CN109416038B - 往复泵 - Google Patents

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Abstract

提供一种能够防止因压力计的安装结构导致在包括泵室的流体流路中产生积液的往复泵。往复泵(1)具有：壳体(2)，具有包括泵室(28)的流体流路；往复移动构件(3)，配置为在壳体内形成所述泵室，往复移动构件(3)设置为能够往复移动，以便进行流体的吸入和喷出；驱动装置(4)，能够使所述往复移动构件往复移动；以及压力计(6)，具有受压部(46)且经由该受压部检测所述流体流路中的流体的压力。所述壳体具有：内壁部(19)，以面向所述流体流路的方式设置；以及膜状部分(20)，具有挠性，且以面向所述流体流路的方式与所述内壁部连续地设置，所述压力计以将所述膜状部分夹在所述受压部与所述流体流路之间的方式安装于所述壳体。

Description

往复泵
技术领域
本发明涉及一种往复泵。
背景技术
以往，已知用于输送包含药液等液体的流体的往复泵。作为上述往复泵，例如存在像专利文献1中记载的那样的隔膜泵。在制造半导体、液晶、有机电致发光(Electro-Luminescence，EL)、太阳能电池、LED时经常使用上述隔膜泵。
上述往复泵具有壳体、往复移动构件、驱动装置以及压力计。上述壳体具有吸入口以及喷出口。上述往复移动构件由滚动隔膜等构成，且以在上述壳体内形成泵室的方式配置。
另外，上述往复移动构件设置为能够在上述壳体内以能够经由上述吸入口将流体吸入上述泵室且从上述泵室经由上述喷出口喷出流入上述泵室的流体的方式往复移动。
上述驱动装置配置为能够使上述可动构件往复移动。上述压力计具有受压部，通过该受压部检测流入上述泵室的流体的压力。上述压力计安装于所述壳体。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007-23935号公报。
发明内容
发明要解决的问题
如图8所示，在现有的往复泵中，作为压力计206采用了主体旋入式的压力计。另外，在壳体202的壁部211设置有与流体流路228连通的上述压力计206用的安装孔233，将上述压力计206螺纹旋入该安装孔233，从而将上述压力计206安装于上述壳体202的壁部211。
在安装时，以上述压力计206的受压部246面向上述流体流路228的方式配置于周边区域，但是，在该受压部246与上述流体流路228之间出现由上述安装孔233的台阶或剩余的螺纹部分等构成的空间238，当流体充满上述流体流路228时，在与上述流体流路228连通的上述空间238、上述安装孔233内产生积液。
在上述产生积液的情况下，在该积液中容易产生颗粒。因此，上述颗粒混入到充满上述流体流路228的流体中，由此，有可能会使上述往复泵通过上述流体流路228输送的流体的纯度降低。
本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，提供一种能够防止因压力计的安装结构导致在流体流路中产生积液的往复泵。
解决问题的技术手段
在本发明是一种往复泵，用于输送流体，其中，具有：
壳体，具有流体流路，所述流体流路包括吸入口、喷出口以及与所述吸入口、所述喷出口连通的泵室；
往复移动构件，配置为在所述壳体内形成所述泵室，并且，所述往复移动构件设置为能够往复移动，以便能够经由所述吸入口将流体吸入所述泵室且从所述泵室经由所述喷出口喷出流入所述泵室的流体；
驱动装置，能够使所述往复移动构件往复移动；以及
压力计，具有受压部且经由该受压部检测所述流体流路中的流体的压力，
所述壳体具有：
内壁部，以面向所述流体流路的方式设置；以及
膜状部分，具有挠性，且以面向所述流体流路的方式与所述内壁部连续地设置，
所述压力计以经所述膜状部分夹在所述受压部与所述流体流路之间的方式安装于所述壳体。
根据该结构，在所述流体流路中不会形成将所述压力计安装到所述壳体中的结构导致的当流体充满所述流体流路时产生积液的空间。因此，能够防止在所述流体流路中产生积液。因而使用所述往复泵能够保持良好的流体纯度而且能够进行流体的输送。
根据本发明的另一实施方式，
所述往复移动构件由滚动隔膜构成。
根据本发明的又一实施方式，
所述往复移动构件由波纹管构成。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能够防止由压力计的安装结构导致在流体流路中内产生积液的往复泵。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的往复泵的喷出行程结束时的状态的侧剖视图。
图2是表示图1的往复泵的吸入行程结束时的状态的侧剖视图。
图3是表示图1的往复泵中的压力计的安装结构的侧剖视图。
图4是图1的往复泵的概略框图。
图5是本发明的第二实施方式的往复泵的侧剖视图。
图6是图5的往复泵的主剖视图(沿X-X线的向视剖视图)。
图7是表示图5的往复泵中的压力计的安装结构的主剖视图。
图8是表示以往的往复泵中的压力计的安装结构的剖视图。
具体实施方式
首先，参照附图说明本发明的第一实施方式。
本发明的第一实施方式的往复泵是用于输送包含药液等液体的流体的隔膜泵1。如图1和图2所示，上述隔膜泵1具有：壳体2、往复移动构件(滚动隔膜)3、驱动装置4以及压力计6。如图4所示，上述隔膜泵1还具有控制装置8。
在以下的说明中，前后方向是指附图中的上下方向，前进是指向前方移动，后退是指向后方移动。
上述壳体2具有流体流路，流体流路包括吸入口15、喷出口16以及与吸入口15、喷出口16连通的泵室28。在本实施方式中，上述壳体2具有气缸11和泵头12。例如，上述气缸11由SUS304等的不锈钢构成。上述气缸11具有圆筒状，以轴向成为前后方向的方式配置。
上述气缸11具有通气孔13。上述通气孔13以在与上述气缸11的轴向(即，上述壳体2的轴向)交叉的方向上贯穿的方式设置于该气缸11的侧部。上述通气孔13能够与真空泵或者吸气器等的减压装置(未图示)连接。
上述泵头12由树脂和/或金属构成。例如，上述泵头12由PTFE(聚四氟乙烯)等的氟树脂构成。上述泵头12呈具有与上述气缸11的内径大致相同的有盖圆筒形状，且与上述气缸11同轴配置。
上述泵头12以堵塞上述气缸11的轴向一侧(前侧)的开口部的方式安装于上述气缸11的轴向一端部(前端部)。由此，在上述壳体2内形成有被上述气缸11和上述泵头12包围的第一内部空间14。
上述泵头12具有上述吸入口15、上述喷出口16、吸入侧流体流路17及喷出侧流体流路18。上述吸入侧流体流路17以与上述吸入口15连通的方式设置于上述泵头12的侧部，并通过吸入侧的开闭阀和配管等与作为流体的供给源的规定设备(未图示)连接。
上述喷出侧流体流路18以与上述喷出口16连通的方式设置于上述泵头12的轴向一端部(前端部)，即设置于盖部23，并通过喷出侧的开闭阀和配管等与作为流体的供给目的地的规定设备(未图示)连接。
另外，如图3所示，上述壳体2具有内壁部19和膜状部分20。上述内壁部19以面向上述流体流路的方式设置。上述膜状部分20具有挠性，且以面向上述流体流路的方式与上述内壁部19连续地设置。
在本实施方式中，上述内壁部19包括于上述泵头12(上述盖部23)，且以面向上述流体流路中的上述泵室28的方式设置。上述泵室28以分别与上述吸入口15和上述喷出口16连通的方式占用上述第一内部空间14的一部分。
上述膜状部分20包括于上述泵头12(上述盖部23)，且以面向上述流体流路中的上述泵室28的方式与上述内壁部19连续地设置。上述膜状部分20配置为其面向上述泵室28的内表面与上述内壁部19的面向上述泵室28的内表面在大致同一平面上排列。
上述驱动装置4配置为能够使上述滚动隔膜3往复移动。在本实施方式中，上述驱动装置4具有活塞21和轴22。上述活塞21和上述轴22分别设置为能够在上述壳体2内往复移动。
上述活塞21例如由铝合金构成。上述活塞21具有包括凹状部分的圆柱形状，且与上述壳体2(所述气缸11)同轴配置。上述活塞21容纳在上述壳体2中的上述第一内部空间14。
另外，上述活塞21设置为在与上述壳体2(上述气缸11和上述泵头12)的内壁之间产生空隙，而且，还设置为能够在上述壳体2的轴向(前后方向)上沿着上述壳体2的内壁往复移动。
例如，上述轴22由经淬火后的高碳铬轴承钢等钢材构成。上述轴22与上述活塞21同轴配置，且以能够经由O型环26在所述壳体2的轴向上往复移动的方式贯穿设置于上述壳体2的间隔壁25。上述间隔壁25以将上述壳体2内部划分成上述第一内部空间14和第二内部空间24的方式设置。
此处，上述O型环26通过上述O型环按压件27保持于上述间隔壁25。上述O型环按压件27例如由不锈钢构成。在所述轴22以与上述O型环按压件27不接触的方式贯穿的状态下，上述O型环按压件27配置于上述壳体2的上述第二内部空间24。
上述轴22具有：轴向一端部(前端部)，位于上述第一内部空间14；以及轴向另一端部(后端部)，位于上述第二内部空间24。上述轴22与上述活塞21在上述轴向一端部连接，以使上述轴22与上述活塞21一体地往复移动。
另外，上述驱动装置4还具有用于将上述轴22保持于上述壳体2的轴支架29。上述轴支架29例如由不锈钢构成。上述轴支架29配置于上述壳体2的上述第二内部空间24，并以将上述轴22和后述的输出轴42结合的方式设置。
上述滚动隔膜3配置为在上述壳体2内形成上述泵室28，而且，设置为能够以能够经由上述吸入口15将流体吸入上述泵室28且从上述泵室28经由上述喷出口16喷出流入上述泵室28的流体的方式在上述壳体2中往复移动。
在本实施方式中，上述滚动隔膜3由树脂构成。例如，上述滚动隔膜3由PTFE(聚四氟乙烯)等的氟树脂构成。上述滚动隔膜3具有呈有盖筒形状的中央部分，且以通过该中央部分从轴向一侧(前侧)覆盖上述活塞21的方式配置在上述壳体2内。
详细地说，上述滚动隔膜3具有中央部31、外周部32以及折回部33。上述中央部31形成上述滚动隔膜3的圆形的盖部分，其以朝向上述泵室28且与上述壳体2的轴向一端部(顶部)即上述盖部23相对的方式安装于上述活塞21。
上述外周部32形成上述滚动隔膜3的圆形的外周缘部分，配置于上述中央部31的径向外侧，并且被上述气缸11和上述泵头12夹持。上述折回部33具有挠性，并以能够在上述中央部31与上述外周部32之间变形的方式设置。
另外，上述滚动隔膜3在通过上述外周部32相对于上述壳体2位置固定的状态下，一边使上述折回部33在上述壳体2的内壁部与上述活塞21之间变形，并使上述中央部31的位置沿上述壳体2的轴向改变，一边能够与上述活塞21一体地往复移动。
上述滚动隔膜3还设置为将上述壳体2中的上述第一内部空间14液密且气密地划分成上述泵室28和减压室38。上述泵室28以被上述隔膜3(上述中央部31和上述折回部33)和上述泵头12包围的方式形成。
因此，对于上述泵室28而言，通过与上述壳体2的轴向相关的、伴随与上述活塞21一体的往复移动的上述滚动隔膜3的位置的变化，即伴随上述折回部33的变形的上述中央部31的位置的变化，能够使该泵室28的容积改变(增大或减小)。
此处，上述泵室28在上述隔膜泵1运转时，能够将从上述吸入口15吸入的流体在直至流体被喷出到外部为止的期间内暂时贮存。上述减压室38与上述通气孔13连通，使得能够利用上述减压装置进行减压。
需要说明的是，在本实施方式中，将由上述滚动隔膜3划分的上述第一内部空间14的空间分别设为上述泵室28和上述减压室38，但并不限定于此，也能够将其设为上述泵室28和通过上述通气孔13保持为开放状态的大气室。
在上述隔膜泵1中，上述驱动装置4还具有作为驱动源的马达40。在本实施方式中，上述驱动装置4除了具有上述活塞21、上述轴22和上述马达40以外，还具有上述输出轴42。
上述马达40是脉冲马达(步进电机)。上述马达40设置于比上述轴22更靠上述壳体2的轴向另一侧(后侧)的位置。上述输出轴42是丝杠轴(进给丝杠)。上述输出轴42以与上述马达40的旋转轴联动的方式与上述马达40的旋转轴连接。
需要说明的是，对上述马达40没有特别的限定，也可以是除脉冲马达(步进电机)以外的马达。
上述输出轴42设置为能够在从上述马达40侧向上述壳体2内突出的状态下在该壳体2的轴向上往复移动。上述输出轴42与上述轴22同轴配置，且在突出端部(前端部)通过上述轴支架29与上述轴22的轴向另一端部(后端部)连接。
需要说明的是，说明了上述轴22与上述活塞21连接且上述滚动隔膜3安装于上述活塞21，但并不意味着上述活塞21必须固定。即，在上述第一内部空间14设置有上述减压室38或上述大气室，且上述减压室38或上述大气室的压力始终保持在低于上述泵室28内的压力(流入上述泵室28的流体的压力)的情况下，上述活塞21不需要固定于上述滚动隔膜3和上述轴22。
另外，上述驱动装置4能够将上述马达40的旋转移动转换为直线移动，并由上述输出轴42向上述轴22传递，使得能够通过上述输出轴42、上述轴22及上述活塞21使上述滚动隔膜3在上述壳体2的轴向上往复移动。
另外，在上述驱动装置4中，使用编码器45(参照图4)。上述编码器45安装在上述马达40的旋转轴上。上述编码器45用于对上述马达40进行驱动控制，配置为输出与上述马达40的旋转同步的脉冲信号。
上述压力计6具有受压部46，且通过该受压部46检测上述流体流路中的压力。另外，上述压力计6以使上述壳体2中的上述膜状部分20夹在上述受压部46与上述流体流路之间的方式安装于上述壳体2。
在本实施方式中，上述压力计6配置为通过上述受压部46检测流入上述流体流路中的上述泵室28的流体的压力。而且，上述压力计6以使上述膜状部分20夹在上述受压部46与上述泵室28之间的方式安装于上述泵头12。
详细地说，如图3所示，上述压力计6安装于上述泵头12的盖部23。在将上述压力计6从上述泵头12(上述壳体2)的外部嵌入在上述泵头12的盖部23形成的凹部39的状态下使用任意的保持机构保持，使得上述受压部46(其抵接面65)与上述膜状部分20抵接。
上述压力计6在从上述壳体2的轴向一侧(前侧)紧密地嵌入上述凹部39的状态下，通过上述保持机构对于上述泵头12定位于上述受压部46与上述膜状部分20抵接的恰当的位置。上述压力计6的抵接面65形成为与上述膜状部分20相对应的形状，即大致平坦的形状。
这样，上述压力计6以与上述泵室28隔绝的方式处于使上述受压部46(上述抵接面65)从上述壳体2的轴向一侧(前侧)与上述膜状部分20抵接且安装于上述壳体2的状态，即处于使至少包括上述受压部46的一部分内置于上述壳体2的状态。
此处，上述压力计6的配线48向外部引出。另外，处于与上述压力计6的受压部46抵接的状态的上述膜状部分20设为以下形状：具有不影响上述压力计6的受压部46发挥用于检测上述泵室28(上述流体流路)中的流体的压力的作用的程度的挠性。
即，上述膜状部分20由树脂和/或金属构成。例如，上述膜状部分20由与上述泵头12相同种类的材料构成。而且，上述膜状部分20形成为其厚度落在约0.1mm～约1mm、优选为约0.1mm～约0.5mm的范围内的值。
上述控制装置8用于控制上述驱动装置4来使上述滚动隔膜3向前移动或向后移动。如图4所示，上述控制装置8通过控制器(控制基板)47分别与上述马达40和上述编码器45连接，而且通过上述布线48与上述压力计6连接。
需要说明的是，上述滚动隔膜3的往复移动中的向前移动是指向前方(上述泵室28的容积减少的方向)移动(前进)，向后移动是指向相反的后方(上述泵室28的容积增大的方向)移动(后退)。
上述控制装置8配置为能够向上述控制器47输出驱动信号以对上述马达40进行驱动控制。上述控制器47配置为基于该驱动信号向上述马达40输出用于驱动上述马达40的脉冲信号。
上述控制器47配置为：获取由上述编码器45输出的脉冲信号，基于获取的该脉冲信号(脉冲数)检测上述马达40的旋转量(旋转角度)等，将检测到的旋转量等输出至上述控制装置8。
由此，上述控制装置8能够基于从上述控制器47获取的旋转量等掌握与上述滚动隔膜3的往复移动方向相关的位置。上述控制装置8还能够获取上述压力计6的检测结果，从而掌握流入上述泵室28的流体的压力。
而且，上述控制装置8构成为：其能够对上述马达40进行驱动控制来使上述滚动隔膜3在上述壳体2的轴向上往复移动，从而在上述隔膜泵1运转时交替执行吸入行程和喷出行程来输送流体。
即，当执行上述吸入行程时，上述控制装置8使上述马达40负旋转，从而使上述滚动隔膜3以向上述泵室28的容积增大的方向(从图1所示的状态向图2所示的状态)发生位移的方式向后移动。此时，上述控制装置8还进行打开上述吸入侧的开闭阀且关闭上述喷出侧的开闭阀的控制。由此，流体经由上述吸入口15被吸入到上述泵室28中。
另一方面，当执行上述喷出行程时，上述控制装置8使上述马达40正旋转，从而使上述滚动隔膜3以向上述泵室28的容积减少的方向(从图2所示的状态向图1所示的状态)发生位移的方式向前移动。此时，上述控制装置8还进行关闭上述吸入侧的开闭阀且打开上述喷出侧的开闭阀的控制。由此，使流体从上述泵室28经由上述喷出口16喷出。
根据上述构成，在上述流体流路中不会形成因上述压力计6的安装结构导致的当流体充满上述流体流路(上述泵室28)时产生积液的空间。因此，能够防止在上述流体流路中产生积液。因而，使用上述隔膜泵1能够一边良好地保持流体的纯度一边进行流体的输送。
然后，参照附图对本发明的第二实施方式进行说明。
本发明的第二实施方式的往复泵是用于输送包含药液等液体的流体的波纹管泵100。如图5所示，上述波纹管泵100是具有第一泵部101A和第二泵部101B的双作用式的波纹管泵。
上述第一泵部101A和上述第二泵部101B具有实质上相同的构成，配置为相对于上述波纹管泵100的长度方向的中心线相互线对称，在上述波纹管泵100运转时互补地进行动作。
在上述波纹管泵100中，上述第一泵部101A和上述第二泵部101B分别具有壳体102、往复移动构件(波纹管)103、驱动装置104以及压力计106。上述波纹管泵100还具有控制装置(未图示)。
上述壳体102具有包括吸入口115、喷出口116以及分别与它们连通的泵室的流体流路。在本实施方式中，上述壳体102具有泵外壳111和泵头112。此处，在上述第一泵部101A和上述第二泵部101B中共同使用上述泵头112。
上述泵外壳111由树脂、金属、其他材料或者这些材料的组合构成，优选在表面上具有耐腐蚀性。例如，上述泵外壳111由实施了PTFE等的氟树脂涂层的铝等构成。上述泵外壳111具有有底圆筒状，以朝向上述泵头112开口的方式配置。
上述泵头112由树脂、金属、其他材料或者这些材料的组合构成，优选在整体上具有耐腐蚀性。例如，上述泵头112由PTFE等的氟树脂等构成。上述泵头112具有与上述泵外壳111的形状对应的盘形状，并与上述泵外壳111同轴配置。
上述泵头112以堵塞上述泵外壳111的开口部的方式气密地安装于上述泵外壳111。由此，在上述壳体102内形成有被上述泵外壳111和上述泵头112包围的内部空间114。
上述泵头112具有包括上述吸入口115、上述喷出口116、吸入侧流体流路117以及喷出侧流体流路118的上述流体流路。上述吸入侧流体流路117以与上述吸入口115连通的方式设置于所述泵头112，并通过吸入侧的开闭阀和配管等与作为流体的供给源的规定的设备(未图示)连接。
上述喷出侧流体流路118以与上述喷出口116连通的方式设置于上述泵头112，并通过喷出侧的开闭阀和配管等与作为流体的供给源的规定的设备(未图示)连接。
在本实施方式中，上述吸入侧流体流路117和上述喷出侧流体流路118分别形成为在延伸方向的途中改变流路的方向。一个为测定对象流路117A、118A，另一个为非测定对象流路117B、118B。
更详细地说，上述吸入侧流体流路117中的、靠近上述吸入口115一侧的流路为上述测定对象流路117A，远离上述吸入口115一侧的流路为上述非测定对象流路117B。另外，上述喷出侧流体流路118中的、靠近上述喷出口116一侧的流路为上述测定对象流路118A，远离上述喷出口116一侧的流路为上述非测定对象流路118B。
上述测定对象流路117A、118A为至少在一部分具有平坦的流路壁的流路形状，上述非测定对象流路117B、118B为任意的流路形状。例如，上述测定对象流路117A、118A的截面形状为矩形或半圆形，上述非测定对象流路117B、118B的截面形状为圆形。
另外，如图6所示，上述壳体102具有内壁部119和膜状部分120。上述内壁部119以面向上述流体流路的方式设置。上述膜状部分120具有挠性，且以面向上述流体流路的方式与上述内壁部119连续地设置。
在本实施方式中，上述内壁部119具有所述泵头112所包括的吸入侧内壁部119A和喷出侧内壁部119B。上述吸入侧内壁部119A和上述喷出侧内壁部119B分别以面向上述流体流路中的上述吸入侧流体流路117(上述测定对象流路117A)和上述喷出侧流体流路118(上述测定对象流路118A)的方式设置，各内表面构成上述测定对象流路117A和上述测定对象流路118A的平坦的流路壁。
上述膜状部分120具有与上述吸入侧内壁部119A对应的吸入侧膜状部分120A以及与上述喷出侧内壁部119B对应的喷出侧膜状部分120B。上述吸入侧膜状部分120A以面向上述流体流路中的上述吸入侧流体流路117(上述测定对象流路117A)的方式与上述吸入侧内壁部119A连续地设置，其内表面构成上述测定对象流路117A的平坦的流路壁。
另一方面，上述喷出侧膜状部分120B以面向上述流体流路中的上述喷出侧流体流路118(上述测定对象流路118A)的方式与上述喷出侧内壁部119B连续地设置，其内表面构成上述测定对象流路118A的平坦的流路壁。此处，上述膜状部分120形成为大致平坦，以与上述内壁部119协同地构成上述吸入侧流体流路117(上述测定对象流路117A的平坦的流路壁)和上述喷出侧流体流路118(上述测定对象流路118A的平坦的流路壁)。
上述波纹管103配置为在上述壳体102内形成上述流体流路所包括的泵室128，而且，设置为以能够经由上述吸入口115将流体吸入上述泵室128且从该泵室128经由上述喷出口116喷出流入上述泵室128的流体的方式在上述壳体102中往复移动(伸缩动作)。
在本实施方式中，上述波纹管103由树脂构成。例如，上述波纹管103由PTFE等的氟树脂构成。上述波纹管103具有有底圆筒状，其以该波纹管103的开口部被上述泵头112堵塞的方式安装于该泵头112，而且设置为能够在上述泵外壳111的轴向上伸缩。
详细地说，上述波纹管103具有堵塞端部131、开口端部132以及波纹部133。上述堵塞端部131设置于上述波纹管103的底部。上述开口端部132设置于上述波纹管103的开口部。上述波纹部133具有筒形状，以连接上述堵塞端部131和上述开口端部132的方式设置。
另外，上述堵塞端部131和上述波纹部133设置在上述泵外壳111内，与上述开口端部132一起与上述泵外壳111和上述泵头112同轴配置。上述开口端部132被环状卡止构件135卡止于上述泵头112，以将上述波纹管103固定于上述泵头112。
另外，上述堵塞端部131与配置于与上述波纹部133相反的一侧的可动体136连接。上述可动体136通过连接棒137与另一个泵部101B(101A)中的可动体136连接。上述连接棒137以能够在上述波纹管103的伸缩方向上往复移动的方式贯穿设置于上述泵头112。
另外，上述波纹管103设置为从上述泵头112向上述壳体102的轴向突出，而且，能够在将作为其突出基端部的上述开口端部132固定于所述泵头112的状态下使上述波纹管103相对于该泵头112在上述壳体102的轴向上伸长或收缩，使得上述连接棒137往复移动。
另外，上述波纹管103还设置为将上述壳体102中的上述内部空间114液密且气密地划分成上述泵室128和空气室138。上述泵室128以被上述波纹管103(上述堵塞端部131和上述波纹部133)和上述泵头112包围的方式形成。
因此，对于上述泵室128而言，能够通过与上述壳体102的轴向有关的上述波纹管103的往复移动，具体而言，通过上述波纹部133的伸缩动作引起的形状的改变以及伴随该伸缩动作的上述堵塞端部131的位置的变化来改变该泵室128的容积(增大或减少)。
此处，上述泵室128分别与上述吸入口115和上述喷出口116连通，在上述波纹管泵100运转时，能够将从上述吸入口115吸入的流体在直至其喷出到外部为止的期间内暂时贮存。上述空气室138与供排气孔139连接，从而能够通过该供排气孔139供排空气。
在上述吸入口115设置有吸入侧止回阀141。上述吸入侧止回阀141以位于上述吸入侧流体流路117(上述吸入口115)与上述泵室128之间的方式安装于上述泵头112。上述吸入侧止回阀141配置为仅容许流体从上述吸入侧流体流路117向上述泵室128的一个方向流动。
在上述喷出口116设置有喷出侧止回阀142。上述喷出侧止回阀142以位于上述喷出侧流体流路118(上述喷出口116)与上述泵室128之间的方式安装于上述泵头112。上述喷出侧止回阀142配置为仅容许流体从上述泵室128向上述喷出侧流体流路118的一个方向流动。
上述驱动装置104配置为能够使上述波纹管103往复移动(伸缩动作)。在本实施方式中，上述驱动装置104配置为：能够通过上述泵外壳111中的上述供排气孔139将从空气供给装置150供给的加压空气供给至上述空气室138，并将上述空气室138的空气向外部排出。
上述压力计106具有受压部146，且通过该受压部146检测上述流体流路中的压力。而且，上述压力计106以使上述壳体102中的上述膜状部分120夹在上述受压部146与上述流体流路之间的方式安装于上述壳体102。
在本实施方式中，上述压力计106具有吸入侧压力计106A和喷出侧压力计106B。上述吸入侧压力计106A和上述喷出侧压力计106B分别配置为通过上述受压部146检测处于上述流体流路中的上述吸入侧流体流路117和上述喷出侧流体流路118的流体的压力。
另外，如图6和图7所示，上述吸入侧压力计106A以使上述吸入侧膜状部分120A夹在上述受压部146与上述吸入侧流体流路117(上述测定对象流路117A)之间的方式安装于上述泵头112。上述喷出侧压力计106B以使上述喷出侧膜状部分120B夹在上述受压部146与上述喷出侧流体流路118(上述测定对象流路118A)之间的方式安装于所述泵头112。
详细地说，上述吸入侧压力计106A在从上述泵头112(上述壳体102)的外部嵌入在上述泵头112形成的吸入侧凹部139A的状态下，通过使用任意的保持机构进行保持，使得上述受压部146(其抵接面165)从与上述吸入侧流体流路117侧相反的一侧(上述测定对象流路117A的平坦的流路壁侧)与上述吸入侧膜状部分120A抵接。
上述喷出侧压力计106B在从上述泵头112(上述壳体102)的外部嵌入在上述泵头112形成的喷出侧凹部139B的状态下，通过使用任意的保持机构进行保持，使得上述受压部146(其抵接面165)从与上述喷出侧流体流路118侧相反的一侧(上述测定对象流路118A的平坦的流路壁侧)与上述喷出侧膜状部分120B抵接。
通过上述保持机构使上述吸入侧压力计106A和上述喷出侧压力计106B分别相对上述泵头112定位于上述受压部146与对应的上述膜状部分120抵接的适当的位置。上述吸入侧压力计106A和上述喷出侧压力计106B的各抵接面165形成为与对应的上述膜状部分120相对应的形状，即大致平坦的形状。
需要说明的是，对上述保持机构没有特别的限定，可以使用螺钉将上述压力计106紧固于上述凹部139A(139B)从而保持于上述泵头112，也可以使用保持构件(按压构件)对嵌入上述凹部139A(139B)的上述压力计106进行固定从而保持于上述泵头112。
这样，上述吸入侧压力计106A和上述喷出侧压力计106B分别以与上述吸入侧流体流路117(上述测定对象流路117A)和上述喷出侧流体流路118(上述测定对象流路118A)隔绝的方式处于使上述受压部146与对应的上述膜状部分120抵接且安装于上述泵头112的状态，即处于至少包括上述受压部46的一部分内置于上述壳体102的状态。
另外，上述吸入侧凹部139A和上述喷出侧凹部139B配置为在上述泵头112中朝同一方向开口。由此，能够分别将上述吸入侧压力计106A和上述喷出侧压力计106B从同一方向嵌入上述吸入侧凹部139A和上述喷出侧凹部139B并保持于上述泵头112。
此处，上述压力计106的配线148向外部引出。另外，上述吸入侧膜状部分120A和上述喷出侧膜状部分120B分别为以下形状：具有不影响对应的上述压力计106发挥用于检测上述吸入侧流体流路117中的流体的压力和上述喷出侧流体流路118中的流体的压力的作用的程度的挠性。
即，上述吸入侧膜状部分120A和上述喷出侧膜状部分120B分别由树脂或金属构成。例如，上述吸入侧膜状部分120A和上述喷出侧膜状部分120B分别由与上述泵头112相同种类的材料构成。而且，上述吸入侧膜状部分120A和上述喷出侧膜状部分120B形成为厚度(所述膜状部分120被夹持的方向的宽度)分别落在约0.1mm～约1mm、优选为约0.1mm～约0.5mm范围内的值。
上述控制装置用于控制上述驱动装置104来使上述波纹管103进行收缩动作或伸长动作。上述控制装置与上述驱动装置104的空气供给装置150、上述吸入侧的开闭阀及上述喷出侧的开闭阀等连接，而且通过上述布线148与上述压力计106连接。
另外，上述控制装置能够对上述驱动装置104进行驱动控制来使上述波纹管103在上述壳体102的轴向上进行伸缩动作，从而在上述波纹管泵100运转时在上述第一泵部101A和上述第二泵部101B分别交替执行吸入行程和喷出行程来输送流体。
例如，在上述第一泵部101A执行吸入行程时，上述控制装置使上述驱动装置104进行动作以在上述第二泵部101B中向上述空气室138供给压缩空气且在上述第一泵部101A中将上述空气室138的空气向外部排出，从而使上述第二泵部101B执行喷出行程。
由此，在上述第一泵部101A中，流体经由上述吸入口115从上述吸入侧流体流路117被吸入到上述泵室128中。同时，在上述第二泵部101B中，流体经由上述喷出口116从上述泵室128向上述喷出侧流体流路118喷出。
在上述第一泵部101A执行喷出工序时，上述控制装置使上述驱动装置104进行动作以在上述第一泵部101A中向上述空气室138供给压缩空气且在上述第二泵部101B中将上述空气室138的空气向外部排出，从而使上述第二泵部101B执行吸入行程。
由此，在上述第一泵部101A中，流体经由上述喷出口116从上述泵室128向上述喷出侧流体流路118喷出。同时，在上述第二泵部101B中，流体经由上述吸入口115从上述吸入侧流体流路117被吸入到上述泵室128中。
根据上述结构，在上述流体流路中不会形成因上述压力计106的安装结构导致的当流体充满包括上述泵室128的上述流体流路(上述吸入侧流体流路117和上述喷出侧流体流路118)时产生积液的空间。因此，能够防止在上述流体流路中产生积液。因而，使用上述波纹管泵100能够一边良好地保持流体纯度一边进行流体的输送。
需要说明的是，如果考虑上述的示教，显然可知本发明能够获得多种变更方式和变形方式。因此，应当理解，本发明在所附的权利要求的范围内能够通过除了在本说明书中记载的方法以外的方法进行实施。
例如，在第一实施方式中，上述压力计6也可以配置为：通过上述布线48与上述控制器47连接，并在上述控制器47中获取上述压力计6的检测结果。另外，上述控制器47也可以组入到上述控制装置8中。在该情况下，上述马达40和上述编码器45与上述控制装置8直接连接，上述控制装置8将用于驱动上述马达40的脉冲信号输出至上述马达40，并获取由上述编码器45输出的脉冲信号。
另外，对于第二实施方式而言，只要设置有内壁部119和膜状部分120的测定对象流路位于包括吸入口115、喷出口116以及分别与它们连通的泵室128的流体流路的任意一个位置即可。例如，测定对象流路既可以是上述吸入侧流体流路117和上述喷出侧流体流路118中的远离上述吸入口115和上述喷出口116一侧的流路，也可以是泵头112中的朝向泵室128的部分。
附图标记的说明：
1 隔膜泵(往复泵)
2 壳体
3 滚动隔膜(往复移动构件)
4 驱动装置
6 压力计
19 内壁部
20 膜状部分
28 泵室(流体流路)
46 受压部
100 波纹管泵(往复泵)
102 壳体
103 波纹管(往复移动构件)
104 驱动装置
106 压力计
117 吸入侧流体流路(流体流路)
118 喷出侧流体流路(流体流路)
119 内壁部
120 膜状部分
146 受压部

Claims (3)

1.一种往复泵，用于输送流体，其中，具有：
壳体，具有流体流路，所述流体流路包括吸入口、喷出口以及与所述吸入口、所述喷出口连通的泵室；
往复移动构件，配置为在所述壳体内形成所述泵室，并且，所述往复移动构件设置为能够往复移动，以便能够经由所述吸入口将流体吸入所述泵室且从所述泵室经由所述喷出口喷出流入所述泵室的流体；
驱动装置，能够使所述往复移动构件往复移动；以及
压力计，具有受压部且经由该受压部检测所述流体流路中的流体的压力，
所述壳体具有：
内壁部，以面向所述流体流路的方式设置；以及
膜状部分，具有挠性，且以面向所述流体流路的方式与所述内壁部连续地一体形成，所述膜状部分的面向所述泵室的内表面与所述内壁部的面向所述泵室的内表面在同一平面上排列，
所述压力计以将所述膜状部分夹在所述受压部与所述流体流路之间的方式安装于所述壳体。
2.如权利要求1所述的往复泵，其中，所述往复移动构件由滚动隔膜构成。
3.如权利要求1所述的往复泵，其中，所述往复移动构件由波纹管构成。
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