CN109489900A - 注入机真空计损坏复机控制装置及复机方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种应用于半导体技术领域的注入机真空计损坏复机控制装置，所述复机控制装置包括一真空计和至少一个备用真空计以及至少一个开关阀，所述真空计和所述备用真空计均安装于所述注入机内，用于监测注入机反应腔体内的真空值，所述开关阀用于在所述真空计与所述备用真空计之间进行切换，于同一时间内，在所述注入机内存在有单一的所述真空计进行工作，与现有技术相比，本发明结构简单，制造成本低，而且应用该复机控制装置在更换真空计时无需将注入机反应腔体从高真空状态恢复为大气状态，也无需在更换真空计后进行真空监测测试，大大降低了真空计的更换复杂度，大幅减少了真空计的更换时间。

Description

注入机真空计损坏复机控制装置及复机方法

技术领域

本发明涉及一种控制装置，尤其涉及一种用于监控注入机反应腔体内的真空度的真空计损坏后的注入机复机控制装置及复机方法。

背景技术

在半导体制造领域，真空计通常用于测量注入机反应腔体在高真空环境下的真空值，对于判断腔体内真空环境状态具有重要作用。一旦真空计损坏，注入机将无法侦测到腔体内的真空环境状态，对监控产品作业环境带来障碍，甚至会影响产品质量。

目前更换真空计需要将注入机反应腔体从高真空状态恢复为大气状态，而且更换真空计后还需要对真空监测情况进行相关测试，整套更换流程下来，通常需要花费数个小时的时间，对企业生产效率造成了较大影响。

发明内容

鉴于上述存在的技术问题，本发明的目的在于提供一种结构简单，制造成本低的注入机真空计损坏后的复机控制装置，该装置在更换真空计时无需将注入机反应腔体从高真空状态恢复为大气状态，也无需在更换真空计后进行真空监测测试，大大降低了真空计的更换复杂度，大幅减少了真空计的更换时间，有利于提高企业生产效率。

本发明解决其技术问题采取的技术方案是，提供一种注入机真空计损坏复机控制装置，应用于半导体技术领域，所述复机控制装置包括一真空计和至少一个备用真空计以及至少一个开关阀，所述真空计和所述备用真空计均安装于所述注入机内，用于监测注入机反应腔体内的真空值，所述开关阀用于在所述真空计与所述备用真空计之间进行切换，于同一时间内，在所述注入机内存在有单一的所述真空计进行工作。

作为本发明的一种优选方案，所述备用真空计的数量为一个。

作为本发明的一种优选方案，所述开关阀的数量为一个。

作为本发明的一种优选方案，所述真空计和所述备用真空计均包括热电阻真空计、弹性变形真空计、隔膜真空计和电离真空计。

作为本发明的一种优选方案，所述开关阀包括隔离阀和电磁阀。

作为本发明的一种优选方案，所述开关阀可移动地设置在所述真空计和所述备用真空计的检测端，与所述注入注入机的内腔之间；

所述开关阀初始处于所述备用真空计的检测端与所述注入机的内腔之间，以隔绝所述备用真空计与所述注入机；

当所述真空计损坏时，所述开关阀被移动至所述真空计与所述注入机的内腔之间，以隔绝所述真空计与所述注入机，此时所述备用真空计开始工作。

作为本发明的一种优选方案，所述复机控制装置还包括一控制部件，所述控制部件通信连接所述真空计、所述备用真空计和所述开关阀，所述控制部件可接收所述真空计和所述备用真空计的工作状态信息，并且当所述真空计损坏时，可控制所述开关阀启用所述备用真空计并停用所述真空计。

本发明还提供一种应用所述的注入机真空计损坏复机控制装置实现注入机复机的方法，包括如下步骤：

步骤L1，所述真空计损坏后向所述控复机制装置的所述控制部件发送一真空计损坏信号；

步骤L2，所述控制部件在接收到所述真空计发来的损坏信号后，向所述开关阀发送一打开信号，所述开关阀根据接收的打开信号自动启用所述备用真空计，并停用原本使用的所述真空计。

与现有技术相比，本发明的有益效果是，本发明提供的注入机真空计损坏后的复机控制装置结构简单，制造成本低，而且该装置在更换真空计时无需将注入机反应腔体从高真空状态恢复为大气状态，也无需在更换真空计后进行真空监测测试，大大降低了真空计的更换复杂度，大幅减少了真空计的更换时间，有利于提高企业生产效率。

附图说明

图1是现有技术中的注入机真空计损坏复机控制装置的结构示意图；

图2是本发明实施例一提供的注入机真空计损坏复机控制装置的结构示意图；

图3是应用本发明实施例一提供的注入机真空计损坏复机控制装置启用所述备用真空计的结构示意图；

图4是本发明实施例二提供的注入机真空计损坏复机控制装置的结构示意图；

图5是应用本发明实施例二提供的注入机真空计损坏复机控制装置启用所述备用真空计的结构示意图；

图6是应用本发明实施例一提供的注入机真空计损坏复机控制装置实现注入机复机的方法流程图；

图7是应用本发明实施例二提供的注入机真空计损坏复机控制装置实现注入机复机的方法流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

实施例一：

如图2和图3所示，实施例一提供的一种注入机真空计损坏复机控制装置，应用于半导体技术领域，该复机控制装置包括一个真空计1和一个备用真空计2以及一个开关阀3，所述的真空计1和备用真空计2的类型可以相同也可以不相同，所述真空计1和备用真空计2优选为热电阻真空计、弹性变形真空计、隔膜真空计、电离真空计等其他类型的真空计，所述的开关阀3优选为隔离阀或电磁阀。所述的真空计1和备用真空计2均用于监测注入机反应腔体4内的真空值，以保障产品的作业环境符合生产标准。

所述开关阀3，用于在所述真空计1损坏时启用所述备用真空计2以可继续监测注入机反应腔体4内的真空情况。具体而言，当所述的真空计1损坏时，真空计1无法继续监测注入机反应腔体4内的真空值信息，此时需要启用所述的备用真空计2，以保证注入机能够正常监测反应腔体内的真空情况。正常情况下，所述的备用真空计2的真空探头被所述开关阀3关闭，备用真空计2在所述的真空计1可正常工作时并不启用。当真空计1损坏时，通过人为拨动或转动方式，打开所述开关阀3以启用所述备用真空计2，同时关闭所述真空计1，即可通过所述备用真空计2继续监测注入机反应腔体4内的真空情况。由于开关阀3的打开或关闭一般在短时间内即可完成，所以通常情况下，切换备用真空计2不会影响注入机反应腔体4内的真空状态，因此也就无需在切换为备用真空计2后重新进行真空监测测试。

如图6所示，应用本实施例一提供的注入机真空计损坏复机控制装置实现注入机复机的方法步骤如下：

步骤S1，所述真空计1损坏后向注入机的控制系统发送一真空计损坏信号；

步骤S2，人工拨动或转动设置在注入机上的所述开关阀3，以启用所述备用真空计2，同时停用原本使用的所述真空计1。

实施例二：

实施例二与实施例一的区别在于，实施例一启用备用真空计2需要通过人工拨动或转动所述开关阀3的方式，而实施例二提供的注入机真空计损坏复机控制装置通过自动化控制方式启用所述备用真空计2。

为了实现备用真空计2的自动化启用，如图4和图5所示，实施例二提供的注入机真空计损坏复机控制装置还包括一控制部件5，所述控制部件5可通信的连接所述真空计1以及所述备用真空计2和所述开关阀3，所述控制部件5可接收所述真空计1和所述备用真空计2的工作状态信息，并且当所述真空计1损坏时，可控制所述开关阀3启用所述备用真空计2并停用所述真空计1。

如图7所示，应用本实施例二提供的注入机真空计损坏复机控制装置实现注入机复机的方法步骤如下：

步骤L1，所述真空计1损坏后向所述复机控制装置的所述控制部件5发送一真空计损坏信号；

步骤L2，所述控制部件5在接收到所述真空计1发来的损坏信号后，向所述开关阀3发送一打开信号，所述开关阀3根据接收的打开信号自动打开以启用所述备用真空计2，并停用原本使用的所述真空计1。

另外需要说明的是，实施例一和实施例二提供的注入机真空计损坏复机控制装置包括一个真空计1、一个备用真空计2和一个开关阀3，但在实际应用中，可以根据企业需求增加备用真空计2和开关阀3的数量，比如选定备用真空计2的数量和开关阀3的数量均为三个。当所述的真空计1损坏时，通过所述的开关阀3，启用一个备用真空计2，并停用原本使用的所述真空计1。如果所述的备用真空计2也受损后，可以通过第二个开关阀3，启用第二个备用真空计2，并停用第一个所述的备用真空计2。当第二个备用真空计2受损，可以通过第三个开关阀3，启用第三个备用真空计2，并停用第二个所述备用真空计2。

综上所述，本发明提供的注入机真空计损坏后的复机控制装置结构简单，制造成本低，而且该装置在更换备用真空计2时无需将注入机反应腔体从高真空状态恢复为大气状态，也无需在更换备用真空计2后进行真空监测测试，大大降低了真空计的更换复杂度，大幅减少了真空计的更换时间，有利于提高企业生产效率。

以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。

Claims (8)

1.一种注入机真空计损坏复机控制装置，应用于半导体技术领域，其特征在于，所述复机控制装置包括一真空计和至少一个备用真空计以及至少一个开关阀，所述真空计和所述备用真空计均安装于所述注入机内，用于监测注入机反应腔体内的真空值，所述开关阀用于在所述真空计与所述备用真空计之间进行切换，于同一时间内，在所述注入机内存在有单一的所述真空计进行工作。

2.如权利要求1所述的一种注入机真空计损坏复机控制装置，其特征在于，所述备用真空计的数量为一个。

3.如权利要求1所述的一种注入机真空计损坏复机控制装置，其特征在于，所述开关阀的数量为一个。

4.如权利要求1所述的一种注入机真空计损坏复机控制装置，其特征在于，所述真空计和所述备用真空计均包括热电阻真空计、弹性变形真空计、隔膜真空计和电离真空计。

5.如权利要求1所述的一种注入机真空计损坏复机控制装置，其特征在于，所述开关阀包括隔离阀和电磁阀。

6.如权利要求1所述的一种注入机真空计损坏复机控制装置，其特征在于，所述开关阀可移动地设置在所述真空计和所述备用真空计的检测端，与所述注入注入机的内腔之间；

所述开关阀初始处于所述备用真空计的检测端与所述注入机的内腔之间，以隔绝所述备用真空计与所述注入机；

当所述真空计损坏时，所述开关阀被移动至所述真空计与所述注入机的内腔之间，以隔绝所述真空计与所述注入机，此时所述备用真空计开始工作。

7.如权利要求6所述的一种注入机真空计损坏复机控制装置，其特征在于，所述复机控制装置还包括一控制部件，所述控制部件通信连接所述真空计、所述备用真空计和所述开关阀，所述控制部件可接收所述真空计和所述备用真空计的工作状态信息，并且当所述真空计损坏时，可控制所述开关阀启用所述备用真空计并停用所述真空计。

8.一种应用如权7所述的注入机真空计损坏复机控制装置实现注入机复机的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤L1，所述真空计损坏后向所述复机控制装置的所述控制部件发送一真空计损坏信号；

步骤L2，所述控制部件在接收到所述真空计发来的损坏信号后，向所述开关阀发送一打开信号，所述开关阀根据接收的打开信号自动打开以启用所述备用真空计，并停用原本使用的所述真空计。