CN109416232A - 用于调节气态介质的调节设备和方法以及用于处理工件的设施和方法 - Google Patents

用于调节气态介质的调节设备和方法以及用于处理工件的设施和方法 Download PDF

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CN109416232A CN201780042683.9A CN201780042683A CN109416232A CN 109416232 A CN109416232 A CN 109416232A CN 201780042683 A CN201780042683 A CN 201780042683A CN 109416232 A CN109416232 A CN 109416232A
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Abstract

本发明涉及一种用于将气态介质(12)调节成经调节的气态工艺介质(14)的调节设备,具有入口连接单元(36)和出口连接单元(38),在入口连接单元和出口连接单元之间形成具有一个或多个调节级(40)的用于气态介质(12)的流动路径,这些调节级中至少一个调节级具有热交换器(72);所述热交换器(72)具有热交换腔(76),在热交换腔中至少部分地容纳热交换元件(78;118)且待调节的气态介质(12)能够被供送至热交换腔,其中在热交换器(72)中存在能被气态介质(12)损坏的敏感的材料区域。设有热交换器保护系统(100),利用它能够对热交换器(72)的这种敏感的区域施加保护气体(110)。此外说明了一种用于调节气态介质的方法以及一种用于处理工件的设施和方法。

Description

用于调节气态介质的调节设备和方法以及用于处理工件的设 施和方法
技术领域
本发明涉及一种用于将气态介质调节成经调节的气态工艺介质的调节设备,具有:
a)入口连接单元和出口连接单元,在入口连接单元和出口连接单元之间形成具有一个或多个调节级的用于气态介质的流动路径,这些调节级中至少一个调节级具有热交换器;
b)所述热交换器具有热交换腔,在热交换腔中至少部分地容纳热交换元件且待调节的气态介质能够被供送至热交换腔,其中在热交换器中存在敏感的材料区域,该区域可能因气态介质受损。
此外本发明还涉及一种用于调节气态介质的方法以及一种用于处理工件的设施和方法。
背景技术
开头所述类型的调节设备例如在汽车制造业中被应用在用于处理车辆车身的设施中且在此尤其是用于处理室中,在处理室中处理在喷漆工艺中被涂装的车辆车身。这尤其包括相应具有处理隧道的喷漆间、还有例如蒸发间、冷却间和干燥间。
在这种处理室中,隧道空气被循环且为此被作为待调节的气态介质从处理隧道排出以及在经过在调节设备中的调节之后又作为经调节的工艺介质被供送至处理隧道。但隧道空气含有在处理车辆车身时释放的侵蚀性成分。被提取的隧道空气在调节设备中经历不同的调节级,在各调节级中去除侵蚀性成分且设定隧道空气的湿度和温度。设定隧道空气的湿度和温度通过热交换器进行。
但热交换器具有敏感的区域,在从隧道空气中去除侵蚀性成分被之前该区域可能被隧道空气的侵蚀性成分损坏。这种敏感的区域尤其位于热交换器的通常被焊接的管道连接部位处。
因此经常必须在经过短暂运行时间后更换被隧道空气的侵蚀性成分侵蚀的构件,这抬高了成本。
发明内容
本发明的任务是,提供把上述内容考虑在内的一种用于调节气态介质的调节设备和方法以及一种用于处理工件的方法。
该任务在开头所述类型的调节设备中这样实现:
c)设有热交换器保护系统,利用它能够对热交换器的这种敏感的区域施加保护气体。
本发明基于的认识是,由此能够实现对热交换器的这种敏感的区域的有效保护。保护气体原则上可以是任何经济上可承受的且不具有所不期望的特性的气体。例如可以使用来自外部气源的压力空气,但也可以使用惰性气体,如氮或二氧化碳。如果使用来自调节设备的气体,则可以很好地利用现有的气源;这在下面将详细加以说明。
作为最简单的改型方案,保护气体可以直接经由例如一个或多个喷嘴被喷到热交换器的敏感的区域上。但是更有效的方案是,热交换器保护系统具有至少一个保护壳,该保护壳包围热交换器的一个或多个敏感的区域,经由保护气体管路能够向保护壳供送保护气体。
特别节省气源的方案是,所述保护气体管路这样布置在流动路径上或最后的调节级的下游,使得能够从调节设备向保护壳中输送起到保护气体作用的经部分调节的气体或工艺介质。
所述保护壳有利地具有至少一个保护气体出口,保护气体能够在流过保护壳之后通过该保护气体出口流入热交换腔中。这样可以说保护气体在调节设备中循环且因此能够又将其用于经调节的工艺介质。
为了能够设定保护气体的体积流,有利的是,在所述保护气体管路中设置保护气体鼓风机和/或调节阀。
如果热交换器的敏感的区域由管道连接部位——在该管道连接部位上,热交换器的管道区段或管道流体彼此密封地连接——构成,则这类热交换器保护系统可以被特别有效地使用。
如果在管道连接部位上,热交换器的管道区段或管道彼此焊接/熔接或者通过软钎焊或硬钎焊彼此焊接,则保护气体的加载特别有效。还可以通过粘接或类似措施进行连接。这种连接部位可以有效地受到保护。
如果存在多个具有热交换器的调节级,则有利的是,这些热交换器接入热交换器保护系统中。
在用于调节气态介质的方法中上述任务的解决方案是,使用具有一些或全部所述特征的调节设备。
在用于处理工件的设施中,上述任务的解决方案是,该设施包括具有一些或全部所述特征的调节设备。
在用于处理工件的方法中,上述任务的解决方案是,在具有以上针对设施所述的一些或全部特征的设施中处理工件。
附图说明
下面借助附图详述本发明实施例。附图中示出:
图1示出用于处理车身的处理装置的纵剖图,该处理装置具有处理隧道,利用供气装置为该处理隧道供送经调节的工艺空气,已经利用调节设备调节该工艺空气,其中调节设备包括至少一个具有热交换蛇管的热交换器;
图2示出改型的调节设备的纵剖图;
图3以热交换器为例示出根据图8至图11的热交换器保护系统的局部的详图;
图4以俯视图示出图3的热交换器;
图5示出改型的热交换器的透视图;
图6示出图5的热交换器的一部分的详图;
图7示出具有热交换器保护系统的板式热交换器的详图;
图8示出根据图1的调节设备的纵剖图,具有根据第一实施例的热交换器保护系统的流动布局;
图9示出根据图1的调节设备的纵剖图,具有根据第二实施例的热交换器保护系统的流动布局;
图10示出根据图2的调节设备的纵剖图,具有根据第三实施例的热交换器保护系统的流动布局;
图11示出根据图2的调节设备的纵剖图,具有根据第四实施例的热交换器保护系统的流动布局;
图12示出用于处理车辆车身的设施设计,包括两个并排布置的、分别具有调节设备的处理隧道,所述调节设备彼此相连。
图13示出用于处理车身的改型的设施设计,包括两个并排布置的、分别具有调节设备的处理隧道,所述调节设备彼此相连。
具体实施方式
首先参照图1和图2,它们示出了两种不同设计的用于将气态介质12调节成经调节的气态工艺介质14的调节设备10.1和10.2。下面统称为调节设备10。
这种气态介质12可以例如含有在工作过程中产生的排气。下面所述实施例中,气态介质12例如至少部分是废气16,该废气在用于处理工件24的设施——该设施整体以22表示——的处理装置18中产生,该处理装置具有处理室20。
示出了各车辆车身作为工件24的示例。工件24也可以是其他工件,尤其是车辆车身的加装件或安装件,例如保险杠、侧视镜或类似物。较小的工件24可以视情况布置在未整体示出的工件承载件上。
处理装置18的处理室20限定了处理隧道26形式的、具有隧道入口26a和隧道出口26b的工作空间,如本身已知且无需赘述那样,利用输送系统将待处理的工件24输送通过该工作空间。
处理隧道26具有空气出口30和空气入口32,在空气出口和空气入口之间布置有调节设备10,从而废气16能够从处理隧道26中被抽出、被输送通过调节设备10且在完成调节之后又作为工艺空气34循环地供送至处理隧道26。被回输的工艺空气34以本身已知的方式通过未整体示出的喷嘴引导至待处理的工件24。
以此方式能够在处理隧道26中保持对于有效处理所需的温度和处理条件。在未整体示出的改型方案中,处理隧道26还可以被细分成多个隧道区段,这些隧道区段分别具有单独的空气出口和空气入口,空气出口以及空气入口与调节设备10连接。视情况还可以为每个现有的隧道区段分配一个自己的调节设备10,从而能够在每个隧道区段中设定不同的温度和处理条件,这在各自情况下对于操作过程而言最有利。
调节设备10具有入口连接单元36和出口连接单元38,在入口连接单元和出口连接单元之间形成了用于气态介质12的流动路径,该流动路径具有多个调节级40并且具有布置在调节级20之间的多个流动室42。在根据图1和图2的实施例中,示例性地存在六个调节级40,它们包括预加热装置40.1、第一过滤装置40.2、冷却装置40.3、再加热装置40.4、加湿装置40.5和第二过滤装置40.6。
调节设备10具有用于待调节的气态介质12的供给管路48,该供给管路通到入口连接单元36中且在入口侧与处理装置18的空气出口30连接。在供给管路48中设置有阀50,从而能够设定到达入口连接单元36的废气16的体积流。
在入口连接单元36中,废气16首先流入进气室52中。调节设备10的入口连接单元36还与新鲜空气管路54连接,通过该新鲜空气管路能够将新鲜空气56从新鲜空气源58引导至进入室52中。如果新鲜空气管路54中布置有阀56,则还能够设定到达入口连接单元36的新鲜空气56的体积流。因此,对于气态介质12——在此即为来自处理隧道26的废气16——的调节过程还包括:为气态介质12混入一定份额的掺混气体,在此情况下即为一定份额的新鲜空气56。因此通常总是气态介质12与新鲜空气56的混合物流过调节设备10;为简要起见,下面仍仅称为气态介质12。
从调节设备10的出口连接单元38伸出工艺介质管路62,其具有朝向处理装置18的空气入口32的阀64。此外,从出口连接单元38还伸出具有阀68的辅助工艺介质管路66。
在图1中所示的调节设备10.1中,在进气室52下游沿流动方向按照预加热装置40.1、第一过滤装置40.2、冷却装置40.3、再加热装置40.4、加湿装置40.5和第二过滤装置40.6的顺序布置调节级40,其中在加湿装置40.5与第二过滤装置40.6之间设有鼓风机46。一般来讲,鼓风机46布置在调节设备10的出口侧;在未整体示出的改型方案中它也可以布置在最后的调节级40的下游,即布置在第二过滤装置40.6下游。在此,所有调节级都连续布置,从而它们相继被全部气态介质12流过。
在图2所示的调节设备10.2中,鼓风机46布置在进气室52中。一般来讲,鼓风机46布置在调节设备10的入口侧;在未整体示出的改型方案中它也可以布置在进气室52的上游。然后按序排列着预加热装置40.1、第一过滤装置40.2、再加热装置40.4,从而气态介质12完全流过该调节级40。冷却装置40.3和加湿装置40.5沿流动方向布置在再加热装置40.4下游,但是并排布置,从而气态介质12的气流在经过再加热装置40.4之后被细分,气态介质12的一个支流70.1流过冷却装置40.3,气态介质12的一个支流70.2流过加湿装置40.5。此后支流70.1、70.2又在混合流动室42a中汇合且气态介质12通过第二过滤装置40.6流向调节设备10.2的出口连接单元38。在支流70.2中在再加热装置40.4的上游和下游分别设有流动室42。
预加热装置40.1、冷却装置40.3和再加热装置40.4用于对气态介质12调温且被设计作为热交换器72,如在图3和图4中示例性示出的那样。
热交换器72具有由壳体74限定的热交换腔76,在热交换腔中安装了整体以78表示的热交换蛇管形式的热交换元件。
热交换蛇管78具有用于热交换介质84的流入管道80和仅在图4中可见的流出管道82,该热交换介质可以是气态或液态的。流入管道80和流出管道82通过多个热交换管道86彼此连接,这些热交换管道彼此隔开布置。通常,热交换元件是热交换器的能够被热交换介质84流过的构件。
热交换管道86具有回形/蛇形的走向且为此具有在同一平面中彼此平行走向的管道区段88,这些管道区段交替地分别在两个相邻的端部处通过一个U形管道90形式的连接管道彼此连接。在该实施例中,每个热交换管道86具有四个平行的管道区段88和三个U形管道90。热交换介质84被供送至流入管道80且从该处通过热交换管道86流入流出管道82,然后热交换介质84经由该流出管道流出且供送至其自己的调节设备。
流入管道80、流出管道82、管道区段88和U形管道90通常由铜制成且在相应的管道连接部位——对此仅示出了用92表示的其中一些管道连接部位——以本身已知的方式流体密封地彼此连接。这些管道可以例如通过软钎焊或硬钎焊来焊接,同时相应地使用其本身也已知的软焊料或硬焊料。视情况也可以通过熔焊来形成管道连接部位92,例如当热交换器72的管道由不锈钢制成时。
壳体74具有用于气态介质12的入口94和出口96,它们仅在图4中被标号,从而待调节的气态介质12能够流过热交换腔76且同时溢满热交换管道86,从而能够以常见方式实现借助气态介质12的所期望的温度交换。
图5中示出了改型的热交换器72,其中流入管道80和流出管道82不是通过多个热交换管道彼此连接,而是分别通过一个90°弯管98形式的连接管道在管道连接部位92处经由一个唯一的热交换管道86彼此连接,该热交换管道相比于图3和图4的热交换器72的热交换管道86限定了更大数目的平行的管道区段88。气态介质12的垂直于由管道区段88限定的平面的流动方向在图5中通过多个箭头示出。
如开头所述那样,管道连接部位92在热交换蛇管78中限定了敏感的材料区域,该材料区域可能被气态介质12损坏。来自处理隧道26的流过调节设备10的废气16本身携带着侵蚀性成分,该侵蚀性成分侵蚀热交换蛇管78的管道连接部位92且损害系统的密封性。
为了减小以及理想情况下排除该有害影响,设有热交换器保护系统100。该热交换器保护系统具有一个或多个保护壳102,其分别限定一个保护室104且包围一个或多个这种敏感的区域,即在本发明实施例中包围一个或多个管道连接部位92。每个保护壳102都具有保护气体-入口106。该保护气体-入口106与保护气体管路108的出口接头108a连接,该保护气体管路未在所有图中示出,通过该保护气体管路能够向保护室104供送保护气体110。在保护气体管路的远离保护气体-入口106的端部上,保护气体管路108具有入口接头108b。如果存在多个保护壳102,如图3的情况,则每个保护壳102都可以与一个单独的保护气体管路108连接或保护气体管路108分支出一定数量的分配臂108c,其中每个分配臂都通至一个保护壳102;后面的情况在图3中借助于两个保护壳102和保护气体管路108的两个分配臂108c示出。
作为更上位的想法,热交换器72的敏感的区域可以借助于热交换器保护系统100被加载保护气体110。通过该措施能够阻止敏感区域与其他介质接触。
保护壳102具有多个穿通孔112,热交换蛇管78的管道区域延伸穿过这些穿通孔,从而它们的连接管道、即在此的U形管道90和/或90°弯管98以及主要是管道连接部位92都布置在保护壳内部。图6借助于图5的热交换器72的例子示出了该方案。
穿通孔112则相对于管道区段88不密封或者与该管道区段刚性连接。这考虑到了构件可能的热膨胀,否则通过热膨胀会导致材料应力。相反地,在穿通孔112与管道区段88之间留有环状间隙114,通过该环状间隙,保护气体110在流过保护壳102之后能够流入热交换器72的热交换腔76,在该热交换腔中与该处流动的气态介质12混合。保护壳102的穿通孔112或环状间隙114以此方式构成了保护壳102的保护气体出口。如果能够实现在保护壳102与管道区段88之间的密封连接或至少尽可能密封的连接,那么保护气体外壳102具有一个或多个单独的保护气体出口。替代地也可以无需其他出口而保持保护壳102中的静压。
图7中又示出了改型的热交换器72,其被设计为板式热交换器116且具有能够被热交换介质84流过的多个热交换板118,这些热交换板通过连接管道120彼此流体连接以及在入口侧与流入管道80、在出口侧与流体管道82连接。在每个连接管道120中在每个端部处都存在连接部位92。在此情况下对于每个连接管道120都存在具有保护气体入口106的保护壳102,其中除了每个连接部位92,还存在保护壳102的穿通孔112,各连接管道120通过穿通孔在保护壳102的两个端部从对应的保护壳102中出来。在该设计方案中,在热交换板118、与之连接的连接管道120和保护壳102之间存在环状间隙122,保护气体110通过该环状间隙能够从保护壳102中流出且流入热交换腔76中。
总体上,对于热交换腔76中的气态介质12,保护气体110作为隔离气体起作用,如果是空气则作为隔离空气起作用。来自调节设备10的经调节的工艺介质14或经部分调节的气体用作热交换器保护系统100的保护气体110。经部分调节的气体是在气体流入工艺介质管路62之前从调节设备10抽取的气体,该气体被调节以致它不再能损害或至少比气态介质12更少地损害热交换器72的敏感的区域。
图8至图10示出了热交换器保护系统100的流动布局的不同实施例,其中在图8至图10中仅基本部件和构件带有附图标记。
在根据图8的具有调节设备10.1的实施例中,保护气体管路108的入口接头108b在鼓风机46的下游与调节设备10.1连接,从而借助于鼓风机46将保护气体110送入保护气体管路108中。具体地,保护气体管路108与位于鼓风机46和第二过滤装置40.6之间的流动室42连接。
在未整体示出的改型方案中,保护气体管路108还在最后的调节级40下游例如连接在出口连接单元38上或工艺介质管路62上。在后者的情况下,经调节的气体、即在此是经调节的气态工艺介质14用作保护气体110。
如图3中所示,可以在保护气体管路108中设有调节阀124,从而能够设定流过调节设备10.1的气体的份额,其作为保护气体110被提取。
保护气体管路110通至预加热装置40.1,在该处,保护气体管路与热交换器保护系统100的设置于此的保护壳102连接;该热交换器保护系统在图8中未被示出。一般来讲,保护气体管路108与入口侧的调节级40的热交换器72连接,而不管这里是否被冷却或加热。该待调节的气态介质12在调节设备10的入口处具有最强的侵蚀和腐蚀效果,因为在此除了可能添加新鲜气体外尚未进行对气态介质12的任何调节。如果气态介质12在流过第一过滤装置40.2之后侵蚀和腐蚀效果已经被相应消除,那么热交换器72在后续的调节级40处不必接入热交换器保护系统100中;于是在该处相应地不设置保护壳102。
但也可以将一个或多个另外的调节级40——在这些调节级处存在热交换器72——被接入热交换器保护系统100中,以及将该处的保护壳102与保护气体管路108连接,为此该保护气体管路被分支成相应数目的侧臂,然后视情况这些侧臂又岔入所需的分配臂108c中。在改型方案中,还可以向每个涉及到的调节级40通入单独的保护气体管路108。
为了阐明这一点,在根据图9的实施例中,调节设备10.1中存在的所有具有热交换器72的调节级40都接入热交换器保护系统100中。在此情况下,这是指预加热装置40.1、冷却装置40.3和再加热装置40.4。刚才上面所述的保护气体管路108的侧臂用108d示出。
区别于图8所示实施例,保护气体管路108的入口接头108b在鼓风机46的上游与调节设备10连接。具体地,保护气体管路108在此与位于再加热装置40.4和加湿装置40.5之间的流动室42连接。此外还在保护管路108中设有单独的保护气体鼓风机126,由此保护气体110能够从调节设备10.2被抽出且输送至所连接的调节级40。保护气体鼓风机126也在图3中示出。
在根据图10的具有调节设备10.2的实施例中,保护气体管路108分布在流动室42与沿流动方向的第一调节级40之间,该流动室与再加热装置40.4以及加湿装置40.5相邻地布置在上游,在此情况下所述第一调节级是预加热装置40.1。
在根据图11的实施例中示出调节设备10.2的改型方案,其中保护气体管路108的入口接头108b与流动室42连接,该流动室位于再加热装置40.4与该处的混合流动室42a之间。保护气体管路108从该处经由侧臂108d通至具有热交换器72的两个第一调节级40;在此这是指预加热装置40.1和冷却装置40.3。
上面针对调节设备10.1所述内容也类似地相应地适用于可能的改型方案。
图3补充性地还示出了热交换器保护系统100的控制装置128。该控制装置具有控制单元130,通过该控制单元能够控制调节阀124和/或保护气体鼓风机126(如果其存在的话)。此外控制装置128还具有传感器132,利用该传感器能够检测保护气体110的规定的特性。实践中,传感器可以是湿度传感器。数据和控制线路在图3中由虚线示出,不具有自己的附图标记。
图12和13示出了改型的设施22,其具有两个处理装置18.1和18.2,这两个处理装置能够被同时操作。每个处理装置18.1、18.2都具有自己的调节设备10。
在根据图12的实施例中,在保护气体鼓风机126下游从处理装置18.1的调节设备10的保护气体管路108分叉出第二管路136,该第二管路通至处理装置18.2的调节设备10且在此与用于所存在的调节级40之一的热交换器72之一的保护壳102连接。在保护管路108中可以在分叉点的上游也是在第二管路136中设有另外的调节阀138。
在改型方案中,处理装置18.1的调节设备10的保护气体管路108还分叉至多个这样的第二管路136中:处理装置18.2的调节设备10与该第二管路连接。
在根据图13的实施例中,处理装置18.1和18.2的两个调节设备10的保护气体管路108具有共用的管路区段140,从而建立保护气体管路108的一种跨接。该保护气体鼓风机126布置在该共用的管路区段140中。以此方式可以向相应的热交换器72或位于该处的保护壳102分配来自两个调节设备10的保护气体110。
此外,上述参照管路实施方案的可能改型方案对其他各实施例所述的内容也类似地相应地适用于根据图12和13的改型方案。
如图12和13可见,在保护气体管路108中还可以设有保护气体调节单元142,利用它能够额外视情况地根据保护气体的使用用途调节保护气体110。这也适用于所有其他实施例。
例如,如果调节设备10的保护气体110在加湿装置40.5下游才被提取,那么保护气体调节单元142被设计为除湿器。过于湿的保护气体110会对管道连接部位92施加不必要的应力。但也可以设有加热或冷却单元或具有不同作用的单元的组合。

Claims (11)

1.一种用于将气态介质(12)调节成经调节的气态工艺介质(14)的调节设备,具有:
a)入口连接单元(36)和出口连接单元(38),在入口连接单元和出口连接单元之间形成具有一个或多个调节级(40)的用于气态介质(12)的流动路径,这些调节级中至少一个调节级具有热交换器(72);
b)所述热交换器(72)具有热交换腔(76),在热交换腔中至少部分地容纳有热交换元件(78;118)且待调节的气态介质(12)能够被供送至热交换腔,其中在热交换器(72)中存在能被气态介质(12)损坏的敏感的材料区域,
其特征在于,
c)设有热交换器保护系统(100),利用该热交换保护系统能够对热交换器(72)的这种敏感的区域施加保护气体(110)。
2.根据权利要求1所述的调节设备,其特征在于,所述热交换器保护系统(100)具有至少一个保护壳(102),该保护壳包围热交换器(72)的一个或多个敏感的区域,经由保护气体管路(108)能够向保护壳供送保护气体(110)。
3.根据权利要求2所述的调节设备,其特征在于,保护气体管路(108)这样布置在流动路径上或最后的调节级(40)的下游,使得能够将用作保护气体(110)的经部分调节的气体或工艺介质(14)从调节设备(10)输送至保护壳(102)中。
4.根据权利要求2或3所述的调节设备,其特征在于,所述保护壳(102)具有至少一个保护气体出口(112、114),保护气体(110)在流过保护壳(102)之后能够通过该保护气体出口流入热交换腔(76)中。
5.根据权利要求2至4之一所述的调节设备,其特征在于,在所述保护气体管路(108)中设置有保护气体鼓风机(126)和/或调节阀(124)。
6.根据权利要求1至5之一所述的调节设备,其特征在于,热交换器(72)的敏感的区域由管道连接部位(92)构成,在该管道连接部位处,热交换器(72)的管道或管道区段(80、82、88、90、98)彼此流体密封地连接。
7.根据权利要求6所述的调节设备,其特征在于,在管道连接部位(92)处,热交换器(72)的管道或管道区段(80、82、88、90、98)彼此熔接或者彼此软钎焊接或硬钎焊接或者彼此粘接。
8.根据权利要求1至7之一所述的调节设备,其特征在于,存在多个具有热交换器(72)的调节级(40),这些热交换器接入热交换器保护系统(100)中。
9.一种用于调节气态介质(12)的方法,其特征在于,使用根据权利要求1至8之一所述的调节设备(10)。
10.一种用于处理工件(24)的设施,其特征在于,该设施具有根据权利要求1至8之一所述的调节设备(10)。
11.一种用于处理工件(24)的方法,其特征在于,在根据权利要求10所述的设施(22)中处理所述工件(24)。
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