CN109434279A - 运用电机编码器信号信息的激光系统 - Google Patents

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李章熙
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Abstract

本发明在通过激光系统进行修补(repair)加工时，执行将平台或激光头以一定速度移动并修补(repair)加工作业，所述平台或激光头具有通过电机驱动而达到一定速度的加速运行区间、保持所述一定速度的定速运行区间、由所述一定速度停止电机驱动的减速运行区间，并在所述定速运行区间内进行激光修补(repair)加工，以用于进行缺口区间的均匀的激光修补(repair)加工。

Description

运用电机编码器信号信息的激光系统
技术领域
本发明涉及激光系统，更具体地涉及一种在对光掩模(Photo mask)、液晶显示屏(LCD)及有机发光二极管(OLED)的薄膜晶体管(TFT)配线或PC等玻璃(glass)的结合利用激光而修补时，精密稳定地控制激光的激光系统。
背景技术
显示屏(displaypanel)市场由过去的LCD等形式转换为OLED，由此，与此对应，激光修补(laser repair)市场也向要求更精密的工艺形式发展。
利用激光修补基板(Photo mask、LCD及OLED的TFT配线或PC等玻璃)的结合时，一般而言，激光是一种由激光二极管(LD)或闪光灯(flash lamp)激发Nd:YAG等石棒(rod)而进行振荡的形式的纳米飞秒(nano～femto)级的脉冲激光(pulselaser)。
该脉冲激光的大部分在支持外部信号(externaltrigger)控制功能，使用脉冲发生器(pulsegenerator)或使用通过RS232communication而控制的方式，因而，激光以规则的频率振荡。
对于该控制方式，在激光或平台(stage)静止的状态下，提供正常的工艺环境，但激光切割(lasercutting)等修补(repair)加工因必须移动激光头或平台，由此，存在获得不均匀的修补(repair)加工部分。
即，如图1显示所示，将激光头或平台按X-Y轴移动并执行激光修补(repair)加工，由此，通过电机驱动而具有所谓的加速运行、定速运行、减速运行区间的相互不同的三种速度区间，由此，通过有规律地进行振荡的激光而导致不均匀的修补(repair)加工。
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明是为了解决上述问题而研发，其目的为提供一种运用电机的编码器信号信息而控制激光振荡，由此进行均匀的修补(repair)加工的激光系统。
但本发明的目的并非限制于上述言及的目的，未言及的或其它目的通过下面记载而使本领域技术人员明确理解。
用于解决问题的技术方案
为了实现所述目的，本发明涉及一种具有供安装存在缺口的基板的平台与向所述基板射出激光的激光头，由此，修补(repair)所述基板的缺口的激光系统，该激光系统，具有电机，分别将所述平台或激光头以X轴或Y轴方向移动，以使所述平台或激光头沿着所述基板的缺口区间，而以规定速度移动，并执行修补(repair)加工。
并且，所述平台或激光头通过所述各个电机驱动移动时，具有：达到所述一定速度的加速运行区间；保持所述一定速度的定速运行区间；由所述一定速度停止电机驱动的减速运行区间。
而且，所述修补(repair)加工仅在所述定速运行区间内进行。
另外，在所述各个电机安装检测电机旋转轴的旋转角度及转数的编码器。
并且，所述激光系统具有按通过所述编码器的检测信号信息而输入的脉冲(pulse)检测周期逐渐增加的情况下的所述加速运行区间、所述输入的脉冲检测周期相同情况下的所述定速运行区间及所述输入的脉冲检测周期逐渐减小的情况下的减速运行区间区分的控制部。
而且，所述激光系统具有控制使得在所述激光头形成激光振荡的激光控制器(controller)。
并且，在所述定速运行区间内形成对所述缺口区间进行修补(repair)加工的加工区间。
此时，所述平台或激光头开始移动的出发点与开始所述定速运行的定速运行开始点之间的距离比所述出发点与所述加工区间开始的加工开始点之间的距离小。
本发明的特征及优点通过根据附图的下面具体说明而变得更明了。
综上，本说明书及权利要求范围使用的用语或单词切勿以通用的或通过词典的意义进行解释，发明人为了以最优选的方法说明其自身的发明，基于适当定义用语的概念的原则，通过符合本发明的技术思想的意义与概念解释。
发明的效果
综上所示，本发明具有如下效果，通过运用电机的编码器信号信息而控制激光振荡，从而，缓解现有的不均匀的修补(repair)加工部分而获得均匀的修补(repair)加工。
附图说明
图1为说明现有的激光系统的修补(repair)加工状态的附图；
图2为用于说明本发明的激光系统的修补(repair)加工状态的附图；
图3为本发明的激光系统的结构图；
图4为本发明的具有X-Y平台的激光系统的简要结构图。
具体实施方式
下面，参照附图对本发明的优选的实施例进行说明。在该过程中，附图所示的线的粗细或构成要素的大小等为说明的明确性与便利方面而进行夸张显示。
并且，下面所述的用语为考虑本发明的功能而定义的用语，其根据使用者、运用者的意图或惯例而不同。因此，对于该用语的定义应当以整个本说明书的内容而定义。
而且，下面的实施例并非限定本发明的权利要求范围，仅属于在本发明的权利要求范围公开的构成要素的示例事项，包含于整个本发明的说明书的技术思想，并在权利要求范围的构成要素中，包含作为等同物置换的构成要素的实施例包含于本发明的权利要求范围内。
附图2为用于说明本发明的激光系统的修补(repair)加工状态的附图，图3为本发明的激光系统的结构图，图4为本发明的具有X-Y平台的激光系统的简要结构图。
首先，本发明的目的为提供一种激光系统，其利用激光对Photo mask、LCD及OLED的TFT配线或PC等玻璃(glass)的缺口进行修补，通过精密及稳定地控制激光而进行均匀的激光修补(repair)加工。
如图2下面所示，本发明的激光系统具有：平台，供安装具有缺口的基板；激光头，向所述基板射出激光。
此时，具有电机10，分别将所述平台或激光头以X轴或Y轴方向移动，以使所述平台或激光头沿着所述基板的缺口区间而以规定速度移动，并进行修补(repair)加工。
并且，所述平台或激光头通过所述各个电机驱动移动时，具有达到所述一定速度的加速运行区间、保持所述一定速度的定速运行区间、由所述一定速度停止电机驱动的减速运行区间。
并且，所述修补(repair)加工仅在所述定速运行区间内进行加工。
当前，将激光头或平台以X-Y轴移动并执行激光修补(repair)加工，由此，根据电机驱动而具有所谓的加速运行、定速运行、减速运行区间的相互不同的三种速度区间，因而，通过有规律地进行振荡的激光，而在加、减速运行区间进行不均匀的修补(repair)加工。
因此，本发明控制激光以在所述定速运行区间内进行激光修补(repair)加工，以用于进行缺口区间的均匀的激光修补(repair)加工。
由此，在所述电机10安装检测电机旋转轴的旋转角度及转数的编码器11。
并且，优选地，所述电机10配备为伺服电机(servo-motor)，分别具有X轴移动电机10-1与Y轴移动电机10-2，在该各个X、Y轴电机10-1、10-2上安装X、Y轴编码器11-1、11-2。
另外，所述激光系统具有按通过所述编码器11的检测信号信息输入的脉冲(pulse)检测周期逐渐增加的情况下的所述加速运行区间、所述输入的脉冲检测周期相同的情况下的所述定速运行区间及所述输入的脉冲检测周期逐渐减少的情况下的减速运行区间区分的控制部20。
并且，所述激光系统具有控制使得在所述激光头进行激光振荡的激光控制器(controller)30。
而且，所述控制部20在为开始所述定速运行区间的定速运行开始点时，使得通过所述激光控制器30产生激光开始信号，在为所述定速运行区间结束的定速运行结束点时，使得通过所述激光控制器产生激光结束信号。
因此，所述控制部20仅在计数(counting)编码器的检测信号信息即电机10的编码器脉冲(encoderpulse)而电机10移动为所述定速运行区间时，执行通过所述激光控制器30产生外部信号(externaltrigger)的功能，因而，在激光修补(repair)加工时，执行均匀的工艺。
并且，本发明的激光系统为识别编码器脉冲计数(encoderpulsecount)并同时使激光进行振荡的结构，为无需经过另外的电脑(PC)或外部的接口，并在述控制部20直接产生外部信号(externaltrigger)的结构，因此，在时间上能够进行准确的激光控制。
另外，在所述定速运行区间内，形成修补(repair)加工所述缺口区间的加工区间。
即，所述定速运行区间形成：加工区间，对方向及距离与形成于所述基板的缺口区间相同的所述缺口区间进行修补(repair)加工；非加工区间，形成于开始所述加工区间的加工开始点与开始所述定速运行区间的定速运行开始点之间及结束所述加工区间的加工结束点与结束所述定速运行区间的定速运行结束点之间。
此时，所述控制部20在为开始所述加工区间的加工开始点时，使得通过所述激光控制器30产生激光开始信号，在为结束所述加工区间的加工结束点时，停止产生所述开始信号。
并且，所述平台或激光头开始移动的出发点与所述定速运行开始点之间的距离L1比所述出发点与所述加工区间开始的加工开始点之间的距离L2小(L1<L2)。
而且，所述平台或激光头开始移动的出发点与所述定速运行结束点之间的距离比所述出发点与结束所述加工区间的加工结束点之间的距离大。
因此，具有如下效果，在所述定速运行区间内形成所述加工区间，运用所述电机10的编码器信号信息而控制激光振荡，由此，缓解现有的不均匀修补(repair)加工部分而获得均匀的修补(repair)加工。
综上，通过具体的实施例对本发明进行了具体说明，但其为用于具体说明本发明，本发明并非限定于此，应当理解，在本发明的技术思想内，本领域技术人员能够进行变形或改良。
本发明的简单变形以及变更全部属于本发明的权利要求范围内，本发明的具体保护范围通过权利要求书而变得明确。
标号说明
10:电机(motor) 11:编码器(encoder)
20:控制部 30:激光控制器(contro l ler)

Claims (4)

1.一种激光系统，其涉及一种具有供安装存在缺口的基板的平台与向所述基板射出激光的激光头，由此，对所述基板的缺口进行修补(repair)的激光系统，其特征在于，
具有电机，分别将所述平台或激光头以X轴或Y轴方向移动，以使所述平台或激光头沿着所述基板的缺口区间而以规定速度移动，并执行修补(repair)加工，
并且，所述平台或激光头，通过所述各个电机驱动移动时，具有：达到一定速度的加速运行区间，保持所述一定速度的定速运行区间；由所述一定速度停止电机驱动的减速运行区间，
而且，所述修补(repair)加工仅在所述定速运行区间内进行。
2.根据权利要求1所述的激光系统，其特征在于，
在所述各个电机安装检测电机旋转轴的旋转角度及转数的编码器，
并且，所述激光系统具有按通过所述编码器的检测信号信息而输入的脉冲(pulse)检测周期逐渐增加的情况下的所述加速运行区间、所述输入的脉冲检测周期相同情况下的所述定速运行区间及所述输入的脉冲检测周期逐渐减少的情况下的减速运行区间区分的控制部。
3.根据权利要求2所述的激光系统，其特征在于，
所述激光系统具有控制使得在所述激光头形成激光振荡的激光控制器(controller)，
并且，在所述定速运行区间内形成对所述缺口区间进行修补(repair)加工的加工区间。
4.根据权利要求3所述的激光系统，其特征在于，
所述平台或激光头开始移动的出发点与开始所述定速运行的定速运行开始点之间的距离比所述出发点与开始所述加工区间的加工开始点之间的距离小。
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