光束扫描而在发生了缺陷的部分形成正方形形态的槽。能让激光束沿着正方形形态以“之(zigzag)”字形移动。激光束脱离正方形的话就不会照射激光束，激光束位于正方形范围内的话，照射激光束并且激光束只会照射在正方形形态的范围内。

以正方形形态清除发生了缺陷的领域并且形成了槽的话，由于形态简单而能够轻易填充光屏蔽物质E。但本发明并不限定于此，能以圆、星、三角形、长方形等各式各样的形态清除发生了缺陷的领域。此时，由于利用激光束扫描偏振片11的上表面地形成槽，因此能以作业人员所需要的形状轻易地形成槽。

接着，如图3的(d)所示地为被挖掉的部分供应光屏蔽物质E。为了供应光屏蔽物质E，可以预先备妥基于多个尺寸值的多个光屏蔽物质E的供应值。亦即，只要知道拟清除的领域的面积与深度就能求得体积。因此，根据各尺寸值清除了偏振片11的一部分时，也能预先算出为了填充所清除的部分而需要供应的光屏蔽物质E的量。从而能够预先备妥对应于各尺寸值的光屏蔽物质E的供应值。

根据所选择的尺寸值清除了发生缺陷的领域后，可以在多个供应值中选择对应于所选尺寸值的供应值。可以根据所选择的供应值为被挖掉的领域供应光屏蔽物质E。亦即，按照被挖部分的体积供应一定量的光屏蔽物质E。因此能够防止光屏蔽物质E少于或多于挖掉部分的体积地供应，还能定量供应。光屏蔽物质E能按照被挖掉的部分的体积准确地填充。

例如，光屏蔽物质E可以凭借电流体力学在喷嘴121向偏振片11中被清除的部分吐出。因此，即使被清除的部分的体积较少也能吐出准确的光屏蔽物质E量。但供应光屏蔽物质E的方式不限定于此并且可实现各种变形。

为被挖掉的部分供应光屏蔽物质E时，能让吐出光屏蔽物质E的喷嘴121一边沿着被挖部分的形状移动一边吐出光屏蔽物质E。从而能够防止下述问题，亦即，光屏蔽物质E被吐出到被挖掉的部分时只供应给某一个领域而使得填充到被挖部分的光屏蔽物质E的表面一部分突出于偏振片11的外侧。亦即，让喷嘴121一边沿着被挖掉的部分的形状移动一边吐出光屏蔽物质E就能使填充到被挖部分的光屏蔽物质E的表面平坦地形成。喷嘴121所吐出的光屏蔽物质E的尺寸可小于被挖掉的领域的面积。

此时，可以让喷嘴121一边在被挖部分的中心领域往被挖部分的外廓领域移动一边吐出光屏蔽物质E。从被挖部分的中心领域开始供应的光屏蔽物质E使得填充到被挖部分的光屏蔽物质E的上表面中心部高度会相对高于外廓部高度。因此，从中心领域供应光屏蔽物质E后沿着外廓领域移动喷嘴121使得填充到被挖部分的光屏蔽物质E的外廓部高度升高，从而让光屏蔽物质E的上表面高度平坦地对齐。

光屏蔽物质E可以是黑色油墨。背光上生成的光可能无法通过光屏蔽物质E。因此，填充了光屏蔽物质E的部分可能会呈现为黑色。光屏蔽物质E能含有和UV光进行反应而固化的物质。因此，可以在偏振片11的被清除部分填充了光屏蔽物质E后让光屏蔽物质E固化。

接着，固化光屏蔽物质E。例如，可以向偏振片11中填充了光屏蔽物质E的部分照射UV光或UV激光。光屏蔽物质E完全固化时就能完成对于缺陷的修复工艺。

能如前所述地轻易修复偏振片11上发生的缺陷。亦即，能把偏振片11中发生缺陷的领域予以光屏蔽而修复。因此，不必更换整个偏振片11而能够修复发生了缺陷的偏振片11后使用。从而得以提高半导体制造工艺的生产率及效率。

前文在本发明的详细说明中说明了具体实施例，但是在不脱离本发明的范畴的情形下能进行各种变形。因此本发明的范畴不能局限在所说明的实施例，其应该由权利要求书及等价于该权利要求书者定义。

Claims (11)

1.一种光屏蔽式修复方法，其特征在于，

包括下列步骤：

备妥设有偏振片的模块；

检查所述偏振片的缺陷；

在所述偏振片上发现缺陷时，把发生了所述缺陷的领域挖掉；

为被挖掉的部分供应光屏蔽物质；及

让所述光屏蔽物质固化。

2.根据权利要求1所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

所述模块还包括背光、液晶层、所述液晶层上的彩色滤光片、层叠在所述彩色滤光片上的玻璃层，

所述偏振片形成于所述玻璃上。

3.根据权利要求2所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

检查所述偏振片的缺陷的步骤包括下列步骤：

在所述背光生成光；及

在所述偏振片查找光散射的领域。

4.根据权利要求3所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

在所述偏振片查找光散射的领域的步骤包括下列步骤，亦即，

在所述偏振片查找光强比其它领域高的领域。

5.根据权利要求3所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

把发生了所述缺陷的领域挖掉的步骤包括下列步骤，亦即，

预先备妥相异的多个拟挖领域的尺寸值；

测量发生了所述缺陷的领域的尺寸；

在所述多个尺寸值中选择尺寸大于所述缺陷的尺寸值；及

根据所选择的尺寸值把发生了所述缺陷的领域挖掉。

6.根据权利要求5所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

为所述被挖掉的部分供应光屏蔽物质的步骤包括下列步骤：

预先备妥基于所述多个尺寸值的多个光屏蔽物质供应值；

在所述多个供应值中选择对应于所选尺寸值的供应值；及

根据所选择的供应值为被挖掉的部分供应光屏蔽物质。

7.根据权利要求5所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

把发生了所述缺陷的领域挖掉的步骤包括下列步骤，亦即，

利用激光束清除所述偏振片中光散射的领域。

8.根据权利要求3所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

为所述被挖掉的部分供应光屏蔽物质的步骤包括下列步骤，亦即，

让吐出所述光屏蔽物质的喷嘴一边沿着所述被挖掉的部分的形状移动一边吐出光屏蔽物质。

9.根据权利要求8所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

让所述喷嘴一边移动一边吐出光屏蔽物质的步骤包括下列步骤，亦即，

让所述喷嘴从所述被挖掉的部分的中心领域往被挖掉的部分的外廓领域移动。

10.根据权利要求3所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

所述缺陷由于附接在所述玻璃的异物及所述偏振片内的异物中的至少某一个而发生，

所述背光上生成的光由于所述异物而在所述偏振片散射。

11.根据权利要求1到10中任一项所述的光屏蔽式修复方法，其特征在于，

所述光屏蔽物质包括黑色油墨。