CN109494167A - 基板缺陷检测装置和镀膜设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其是涉及一种基板缺陷检测装置和镀膜设备。基板缺陷检测装置包括第一检测装置、第二检测装置、输送装置和移动装置；输送装置带动基板从第一端到第二端；第一检测装置在第一端，检测基板与输送方向平行的侧边上的缺陷；移动装置与第二检测装置连接；第二检测装置，检测基板与输送方向垂直的侧边上的缺陷。本发明通过在输送装置的两侧第一检测装置，在输送装置的第一端和第二端设置第二检测装置，两个第一检测装置和两个第二检测装置共同配合，完成对基板的四个边的检测，确保有缺陷基板不会进入下一工序，保证了正常作业。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其是涉及一种基板缺陷检测装置和镀膜设备。
背景技术
镀膜工艺为太阳能电池生产过程中的重要环节。目前，当玻璃基板从前一道工艺到镀膜工艺之间的传送过程中可能会出现玻璃边部或者角部因碰撞产生掉角或者大掉片的状况，一旦这样的玻璃进入镀膜机后，有很大的可能性在镀膜过程中产生碎片，而镀膜机清理碎片操作困难且时间长，影响生产效率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基板缺陷检测装置和镀膜设备，以解决现有技术中存在的镀膜工艺中对基板没有检测的技术问题。
本发明提供的基板缺陷检测装置，其特征在于，包括第一检测装置、第二检测装置、输送装置和移动装置；
所述输送装置用于带动基板从第一端输送到第二端；
所述第一检测装置设置在所述第一端，用于检测所述基板与输送方向平行的侧边上的缺陷；
所述移动装置与所述第二检测装置连接，用于带动所述第二检测装置在垂直于所述输送方向的方向上从所述输送装置的一端移动至所述输送装置的另一端；
所述第二检测装置，用于检测所述基板与输送方向垂直的侧边上的缺陷。
进一步的，所述基板缺陷检测装置还包括定位装置，所述定位装置用于对所述输送装置上的基板进行定位。
进一步的，所述定位装置包括位置检测装置和位置矫正装置；
所述位置检测装置用于检测所述基板在所述输送装置上的位置；
所述位置矫正装置与所述位置检测装置信号连接，用于对所述输送装置上的基板进行位置矫正。
进一步的，所述位置矫正装置包括纵向矫正装置和横向矫正装置，所述纵向矫正装置用于在平行于所述输送方向的方向上对基板进行位置矫正，所述横向矫正装置用于在与所述输送方向垂直的方向上对所述基板进行位置矫正。
进一步的，所述纵向矫正装置包括左侧定位装置和右侧定位装置；
所述左侧定位装置和所述右侧定位装置分别设置在所述输送装置的相对两侧，用于在所述输送方向上对所述基板进行位置矫正。
进一步的，所述左侧定位装置包括沿所述输送方向设置的多个定位轮，所述右侧定位装置包括沿所述输送方向设置的多个定位轮。
进一步的，所述横向矫正装置包括前定位装置和后定位装置；
所述前定位装置设置在所述输送装置的输出端，所述后定位装置设置在所述输送装置的进给端，所述前定位装置和所述后定位装置用于在与所述输送方向垂直的方向上对所述基板进行位置矫正。
进一步的，所述前定位装置包括沿所述输送装置进给方向垂直的方向设置的多个定位轮；
所述后定位装置包括沿所述输送装置进给方向垂直的方向设置的多个定位轮。
进一步的，所述基板缺陷检测装置还包括移出装置；
所述移出装置与所述第一检测装置和所述第二检测装置信号连接，用于在所述第一检测装置或所述第二检测装置检测到基板存在缺陷时，将该基板从所述输送装置上移出。
本发明还提供了一种镀膜设备，其包括镀膜腔和上述任一项所述的基板缺陷检测装置，所述基板缺陷检测装置设置于所述镀膜腔的输入端，用于将通过所述基板缺陷检测装置检测后无缺陷的基板输送至所述镀膜腔。
本发明提供的基板缺陷检测装置和镀膜设备，通过在输送装置的两侧设置第一检测装置，在输送装置的第一端和第二端设置第二检测装置，两个第一检测装置和两个第二检测装置共同配合，完成对基板的四个边的检测，确保不会使有缺陷的基板进入下一工序，保证了正常作业。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的基板缺陷检测装置的原理图；
图2为本发明实施例提供的基板缺陷检测装置；
图3为本发明实施例提供的基板缺陷检测装置；
图4为本发明实施例提供的基板检测方法的流程图。
附图标记：
1：第一皮带；2：基板；3：第一定位轮；4：第二定位轮；5：第一检测装置；6：第二检测装置；7：第五定位轮；8：第二皮带；9：第七定位轮；10：镀膜机；11：第八定位轮；12：第六定位轮；13：第四定位轮；14：第三定位轮；15：齿条；16：齿轮；17：摆杆；18：电机轴。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如附图1-图3所示，本发明提供了一种基板检测装置，包括第一检测装置5、第二检测装置6、输送装置和移动装置；输送装置用于带动基板2从第一端A输送到第二端B；第一检测装置5设置在第一端A，用于检测基板2与输送方向x平行的侧边上的缺陷；移动装置与第二检测装置6连接，用于带动第二检测装置6在垂直于所述输送方向x的方向上，从输送装置的一侧移动到输送装置的另一侧，第二检测装置6用于检测基板2与输送方向x垂直的侧边上的缺陷。
为便于说明，在本发明中，如图1所示，输送方向记为x方向，与输送方向垂直的方向记为y方向。
在使用时，先将基板2放置在输送装置上，通过输送装置带动基板2沿x方向移动，从输送装置的第一端A移动到输送装置的第二端B。在本实施例中，输送装置为皮带输送。具体的，输送装置包括第二皮带8，第一检测装置5为两个，两个第一检测装置5均设置于第二皮带8的输入端，且两个第一检测装置5位于y方向上第一皮带8的两侧。
当基板2进入第二皮带8并在第二皮带8上沿x方向输送时，利用第一检测装置5对基板2的x方向上的两侧边进行检测，当基板2完全进入到第二皮带8上后，停止第二皮带8的移动，移动装置带动第二检测装置6开始对基板2的y方向的两侧边进行检测。
本实施例中，第一检测装置5为两个，两个第一检测装置5均设置在第一端A，且两个第一检测装置5分别设置在第二皮带8在y方向上的两端。当基板2从第一端A进入到第二皮带8并被输送装置输送到第二端B时，第一检测装置5开始对基板2与x方向平行的两侧边进行缺陷检测并记录。
本实施例中，第二检测装置6为两个，两个第二检测装置6设置在输送装置在x方向上的相对两端，且设置在输送装置的同一侧，两个第二检测装置6之间的距离大于基板2在能够完成对基板2的y方向上相对两侧边的检测。
需要指出的是，在本实施例中，输送装置为皮带输送，但其不仅仅局限于皮带输送，其还可以是其他的输送装置，如还可以是链条输送等，也就是说，只要能够实现对基板2的输送运输即可。
具体的，在本实施例中，移动装置的结构有很多种设置方式，其可以是使用齿轮、齿条的移动方式，也可以是使用链条式移动等，只要能够通过移动装置带动第二检测装置6在y方向上移动即可。
还需要指出的是，在本实施例中，先对基板2平行于x方向的侧边进行检测，再对基板2平行于y方向的侧边进行检测。在其他实施例中，也可以是先对基本2平行于y方向的侧边进行检测，再对基板2平行于x方向的侧边进行检测。也就是说，对基板的检测顺序可以根据实际环境等因素进行调整。
为保证第一检测装置5和第二检测装置6的检测准确性，进一步的，基板检测装置还设置了定位装置，定位装置用于对位于输送装置上的基板2的位置进行定位，以保证第一检测装置5和第二检测装置6能够对基板2进行正常检测。通过定位装置的设置，使得基板2在行进的过程中能够按照预定轨迹，最终达到预定位置，进而保证第一检测装置5和第二检测装置6的检测准确性和有效性。
定位装置的设置方式有很多种，在本实施例中，定位装置包括位置检测装置和位置矫正装置；位置检测装置用于判断基板2在输送装置上的位置；位置矫正装置与位置检测装置信号连接，用于对输送装置上的基板2的位置进行矫正。
具体的，位置检测装置设置在输送装置的左右任一侧或上方，其只要能对输送装置上的基板2进行位置监测即可。
需要指出的是，位置检测装置可以是设置一个，也可以是设置多个。通过多个位置检测装置的设置，能够对基板2的任意位置进行检测，以便于及时对其在输送装置上的位置进行矫正。
具体的，位置检测装置与第一检测装置5、第二检测装置6和位置矫正装置信号连接。
如图1所示，位置检测装置能够在基板2进入到分别设置在输送装置的第一端A的左右两侧的两个第一检测装置5之间时，将检测到的信号传递给第一检测装置5，使第一检测装置5接收到位置检测装置的信号后，开始对基板2平行于x方向上的两侧边进行缺陷检测；当位置检测装置检测到基板2达到两个第二检测装置6之间时，将信号传递给输送装置，使输送装置停止输送，同时将信号传递给移动装置和第二检测装置6，使移动装置带动第二检测装置6沿垂直于基板2的x方向移动，第二检测装置6开始对基板2的y方向的两侧边进行缺陷检测。
当位置检测装置检测到基板2未能正常进入到两个第一检测装置5之间，或未能正常进入到两个第二检测装置6之间时，位置矫正装置启动，对基板2进行位置矫正，使其进入到指定位置，便于第一检测装置5或第二检测装置6对基板2的侧边进行检测。
具体的，在本实施例中，位置检测装置为距离传感器。
即当基板2被输送带带动从第一端向第二端移动时，距离传感器前方的距离改变，使得距离传感器得到基板2达到的信号，并将信号传递给第一检测装置5或第二检测装置6，以使得第一检测装置5或第二检测装置6开始对基板2进行检测。
为保证对基板2位置判断的准确性，在本实施例中，距离传感器设置了多个，使得在输送装置输送基板2时，能够对基板2的位置进行实时监控。
在本实施例中，位置矫正装置包括纵向矫正装置，纵向矫正装置用于在x方向上对基板2进行矫正，使其在行进的过程中，不会发生偏离行进方向的问题。
具体的，纵向矫正装置包括左侧定位装置和右侧定位装置；左侧定位装置和右侧定位装置分别设置在输送装置的相对两侧，用于在x方向上对基板2进行矫正。更具体的，左侧定位装置包括沿x方向设置的第一定位轮3和第二定位轮4；右侧定位装置包括沿x方向设置的第三定位轮14和第四定位轮13。
在使用第一定位轮3、第二定位轮4、第三定位轮14和第四定位轮13对基板2进行定位时，可以是先将第一定位轮3、第二定位轮4、第三定位轮14和第四定位轮13在输送带的两侧进行固定，第一定位轮3和第三定位轮14相对设置，间距为基板2的宽度，第二定位轮4和第四定位轮13相对设置，间距为基板2的宽度。
为了避免基板2不能正常进入到第一定位轮3和第三定位轮14之间、第二定位轮4和第四定位轮13之间，可以将第一定位轮3、第二定位轮4、第三定位轮14和第四定位轮13设置为活动轮，即第一定位轮3、第二定位轮4、第三定位轮14和第四定位轮13可以在y方向上移动。具体地，可以首先设置第一定位轮3和第三定位轮14之间的距离大于基板2的宽度，然后当位置传感器检测到基板2进入到第一定位轮3和第三定位轮14之间时，通过滑动机构带动第一定位轮3和第三定位轮14向基板2的侧边靠近，并与基板2的侧边接触，实现在基板2的x方向上对基板2进行矫正。同理，当基板2继续行进、进入到第二定位轮4和第四定位轮13之间时，滑动机构带动第二定位轮4和第四定位轮13向基板2的侧边靠近，并与基板2的侧边接触，实现对基板2的持续矫正。
滑动机构的设置方式有很多种，如图2所示，可以是使用齿轮16、齿条15配合的结构，即当需要对基板2进行矫正时，电机带动齿轮16转动，进而带动齿条15向靠近基板2的方向移动，进一步带动设置在齿条15端部的第一定位轮3、第二定位轮4、第三定位轮14或第四定位轮13想靠近基板2的方向移动。当第一定位轮3、第二定位轮4、第三定位轮14和第四定位轮13同时与基板2的侧边相抵后，完成对基板2的x方向的矫正。
当x方向矫正完毕后，反向转动电机，使得齿轮16反转，进一步带动第一定位轮3、第二定位轮4、第三定位轮14或第四定位轮13离开基板2，使得输送装置能够正常输送基板2。
同理，当基板2的x方向缺陷检测完毕后，在y方向上对基板2进行缺陷检测前，先对基板2的y方向上的侧边的位置进行矫正，以保证第二检测装置6对基板2检测的准确性。
在本实施例中，位置矫正装置还包括横向矫正装置，横向矫正装置用于在y方向上对基板2进行位置矫正。
具体的，横向矫正装置包括前定位装置和后定位装置；前定位装置设置在输送装置的输出端，后定位装置设置在输送装置的进给端，横向矫正装置用于在基板2停止输送后，在y方向上对基板2进行位置矫正。
更具体的，前定位装置包括沿y方向设置的第五定位轮7和第六定位轮12；后定位装置包括沿y方向设置的第七定位轮9和第八定位轮11。
在本实施例中，如图3所示，第五定位轮7、第六定位轮12、第七定位轮9和第八定位轮11在初始状态时，第五定位轮7和第六定位轮12设置在输送装置的第一端A的上方，第七定位轮9和第八定位轮11设置在输送装置的第二端B的上方，当需要对基板2的y方向的位置准确性进行矫正时，电机转动，带动电机轴18上设置的摆杆17绕电机轴18转动，进而带动设置在摆杆17另一端的侧面的第五定位轮7、第六定位轮12、第七定位轮9或第八定位轮11转动，将其转动到基板2的侧壁上，对基板2进行压紧，进而完成对基板2的定位；在完成对基板2的y方向上的定位后，电机反转，带动第五定位轮7、第六定位轮12、第七定位轮9或第八定位轮11反方向转动，使得第五定位轮7、第六定位轮12、第七定位轮9和第八定位轮11离开基板2的侧边，避免影响到第二检测装置6对基板2的检测。
在本发明的另一个实施例中，进一步的，基板检测装置还包括移出装置；移出装置与第一检测装置5和第二检测装置6信号连接，用于在第一检测装置5或第二检测装置6检测到基板2有缺陷时，将该基板2从输送装置上移出。
也就是说，通过移出装置能够将第一检测装置5或第二检测装置6检测出来的有缺陷的基板2及时从输送装置上移出，避免检测出的有缺陷的基板2进入到下一工序，如避免有缺陷的基板2进入到镀膜机10中。
通过移出装置和第一检测装置5、第二检测装置6的配合，能够减少人工操作，并提高了操作的准确率，避免了人工操作的失误率，同时也提高了检测效率和向镀膜机10输送基板2的效率。
具体的，在本实施例中，移出装置为吸附机械手臂。即通过气泵对吸附吸盘抽气，使吸附吸盘形成负压，将有缺陷的基板2从输送皮带上吸起来，再移动吸附吸盘，将基板2从输送皮带上方移开，送到指定位置等待处理。
需要指出的是，在本实施例中，移出装置为吸附机械手臂，但其不仅仅局限于这一种设置方式，其还可以是其他的结构，如还可以通过步进电机推动螺杆直线移动，螺杆端部将基板2从输送皮带上顶出，完成对基板2的移出等，也就是说，移出装置的结构设置只要能够将基板2从输送皮带上移出即可。
在本发明的另一个实施例中，第一检测装置5为距离传感器或红外线传感器。
第一检测装置5的检测方式可以是使用距离传感器进行检测，即通过距离传感器与基板2之间的距离变化来判断基板2是否具有缺陷，当距离传感器检测到基板2与距离传感器之间的距离变大时，判断基板2的该位置具有缺陷。
需要指出的是，第一检测装置5的检测方式可以是使用距离传感器进行检测，也可以是使用红外线传感器进行检测，其还可以是使用图像对比检测装置进行检测。
当第一检测装置5为图像对比检测装置时，图像对比检测装置包括摄像头和图像比对装置；摄像头与图像比对装置连接，用于将拍摄的基板图像输送给图像比对装置，并由图像比对装置对摄像头拍摄的图像与基板2完整的底图比对。
也就是说，通过图像比对装置内存储完整基板2的底图，通过摄像头拍摄基板2的实时照片，将照片与底图进行对比，对比一致时，基板2完整，对比不一致时，基板2具有缺陷。
在本申请中，基板2具体为玻璃片。
本发明还提供了一种镀膜设备，其包括镀膜腔和上述任一项所述的基板缺陷检测装置，所述基板缺陷检测装置设置于所述镀膜腔的输入端，用于将通过所述基板缺陷检测装置检测后无缺陷的基板输送至所述镀膜腔，进而保证了镀膜腔内的基板无缺陷，避免了镀膜设备对缺陷基板镀膜，提高了镀膜效率。
如图4所示，本发明使用上述基板检测装置进行基板检测的具体方法如下：
即在基板2输送的过程中，先对基板2的x方向的两侧边进行缺陷检测，当对基板2的x方向上的两侧边检测完毕时，停止基板2输送，对基板2的y方向的两侧边进行缺陷检测。
也就是说，对基板2进行检测的整个过程中，先对基板2的x方向上的左右两侧边进行检测，再对基板2的另外两侧边进行检测，进而实现对基板2的完整检测，避免有缺陷的基板2进入到镀膜机10中。
在基板2输送的过程中，需要先在基板2的x方向上对基板2进行矫正，再进行基板2的x方向上的缺陷检测，进而能够保证基板2在进行检测时的准确性，避免出现检测误差。
同理，在对基板2进行y方向上的两侧边进行检测时，需要先对基板2的位置进行矫正，以保证检测的准确性。也就是说，当检测完毕基板2的x方向的两侧边后，先对基板2进行位置矫正定位，之后在对基板2的y方向的两侧边进行检测。基板2的x方向检测进行完毕后，对基板2进行位置监控，便于对基板2进行y方向的定位和检测。对基板2进行检测的方式为图像对比法。在任意方向检测出基板2有缺陷后，通过移出装置将基板2从输送装置上移出。
本发明提供的基板检测装置、镀膜设备和玻璃检测方法，通过在输送装置的两侧设置第一检测装置5，在输送装置的第一端和第二端设置第二检测装置6，两个第一检测装置5和两个第二检测装置6共同配合，完成对基板2的四个边的检测，确保不会使有缺陷的基板2进入到下一工序，保证了正常作业。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在上面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。
Claims (10)
1.一种基板缺陷检测装置，其特征在于，包括第一检测装置、第二检测装置、输送装置和移动装置；
所述输送装置用于带动基板从第一端输送到第二端；
所述第一检测装置设置在所述第一端，用于检测所述基板与输送方向平行的侧边上的缺陷；
所述移动装置与所述第二检测装置连接，用于带动所述第二检测装置在垂直于所述输送方向的方向上从所述输送装置的一端移动至所述输送装置的另一端；
所述第二检测装置，用于检测所述基板与输送方向垂直的侧边上的缺陷。
2.根据权利要求1所述的基板缺陷检测装置，其特征在于，所述基板缺陷检测装置还包括定位装置，所述定位装置用于对所述输送装置上的基板进行定位。
3.根据权利要求2所述的基板缺陷检测装置，其特征在于，所述定位装置包括位置检测装置和位置矫正装置；
所述位置检测装置用于检测所述基板在所述输送装置上的位置；
所述位置矫正装置与所述位置检测装置信号连接，用于对所述输送装置上的基板进行位置矫正。
4.根据权利要求3所述的基板缺陷检测装置，其特征在于，所述位置矫正装置包括纵向矫正装置和横向矫正装置，所述纵向矫正装置用于在与所述输送方向平行的方向上对基板进行位置矫正，所述横向矫正装置用于在与所述输送方向垂直的方向上对所述基板进行位置矫正。
5.根据权利要求4所述的基板缺陷检测装置，其特征在于，所述纵向矫正装置包括左侧定位装置和右侧定位装置；
所述左侧定位装置和所述右侧定位装置分别设置在所述输送装置的相对两侧，用于在所述输送方向上对所述基板进行位置矫正。
6.根据权利要求5所述的基板缺陷检测装置，其特征在于，所述左侧定位装置包括沿所述输送方向设置的多个定位轮，所述右侧定位装置包括沿所述输送方向设置的多个定位轮。
7.根据权利要求4所述的基板缺陷检测装置，其特征在于，所述横向矫正装置包括前定位装置和后定位装置；
所述前定位装置设置在所述输送装置的输出端，所述后定位装置设置在所述输送装置的进给端，所述前定位装置和所述后定位装置用于在与所述输送方向垂直的方向上对所述基板进行位置矫正。
8.根据权利要求7所述的基板缺陷检测装置，其特征在于，所述前定位装置包括沿所述输送装置进给方向垂直的方向设置的多个定位轮；
所述后定位装置包括沿所述输送装置进给方向垂直的方向设置的多个定位轮。
9.根据权利要求1所述的基板缺陷检测装置，其特征在于，所述基板缺陷检测装置还包括移出装置；
所述移出装置与所述第一检测装置和所述第二检测装置信号连接，用于在所述第一检测装置或所述第二检测装置检测到基板存在缺陷时，将该基板从所述输送装置上移出。
10.一种镀膜设备，其特征在于，包括镀膜腔和如权利要求1至9任一项所述的基板缺陷检测装置，所述基板缺陷检测装置设置于所述镀膜腔的输入端，用于将通过所述基板缺陷检测装置检测后无缺陷的基板输送至所述镀膜腔。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811447627.6A CN109494167A (zh) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | 基板缺陷检测装置和镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811447627.6A CN109494167A (zh) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | 基板缺陷检测装置和镀膜设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109494167A true CN109494167A (zh) | 2019-03-19 |
Family
ID=65698706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811447627.6A Pending CN109494167A (zh) | 2018-11-29 | 2018-11-29 | 基板缺陷检测装置和镀膜设备 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN109494167A (zh) |
-
2018
- 2018-11-29 CN CN201811447627.6A patent/CN109494167A/zh active Pending
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Address after: 100076 6015, 6th floor, building 8, 9 Yingshun Road, Yinghai Town, Daxing District, Beijing Applicant after: Beijing Dingrong Photovoltaic Technology Co.,Ltd. Address before: 100176 room 3001, 6 building, 7 East Street, Rongchang economic and Technological Development Zone, Beijing, Beijing Applicant before: BEIJING APOLLO DING RONG SOLAR TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| CB02 | Change of applicant information | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20210414 Address after: 518054 Room 201, building A, 1 front Bay Road, Shenzhen Qianhai cooperation zone, Shenzhen, Guangdong Applicant after: Shenzhen Zhengyue development and Construction Co.,Ltd. Address before: 100076 6015, 6th floor, building 8, 9 Yingshun Road, Yinghai Town, Daxing District, Beijing Applicant before: Beijing Dingrong Photovoltaic Technology Co.,Ltd. |
|
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20210915 Address after: 201203 3rd floor, no.665 Zhangjiang Road, China (Shanghai) pilot Free Trade Zone, Pudong New Area, Shanghai Applicant after: Shanghai zuqiang Energy Co.,Ltd. Address before: 518054 Room 201, building A, 1 front Bay Road, Shenzhen Qianhai cooperation zone, Shenzhen, Guangdong Applicant before: Shenzhen Zhengyue development and Construction Co.,Ltd. |
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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