CN109520711A - 一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法。本发明的检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，包括如下步骤：S1、在聚焦镜和带钢之间设置一遮光部件；S2、控制激光器发射激光光线并形成激光束，控制激光束沿钢板的宽度方向扫描；S3、确定带钢上是否具有由激光束扫描形成的刻痕线以及刻痕线上断点的长度；S4、当带钢上无刻痕线或者断点的长度与预设长度值不一致时，确定扫描镜异常。本发明的检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，能够结合光学反射的原理快速准确地判断出激光刻痕设备中的异常镜片，并且无需拆卸激光刻痕设备。

Description

一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法

技术领域

本发明涉及激光刻痕技术领域，尤其涉及一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法。

背景技术

激光刻痕技术是利用光学器件(例如平面镜、凹面镜、准直镜、聚焦镜等)并配备相应的辅助设备(例如空压机、除尘器、冷却器等设备)，将激光器输出的不平行光进行整合、聚焦，使其能量密度集中形成激光束，整形后的激光束在垂直于带钢轧制方向以相同的间距切割磁畴(磁畴平行与轧制方向)，使主磁畴的宽度减小达到细化目的。在外加电磁场的作用下，硅钢片沿磁畴垂直方向的涡流损耗降低，从而使得其运行空载损耗降低，达到节能、降噪的效果。

激光刻痕技术经过多年的发展，其激光类型从典型的CO2激光、固体激光已进化到光纤激光，工艺技术已提高到可以不破坏表面绝缘涂层性能来达到降低铁损的功效。

但是，现有的激光刻痕技术依然存在以下问题：

1、由于现有技术在对顶级激光刻痕产品进行生产的过程中，已经不再破坏硅钢片表面的绝缘涂层，因此，从完成激光刻痕后的硅钢片表观上无法看到激光刻痕痕迹，一旦激光刻痕设备中的镜片表面损坏，便会引起光路异常，而无法看到激光刻痕痕迹，很难在生产现场直接判断激光刻痕是否异常，从而无法识别激光刻痕设备是否出现异常。另外，在现场也无法快速直观的去排查激光刻痕设备中的异常镜片。由于无法判断激光刻痕是否异常，因此，可能会将激光刻痕异常(刻痕线间距不均匀或刻痕缺失)的硅钢片投入市场，导致铁损降低效果变差，从而带来使用风险。

2、对于常规刻痕线可见的激光刻痕产品，由于其扫描是连续的，在镜片异常导致漏刻时，虽然能从表观上看到刻痕线不均匀或刻痕缺失，但由于组合镜片有4组以上(最多的达到16组)，也无法快速排查出异常镜片。

3、由于连续产线作业的特性，镜片处于封闭设备内，不具备实时拆装检查的条件，只能依靠3-6个月之间的停机检修期间才能拆机检查，在周期内如发生异常难以有效识别，导致判断结果有一定的滞后性。并且，当出现刻痕镂刻的情况时，只能停机检修，影响生产线的产能。一般的镜片异常情况为，镜片积灰或者镀膜损坏，导致激光损耗增大。但镜片积灰与表面镀膜损坏难以直观判断，及时停机检修，也存在一定的困难。

针对现有的激光刻痕技术无法在不拆卸激光刻痕设备的情况下，快速准确地判断激光刻痕设备中的镜片是否异常的问题，需要提供一种无需拆卸激光刻痕设备即可检测出异常镜片的检测激光刻痕设备中异常镜片的方法。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，能够结合光学反射的原理快速准确地判断出激光刻痕设备中的异常镜片，并且无需拆卸激光刻痕设备。

为实现上述目的，本发明的一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，其中，激光刻痕设备包括激光器、扫描镜和聚焦镜，激光器发射的激光光线通过扫描镜反射形成反射光线，聚焦镜将反射光线聚焦为激光束，包括如下步骤：

S1、在聚焦镜和带钢之间设置一遮光部件；

S2、控制激光器发射激光光线并形成激光束，控制激光束沿钢板的宽度方向扫描；

S3、确定带钢上是否具有由激光束扫描形成的刻痕线以及刻痕线上断点的长度；

S4、当带钢上无刻痕线或者断点的长度与预设长度值不一致时，确定扫描镜异常。

优选地，遮光部件为遮光棒，遮光棒安装于聚焦镜和带钢之间的激光刻痕设备框架上且垂直于激光束的扫描方向设置。

进一步地，预设长度值根据遮光部件的直径和遮光部件与聚焦镜、聚焦镜与带钢之间的距离确定。

优选地，遮光部件与聚焦镜之间的距离小于与遮光部件带钢之间的距离，且遮光部件靠近聚焦镜操作侧的一端设置。

本发明的一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，其中，激光刻痕设备包括多台激光器、多面扫描镜和一面聚焦镜，扫描镜依次排成一排，激光器发射的激光光线通过对应的扫描镜反射形成反射光线，聚焦镜将反射光线聚焦为激光束，包括如下步骤：

S1、在聚焦镜和带钢之间设置一遮光部件；

S2、控制多台激光器依次发射激光光线并分别形成激光束，控制激光束分别沿钢板的宽度方向扫描；

S3、确定带钢上每两条由激光束扫描形成的刻痕线之间的距离、每条刻痕线上断点的位置以及各个断点的长度；

S4、当两条相邻的刻痕线之间的距离大于预设距离值或者断点的长度与预设长度值不一致时，根据该刻痕线上断点的位置确定发生异常的扫描镜。

进一步地，多面扫描镜分为多组，每组扫描镜的数量与激光器的数量相同；激光刻痕设备还包括多面切换镜，切换镜的数量与激光器的数量相同，激光器的激光光线由切换镜控制依次照射于各组对应的扫描镜上。

优选地，聚焦镜下方设有聚焦辊，聚焦辊使带钢位于其上的部分形成弓形面，并且弓形面的各顶点连线与激光束的扫描方向共线。

进一步地，根据遮光部件的位置确定相邻的两面扫描镜对应的刻痕线上的断点之间的间距和预设的初始零位，确定各面扫描镜对应的刻痕线上断点的位置。

进一步地，预设长度值根据遮光部件的直径和遮光部件与聚焦镜、带钢之间的距离确定。

进一步地，预设距离值的范围为2-20mm。

本发明的检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，针对连续退火线上激光刻痕设备漏刻痕现象，激光刻痕设备的工作原理及实现方法，同时接合光学反射的原理，在聚焦镜和带钢之间设置遮光部件，从而使带钢上的刻痕线产生断点，利用断点可以快速准确地判断出激光刻痕设备中的异常镜片，并且无需拆卸激光刻痕设备，有效控制带钢刻痕产品的质量风险，确保了激光刻痕设备的受控程度。

附图说明

图1为本发明一个实施例的激光刻痕设备的侧视图；

图2为图1所示实施例的激光刻痕设备的俯视图；

图3为图1所示实施例的激光刻痕设备的右视图；

图4为图1所示实施例的带有刻痕线的带钢的刻痕图像；

图5为图1所示实施例的存在刻痕线缺失的刻痕图像；

图6为图1所示实施例的存在较短刻痕线的刻痕图像。

附图标记说明：10,20,30,40-切换镜；11,12,21,22,31,32,41,42-扫描镜；51,52,53,54-激光器；6-聚焦镜；7-聚焦辊；8-扫描盒；9-带钢。

具体实施方式

下面，结合附图，对本发明的结构以及工作原理等作进一步的说明。

本发明一个实施例的一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，其中，激光刻痕设备可以包括一台激光器、一面扫描镜和一面聚焦镜，为了保证光路不受外界干扰，激光器、扫描镜和聚焦镜都设置于扫描盒内，激光器发射的激光光线通过扫描镜反射形成反射光线后，由聚焦镜将该反射光线聚焦为激光束，通过控制激光束的扫描方向，可以在位于扫描盒外的带钢上形成刻痕线。

用于上述的激光刻痕设备的检测异常镜片的方法包括如下步骤：

S1、在聚焦镜和带钢之间设置一遮光部件。在本发明实施例中，遮光部件可以为遮光棒，遮光棒安装于聚焦镜和带钢之间的激光刻痕设备框架上，并且垂直于激光束的扫描方向设置。此时，由于在聚焦镜和带钢之间的遮光部件，当激光束扫描时，就会有一部分被遮光部件遮挡，并且带钢上形成的刻痕线上就会出现一块阴影(即断点)。

为了使刻痕线上的断点能够清晰可见，遮光部件与聚焦镜之间的距离小于与遮光部件带钢之间的距离，且遮光部件靠近聚焦镜的一端设置，并将其作为聚焦镜的操作端，保证每一面扫描镜反射的光线在经过遮光棒时，其断点位置在遮光棒的同一侧，且各个断点位置不重合即可。

S2、控制激光器发射激光光线，通过扫描镜反射形成反射光线后，由聚焦镜将该反射光线聚焦为激光束，控制扫描镜转动方向，使激光束沿钢板的宽度方向扫描一周。

S3、确定带钢上是否具有由激光束扫描形成的刻痕线以及刻痕线上断点的长度。具体地，可以通过表面检测仪采集带钢表面图像，并且对带钢表面图像进行边缘检测，获得刻痕图像，根据刻痕图像可以获取带钢上断点的位置和长度信息。

为了使表面检测仪在带钢表面能够有效捕捉到因遮挡产生的断点，必须使带钢表面刻痕后的痕迹清晰可见，因此，采用功率在2800-3000w范围内的激光光线，此时，表面检测仪能够清晰辨识刻痕线。

S4、当带钢上无刻痕线或者断点的长度与预设长度值不一致时，确定扫描镜异常。当带钢上无刻痕线时，未检测到刻痕线时，即可能是扫描镜发生异常。但是这个测试方法并不是十分准确，也有可能是聚焦镜出现了问题。因此，还可以根据断点的长度与预设长度值进行判断，当断点的长度大于或者小于预设长度值时，都能够确定是扫描镜发生了异常。

其中，预设长度值可以根据遮光部件的直径和遮光部件与聚焦镜、聚焦镜与带钢之间的距离确定，其计算公式为：

其中，D为预设长度值，H₂为遮光部件与聚焦镜之间的距离，H₀为聚焦镜与带钢之间的距离，d₀为遮光棒的直径。由上述公式可以看出，遮光棒越靠近聚光镜(即遮光棒与聚光镜之间的距离越小)，断点的长度越大，断点显示的越清晰。

本发明另一实施例的一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，其中，激光刻痕设备包括多台激光器、多面扫描镜和一面聚焦镜，扫描镜依次排成一排并且沿带钢的宽度方向设置，为了保证光路不受外界干扰，激光器、扫描镜和聚焦镜都设置于扫描盒内。多台激光器依次发射激光光线，每条激光光线通过对应的扫描镜反射形成反射光线，聚焦镜将反射光线聚焦为激光束，通过依次控制各条激光束的扫描方向，可以在位于扫描盒外的带钢上形成多条刻痕线。

另外，多面扫描镜还可以分为多组，每组扫描镜的数量与激光器的数量相同，激光刻痕设备还包括多面切换镜，切换镜的数量与激光器的数量相同，激光器的激光光线由切换镜控制依次照射于各组对应的扫描镜上。例如，多面扫描镜可以分为N组，此时，多台激光器首先由对应的切换镜控制分别照射于第1组内的对应的扫描镜上，然后再由对应的切换镜控制照射于第2组内的对应的扫描镜上，……，最后由对应的切换镜控制照射于第N组内的对应的扫描镜上。

在本发明实施例中，采用振镜往复式扫描，进行激光刻痕，各面扫描镜均通过镜座马达驱动旋转，沿带钢宽度方向扫描，每次扫描镜扫描一次后，需要重新归零位，每次扫描的起点均为传动侧边部，扫描镜的零位即相对起点的位置。

在本发明实施例中，聚焦镜下方还可以设有聚焦辊，聚焦辊使带钢位于其上的部分形成弓形面，并且弓形面的各顶点连线与激光束的扫描方向共线。因此，本发明实施例能够利用聚焦辊使带钢形成大包角，从而使带钢稳定，还能够通过表面镀膜等特殊手段，防止未照射到带钢表面的激光反射。

用于上述的激光刻痕设备的检测异常镜片的方法包括如下步骤：

S1、在聚焦镜和带钢之间设置一遮光部件。在本发明实施例中，遮光部件可以为遮光棒，遮光棒安装于聚焦镜和带钢之间的激光刻痕设备框架上，并且垂直于激光束的扫描方向设置。此时，由于在聚焦镜和带钢之间的遮光部件，当激光束扫描时，就会有一部分被遮光部件遮挡，并且带钢上形成的刻痕线上就会出现一块阴影(即断点)。

为了使刻痕线上的断点能够清晰可见，遮光部件与聚焦镜之间的距离小于与遮光部件带钢之间的距离，且遮光部件设置与靠近聚焦镜的操作端。

S2、控制多台激光器依次发射激光光线并分别形成激光束，控制激光束分别沿钢板的宽度方向扫描。首先，控制多台激光器发射多条激光光线，并分别照射于第1组内的对应扫描镜上产生多条反射光线，多条反射光线分别照射到聚焦镜上，产生多条激光束，控制这些激光束同时沿钢板的宽度方向依次扫描，即可在带钢上形成多条相互平行的刻痕线。然后，采用第2组的扫描镜重复上述操作，直到第N组的扫描镜工作完位置。

S3、确定带钢上每两条由激光束扫描形成的刻痕线之间的距离、每条刻痕线上断点的位置以及各个断点的长度。具体地，可以通过表面检测仪采集带钢表面图像，并且对带钢表面图像进行边缘检测，获得刻痕图像，根据刻痕图像可以获取带钢上相邻两条刻痕线之间的距离、断点的位置和长度信息。

为了使表面检测仪在带钢表面能够有效捕捉到因遮挡产生的断点，必须使带钢表面刻痕后的痕迹清晰可见，因此，采用功率在2800-3000w范围内的激光光线，此时，表面检测仪能够清晰辨识刻痕线。

S4、当两条相邻的刻痕线之间的距离大于预设距离值或者断点的长度与预设长度值不一致时，根据该刻痕线上断点的位置确定发生异常的扫描镜。当带钢上相邻的两条刻痕线之间的距离大于预设距离值时，可能是由于某扫描镜对应的刻痕线缺失，即可能是该扫描镜发生异常，通过确定该相邻刻痕线上断点的位置，即可确定缺失的刻痕线对应的扫描镜。预设距离值即两条刻痕线之间的平行距离，设定范围可以为2-20mm。还可以根据断点的长度与预设长度值进行判断，当断点的长度大于或者小于预设长度值时，能够确定是扫描镜发生了异常，并且可以根据该断点的位置确定发生异常的扫描镜。

在本发明实施例中，可以根据遮光部件的位置确定相邻的两面扫描镜对应的刻痕线上的断点之间的间距和预设的初始零位，确定各面扫描镜对应的刻痕线上断点的位置。其中，预设的初始零位可以为聚焦辊与遮光部件位置相对的一端。相邻两面扫描镜之间的距离l＝B/(N-1)。

在本发明实施例中，任一面扫描镜工作时，激光经过遮光棒形成断点位置Cn的计算公式为：

其中，Cn为第n面扫描镜工作时激光经过遮光棒形成断点位置，H0为聚光镜中心与带钢之间的距离，A为扫描镜与聚焦镜中心的距离，L为聚焦镜的长度，H₃为遮光棒距离聚焦镜边部的距离，n为扫描镜的个数，B为设置于最两端的扫描镜的中心距。

当确定了任一面扫描镜工作时激光经过遮光棒形成断点位置后，即可以确定相邻的两面扫描镜对应的刻痕线上的断点之间的间距。

断点距离设定的初始零位的距离的计算公式为，即第n面扫描镜工作时，激光经过遮光棒形成断点在表面检测仪显示的数值距离M_n为：

M_n＝800-(L/2-H₃)-C_n

其中，M_n为第n面扫描镜片所形成的断点位置距离表面检测仪初始零位的距离(检测仪显示的位置)，L为聚焦镜的长度，H₃为遮光棒距离聚焦镜操作侧边部的距离，C为每两个相邻的扫描镜对应的刻痕线上的断点之间的距离。

预设长度值可以根据遮光部件的直径和遮光部件与聚焦镜、聚焦镜与带钢之间的距离确定，其计算公式为：

其中，D为预设长度值，H₂为遮光部件与聚焦镜之间的距离，H₀为聚焦镜与带钢之间的距离，d₀为遮光棒的直径。由上述公式可以看出，遮光棒越靠近聚光镜(即遮光棒与聚光镜之间的距离越小)，断点的长度越大，断点显示的越清晰。

如图1-3所示的一个实施例的激光刻痕设备，图中的箭头方向为带钢9运行方向，该方向垂直于带钢9的宽度方向。激光刻痕设备包括4台激光器51-54、4个切换镜10-40，8面扫描镜11-41、12-42和一面聚焦镜6，还包括聚焦辊7和扫描盒8，激光刻痕设备用于对带钢9的表面刻痕。首先激光器51-54发射的激光光线通过准直镜和柱面镜之后，通过光纤连接照射到切换镜10-40上，再通过切换镜分别照射于对应的扫描镜11-41、12-42上。其中，激光器51、52、53、54分别对应切换镜10、20、30、40。8面扫描镜被分为两组，第一组包括扫描镜11、21、31、41，第二组包括扫描镜12、22、32、42，切换镜10对应扫描镜11、12，切换镜20对应扫描镜21、22，切换镜30对应扫描镜31、32，切换镜40对应扫描镜41、42。以切换镜10为例，通过切换镜10的角度变化，可以使激光器51发射的激光光线先后反射到扫描镜11、12上。以扫描镜11为例，通过转动扫描镜11，可以实现聚焦后的激光束从聚焦镜6的一侧向另一侧扫描一次(即沿带钢的宽度方向扫描一次)，从而实现刻痕。按照以上的方式，由激光器51-54分别发射激光光线，并依次按照扫描镜11、21、31、41、12、22、32、42的顺序来回切换，在带钢表面进行激光刻痕。

如果激光刻痕设备正常的情况下，将会在带钢表面产生间距均匀、长度相同的刻痕线，如果激光刻痕设备中出现了异常镜片，则可能导致带钢表面的刻痕线深浅不一致，严重时导致刻痕线缺失的问题，还可能导致刻痕线长度不一致的问题。由于直接进行刻痕加工时，再加工完的带钢9表面上无法直接区分每条线所对应的扫描镜11-41、12-42，且8面扫描镜11-41、12-42无法实现单独开启测试，因此，采用本发明实施例中的激光刻痕设备的检测异常镜片的方法进行检测。

由于扫描镜11-41、12-42都有固定的位置，因此，不同位置的扫描镜11-41、12-42之间存在光程差，该光程差可以导致反射点的位置偏移。因此，可以对激光刻痕设备进行局部改造，快速判断出异常镜片。

由于激光光线进入扫描盒8之后，主要是通过切换镜10-40对激光光线切换，实现激光刻痕功能的。激光光线从切换镜10-40进入扫描盒8，最后通过聚焦镜6之后照射到带钢9表面。因此，为了有效监控到所有扫描镜11-41、12-42，遮光棒10应设置在聚焦镜6之后，且安插位置应穿过激光束扫描的方向(即与激光束扫描路径垂直)，因此垂直方向遮挡位置选择在聚焦镜6与带钢9之间的设备框架上，如图1中所示，聚焦镜6中心距离带钢9表面的距离为H₀，在本实施例中，H₀可以固定为250mm，遮光棒10距离聚焦镜6中心的垂直距离H₂，H₂可以为80-100mm，在本实施例中，H₂为100mm。

由图3中可以看出，当由扫描镜11(虚线所示路径)反射的反射光线形成的激光束经过遮光棒10的位置时，其因遮光棒10遮挡在刻痕线上的断点的位置与带钢9操作侧边部的距离最小，依次通过其他扫描镜12-42反射的激光束扫描带钢时，其对应的刻痕线上的断点的位置距离操作侧边部越来越远。为了确保表面检测仪能够精确的识别并区分，遮光棒10距离聚焦镜6操作侧边部的距离越小，相邻的两面扫描镜对应的断点的位置在带钢9宽度方向上的间隔距离越大，表面检测仪越容易区分识别，但安装位置太靠近聚焦镜6操作侧边部也可能会造成某些扫描镜对应的断点的位置无法落到带钢9上，因此遮光棒距离聚焦镜操作侧边部的距离H₃优选为220-240mm，在本实施例中，H3_为230mm。另外，遮光棒10的直径为d0＝3-6mm，可清晰辨识其断点，在本实施例中，d0为3.5mm。同时，在本实施例中，激光器的功率选择为2900W。

根据上述设置方法，利用本发明实施例的检测激光刻痕设备中异常镜片的方法获得的带钢表面的刻痕图像如图4所示，激光束被遮挡后最终在带钢9表面的刻痕线中形成断点，断点的位置和尺寸相对固定，断点长度为4mm内，相邻两面扫描镜形成的断点在带钢9宽度方向上的间距6mm。

其中，刻痕图像中，各面扫描镜的对应的断点的位置如表1所示。

表1各面扫描镜的对应的断点的位置

落点位置mm	142-166	162-166	182-186	202-206
					对应镜片	1.1	2.1	3.1	4.1
落点位置mm	152-156	172-176	192-196	212-216
					对应镜片	1.2	2.2	3.2	4.2

表面检测系统可以将检测出的断点位置和尺寸与系统进行比对，根据上述的各面扫描镜的对应的断点的位置和断点的缺损范围，找到对应相应的扫描镜，就可直接判断出损坏的异常镜片。

例如，如图5所示为本实施例的存在刻痕线缺失的刻痕图像，即两根相邻的刻痕线之间的间距大于预设间距值的情况下，图中C1对应的为扫描镜11对应的刻痕线的断点位置，C2为扫描镜12对应的刻痕线的断点位置，以此类推。判断异常镜片的具体方法为：由于有两条相邻的刻痕线之间的间距为其他相邻的刻痕线之间间距的2倍，证明该两条间距较大的刻痕线之间有一条刻痕线缺失，表面检测仪检测断点时，会判断出缺少的断点的位置，在本案中根据具体的实验数据对比，判断为扫描镜31异常，实际检查发现扫描镜31的表面镀膜已严重烧伤。

例如，如图6所示为本实施例的存在较短刻痕线的刻痕图像，即断点的长度大于预设长度值的情况下，判断异常镜片的具体方法为：表面检测仪探测到所有的断点，但是有一条刻痕线的断点过长，导致刻痕线不完整，根据本案的方法计算对比判断为扫描镜11异常，检查发现是扫描镜11底部的转动轴承卡阻，造成镜片的转动角度受限制引起断点异常，导致刻痕线不完整。

以上，仅为本发明的示意性描述，本领域技术人员应该知道，在不偏离本发明的工作原理的基础上，可以对本发明作出多种改进，这均属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，其中，激光刻痕设备包括激光器、扫描镜和聚焦镜，所述激光器发射的激光光线通过所述扫描镜反射形成反射光线，所述聚焦镜将所述反射光线聚焦为激光束，其特征在于，包括如下步骤：

S1、在所述聚焦镜和带钢之间设置一遮光部件；

S2、控制所述激光器发射所述激光光线并形成所述激光束，控制所述激光束沿所述钢板的宽度方向扫描；

S3、确定所述带钢上是否具有由所述激光束扫描形成的刻痕线以及所述刻痕线上断点的长度；

S4、当所述带钢上无所述刻痕线或者所述断点的长度与预设长度值不一致时，确定所述扫描镜异常。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述遮光部件为遮光棒，所述遮光棒安装于所述聚焦镜和所述带钢之间的激光刻痕设备框架上且垂直于所述激光束的扫描方向设置。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设长度值根据所述遮光部件的直径和所述遮光部件与所述聚焦镜、所述聚焦镜与所述带钢之间的距离确定。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述遮光部件与所述聚焦镜之间的距离小于与所述遮光部件所述带钢之间的距离，且所述遮光部件靠近所述聚焦镜操作侧的一端设置。

5.一种检测激光刻痕设备中异常镜片的方法，其中，激光刻痕设备包括多台激光器、多面扫描镜和一面聚焦镜，所述扫描镜依次排成一排，所述激光器发射的激光光线通过对应的扫描镜反射形成反射光线，所述聚焦镜将所述反射光线聚焦为激光束，其特征在于，包括如下步骤：

S1、在所述聚焦镜和带钢之间设置一遮光部件；

S2、控制所述多台激光器依次发射激光光线并分别形成所述激光束，控制所述激光束分别沿所述钢板的宽度方向扫描；

S3、确定所述带钢上每两条由所述激光束扫描形成的刻痕线之间的距离、每条所述刻痕线上断点的位置以及各个所述断点的长度；

S4、当两条相邻的所述刻痕线之间的距离大于预设距离值或者所述断点的长度与预设长度值不一致时，根据该刻痕线上所述断点的位置确定发生异常的所述扫描镜。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述多面扫描镜分为多组，每组所述扫描镜的数量与所述激光器的数量相同；所述激光刻痕设备还包括多面切换镜，所述切换镜的数量与所述激光器的数量相同，所述激光器的激光光线由所述切换镜控制依次照射于各组对应的所述扫描镜上。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述聚焦镜下方设有聚焦辊，所述聚焦辊使所述带钢位于其上的部分形成弓形面，并且所述弓形面的各顶点连线与所述激光束的扫描方向共线。

8.如权利要求5所述的激光刻痕设备异常镜片的检测方法，其特征在于，根据所述遮光部件的位置确定相邻的两个所述扫描镜对应的所述刻痕线上的断点之间的间距和预设的初始零位，确定各面扫描镜对应的所述刻痕线上断点的位置。

9.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设长度值根据所述遮光部件的直径和所述遮光部件与所述聚焦镜、所述带钢之间的距离确定。

10.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述预设距离值的范围为2-20mm。