CN109540176A - 一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法 - Google Patents

一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109540176A
CN109540176A CN201811586694.6A CN201811586694A CN109540176A CN 109540176 A CN109540176 A CN 109540176A CN 201811586694 A CN201811586694 A CN 201811586694A CN 109540176 A CN109540176 A CN 109540176A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sigma delta
module
loop
pole
gauge outfit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811586694.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109540176B (zh
Inventor
王玉朝
陈旭辉
王刚
王永
宋运康
李关红
余才佳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xian Flight Automatic Control Research Institute of AVIC
Original Assignee
Xian Flight Automatic Control Research Institute of AVIC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Flight Automatic Control Research Institute of AVIC filed Critical Xian Flight Automatic Control Research Institute of AVIC
Priority to CN201811586694.6A priority Critical patent/CN109540176B/zh
Publication of CN109540176A publication Critical patent/CN109540176A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109540176B publication Critical patent/CN109540176B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C25/00Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01CMEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C25/00Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass
    • G01C25/005Manufacturing, calibrating, cleaning, or repairing instruments or devices referred to in the other groups of this subclass initial alignment, calibration or starting-up of inertial devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)

Abstract

本发明属于惯性MEMS传感器闭环控制技术领域,涉及一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法。本发明通过确定量化噪声传递函数的零点、极点和开环增益,建立了Sigma Delta的开环环路传递函数;再通过在Sigma Delta环路嵌入超前滞后补偿器,令补偿器的极点等于表头模块的零点,实现零极点对消;令补偿器的极点等于开环环路传递函数的实零点;Sigma Delta的其它控制参数通过待定系数法确定,从而实现了硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构设计及参数整定。本发明通过在环路结构中加入超前滞后补偿器,并通过零极点对消的方式,抵消了表头零点对调制器量化噪声整形的负面影响,保证了角速率信号高信噪比的检测,并同时实现了硅微陀螺的纯数字化输出。

Description

一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整 定方法
技术领域
本发明属于微惯性传感器技术,涉及一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法。
背景技术
硅微陀螺检测闭环控制技术,有助于提升硅微陀螺输出的线性度;并可缩小驱动和检测双模态的频率间隙,以此提高硅微陀螺检测模态的机械灵敏度,通过提高信噪比提高硅微陀螺的精度水平。其中,Sigma Delta检测闭环控制系统方案,通过将硅微陀螺的表头模块嵌入Sigma Delta调制器环路中,实现机电Sigma Delta调制器,具有直接数字量化输出,动态特性好,信噪比高等优点。
硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统,不同于纯电学的Sigma Delta ADC系统设计方法成熟,设计的自由度高。硅微陀螺的表头模块嵌入Sigma Delta 调制器环路中,面临着模拟域和数字域跨域协同设计,硅微陀螺表头模块的速度节点不能作为引出端,表头模块的零极点会影响Sigma Delta量化噪声整形传递函数的设计等技术难点。
因此开发一种通用的硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法显得尤为重要。
进行硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构设计时,如果不针对硅微陀螺表头模块特点,进行专门的控制系统结构设计和控制参数整定,会导致 Sigma Delta检测闭环控制系统不能实现预期的量化噪声传递函数,甚至导致 Sigma Delta系统不能稳定,导致硅微陀螺检测闭环控制的失效。
发明内容
鉴于现有技术的上述情况,本发明的目的是针对硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统,提供一种通用的硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法。
按照本发明的一个方面,提供一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构,包括顺序级联的表头模块、电学调制器模块、超前滞后补偿器模块和比较器模块,其中:
表头模块通过把来自比较器模块的脉冲密度调制电压信号转换成力矩信号,再把力矩信号转换成位移信号,最后通过位移-电压转换成电压信号,并输出;
电学调制器模块用于把来自表头模块的电压信号转换成数字电压信号,并输出给超前滞后补偿器模块;
超前滞后补偿器模块用于对数字电压信号进行超前滞后补偿;
比较器模块对经过超前滞后补偿后的数字电压信号和阈值电压进行比较,输出脉冲密度调制电压信号。
按照本发明的另一个方面,提供一种上述硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构的参数整定方法,所述方法包括如下步骤:
步骤一,确定Sigma Delta调制器的阶数N;
步骤二,令量化噪声传递函数的N个零点中的任意两个零点zo1,zo2,等于表头模型离散化后的两个极点;量化噪声传递函数的其它N-2个零点zo3, zo4,……,zoN全部设置在驱动模态谐振频率上;
步骤三,计算量化噪声传递函数的全部极点zp1,zp2,……,zpN
步骤四,利用根轨迹法确定开环增益Gn,保证系统的稳定性;
步骤五,计算Sigma Delta开环环路传递函数
其中NTFq为量化噪声传递函数,其零点和极点通过步骤二和步骤三计算获得,其表达式为
步骤六,用为待定系数的Sigma Delta检测闭环控制系统结构的控制参数表征Sigma Delta开环环路传递函数形式H(z;a,b,c,d…)=Td(z)He(z)Hcomp(z),其中Td(z)为表头模块数字域表达式,He(z)为电学调制器模块的传递函数,并令电学调制器模块的阶数为N-2,a,b,c,d…为Sigma Delta的待定系数,并令超前滞后补偿器模块的传递函数Hcomp(z)=(z+a)/(z+b)的补偿零点a等于开环环路传递函数H(z)的实零点,补偿极点b等于表头模块数字域表达式Td(z)的实零点,从而实现补偿极点与表头模块零点的零极点对消;
步骤七,令步骤五计算的开环环路传递函数H(z)与步骤六表征的开环环路传递函数H(z;a,b,c,d…)相等,利用待定系数法计算Sigma Delta调制器的待定系数a,b,c,d…。
本发明的硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法,通过在环路结构中加入超前滞后补偿器,并通过零极点对消的方式,抵消了表头零点对调制器量化噪声整形的负面影响,保证了角速率信号高信噪比的检测,并同时实现了硅微陀螺的纯数字化输出。
附图说明
图1是本发明硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构的功能框图。
图2是本发明Sigma Delta检测闭环控制系统结构具体实施方式的结构示意图。
图3是本发明的闭环控制参数整定方法的流程示意图;
图4是本发明的方法中采用的量化噪声传递函数配置极点的计算方法流程示意图。
具体实施方式
为了更清楚地理解本发明的目的、技术方案及优点,下面结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。
现有的硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统技术,无法规避表头模块对SigmaDelta设计的影响,使其量化噪声传递函数不能实现理想的设计,无法保证有效信号的最高信噪比检测。而本发明利用超前滞后补偿器模块的引入和参数的精准配置,可以实现理想的量化噪声传递函数实现和有效信号的高信噪比检测。
下面结合附图对本发明的具体实施方式做进一步说明。
图1示意表示本发明的硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构。如
图1所示,本发明的硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构包括顺序级联的表头模块01、电学调制器模块02、超前滞后补偿器模块03和比较器模块 04。
其中表头模块01包括了硅微陀螺的检测模态、检测模态的力矩器和传感器,通过把来自比较器模块04的脉冲密度调制电压信号转换成力矩信号,再把力矩信号转换成位移信号,最后通过位移-电压转换成电压信号,并输出。电学调制器模块02包括了以离散域形式表示,以积分单元和比例单元构成的前馈和反馈结构,该模块实现电压信号从模拟域到数字域的转换,用于把来自表头模块01的电压信号转换成数字电压信号,并输出给超前滞后补偿器模块03。超前滞后补偿器模块03用于对数字电压信号进行超前滞后补偿。比较器模块04,对经过超前滞后补偿后的数字电压信号和阈值电压进行比较,输出脉冲密度调制电压信号。
图2是本发明Sigma Delta检测闭环控制系统结构的具体实施方式的结构示意图,具体示意表示了电学调制器模块02的一种实现方式,由于表头模块 01、电学调制器模块02和比较器模块04都是本领域的常规技术,为本领域的技术人员熟知,不再进行具体说明。下面参考图3和4,重点针对超前滞后补偿器模块03及参数整定方法进行说明。图3是本发明的闭环控制参数整定方法的流程示意图,图4是本发明的方法中采用的量化噪声传递函数配置极点的计算方法流程示意图。本发明所用的超前滞后补偿器,其传递函数形式上是超前滞后补偿器;在实际的电路功能上,实现数字域的超前和滞后补偿功能;但是在参数配置上,需要结合被控对象:表头模块的性能进行有针对性的参数配置。
本发明的硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构的参数整定方法包括:
步骤一,确定Sigma Delta调制器的阶数N=4;
步骤二,令量化噪声传递函数(Quantization Noise Transfer Function, NTFq)的4个零点中的任意两个零点zo1,zo2,等于表头模型离散化后的两个极点;NTFq其它2个零点zo3,zo4全部设置在驱动模态谐振频率上;
步骤三,计算量化噪声传递函数NTFq的全部极点zp1、zp2、zp3、zp4,极点的计算的方法可以参考论文:Johan Raman,Pieter Rombouts,Ludo Weyten.An UnconstrainedArchitecture for Systematic Design of Higher Order ΣΔForce-Feedback Loops[J].IEEE TRANSACTIONS ON CIRCUITS AND SYSTEMS—I:REGULAR PAPERS,55(6),2008.07:1601-1614。具体步骤包括如下四步:
子步骤3.1,计算如下等式的根,并选取|z|<1的解,作为量化噪声传递函数NTFq的备选极点。
子步骤3.2,将计算获得的NTFq备选极点带入NTFq的表达式,并计算其无穷级数并判断||NTFq||<2不等式是否成立。
子步骤3.3,如果||NTFq||<2不成立,则继续迭代重复计算子步骤3.1~子步骤3.2,直到满足||NTFq||<2,则该组备选极点,即为NTFq的极点zp1,zp2,zp3, zp4。
步骤四,利用根轨迹法确定开环增益Gn,保证系统的稳定性。
步骤五,计算Sigma Delta调制器开环环路的传递函数为:
其中NTFq的零点和极点通过步骤二和步骤三计算获得,从而可确定增益为1的NTFq的表达式,
步骤六,在调制器结构中嵌入超前滞后补偿器,超前滞后补偿器的典型传递函数形式为:
Sigma Delta调制器结构的控制参数为待定系数,以待定系数表征Sigma Delta调制器的传递函数形式H(z;a,b,c,d…)=Td(z)He(z)Hcomp(z),其中Td(z) 为表头模块数字域表达式,He(z)为电学调制器模块的传递函数,并令电学调制器模块的阶数为N-2,a,b,c,d…为调制器的待定系数。令超前滞后补偿器的补偿零点a等于开环环路传递函数H(z)的实零点,超前滞后补偿器的补偿极点b 等于硅微陀螺表头等效传递函数Td(z)的实零点,从而可以实现补偿极点与表头零点的零极点对消。在本领域中,这里的z表示离散时间系统z域传递函数的系统复变量。
步骤七,利用步骤五计算的传递函数H(z)与步骤六表征的待定系数传递函数H(z;a,b,c,d…)相等,利用待定系数法计算Sigma Delta调制器的待定系数 a,b,c,d…。
本发明通过数学计算,获得期望的量化噪声传递函数和调制器开环环路传递函数;然后通过在Sigma Delta调制器环路中嵌入超前滞后补偿器,抵消表头模块的零点对量化噪声传递函数整形特性的影响,获得预期的闭环控制效果;最后,利用待定系数法,获得控制环路的其它控制参数。通过该方法,一方面保证了Sigma Delta检测闭环控制系统的稳定性,另一方面,实现了理想的量化噪声整形特性,保证了硅微陀螺检测模态的高信噪比输出。

Claims (2)

1.一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构,包括顺序级联的表头模块(01)、电学调制器模块(02)、超前滞后补偿器模块(03)和比较器模块(04),其中:
表头模块(01)把来自比较器模块(04)的脉冲密度调制电压信号转换成力矩信号,再把力矩信号转换成位移信号,最后通过位移-电压转换成电压信号,并输出给电学调制器模块(02);
电学调制器模块(02)把来自表头模块(01)的电压信号转换成数字电压信号,并输出给超前滞后补偿器模块(03);
超前滞后补偿器模块(03)对数字电压信号进行超前滞后补偿;
比较器模块(04),对经过超前滞后补偿后的数字电压信号和阈值电压进行比较,输出脉冲密度调制电压信号,并反馈给表头模块(01)。
2.按照权利要求1所述的硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构的参数整定方法,包括如下步骤:
步骤一,确定Sigma Delta调制器的阶数N;
步骤二,令量化噪声传递函数的N个零点中的任意两个零点zo1,zo2,等于表头模块离散化后的两个极点;量化噪声传递函数的其它N-2个零点zo3,zo4,……,zoN全部设置在驱动模态谐振频率上;
步骤三,计算量化噪声传递函数的全部极点zp1,zp2,……,zpN
步骤四,利用根轨迹法确定开环增益Gn,保证系统的稳定性;
步骤五,计算Sigma Delta开环环路传递函数
其中NTFq为量化噪声传递函数,其零点、极点分别通过步骤二和步骤三计算获得;
步骤六,用为待定系数的Sigma Delta检测闭环控制系统结构的控制参数表征SigmaDelta开环环路传递函数形式H(z;a,b,c,d…)=Td(z)He(z)Hcomp(z),其中Td(z)为表头模块数字域表达式,He(z)为电学调制器模块的传递函数,并令电学调制器模块的阶数为N-2,a,b,c,d…为Sigma Delta的待定系数,并令超前滞后补偿器模块的传递函数Hcomp(z)=(z+a)/(z+b)的补偿零点a等于开环环路传递函数H(z)的实零点,补偿极点b等于表头模块数字域表达式Td(z)的实零点,从而实现补偿极点与表头模块零点的零极点对消;
步骤七,令步骤五计算的传递函数H(z)与步骤六表征的开环环路传递函数H(z;a,b,c,d…)相等,利用待定系数法计算Sigma Delta闭环控制系统的待定系数a,b,c,d…。
CN201811586694.6A 2018-12-24 2018-12-24 一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法 Active CN109540176B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811586694.6A CN109540176B (zh) 2018-12-24 2018-12-24 一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811586694.6A CN109540176B (zh) 2018-12-24 2018-12-24 一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109540176A true CN109540176A (zh) 2019-03-29
CN109540176B CN109540176B (zh) 2022-08-05

Family

ID=65857362

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811586694.6A Active CN109540176B (zh) 2018-12-24 2018-12-24 一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109540176B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110737196A (zh) * 2019-10-31 2020-01-31 中国电子科技集团公司第四十三研究所 一种基于PIDα的数字电源环路补偿器的设计方法
CN110823249A (zh) * 2019-10-18 2020-02-21 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种硅微陀螺自动模态匹配控制结构和方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040004565A1 (en) * 2002-07-08 2004-01-08 Cirrus Logic, Inc. Delta-sigma modulation circuits and methods utilizing multiple noise attenuation bands and data converters using the same
CN103363983A (zh) * 2012-04-05 2013-10-23 快捷半导体(苏州)有限公司 用于机械振幅驱动的mems设备自动增益控制回路
CN103684470A (zh) * 2012-08-29 2014-03-26 英特尔Ip公司 sigma delta调制器的延迟补偿
CN105099149A (zh) * 2015-08-24 2015-11-25 电子科技大学 一种具有抑制输出频谱谐波噪声特性的dc-dc转换器
CN105699694A (zh) * 2016-04-21 2016-06-22 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 基于fpga的微机电混合σδm加速度计闭环检测电路系统
CN105758402A (zh) * 2016-03-31 2016-07-13 苏州大学 一种硅微陀螺的闭环检测系统
CN106370170A (zh) * 2016-08-29 2017-02-01 南京理工大学 硅微陀螺机电结合带通sigma‑delta闭环检测环路参数获取方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040004565A1 (en) * 2002-07-08 2004-01-08 Cirrus Logic, Inc. Delta-sigma modulation circuits and methods utilizing multiple noise attenuation bands and data converters using the same
CN103363983A (zh) * 2012-04-05 2013-10-23 快捷半导体(苏州)有限公司 用于机械振幅驱动的mems设备自动增益控制回路
CN103684470A (zh) * 2012-08-29 2014-03-26 英特尔Ip公司 sigma delta调制器的延迟补偿
CN105099149A (zh) * 2015-08-24 2015-11-25 电子科技大学 一种具有抑制输出频谱谐波噪声特性的dc-dc转换器
CN105758402A (zh) * 2016-03-31 2016-07-13 苏州大学 一种硅微陀螺的闭环检测系统
CN105699694A (zh) * 2016-04-21 2016-06-22 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 基于fpga的微机电混合σδm加速度计闭环检测电路系统
CN106370170A (zh) * 2016-08-29 2017-02-01 南京理工大学 硅微陀螺机电结合带通sigma‑delta闭环检测环路参数获取方法

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JOHAN RAMAN等: "An Unconstrained Architecture for Systematic Design of Higher Order sum(triangle) Force-Feedback Loops", 《IEEE TRANSACTIONS ON CIRCUITS AND SYSTEMS . I , REGULAR PAPERS》 *
REUBEN WILCOCK等: "Genetic Algorithm for the Design of Electro-Mechanical Sigma Delta Modulator MEMS Sensors", 《SENSORS》 *
WILLIAM MESSNER: "Formulas for Asymmetric Lead and Lag Compensators", 《2009 AMERICAN CONTROL CONFERENCE》 *
陈旭辉等: "基于硅微陀螺的高阶Sigma Delta机电调制器设计", 《无人载体与控制技术发展及应用学术研讨峰会文集》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110823249A (zh) * 2019-10-18 2020-02-21 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种硅微陀螺自动模态匹配控制结构和方法
CN110823249B (zh) * 2019-10-18 2023-01-13 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种硅微陀螺自动模态匹配控制结构和方法
CN110737196A (zh) * 2019-10-31 2020-01-31 中国电子科技集团公司第四十三研究所 一种基于PIDα的数字电源环路补偿器的设计方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109540176B (zh) 2022-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108519498B (zh) 一种谐振加速度计的自适应闭环测量系统
AU2016394137B2 (en) Flexible high-precision accelerometer
CN107168071B (zh) 一种基于干扰观测器的非线性系统自抗扰控制方法
CN105758402B (zh) 一种硅微陀螺的闭环检测系统
CN109540176A (zh) 一种硅微陀螺Sigma Delta检测闭环控制系统结构及参数整定方法
CN103178846B (zh) 一种利用lms算法进行adc校准的装置
CN104571149B (zh) 用于气体集成输送系统的质量流量控制装置及控制方法
US11374522B2 (en) Adaptive model feedback for haptic controllers
JP2810394B2 (ja) 応答速度の関数である可変分解能を備えたディジタル送信機
CN106289212A (zh) 用于硅微音叉陀螺的集成测控单元
CN113206434A (zh) 一种用于光纤激光器频差锁定的预补偿反馈控制系统和方法
CN106526234A (zh) 一种基于sigma‑delta闭环控制的惯性传感器系统
CN106788428B (zh) 用于流水线模数转换器的调节电路及流水线模数转换器
CN109255430A (zh) 一种神经元编码电路
CN109084742B (zh) 基于谐振频率的硅微陀螺仪最优解调相角数字补偿方法
CN105099263B (zh) 基于广义回归神经网络辨识器的超声波电机位置与速度控制系统
CN106323263A (zh) 硅微陀螺机电结合带通sigma‑delta闭环检测电路
CN107370019A (zh) 一种激光二极管电流控制系统
CN114152266B (zh) Mems陀螺正交误差校正系统
CN210604684U (zh) 热交换式加速度计
CN103986420B (zh) 一种实现失调自动归零的控制模块及其控制方法
CN103401538B (zh) 一种惯性加速度传感器频控力反馈信号处理电路
CN105955016B (zh) 一种不同带宽传感器的最优闭环融合方法
CN114646412B (zh) 一种温度自补偿谐振式压力传感器控制电路及其实现方法
CN111121827A (zh) 一种基于卡尔曼滤波的tmr磁编码器系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant