CN109563826B - 液体供给系统 - Google Patents

Abstract

提供一种液体供给系统，实现波纹管的扭转的产生的抑制。该液体供给系统包括：第一波纹管(130)，被固定于轴(150)上，随轴(150)的往返移动而伸缩；第二波纹管(200)，随轴(150)的往返移动而伸缩，与第一波纹管(130)之间形成泵室，并且，外径小于第一波纹管(130)的外径；第二波纹管(200)的一端侧相对于轴(150)和圆筒部件(161)中的一侧而被固定，第二波纹管(200)的其它端侧，以相对于轴(150)和圆筒部件(161)中的其它侧向轴向的移动被允许的状态被定位。

Description

液体供给系统

技术领域

本发明涉及一种包括波纹管的液体供给系统。

背景技术

为了在往返移动的轴和插通有轴的筒状部件之间形成密闭空间，目前得知使用了波纹管的技术。在这样的技术中，一般地，波纹管的一端相对于轴被固定，其他端相对于筒状部件被固定。由此，因为没有滑动的部分，存在这样的优点，即：没有滑动损耗的问题或滑动带来的发热问题。从而，例如在用于使超低温的液体循环的液体供给系统中，为了设置密封结构，波纹管被广泛使用(参照专利文献1)。

此处，轴与筒状部件相对不旋转的结构的情况，不会特别产生问题。但是，系统的结构上，有时轴和筒状部件轻微地相对旋转。此时，波纹管被扭转，会产生扭转弯曲。尤其是，波纹管的径越小，扭转弯曲越容易产生。这样，若波纹管在产生扭转弯曲的状态下伸缩，应力局部集中，恐怕波纹管的疲劳寿命变短。

专利文献1：国际公开第2012/124363号

发明内容

本发明的目的在于提供一种液体供给系统，实现抑制波纹管的扭转的产生。

为了解决上述课题本发明采用了以下方案。

即，本发明的液体供给系统，其特征在于，包括：

容器；

轴，以从所述容器的外部到内部的方式配置，并且以通过驱动源往返移动的方式构成；

筒状部件，设置于所述容器的内部，插通有所述轴；

第一波纹管，被固定于所述轴，随所述轴的往返移动而伸缩；以及

第二波纹管，随所述轴的往返移动而伸缩，并且，与所述第一波纹管之间形成泵室，并且，外径小于所述第一波纹管的外径，其中，

所述第二波纹管的一端侧相对于所述轴和所述筒状部件中的一侧而被固定，

所述第二波纹管的其它端侧以如下的状态被定位，即：相对于所述轴和所述筒状部件中的其它侧向周向的移动被允许的状态。

根据本发明，第二波纹管的一端侧相对于轴和筒状部件中的一侧而被固定，与之相对地，其他端侧以相对于轴和筒状部件中的其他侧向周向的移动被允许的状态被定位。从而，即使轴和筒状部件相对旋转，在第二波纹管上产生扭转这种情况被抑制，能够防止由第二波纹管断裂而导致的泵室的流体的泄露。

优选地，所述第二波纹管的其他端设有密封部，该密封部通过接触于所述轴和所述筒状部件中的其它侧而密封流体，并且，所述密封部的面积大于所述第二波纹管的有效面积而形成。

由此，在相对于密封部，泵室的相反侧的流体压力高于泵室内的流体压力的状态下，阀体相对于阀座而紧贴状态被维持，因此，能够得到稳定的密封性。此外，即使变为相对于密封部，泵室的相反侧的流体压力低于泵室内的流体压力的状态，密封部的接触由于压力而被解除，泵室的液体相对于密封部而流向泵室的相反侧的区域，因此，能够使压力脱离，不会对第二波纹管施加过大的压力。

优选地，包括第三波纹管，该第二波纹管随所述轴的往返移动而伸缩，并且，在所述筒状部件和所述第二波纹管之间形成密闭空间，从所述泵室输送的液体的一部分被供给至所述密闭空间内。

由此，相对于密封部，泵室的相反侧的区域作为密闭空间形成，从泵喷出的流体被供给至该密闭空间。因此，在密封部上通常能够设置成密闭空间侧的压力为泵室侧的压力以上，能够实现第二波纹管的扭转防止，并且，维持密封状态。

优选地，所述第三波纹管的一端侧相对于所述轴和所述筒状部件中的一侧而被固定，

所述第三波纹管的其它端侧以如下的状态被定位，即：相对于所述轴和所述筒状部件中的其它侧向周向的移动被允许的状态。

由此，能够防止第二波纹管和第三波纹管两方的扭转，能够防止波纹管的破损，可靠地保持由筒状部件、第二波纹管和第三波纹管所形成的密闭空间的密闭状态。

另外，上述各结构能够在尽可能的范围内组合采用。

如上述说明的那样，根据本发明，能够实现抑制波纹管的扭转的产生。

附图说明

图1是表示本发明实施例的液体供给系统的使用状态的概要结构图。

图2是表示本发明实施例1的密封结构的剖面示意图。

图3是表示本发明实施例2的密封结构的剖面示意图。

图4是表示本发明实施例3的密封结构的剖面示意图。

图5是表示本发明实施例4的密封结构的剖面示意图。

图6是表示本发明变形例的液体供给系统的使用状态的概要结构图。

符号说明

100 液体供给系统

110 第一容器

120 第二容器

121 第一吸入口

121a，123a 单向阀

122 第一送出口

122a，124a 单向阀

123 第二吸入口

124 第二送出口

130 第一波纹管

135 第四波纹管

140 线性驱动器

150 轴

151，152，153 外向凸缘部

152a 阀座

154 大径部

155 小径部

160 缓冲结构

161 筒状部件

161a，161b，161c 内向凸缘部

161a1 阀座

162 安全阀

200 第二波纹管

210 阀体

211 环状突起

220 阀体

221 环状突起

230 环状部件

240 密封保持部件

241 环状槽

250 密封圈

300 第三波纹管

310 密封保持部件

311 外向凸缘部

312 环状槽

320 密封圈

400 冷却机

500 被冷却装置

510 容器

520 超导线圈

K1 供给通路

K2 返回通路

K3 分歧通路

L 液体

P1 第一泵室

P2 第二泵室

R 密闭空间

具体实施方式

下面参照附图，对用于实施本发明的方式基于实施例详细地示例地进行说明。其中，该实施例所记载的结构部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等，只要没有特别特定的描述，本发明的范围不限于这些。

(液体供给系统)

参照图1，对本发明的实施例的液体供给系统100(循环器)的整体结构以及使用方法进行说明。在本实施例的液体供给系统100中，以向被冷却装置500供给超低温的液体L的情况为例进行说明，被冷却装置500在树脂制的容器510的内部包括了超导线圈520。另外，作为超低温液体L的具体例，能够例举出液氮、液氦、液氩。

液体供给系统100包括：容器(第一容器110)，容纳超低温的液体L；第二容器120，配置于被第一容器110所容纳的液体L中；第一波纹管130，以进入第二容器120的内部的方式配置。由第二容器120的内部中第一波纹管130的外部的区域构成第一泵室P1。此外，第一波纹管130的内部也成为密闭空间，该密闭空间成为第二泵室P2。另外，第一波纹管130为金属制。另外，第一容器110的内部也可以未容纳液体而成为真空。其中，此时，连接有使流体回到第一容器110内的返回通路(后述的返回通路K2)和向第二容器120吸入液体的吸入口(后述的第一吸入口121及第二吸入口123)。

然后，第二容器120上设有：第一吸入口121，将第一容器110内的液体L吸入至第一泵室P1内；第一送出口122，将吸入的液体L送出至供给通路(供给管)K1，供给通路从第一泵室P1内连通系统的外部。此外，第二容器120上还设有：第二吸入口123，将第一容器110内的液体L吸入至第二泵室P2内；第二送出口124，将吸入的液体L从第二泵室P2内送出至供给通路K1。此外，第一吸入口121及第二吸入口123上分别设有单向阀门121a、123a，第一送出口122及第二送出口124上也分别设有单向阀122a、124a。

此外，以通过作为驱动源的线性驱动器140而往返移动的方式构成的金属制的轴150被配置为从第一容器110的外部到内部的方式。该轴150的前端被固定在第一波纹管130的前端上。由此，通过轴150的往返移动，第一波纹管130伸缩。

此外，在轴150的周围设有缓冲结构160，用于缓冲通过供给通路K1而被供给的液体L的压力的变动(脉动)。该缓冲结构160设置于第一容器110的内部，包括：插通有轴150的筒状(优选为圆筒状)的筒状部件161、在该筒状部件161的下端部和上端部上分别设置的第二波纹管200及第三波纹管300。这些第二波纹管200及第三波纹管300均为金属制。另外，第一波纹管130、第二波纹管200、第三波纹管300中，第一波纹管130在最远离驱动源侧(线性驱动器140侧)的位置上被固定在轴150上。

第二波纹管200构成为如下的形式：随着轴150的往返运动而伸缩，并且，在与第一波纹管130之间形成密闭空间。该密闭空间相当于上述的第二泵室P2。此外，第二波纹管200的外径构成为小于第一波纹管130的外径的形式。

第三波纹管300也构成为随轴150的往返移动而伸缩的形式，该第三波纹管300的外径也构成为小于第一波纹管130的外径。然后，通过筒状部件161、第二波纹管200和第三波纹管300形成密闭空间R。该密闭空间R内形成液体L层和液体L气化了的气体G层。

然后，从供给通路K1分歧的分歧通路K3被设置为与该密闭空间R连接的形式。由此，通过供给通路K1而被供给的液体L的压力也施加在密闭空间R内，因此，密闭空间R的内部的气体作为阻尼器发挥作用，能够缓冲通过供给通路K1被供给的液体L的压力的变动(脉动)。即，密闭空间R内成为阻尼器室。

此外，本实施方式的缓冲结构160上在第三波纹管300的附近设有安全阀162，当密闭空间R内的压力变为规定以上时，使内部的压力逃离至外部。由此，在密闭空间R内，即使气化了的气体G的量变多，密闭空间R内部的压力变得异常高，也能够使压力逃离。从而，能够抑制随着内部的压力异常变高而导致的筒状部件161、第二波纹管200及第三波纹管300的破损等。

此外，在本实施例中，第一波纹管130的上端侧也如上述的那样，设有第二波纹管200，由此，第一波纹管130内构成为变为密闭空间的形式。该密闭空间，如上述的那样，成为第二泵室P2。

根据以上的结构，若第一波纹管130收缩，液体L经第二送出口124从第二泵室P2内被送出至供给通路K1，并且，液体L经第一吸入口121被吸入至第一泵室P1。此外，若第一波纹管130伸展，液体L经第二吸入口123被吸入至第二泵室P2内，并且，液体L经第一送出口122从第一泵室P1内被送出至供给通路K1。这样，在第一波纹管130收缩时以及伸展时的任意情况，液体L被送出至供给通路K1。

如上所述，在本实施例的液体供给系统100中，根据第一波纹管130的伸缩动作的重复，液体L通过供给通路K1而被供给至被冷却装置500。此外，还设置连接液体供给系统100和被冷却装置500的返回通路(返回管)K2，只有被供给至被冷却装置500的部分以液体L回到液体供给系统100的方式构成。此外，设有冷却机400，在供给通路K1的途中将液体L冷却至超低温的状态。根据这样的结构，通过冷却机400被冷却至超低温的液体L在液体供给系统100和被冷却装置500之间循环。

此处，在本实施例的液体供给系统100中，存在在系统的结构上，轴150和筒状部件161微小地相对旋转这种情况。因此，特别是，在径小的第二波纹管200及第三波纹管300上，恐怕会产生扭转弯曲。因此，在本实施例的液体供给系统100中，采用使扭转弯曲在这些第二波纹管200及第三波纹管300上难以产生的结构。

即，本实施例的第二波纹管200一端侧，相对于轴150和筒状部件161中的一侧而被固定。与此相对的，第二波纹管200的其它端侧，以相对于轴150和筒状部件161中的其它侧向周向的移动被允许的状态被定位。从而，即使轴150和筒状部件161相对地旋转，在第二波纹管200上产生扭转的情况被抑制。

此外，本实施例的第三波纹管300的一端侧，相对于轴150和筒状部件161中的一侧而被固定。与此相对的，第三波纹管300的其它端侧以相对于轴150和筒状部件161中的其它侧向周向的移动被允许的状态被定位。从而，即使轴150和筒状部件161相对地旋转，在第三波纹管300上产生扭转的情况被抑制。

＜本实施例的液体供给系统的优点＞

如以上说明的那样，根据本实施例的液体供给系统100，第二波纹管200及第三波纹管300上产生扭转的情况被抑制。从而，第二波纹管200及第三波纹管300上产生扭转弯曲的情况被抑制，能够抑制这些波纹管的疲劳寿命变短的情况。此外，通过抑制波纹管断裂，能够抑制伴随波纹管断裂而导致的漏液，抑制泵室被暴露在高温下的情况。

下面，对使用了各波纹管的密封结构的更加具体的例子进行说明。

(实施例1)

参照图2，对本发明的实施例1的密封结构进行说明。在该实施例中，表示包括第二波纹管200的密封结构的具体示例。图2是表示本发明的实施例1的密封结构的剖面示意图。

在本实施例的密封结构中，第二波纹管200的一端相对于轴150上设置的外向凸缘部151而被固定。然后，金属制的阀体210被固定在第二波纹管200的其他端上。此外，在筒状部件161上设有内向凸缘部161a。该内向凸缘部161a的密闭空间R的端面成为阀座161a1。然后，阀体210的阀座161a1侧上设有作为密封部的环状突起211。该环状突起211坐落在阀座161a1上，由此，成为阀被关闭的状态。

如上所述，在本实施例中，第二波纹管200的一端侧相对于轴150而被固定。然后，第二波纹管200的其它端上设置的阀体210相对于阀座161a1，在旋转方向上可滑动地构成。即，第二波纹管200的其他端侧，以相对于筒状部件161向周向移动被允许的状态被定位。从而，即使轴150和筒状部件161相对地旋转，在第二波纹管200上产生扭转的情况被抑制。另外，为了使得阀体210和阀座161a1变得容易滑动，优选在阀体210或阀座161a1的表面上实施PTFE涂层等润滑处理。

此处，通过第二波纹管200的其他端和阀体210的固定部，隔开第二波纹管200的内部和外部的部位为圆形，并且，在阀体210上，作为相对于阀座161a1而接触的密封部的环状突起211的前端也是圆形。然后，该密封部的圆的直径D2被设计为大于第二波纹管200的有效直径D1。即，密封部的面积被设计为大于第二波纹管200的有效面积。由此，通过阀体210，能够稳定地得到密封性。关于这一点，更详细地进行说明。

第二波纹管200的内侧构成第二泵室P2，第二波纹管200的外侧构成阻尼器室(密闭空间R)。由于第二泵室P2内的流体压力PX是泵室，内部的压力变动，其最大压力是液体供给系统的排出压力。与此相对的，由于从第一泵室P1和第二泵室P2供给的流体的压力作用，阻尼器室内的流体压力PY大致保持排出压力。即，通常保持PY≧PX。然后，阀体210相对于阀座161a1的按压力依赖于第二波纹管200的弹性排斥力、阻尼器室的流体压力和第二泵室P2内的流体压力的压差。从而，通过设为D2＞D1，即使在PY＞PX的环境下，也能够更加可靠地使阀体210相对于阀座161a1紧密贴合。即，若将D1对应的波纹管200的有效面积设为S1(＝πD1²/4)、D2所对应的密封面积设为S2(＝πD2²/4)，在图2中，将图向下设为正，由于PY和PX的压差在S1和S2之间的区域作用，(PY-PX)×(S2－S1)的力和第二波纹管200的进一步的弹性排斥力作用于阀体。另外，假如因某种因素的影响，变为PY＜PX的状态，并且，压力的力大于第二波纹管200的弹性排斥力的情况时，阀体210从阀座161a1离开而变为阀打开的状态，液体L从第二泵室P2内逃向阻尼器室。由此，能够抑制第一波纹管130和第二波纹管200破损。另外，即使液体L逃向阻尼器室，仅凭泵功能临时降低，对液体供给系统100的品质没有影响。

(实施例2)

参照图3，对本发明的实施例2的密封结构进行说明。在该实施例中，也表示包括第二波纹管200的密封结构的具体示例。图3是表示本发明的实施例2的密封结构的截面示意图。

在本实施例的密封结构中，第二波纹管200的一端侧相对于筒状部件161上设置的内向凸缘部161b而被固定。更具体地，第二波纹管200的一端上固定有平板状的金属制的环状部件230，该环状部件230相对于内向凸缘部161b而被固定。然后，第二波纹管200的其它端上固定有金属制的阀体220。此外，轴150上设有外向凸缘部152。该外向凸缘部152的第二泵室P2侧的端面成为阀座152a。然后，阀体220的阀座152a侧上设有作为密封部的环状突起221。该环状突起221坐落在阀座152a上，由此，阀成为关闭的状态。

如上所述，在本实施例中，第二波纹管200的一端侧相对于筒状部件161而被固定。然后，第二波纹管200的其它端上设置的阀体220相对于阀座152a，在旋转方向可滑动地构成。即，第二波纹管200的其它端侧以允许相对于轴150向周向的移动的状态被定位。从而，即使轴150和筒状部件161相对地旋转，在第二波纹管200上产生扭转的情况被抑制。另外，为了使得阀体220和阀座152a变得容易滑动，优选在阀体220或阀座152a的表面上实施PTFE涂层等润滑处理。

此处，通过第二波纹管200的其他端和阀体220的固定部，隔开第二波纹管200的内部和外部的部位为圆形，并且，在阀体220上，作为相对于阀座152a而接触的密封部的环状突起221的前端也是圆形。然后，该密封部的圆的直径D4被设计为大于第二波纹管200的有效直径D3。由此，如上述实施例1中说明的那样，通过阀体220，能够稳定地得到密封性。

(实施例3)

参照图4，对本发明的实施例3的密封结构进行说明。在该实施例中，也表示包括第二波纹管200的密封结构的具体示例。图4是表示本发明的实施例3的密封结构的截面示意图。

在本实施例的密封结构中，第二波纹管200的一端相对于轴150上设置的外向凸缘部153而被固定。然后，第二波纹管200的其他端上固定有金属制的密封保持部件240。该密封保持部件240是如下的结构，即：在截面为矩形环状部件的外周面侧，形成环状槽241。然后，该环状槽241上安装有发挥自密封功能的密封圈250。环状槽241中，紧密贴合密封圈250的部分相当于密封部。即，该部分通过接触于筒状部件161侧的密封圈250而密封流体。另外，在图示的举例中，作为密封圈250的一例，表示截面为V字形状的V形圈。但密封圈250不限于V形圈，也能够适用截面为U字形状的U形圈、截面为D字形状的D形圈等发挥自密封功能的各种密封圈。此外，作为密封圈250的材料，除了PTFE、PI等树脂，也能够适用薄金属等。

筒状部件161上设有内向凸缘部161c。该内向凸缘部161c与密封保持部件240未被固定。即，密封保持部件240相对于内向凸缘部161c自由滑动地构成。此外，密封圈250和筒状部件161的内周面之间也自由滑动地构成。

如上所述，在本实施例中，第二波纹管200的一端侧相对于轴150而被固定。然后，如上述的那样，第二波纹管200的其它端上设置的密封保持部件240相对于筒状部件161的内向凸缘部161c，在旋转方向上可滑动地构成。此外，密封圈250和筒状部件161的内周面之间也自由滑动地构成。即，第二波纹管200的其他端侧，以允许相对于筒状部件161向周向的移动的状态被定位。从而，即使轴150和筒状部件161相对地旋转，在第二波纹管200上产生扭转的情况被抑制。另外，为了使得阀体250和筒状部件161的内周面变得容易滑动，优选在阀体250的表面或筒状部件161的内周面上实施PTFE涂层、镀银等润滑处理。

此处，通过第二波纹管200的其他端和密封保持部件240的固定部，隔开第二波纹管200的内部和外部的部位为圆形。然后，在密封保持部件240上形成的环状槽241的内径D6被设计为大于第二波纹管200的有效径D5。由此，能够抑制密封保持部件240从内向凸缘部161c离开。其理由与在上述实施例1中说明的设为D2>D1的理由相同。

另外，在本实施例中表示了如下的情况，即：第二波纹管200的一端侧相对于轴150而被固定，第二波纹管200的其他端侧以允许相对于筒状部件161向周向移动的状态而被定位。从而，将第二波纹管200的一端侧相对于筒状部件161而固定，在第二波纹管200的其他端上，设置对具有自密封功能的密封圈进行保持的密封保持部件，能够使密封保持部件相对于轴150滑动自由地构成。

(实施例4)

参照图5，对本发明的实施例4的密封结构进行说明。在该实施例中，也表示包括第三波纹管300的密封结构的具体示例。图5是表示本发明的实施例4的密封结构的截面示意图。

在本实施例的密封结构中，第三波纹管300的一端侧相对于筒状部件161而被固定。更具体地，相对于第一容器110，筒状部件161和第三波纹管300的一端分别被直接固定，由此，第三波纹管300的一端侧相对于筒状部件161而被固定。然后，在第三波纹管300的其他端上，固定有金属制的密封保持部件310。该密封保持部件310是如下的结构：在圆筒状部件的一端侧上设有外向凸缘部311，在圆筒状部件的其他端侧的内周面上设有环状槽312。第三波纹管300的其他端被固定在该密封保持部件310的外向凸缘部311上。然后，密封保持部件310的环状槽312上安装有橡胶状弹性体制的密封圈320。另外，在图示的例子中，作为密封圈320的一例，表示截面为圆形的O形圈。但是，密封圈320不限于O形圈，能够适用截面为矩形的角形圈等各种密封圈。此外，由于密封圈320处于暴露于大气的环境下，使用橡胶材料也没有特殊问题。

在本实施例的密封结构中，轴150具有第一容器110的内部侧的大径部154和第一容器110的外部侧(大气侧)的小径部155。然后，圆筒状的密封保持部件310上插通有小径部155。此外，配置密封保持部件310以使得大径部154与小径部155的台阶面和外向凸缘部311的端面相对。在该台阶面和外向凸缘部311的端面之间设有空隙。另外，即使该台阶面和外向凸缘部311接触，它们之间也是可滑动的。

此外，通过密封圈320的对于轴150(小径部155)的约束力，密封保持部件310相对于轴150而被定位。然后，通过该约束力，若轴150往返运动，密封保持部件310也与轴150变为一体而往返移动，第三波纹管300伸缩。其中，当轴150相对于筒状部件161相对旋转时，允许轴150和密封圈320滑动。

如上所述，在本实施例中，第三波纹管300的一端侧相对于筒状部件161而被固定。然后，如上述那样，密封圈320和轴150在旋转方向上可滑动，因此，第三波纹管300的其它端上设置的密封保持部件310相对于轴150可滑动。即，第三波纹管300的其他端侧以允许相对于轴150向周向的移动的状态而被定位。从而，即使轴150和筒状部件161相对旋转，在第三波纹管300上产生扭转这一情况被抑制。另外，为了使得密封圈320和轴150变得容易滑动，优选在密封圈320的表面或轴150上实施PTFE涂层等润滑处理。

(其它)

在上述实施例中，设置第二容器120，第二容器120配置于被收纳在第一容器110中的液体L中，由此，表示了第一波纹管130的内部的区域和外部的区域均成为泵室的情况的结构。但是，不设置第二容器，对于仅第一波纹管内部的区域成为泵室的液体供给系统，本发明能够适用。此外，在图6所示的液体供给系统100中本发明也能够适用。图6是表示本发明的变形例的液体供给系统的使用状态的概要结构图。另外，关于基本的结构，与图1所示的液体供给系统相同，因此，关于相同的结构，标记为相同的符号而省略其说明。在图6所示的液体供给系统100的第二容器120的内部设有第四波纹管135，第四波纹管135与第一波纹管130相同，被固定在轴150上，并随着轴150的往返运动而伸缩。然后，在第四波纹管135的外部和第二容器120之间形成第一泵室P1，第一波纹管130的外部、第二容器120和第二波纹管200之间形成第二泵室P2。在以上那样构成的液体供给系统100中，也能够适用上述实施例1～4所示的密封结构。另外，在该液体供给系统100中，也可以是，在第一容器110内部未容纳液体而成为真空。其中，在该情况下，连接有在第一容器110内使流体返回的返回通路K2和向第二容器120吸入液体的吸入口(第一吸入口121及第二吸入口123)。

Claims (4)

1.一种液体供给系统，其特征在于，包括：

容器；

轴，以从所述容器的外部到内部的方式配置，并且以通过驱动源往返移动的方式构成；

筒状部件，设置于所述容器的内部，插通有所述轴；

第一波纹管，被固定于所述轴上，随所述轴的往返移动而伸缩；以及

第二波纹管，随所述轴的往返移动而伸缩，并且，与所述第一波纹管之间形成泵室，并且，该第二波纹管的外径小于所述第一波纹管的外径，其中，

所述第二波纹管的一端侧相对于所述轴和所述筒状部件中的一侧而被固定，

所述第二波纹管的其它端侧以如下的状态被定位，即：相对于所述轴和所述筒状部件中的其它侧向周向的移动被允许的状态，

所述第二波纹管的其他端设有密封部，该密封部通过接触于所述轴和所述筒状部件中的其它侧而密封流体，

所述密封部的面积大于所述第二波纹管的有效面积而形成。

2.根据权利要求1所述的液体供给系统，其特征在于，

包括第三波纹管，该第三波纹管随所述轴的往返移动而伸缩，并且，在所述筒状部件和所述第二波纹管之间形成密闭空间，从所述泵室输送的液体的一部分被供给至所述密闭空间内。

3.根据权利要求2所述的液体供给系统，其特征在于，

所述第三波纹管的一端侧相对于所述轴和所述筒状部件中的一侧而被固定，

所述第三波纹管的其它端侧以如下的状态被定位，即：相对于所述轴和所述筒状部件中的其它侧向周向的移动被允许的状态。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的液体供给系统，其特征在于，

还包括第四波纹管，该第四波纹管随所述轴的往返移动而伸缩，

在所述第四波纹管的外部与所述容器之间形成第一泵室，

在所述第一泵室的外部、所述容器以及所述第二波纹管之间，形成第二泵室。

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