CN1095068C - 测量光波导器件的光学中心的位置的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种利用保持器将若干个光波导器件保持在给定位置，对每个光波导器件的光学中心的位置进行高精度测量的方法。此时，用于在输出光束中形成一个中间细部的透镜系统，位于与每根光学传输器件的一端相对的位置，然后输出的光束被输入光波导器件，并在光波导器件发射出的光束的光强度达到最大值时测出透镜系统的位置，然后根据测量值计算出光波导器件的位置。

Description

测量光波导器件的光学中心的位置的方法

本发明涉及一种精确测量光波导器件(如光纤等)在保持这些光波导器件的保持器上各自的位置的方法。

如众周知，现在有不同的用于固定直径(如125μm)光纤的衬底。在任何衬底上，如果固定在其上的光纤的轴从给定的位置发生偏移的话，在光纤和其他的光波导器件之间的传输损耗就会变大。因此，如果在衬底上加工出固定光纤用的槽，就需要很高(比方说小于0.5μm)的加工精度。为此，采用了比如使衬底上形成的槽的剖面为V型的方法，光纤被放在各自的槽中，然后利用树脂或焊锡将光纤固定在槽中。

图1(a)为具有上述用来固定光纤的衬底的光纤保持器的一个实施例的正视概略图。图1(b)为该保持器的平面概略图。图1(c)为由图1(b)的左侧看去的保持器的侧视图。光纤保持器1包括用于固定光纤的衬底3。衬底3包括一个阶梯的部分3a和一个保持部分3b，其中一个光纤罩2固定在阶梯部3a上，而在保持部3b形成给定行数的槽7。每个槽7从保持部分3b的一个端面6延伸到阶梯部3a。光纤8被放入槽7中，然后利用树脂等固定在此处。在保持部分3b上设有一个罩4，在光纤罩2上又放有一个罩5。

以下对加工这样一种光纤阵列的方法加以说明。首先，提供一块由陶瓷或玻璃制成的用于固定光纤的衬底3。每个槽7是一种具有深度为(例如)大约一百几十μm的细槽。光纤8被分别放置并在槽7中定位。

因为光纤阵列被用于与光波导衬底等相耦合，需要精确地测量每根光纤的位置。由于光波导可以利用比如半导体加工以±0.2μm的精度成形，假定光纤与具有同样剖面的光波导相耦合，因为光纤位于各种光波导之间，当在光纤的光学中心和光波导之间有1.5μm的偏移时就会造成不小于0.4dB的耦合损失。由于希望该该耦合损失不大于0.2dB，因此两个光学中心之间的偏移应当不大于1μm。为此，要求对于光纤中心的位置从理论位置或者说设计位置发生的偏移进行的测量的精度为±0.1-0.2μm。

但是，对光纤的纤芯位置进行如此高精度的测量是不可能的。即虽然放置光纤的槽的形状可以利用一种接触型的形状测量装置进行测量，但是光纤的位置则不可以使用这样的装置作直接测量。这是因为光纤的一个端面被利用磨光加工成平面，即使将接触型的测量装置用于光纤阵列的该端面也不能测出光纤的位置。假如将接触型的测量装置用于光纤阵列的该端也不能测出光纤的位置。假如光纤完全与槽接触，可以根据槽的位置和高度精确地计算光纤的固定位置。但是，光纤实际上是以一个小的间隙与槽壁的表面相接触，因此不可能以上述的高精度计算光纤的位置。

为了解决上述问题，发明人考虑利用一个通用的工具显微镜去测量光纤的纤芯位置。在该通用工具显微镜中，被测物被放在可移动的平台上，因此其座标可通过显微镜的定位为给出。但是在常规的通用工具显微镜中，测量精度仅为±1μm。从平台本身的测量精度来判断，对上述测量精度作进一步的改进是困难的。

此外，发明人考虑采用一个激光束通过每根光纤，利用CCD接收由光纤出的光束，然后根据收到的光束来测量光纤的光学中心。问题是测量光束的轮廓十分困难。具体地说，当由光纤发送的光束被直接观察时，可以观察到该光束的光学中心，需要对轮廓为非圆形的光束进行正规化，但实际上测量精度是有限的。在利用市场上可以购到的光束仿形工具时，测量精度仅为±10μm。不仅如此，虽然理论上测量精度可以利用试验制造一种高精度的透镜系统和一个平台来提到一个较高的水平，但此时实际可以达到的测量精度最高也仅是0.5μm。

因此，本发明的一个目的是提高对利用保持器将若干个光波导器件保持在给定位置的每个光波导器件光学中心的位置的测量精度。

本发明的第一个方面是提供一种在把若干个光波导器件保持在给定的位置的保持器中，测量光波导器件的光学中心的位置的方法，该方法包括如下步骤：

设置一个透镜系统，在输出光束的光通量中形成一个保持器中的各个光波导器件的一个端面相对的中间细部；

从该透镜系统向光波导器件的上述一个端面输入光束；

当光波导器件发射的光束的光强度最大时测量光学系统的位置；以及

根据测量值计算光波导器件的位置。

本发明的第二个方面是提供一种制造光学器件的方法，该器件具有包括若干个光波导的衬底和光波导器件保持器的组件体，该方法如下步骤：

根据上述的方法测量位于保持器中的各个光波导器件的位置；

选择保持器，该保持器中各个光波导器件的光学中心与被测量的保持器的误差裕度不大于1.0μm；

将选择的保持器与衬底相连接，使各个光波导器件与相应的光波导实现光耦合。

此外，本发明的第三个方面是提供一种制造光学器件的方法，该器件具有包括若干个光学元件的光学单元装置和光波导器件保持器的组合体，该方法包括如下步骤：

根据上述的方法测量位于保持器中的各个光波导器件的位置；

选择保持器，该保持器中各个光波导器件的光学中心与被测量的保持器的误差裕度不大于1.0μm；

将选择的保持器与光学单元装置相连接，使各个光波导器件与相应的光学元件实现光耦合。

作为光波导器件，光纤是首选，但是也可能采用无源的光波导器件如负载透镜等。对采用何种光学元件没有特别的限制，但是采用一种产生激光束的发射元件和一种接收该激光束的接收元件是有利的。

以下将结合附图对本发明进行说明。

图1(a)为和衬底一起的用于固定光纤的光波导器件保持器的一个实施例的正面概略视图；

图1(b)为该保持器的概略平面图；

图1(c)为该保持器的左侧视图；

图2为根据本发明的测量理论的一个实施例的概略视图；

图3为根据本发明的测量理论的另一个实施例的概略视图；其中端面10相对于X轴倾斜θ角；

图4为根据本发明的测量理论的又一个实施例的概略视图；

图5为保持器9处于旋转一个修正角θ的状态时的概略视图，

图6为在Z轴上的透镜系统14的移动量与光通量比率之间的关系的曲线图，

图7为说明图6曲线峰值邻近区域的放大图。

图8为本发明的实施例中使用的测量设备的概略透视图。

以下将适当地参照附图对本发明的理论和最佳实施例加以说明。图2为根据本发明的测量理论的一个实施例的概略视图。在光纤保持器9上加工出给定行数(比如)16个槽：11A，11B，11C…11N，11O，11P。在该实施例中，槽的成形使其相互之间平行，但是每个槽可能是曲线形的。在这些槽中分别装有光纤13A，13B，13C，…13N，13O，13P。每根光纤的一个端面12暴露于保持器9的端面10一侧。所有这些端面均经过光学磨光。

透镜系统14在输出光束的光束中形成一个中间细部。该透镜系统可以是单一的准直仪或若干个透镜的组合。透镜系统14的布置使得其与保持器9的光纤13A的一个端面相对，从而使由透镜系统输出的光束15A输入光纤13A的该端面12，并由该光纤13A的另一端面射出，如箭头16A所示；该光束被一个接受元件17A所接收对光的强度进行测量。此时，透镜系统14沿X轴的方向和Y轴的方向移动，在该过程中可以测出随上述移动产生的光强度的变化。同时，当光强度最强时，测出透镜系统14的位置(X1，Y1)。

上述一系列操作是对各个光纤13B，13C，…13O，13P分别进行的。比如，对于光纤13P，参考符号15P表示由透镜系统14输出的光束，参考符号16P表示由光纤13P发射出的光束，而参考符号17P表示光束16P的接收元件。在该例中，透镜沿X轴方向和Y轴方向运动，此时对随着运动光强度的变化进行测量。不仅如此，当光强度最强时，对透镜系统14的位置(X16，Y16)也进行测量。

当光纤的光轴和透镜系统的光轴最大程度地符合时，由光纤发射的光的强度就最强。因此，当由光纤发射的光束的强度为最大时透镜系统的位置就基本上和光纤在X轴和Y轴的位置相一致。作为其结果，光纤的中心的位置或者光学中心的位置就可以通过测量透镜系统的位置来确定。

特别重要的是，发射光束中光强度的变化对于透镜系统位置的移动非常敏感，即便在位置的移动不大于0.1μm时也可以很容易地分辨。因此根据本发明的方法，原已固定在保持器上的各根光纤的位置可以以非常高的精度加以测量。

由本发明的理论的观点出发，该检测光学系统和对应的各光纤之间的最佳位置的方法是不受限制的。但测量的精度影响整个装置的测量精度。一般而言，要求将保持器9和透镜系统14分别放置于可移动的平台上，这些平台在X，Y和Z轴三个方向上移动。此时，每个平台的移动机构被计算机根据用户的方式加以控制，因此透镜系统14和保持器9之间的相对位置(X，Y)可以根据计算机的指令值和平台的位置移动来确这。无论如何，在平台和移动机构中有一定的间隙，它就相应于测量误差。

因此，在一个最佳实施例中，透镜系统的位置或装有透镜系统的平台的位置是被直接测量的。具体地说，最好是用激光测距仪借助由激光测距仪发射出的激光光束直接测量到透镜系统14或平台的距离。此时，更好的方法是用一台激光测距仪测量X轴方向的位置而用另一台激光测距仪测量Y轴方向的位置。

在研究和开发本发明时发现了下述问题。参见图3，对此问题加以说明。图中如图2所示的相同的器件采用相同的符号，但略去对其的解释。即，光纤在X轴和Y轴的位置可以利用上述方法测量，因此可以认为上述测量理论上不受透镜系统14到保持器9的端面10之间的距离的影响。

测量中，无论如何，需要将透镜系统14与端面10平等移动，但是这是十分困难的。因为，为了知道光纤在X轴的位置，需要使透镜系统14沿X轴方向移动以测量由光纤发射出的光束的光的强度的相应变化，但是使保持器9的端面10和X轴高精度地相匹配是困难的。

比如，在呈现由位于保持器两端的光纤13A和13P发射的光束的最大光强度时，当透镜系统14的位置为(X1，Y1，Z)和(X16，Y16，Z)，在X轴上光纤13A和光纤13P之间的距离可以计算为(X16-X1)。无论如何，在光纤13A和光纤13P之间的距离比计算值要大，且为(X16-X1)/cosθ。

实际上当光纤的节距为250μm时，如保持器9具有，比如，16根光纤，从而在放于两端的光纤13A和13P之间的距离为250μm×15＝3750μm。在实际测量时，假定光纤中13A和13B中任何一根的光轴的角度与透镜系统14输出的光束15A和15P之间有0.7°的偏移，实际的测量距离就变为3750μ×cos0.7°＝3749.7μm，即与真值产生0.3μm的偏差。该测量误差将与其他测量误差相加。

作为使光纤的光轴与透镜系统14输出的光束之间匹配的方法，曾考虑采用图象处理的方法。即，光纤保持器9的端面10由上部进行观察(Y轴方向)，从端面10的上边缘选取若干个点，对亮度进行测量。其后，根据亮度的测量值对于端面10的边缘描绘一点假想线。当测量出对应于端面10的边缘的假想线和由透镜系统14到光纤的输出光束间的角度后，使保持器9向θY方向旋转，使得上述角度变成直角。

但是，此方法具有如下的问题，即图象处理本身的精度大约为±0.1μm。不仅如此，假如端面10的边缘为直角，端面的位置可以精确地知道，但是端面10的实际边缘常被破坏或变为略倾斜的表面。因此，不可能相应于端面10的边缘描绘出精确的假想线，从而会在假想线的位置和边缘之间会产生大的偏差，不仅如此，在磨光的端面，精度大约为±0.2°。同时，端面10的位置并不与端面10的边缘精确地一致。不仅如此，也不容易精确地掌握透镜系统14光轴的位置。

本发明中，因此，最好采用下述方法。如图4所示，假定在保持器9的端面10和X轴之间具有一个斜角θ(θ＞0)。此时，由透镜系统14输出的光束15A输入光纤13A的端面12，以如上所述的方法测量由光纤13A发射的光束16A的光的强度。

在图2和图3的实施例中，透镜系统14在Z轴上的位置固定为一个恒定的值(Z)。与之不同，本实施例中，透镜系统14沿Z轴方向移动。而且，透镜系统14在X，Y和Z轴上的所有的位置(X1，Y1，Z1)均在发射的光束16A的光强度最强时被进行测量。此时，由透镜系统14输出的光束15A有一个中间细部，从而当由端面12的距离成为一个给定值D，一束输入到光纤13A的一端的光束的尺寸变得最小，因此发射的光束16A的光的强度变得最大。

如上所述的同样的过程，至少应在其他光纤之一中进行，最好是在位于保持器一端的光纤13P中进行，此时，透镜系统14在X，Y和Z轴上的所有位置(X16，Y16，Z16)在发射光束16P的光强度最大时得到测量。同时，由光纤13P的端面12到透镜系统14的距离为D。

上述倾斜角θ可以根据Z1和Z16的不同进行计算。根据计算结果，保持器9如图5所示在θY的方向旋转一个修正角θ。作为其结果，保持器9旋转直到透镜系统14在Z轴上的位置均为相等的值(Z0)时为止。甚至在旋转之后，在透镜系统14和端面12之间的距离D仍如图4所示保持不变。因此由透镜系统14输出光束15A和15P的光轴和相应的光纤的光轴相一致。旋转后，透镜系统14在X和Y轴上的位置(X1，Y1)，(X16，Y16)在发射光束16A和16P的光强度最强时被进行测量。

由实际的测量例子可知，在光轴方向(Z轴方向)的测量精度大约为±4μm，当该结果应用到如上所述具有250μm节距的光纤阵列时，它相应于±0.06°的角θ，和对透镜系统在X和Y轴的位置产生0.002μm左右的影响。

其次，对一个在光纤发射的光束的光强度为最大时对透镜系统14在Z轴上的第一位置进行测量的优选方法加以说明。图6和图7的曲线表示在发射光束的光强度的比率(光通量比率)和当利用典型的准直仪作为透镜系统14时准直仪在Z轴上移动的距离之间的关系。图6和图7中，在纵座标轴上光通量的比率表示当输出光束的光强度的最大值被标准化为10时的相对值。同时，横座标轴表示当将呈现近似为最大光通量比率的Z轴上的移动量定为0时，由起点的移动量。

具体地说，如图7的曲线所示当光通量比率最大时，光通量比度的变化相对于Z轴移动量的变化很小，因此当光通量比率为最大时很难确定准直仪在Z轴上的位置，而且误差变大。这样一个曲线依赖于准直仪光束的形式。因此当光通量比率相应于Z轴上移动量的变化是在一个大范围变化时，首先选定一个预定的值；具体地说，即在光通量比率的最大值的40～90％的范围中选定一个值，然后在光通量比率达到上述预定的值时对透镜系统在Z轴上的第三位置进行测量；并且在光通量比率在最大光通量比率的另一侧达到上述预定值时，对透镜系统14在Z轴上的第四位置进行测量。第一位置可以作为第三位置和第四位置的中点进行计算。

当考虑到每根光纤13A，13B，…13P时，透镜系统14沿X轴和Y轴的方向移动以测量随着上述移动所接收到的光通量的变化；此时，当接收到最大光强度时，即对透镜系统14在X轴和Y轴上的第一位置进行测量。即使这样，在接收光强度最大时，所接收光强度的变化相对于在X轴和Y轴上的变化量也很小。因此，当接收光强度变为最大时在X轴和Y轴上的位置的误差变大。

因此，在接收光强度相应于在X轴和Y轴上移动量的变化是在大范围中变化时，首先选择一个预定的值，具体地来说在接收光强度的最大值40～90％的范围中选定一个值，然而在接收光强度达到上述预定值时对透镜系统14在X轴和Y轴上的第三位置加以测量。然后在最大接收光强度的另外的一侧当接收光强度达到预定的值时，对透镜系统14在X轴和Y轴上的第四位置进行测量。因此第一位置可以作为第三位置和第四位置的中点加以计算。

在固定光纤用的衬底的生产中，可利用对硅材料蚀刻形成槽的方法。但，该方法的加工精度有一定的限制，因此很难高精度地形成V形槽。为此，可以利用磨光陶瓷材料如氧化铝，玛瑙，氧化锆等等或玻璃材料的方法来形成槽。在后者，比如，一个陶瓷成形的物体被烧结后送到平面磨床形成平面，然后利用钻石砂轮对其进行磨光加工以在平面上形成槽。也可以利用对衬底加压模塑形成固定光纤用的槽。

作为玻璃材料，光玻璃(BK-7)，硼硅酸盐玻璃，碱石灰玻璃，离子交换玻璃，LiQ₂-Al₂O₃-SiO₂玻璃为首选。

以下将参照下例对本发明作更详细的说明。

图8为采用本发明的例中应用的测量设备的概略透视图。

如图1所示，制造出利用V形槽放置16根光纤的光纤保持器1，其后对每根光纤的中心的位置利用上述方法进行测量。此例中，固定光纤用的衬底3是用硼硅酸盐玻璃制成，而V形槽是用压力模塑形成。两根光纤之间的节距为250μm。保持器1是一个长方体，外形尺寸为6×6×2mm。光纤则采用了波长为1.3μm的单模光纤。

图8中，准直仪14被放置在平台23的上表面23a的一端，并经光纤22与发光二极管21相连。平台23放于Y轴平台24Y，X轴平台24X和Z轴平台24Z上。平台24X，24Y，24Z每个均通过一根电缆34与计算机35相连，这样每个平台的移动量可以被连续地根据计算机对平台移动的指令值进行测量。整个测量设备被放置在振动吸收台27上。

激光测距仪28X布置在与平台23的侧面23b相对的位置，并通过支撑构件29X固定在振动吸收台27上。激光测距仪28Z布置在与平台23的侧面23c相对的位置并经支撑构件29Z固定在振动吸收台27上。激光测距仪28Y布置在与平台23的背面23d相对的位置并经支撑构件29Y固定在振动吸收台27上。所有这些激光测距仪均具有大约为0.01μm的分辨率。

每个激光测距仪的激光束被照射到平台23的原因是因为每个激光测距仪与平台23之间的位置关系基本上是不变的，且一个表面被激光束照射的条件，位置和角度也是基本上恒定的，因此可以使测量误差达到最小。在平台23中，被激光束照射的表面最好是镜面。

在准直仪14中，具有一个大约15μm的光束中间细部。名词“光束中间细部”表示在某个位置光束的直径显示出最小值。符号15表示一激光束。

平台37布置于平台36Y的θY轴，平台36Z的θZ轴和平台36X的θX轴上，而平台36X布置在振动吸收台上。每个平台36X，36Y和36Z经电缆33与计算机35相连，这样每个平台的转角可以根据计算机对平台旋转的指令值来进行连续地测量。

保持器1布置在平台37上。本实施例中，保持器1由平台37上的夹具25定位，使得保持器中的光纤近似与准直仪的输出光束相平行。保持器的保持部分一侧的端面被事先用酒精洗清过。位于保持器另一端的各光纤的端部被事先用市场上可以买到的切削工具切开，然后切开的端面被清洗过。这样的光纤的端面被接到经电缆32与计算机35相连的光接收元件31。

对θY方向和θZ方向的粗调整可以利用将保持器端面，准直仪端面，和其环境的图象放入CCD摄影机24来进行。因为保持器初始的安装位置通常偏差很大。

当激光束输入光纤，通常采用波长为1.55μm的激光束。虽然在光纤阵列中的光纤在该波长上具有轻微的散射，重要的是确定用于测量光心位置的发射光束呈现最大输出时光纤中心的位置，因此采用激光束的波长大于光纤的波长(1.3μm)以尽可能地使发射的激光束以单模型式工作。不仅如此，为了防止由于气流的影响降低测量精度，将平台整体用罩罩住。

首先，位于保持器端的光纤13A的位置利用手动方式进行粗测量。其后，利用上述方法将光纤的光轴调整到准直仪输出的光束的光轴位置。此时，X轴平台24X和Y轴平台24Y被驱动以确定发射光束的光强度最大的位置。再其次，Z轴平台也被驱动以确定发射光束的光强度最大的位置。

这样可以得到图6所示的曲线。实际上对在光通量比率接近最大光通量的70％时准直仪在Z轴的两个位置进行了测量，然后根据上述两个测量值计算在Z轴上的中点。此后，由上述计算值中算出所需的校正角θ，最好θY平台36Y根据计算的校正角θ进行旋转。

此后，对每根光纤的中心的位置进行测量。在此例中，安装准直仪的平台23的位置被利用激光测距仪28X，28Y和28Z进行了测量。根据上述测量结果算出每根光纤的中心的座标。当以连接第一光纤13A的中心和第十六光纤13P的中心的直线被作为X轴时，以节距为250μm将X轴分割的点作为每根光纤的理想位置。其后算出每根光纤中心实际测量的位置和各自的理想位置之间的偏移。

相对于同一个保持器上述测量重复三次，其结果如表1所示。

表1

	第一次测量		第二次测量		第三次测量
							光纤号	由X轴理想位置的偏移	由Y轴理想位置的偏移	由X轴理想位置的偏移	由Y轴理想位置的偏移	由X轴理想位置的偏移	由Y轴理想位置的偏移
1	0.53	0.00	0.50	0.00	0.46	0.00
							2	-0.10	0.35	-0.02	0.30	0.09	0.45
3	-0.42	0.44	-0.45	0.47	-0.24	0.47
							4	-0.40	0.19	-0.41	0.17	-0.34	0.25
5	-0.11	0.01	-0.04	0.04	0.05	0.07
							6	-0.19	0.14	-0.20	0.22	-0.09	0.21
7	-0.29	0.65	-0.25	0.64	-0.19	0.85
							8	-0.07	0.30	-0.10	0.29	0.12	0.33
9	-0.19	0.18	-0.25	-0.27	-0.14	-0.21
							10	-0.19	0.61	-0.19	0.65	-0.03	0.74
11	-0.49	0.40	-0.50	0.39	-0.56	0.44
							12	-0.47	0.03	-0.45	-0.02	-0.22	0.07
13	-0.38	0.16	-0.31	0.20	-0.22	0.21
							14	-0.56	0.43	-0.60	0.46	-0.49	0.40
15	-0.83	0.07	-0.76	0.12	-0.80	0.17
							16	-0.53	0.00	-0.50	0.00	-0.46	0.00

由表1的结果可以看出，本发明的方法的测量精度约为±0.1μm。

如上所述，采用本发明，可以对保持在光波导器件保持器中的给定位置的每个光波导器件的光学中心的位置高精度地进行测量。

Claims (6)

1.一种在把多个光波导器件保持在预定位置的保持器中，测量光波导器件的光学中心的位置的方法，包括如下步骤：

设置一个透镜系统，在输出光束的光通量中形成一个中间细部，该透镜系统与保持器中的每个光波导器件的一个端面相对；

从该透镜系统向光波导器件的上述一个端面输入输出光束；

当光波导器件发射的光束的光强度最大时，测量透镜系统的位置；以及

根据测量的值计算光波导器件的位置。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：光波导器件被以相互平行的方式固定，并且透镜系统沿垂直于光波导器件的纵轴(Z轴)的两个方向(X轴，Y轴)移动，以测量光波导器件发射的光束的光强度，从而测量光波导器件在X轴与Y轴上的位置。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：

在光波导器件之一发射的光束的光强度为最大时，对透镜系统在Z轴上的第一位置进行测量，该测量是通过使透镜系统在Z轴上移动来测量由该光波导器件发射的光束的光强度来实现的；

在另一光波导器件发射的光束的光强度为最大时，对透镜系统在Z轴上的第二位置进行测量，该测量是通过使透镜系统在Z轴上移动来测量由该光波导器件发射的光束的光强度来实现的；

旋转保持器，使第一位置与第二位置一致；

其后，沿垂直于光波导器件的纵轴(Z轴)的两个方向(X轴，Y轴)移动透镜系统，以测量每个光波导器件发射的光束的光强度。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：

光波导器件发射的光束的光强度达到发射光束的最大光通量的40％-90％范围中的预定值时，对透镜系统在Z轴上的第三位置进行测量；

在光束的光强度的测量值在位于最大光通量的另一侧的位置达到预定的值时，对透镜系统在Z轴上的第四位置进行测量；

第一位置与第二位置被分别作为第三位置和第四位置的中点算出。

5.一种制造光学器件的方法，该器件具有包括若干个光波导的衬底和光波导器件保持器的组合体，该方法包括如下步骤：

根据权利要求1所述的方法测量位于保持器中的各个光波导器件的位置；

选择保持器，该保持器中各个光波导器件的光学中心与被测量的保持器的误差裕度不大于1.0μm；以及

将选择的保持器与衬底相连接，使各个光波导器件与相应的光波导实现光耦合。

6.一种制造光学器件的方法，该器件具有包括若干个光学元件的光学单元装置和光波导器件保持器的组合体，该方法包括如下步骤：

根据权利要求1所述的方法测量位于保持器中的各个光波导器件的位置；

选择保持器，该保持器中各个光波导器件的光学中心与被测量的保持器的误差裕度不大于1.0μm；以及

并将选择的保持器与光学单元装置相连接，使各个光波导器件与相应的光学元件实现光耦合。

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