CN109415172A - 基板翻转装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板翻转装置，能够在不造成破损的情况下翻转基板的正反，而且还能够抑制由于基板翻转导致的操作效率下降。基板翻转装置用于翻转基板的正反，具备框架部、第一保持部、第二保持部和支承部。基板作为翻转对象，框架部是矩形框架状的，并围绕基板的周缘。第一保持部与框架部的一条边以可转动的方式连结，第一保持部从基板的正面侧保持住基板。第二保持部与框架部上一条边对面的另一条边以可转动的方式连结，第二保持部从基板的反面侧保持住基板。支承部对框架部进行支承，使框架部在第一保持部和第二保持部保持住基板的状态下可以绕水平方向的轴进行转动。

Description

基板翻转装置

技术领域

本发明涉及一种用于翻转基板正反的基板翻转装置。

背景技术

在2枚玻璃基板之间形成显示元件，将COF(Chip On Film)或PCB(PrintedCircuit Board)等电子部件连接到设置于玻璃基板周缘部的电极部上，从而制造液晶显示面板、有机EL显示面板(EL:Electro-Luminescence)等显示面板。

现有技术中，为了确认玻璃基板与电子部件之间的连接状态，操作者用手来翻转玻璃基板的正反，再使用扫描型金相显微镜等从玻璃基板的背面侧确认压痕状态。

还有，提出了用于翻转玻璃基板正反的装置。例如在专利文献1中公开了一种输送装置，需要输送的面板放置在第一托盘上，在输送来的第一托盘上叠加第二托盘，在这样的状态下进行上下翻转，然后卸下第一托盘，需要输送的面板以正反已翻转的状态放置在第二托盘上进行输送。

还有，专利文献2中公开了面板翻转装置，在第一承载板的表面上放置面板之后，将第二承载板叠加在第一承载板之上，在第一承载板与第二承载板3结合为一体的状态下进行转动，从而使面板翻转。

〔专利文献〕

专利文献1:日本特开平10-167467号公报

专利文献2:日本特开2005-225637号公报

发明内容

然而，在操作者用手来翻转玻璃基板的正反时，随着显示面板的大型化，产生了翻转时显示面板破裂、电子部件剥离或撕裂等问题。

还有，专利文献1公开的输送装置中，如果第一托盘和第二托盘没有连结在一起，在翻转后就不需要绕到面板的另一侧，但是，随着面板尺寸变大，第一和第二托盘也变大，从而产生一个托盘相对于另一个托盘的放上和卸下变得困难的问题。

还有，专利文献2公开的面板翻转装置中，在翻转后需要绕到面板的另一侧，存在操作效率下降的问题。

本发明是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供一种基板翻转装置，能够在不造成破损的情况下翻转基板的正反，而且还能够抑制由于基板翻转导致的操作效率下降。

本申请的一方式所涉及的基板翻转装置用于翻转基板的正反，具备框架部、第一保持部、第二保持部和支承部。所述框架部是矩形框架状的，并围绕作为翻转对象的基板的周缘。所述第一保持部与所述框架部的一条边以可转动的方式连结，所述第一保持部从所述基板的正面侧保持住所述基板。所述第二保持部与所述框架部上所述一条边对面的另一条边以可转动的方式连结，所述第二保持部从所述基板的反面侧保持住所述基板。所述支承部对所述框架部进行支承，使所述框架部在所述第一保持部和所述第二保持部保持住所述基板的状态下可以绕水平方向的轴进行转动。

〔发明效果〕

根据本申请，能够在不造成破损的情况下翻转基板的正反，而且还能够抑制由于基板翻转导致的操作效率下降。

附图说明

图1是本实施方式所涉及的基板翻转装置的示意性结构立体图。

图2是本实施方式所涉及的基板翻转装置的示意性结构俯视图。

图3是本实施方式所涉及的基板翻转装置的示意性结构侧视图。

图4是本实施方式所涉及的基板翻转装置的主要结构的示意图。

图5是旋转锁定机构的俯视图。

图6是关闭了上托盘盖的状态下的基板翻转装置立体图。

图7是关闭了上托盘盖的状态下的基板翻转装置俯视图。

图8是关闭了上托盘盖的状态下的基板翻转装置侧视图。

图9是托盘底座转动状态的侧视图。

图10是托盘底座转动状态的侧视图。

图11是托盘底座翻转后的状态下的基板翻转装置立体图。

图12是托盘底座翻转后的状态下的基板翻转装置俯视图。

图13是托盘底座翻转后的状态下的基板翻转装置侧视图。

图14是下托盘盖打开后的状态下的基板翻转装置立体图。

具体实施方式

基于附图，对本发明的实施方式进行具体说明。

图1是本实施方式所涉及的基板翻转装置1的示意性结构立体图，图2是其俯视图，图3是其侧视图，图4是其主要结构的示意图。本实施方式所涉及的基板翻转装置1具有翻转机构，翻转机构在将液晶显示器面板等矩形平板状的基板2保持为水平后翻转基板2的正反。图1～图3的例子中，是基板2的正面侧保持向上的状态。以下，使用附图中的上下、左右、前后，对基板翻转装置1的结构进行说明。

本实施方式所涉及的基板翻转装置1具备托盘底座10、上托盘盖20(第一保持部)、下托盘盖30(第二保持部)以及支承台50(支承部)。基板2作为翻转对象，托盘底座10是矩形框架状的框架部，并围绕基板2的周缘。图1～图4的例子中，上托盘盖20位于托盘底座10的上侧，下托盘盖30位于托盘底座10的下侧。支承台50将托盘底座10支承为可转动。如后面叙述的那样，上托盘盖20和下托盘盖30以可转动的方式与托盘底座10连结在一起。

托盘底座10是前后方向比左右方向短的矩形框架，前后一对长边用框架部件11、11与左右一对短边用框架部件12、12连结而组装成托盘底座10。托盘底座10在框架部件12、12的长边方向的大致中央，具备设置成沿水平方向朝外突出的圆柱状轴13、13。支承台50通过将轴13、13支承为可自由转动，从而将托盘底座10支承为可以绕着水平方向(图1～图3的例子中是左右方向)的轴转动。

还有，托盘底座10在框架部件12、12的长边方向的前端部附近，具备设置成沿左右方向朝外突出的限制用突起14、14。支承台50具备突起接收部517和突起接收部518，突起接收部517在上托盘盖20位于托盘底座10上侧的状态(基板2正面侧向上的状态)下承接限制用突起14的下端，突起接收部518在下托盘盖30位于托盘底座10上侧的状态(基板2反面侧向上的状态)下承接限制用突起14的下端。托盘底座10从基板2的正面侧向下的状态开始转动到基板2的正面侧向上后，突起接收部517对托盘底座10的转动进行限制。另一方面，托盘底座10从基板2的正面侧向上的状态开始转动到基板2的正面侧向下后，突起接收部518对托盘底座10的转动进行限制。

上托盘盖20具备前后方向比左右方向短的矩形框架。该框架由前后一对长边用框架部件21、21与左右一对短边用框架部件22、22连结组装而成。长边用框架部件21、21与托盘底座10的长边用框架部件11、11具有相同长度，短边用框架部件22、22与托盘底座10的短边用框架部件12、12具有相同长度。

上托盘盖20在左右一对框架部件22、22之间具备隔着适当间隔配置的加固框架23。图1～图3的例子中，是具有5根加固框架23的结构，但加固框架23的数量不限于5根。加固框架23的数量和间隔例如可以根据基板2的大小、基板2在被吸盘等治具推压时的挠曲量、基板2的保持状态等进行适当变更。

在加固框架23的底面上，设置了缓冲基座24和缓冲物25。其中，缓冲基座24是用于保持住基板2的保持板，基板2作为保持对象，缓冲基座24由面积比基板2大的矩形板体构成。缓冲基座24优选为由具有适当硬度的金属材料、合成树脂材料等形成，其硬度在推压吸盘等治具来取出被保持的基板2时使基板2不会过度挠曲。另外，缓冲基座24的材质可以根据基板2在被吸盘等治具推压时的挠曲量、基板2的保持状态等进行适当变更。

缓冲物25例如是面积与缓冲基座24基本相同的矩形板状缓冲材料。由于要将基板2夹在缓冲物25与后面叙述的下托盘盖30侧的缓冲物35之间，因此缓冲物25优选为：由软的且不具有带电性的橡胶等材料形成，该材料还具有在接触着与基板2的周缘部连接的COF或PCB等电子部件时也能夹持基板2的弹性。

上托盘盖20连结在构成托盘底座10的框架部的一条边(图1～图4的状态中是后侧框架部件11)上，并且相对于该一条边可转动。具体结构是：托盘底座10的长边用框架部件11与上托盘盖20的长边用框架部件21在各自的外侧面通过合页71进行连结，上托盘盖20能够相对于托盘底座10进行转动。另外，合页71的轴部沿着框架部件11、21的长边方向，在该长边方向的3处位置配置合页71，各合页71中，一个页片固定在框架部件11的外侧面，另一个页片固定在框架部件21的外侧面。

基板翻转装置1具备锁定结构72、72(第一维持结构)，在上托盘盖20的前侧框架部件21与托盘底座10的前侧框架部件11抵接的状态(也就是说，上托盘盖20关闭的状态)下，锁定结构72、72用于维持上托盘盖20的关闭状态。锁定结构72例如具备钩部721和支承板723，钩部721设置在上托盘盖20侧，支承板723设置在托盘底座10侧，支承板723将环部722支承为可转动。在图1～图4的例子中，锁定结构72设置在前侧框架部件11、21的2处位置上。本实施方式中，在上托盘盖20关闭的状态下，用钩部721钩住环部722，从而能够维持上托盘盖20的关闭状态。

基板翻转装置1具备转动结构73、73，在锁定结构72、72维持的关闭状态被解除后，也就是将环部722从钩部721取出了的情况下，转动结构73、73使上托盘盖20以合页71的轴部为转动中心进行转动。转动结构73例如是阻尼器，具备轴向伸缩的杆部731和收纳杆部731的圆筒状收纳部732。杆部731的顶端以可转动的方式连结在上托盘盖20中的框架部件12的长边方向中央附近。还有，收纳部732的下端(远离杆部731一侧的端部)以可转动的方式连结在托盘底座10中的框架部件12的长边方向后端。以上述的结构，在上托盘盖20和托盘底座10的锁定被解除后，通过杆部731的伸长，使上托盘盖20以合页71的轴部为转动中心向远离托盘底座10的前侧框架部件11(也就是说，框架部中在所述一条边对面的另一条边)的方向转动。转动结构73对上托盘盖20施力，使上托盘盖20相对于托盘底座10的张角达到60度左右。

下托盘盖30具备前后方向比左右方向短的矩形框架。该框架由前后一对长边用框架部件31、31与左右一对短边用框架部件32、32连结组装而成(参照图4)。长边用框架部件31、31与托盘底座10的长边用框架部件11、11具有相同长度，短边用框架部件32、32与托盘底座10的短边用框架部件12、12具有相同长度。

下托盘盖30在左右一对框架部件32、32之间具备隔着适当间隔配置的加固框架33(参照图11)。加固框架33的数量在本实施方式中是5根，但不限于此。加固框架33的数量和间隔例如可以根据基板2的大小、基板2在被吸盘等治具推压时的挠曲量、基板2的保持状态等进行适当变更。

在加固框架33的顶面上，设置了缓冲基座34和缓冲物35。其中，缓冲基座34是用于保持住基板2的保持板，基板2作为保持对象，缓冲基座34由面积比基板2大的矩形板体构成。缓冲基座34优选为由具有适当硬度的金属材料、合成树脂材料等形成，其硬度在推压吸盘等治具来取出被保持的基板2时使基板2不会过度挠曲。另外，缓冲基座24的材质可以根据基板2在被吸盘等治具推压时的挠曲量、基板2的保持状态等进行适当变更。

缓冲物35例如是面积与缓冲基座34基本相同的矩形板状缓冲材料。由于要将基板2夹在缓冲物35与上述的上托盘盖20侧的缓冲物25之间，因此缓冲物35优选为：由软的且不具有带电性的橡胶等材料形成，该材料还具有在接触着与基板2的周缘部连接的COF或PCB等电子部件时也能夹持基板2的弹性。

本实施方式中，基板2作为翻转对象，基板翻转装置1具备面积比基板2大的缓冲基座24、34和缓冲物25、35，并且由具有弹力的缓冲物25、35夹持基板2，因此，在将基板2放置到下托盘盖30中的缓冲物35上时，无需进行定位，将基板2放置到缓冲物35上的大致位置即可。由此，操作者能够容易地将基板2放置到基板翻转装置1上。

下托盘盖30具备翻转操作用的操作框架40。操作框架40是在侧视图中呈梯形的框架，长度比框架部件32短，具备框架部件41、框架部件42、框架部件43以及加固框架44、44，框架部件41在框架部件32的下方配置成沿前后方向，框架部件42是斜向的并且将框架部件32和框架部件41彼此的前端进行连结，框架部件43是斜向的并且将框架部件32和框架部件41彼此的后端进行连结，加固框架44、44在框架部件32和框架部件41之间于前后方向的中途配置成沿上下方向。还有，操作框架40具备横向框架45、横向框架46和横向框架47，横向框架45将左右两侧的框架部件41、41进行连结，横向框架46将左右两侧的框架部件42、42进行连结，横向框架47将左右两侧的框架部件43、43进行连结(参照图4)。

如上所述，上托盘盖20连结在构成托盘底座10的框架部的一条边(图1～图4的状态中是后侧框架部件11)上，并且相对于该一条边可转动，相对于此，下托盘盖30连结在框架部的另一条边(图1～图4的状态中是前侧框架部件11)上，并且相对于该另一条边可转动，框架部的另一条边在框架部上连结着上托盘盖20的一条边的对面。具体结构是：托盘底座10的长边用框架部件11与下托盘盖30的长边用框架部件31在各自的外侧面通过合页74进行连结，下托盘盖30相对于托盘底座10可以转动。另外，合页74的轴部沿着框架部件11、31的长边方向，在该长边方向的3处位置配置合页74，各合页74中，一个页片固定在框架部件11的外侧面，另一个页片固定在框架部件31的外侧面。

基板翻转装置1具备锁定结构75、75(第二维持结构)，在下托盘盖30的后侧框架部件31与托盘底座10的后侧框架部件11抵接的状态(也就是说，下托盘盖30关闭的状态)下，锁定结构75、75用于维持下托盘盖30的关闭状态(参照图11)。锁定结构75例如具备钩部751和支承板753，钩部751设置在下托盘盖30侧，支承板753设置在托盘底座10侧，支承板753将环部752支承为可转动。锁定结构75设置在后侧框架部件11、12的2处位置上。本实施方式中，在下托盘盖30关闭的状态下，用钩部751钩住环部752，从而能够维持下托盘盖30的关闭状态。

基板翻转装置1具备转动结构76、76，在锁定结构75、75维持的关闭状态被解除后，也就是将环部752从钩部751取出了的情况下，转动结构76、76使下托盘盖30以合页74的轴部为转动中心进行转动。转动结构76例如是阻尼器，具备轴向伸缩的杆部761和收纳杆部761的圆筒状收纳部762(参照图14)。杆部761的顶端以可转动的方式连结在下托盘盖30中的框架部件32的长边方向中央附近。还有，收纳部762的下端(远离杆部761一侧的端部)以可转动的方式连结在托盘底座10中的框架部件12的长边方向前端。以上述的结构，在下托盘盖30和托盘底座10的锁定被解除后，通过杆部761的伸长，使下托盘盖30以合页74的轴部为转动中心向远离托盘底座10的后侧框架部件(也就是说，框架部中在所述另一条边对面的一条边)的方向转动。另外，使托盘底座10翻转，基板2成为反面侧向上的状态后，进行下托盘盖30和托盘底座10的锁定解除。

支承台50是将托盘底座10支承为可绕横向的轴进行转动的支承部，具备组装成长方体状的左右一对侧部框架51、51和连结这一对侧部框架51、51的横向框架52a～52e。本实施方式中，支承台50将托盘底座10支承为可绕左右方向的轴(轴13)进行转动。

侧部框架51具备构成矩形顶面的4个框架部件511a～511d、构成矩形底面的4个框架部件512a～512d以及上下方向的4个框架部件513a～513d。其中，框架部件511a、511c、512a、512c是比托盘底座10的框架部件12长的长边用框架部件，框架部件511b、511d、512b、512d是具有适当长度的短边用框架部件。还有，例如上下方向的框架部件513a～513d的长度被调节成60cm～80cm左右，使下托盘盖30的基板保持面(缓冲物35的顶面)位于操作者容易操作的位置。侧部框架51在前后方向上靠后的位置具备加固框架514，加固框架514将2个长边用框架部件511a和512a进行连结。

横向框架52a、52b分别将2个侧部框架51中的框架部件513a、513a各自的上端和下端进行连结。还有，横向框架52c、52d分别在前后方向的中央附近和靠前的位置，将2个侧部框架51中的框架部件512a、512a进行连结。还有，横向框架52e连结在2个侧部框架51的加固框架514、514中靠下端的位置。

侧部框架51、51具备轴承515、515，轴承515、515将托盘底座10的轴13、13支承为可绕轴旋转。该轴承515例如具备用于内嵌轴13的环状滚动轴承(未图示)和收纳该滚动轴承的轴承座(未图示)。轴承座连结在侧部框架51的框架部件511a的顶面上长边方向的中央稍微靠前的位置。

还有，侧部框架51、51具备锁定机构516、516(第三维持结构)，锁定机构516、516用于维持托盘底座10的转动受限的状态。图5是旋转锁定机构516的俯视图。该旋转锁定机构516例如具备操作杆516a、嵌合片516b、保持板516c以及安装片516d、516d，嵌合片516b设置在操作杆516a的顶端，保持板516c将操作杆516a保持为可自由滑动，安装片516d、516d在前视图中呈L字形状并且用于将保持板516c连结在框架部件上。旋转锁定机构516通过安装片516d、516d连结在框架部件511e的顶面上，框架部件511e连结在侧部框架51的框架部件513b中靠上端的位置。在将托盘底座10的转动进行锁定的情况下，操作者使操作杆516a向内侧(也就是说，左侧的操作杆516a向右侧，右侧的操作杆516a向左侧)滑动，使嵌合片516b嵌入到设置在框架部件32(或者框架部件22)的外侧面上的滑槽中，从能够能够将托盘底座10的转动锁定。

以下，说明使用基板翻转装置1的翻转操作。

在将基板2放置到了下托盘盖30的缓冲物35上的状态下，进行基板2的正反翻转时，操作者首先将上托盘盖20关闭，使用锁定结构72将上托盘盖20锁定在托盘底座10上。

图6是关闭了上托盘盖20的状态下的基板翻转装置1的立体图，图7是其俯视图，图8是其侧视图。如上所述，上托盘盖20通过合页71连结在托盘底座10上并且相对于托盘底座10可转动，因此，操作者通过将上托盘盖20朝下拉向身前(也就是说，在图3的侧视图中使其逆时针旋转)，能够将上托盘盖20关闭。

然后，在关闭了上托盘盖20的状态下，操作者将锁定结构72、72所具有的环部722、722分别与钩部751、751进行锁止，从而将上托盘盖20锁定在托盘底座10上。此时，基板2是被夹在下托盘盖30侧的缓冲物35与上托盘盖20侧的缓冲物25之间的状态，使托盘底座10进行转动时，基板2的位置不会发生移位。

然后，操作者对旋转锁定机构516、516的操作杆516a、516a进行操作，将嵌合片516b、516b从框架部件32、32的滑槽中拉出，从而解除托盘底座10的锁定。接着，操作者握住操作框架40(例如，位于前侧的2个框架部件42、42)将其向上拉向身前，从而能够使托盘底座10相对于支承台50进行转动。另外，托盘底座10具备设置成向外突出的限制用突起14，限制用突起14与支承台50侧的突起接收部517抵接，因此在图8的侧视图中的逆时针旋转被限制。

图9和图10是托盘底座10的转动状态侧视图。图9是托盘底座10处于倾斜姿势的状态，图10是托盘底座10处于垂直姿势的状态。操作者将操作框架40的握持部分按框架部件42、框架部件41、框架部件43的顺序更换，从而可以容易地使托盘底座10进行转动。另外，托盘底座10具备设置成向外突出的限制用突起14，在翻转后的状态下，限制用突起14与支承台50侧突起接收部518抵接，从而能够在基板2的反面侧向上的状态下限制托盘底座10的转动。

图11是托盘底座10翻转后的状态下的基板翻转装置1的立体图，图12是其俯视图，图13是其侧视图。操作者在托盘底座10已翻转的状态下对旋转锁定机构516、516的操作杆516a、516a进行操作，通过将嵌合片516b、516b嵌入框架部件22、22的滑槽中，进行托盘底座10的锁定。由此，能够维持基板2的反面侧向上的状态。

然后，操作者通过将锁定结构75的环部752从钩部751上取下，解除托盘底座10与下托盘盖30之间的锁定。托盘底座10与下托盘盖30之间的锁定被解除后，转动结构76的杆部761从收纳部762中伸出，使下托盘盖30以合页74的轴部为转动中心向远离托盘底座10的前侧框架部件11的方向转动。

图14是下托盘盖30打开后的状态下的基板翻转装置1的立体图。转动结构76对下托盘盖30施力，使下托盘盖30相对于托盘底座10的张角达到60度左右。然后，操作者能够从基板2的反面侧进行压痕状态确认等操作。

如上所述，本实施方式中，能够在使用缓冲物25、35夹住基板2的正反面的状态下进行翻转，因此能够降低在翻转时基板2发生破裂或连接在基板2上的电子部件发生破损的可能性。

还有，在基板2正面侧向上的状态下，通过锁定结构72的解除操作，能够将上托盘盖20从前向后打开，在基板2反面侧向上的状态(基板2已翻转的状态)下，通过锁定结构75的解除操作，能够将下托盘盖30从前向后打开，因此，即使是基板2已翻转的情况下，操作者的操作位置也不用改变，始终可以在基板翻转装置1的前侧位置进行操作。

由此，本实施方式所涉及的基板翻转装置1用于翻转基板2的正反，具备框架部10、第一保持部20、第二保持部30和支承部50。所述基板2作为翻转对象，所述框架部10是矩形框架状的，并围绕所述基板2的周缘。所述第一保持部20与所述框架部10的一条边以可转动的方式连结，所述第一保持部20从所述基板2的正面侧保持住所述基板2。所述第二保持部30与所述框架部10上所述一条边对面的另一条边以可转动的方式连结，所述第二保持部30从所述基板2的反面侧保持住所述基板2。所述支承部50对所述框架部10进行支承，使所述框架部10在所述第一保持部20和所述第二保持部30保持住所述基板2的状态下可以绕水平方向的轴进行转动。

本实施方式所涉及的基板翻转装置1也可以是：所述第一保持部20以相对于所述框架部10为关闭的状态从所述基板2的正面侧保持所述基板2，所述第二保持部30以相对于所述框架部10为关闭的状态从所述基板2的反面侧保持所述基板2，所述基板翻转装置1还具备第一维持结构72和第二维持结构75，所述第一维持结构72用于维持所述第一保持部20相对于所述框架部10的关闭状态，所述第二维持结构75用于维持所述第二保持部30相对于所述框架部10的关闭状态。

本实施方式的基板翻转装置1也可以进一步具备第一转动结构73和第二转动结构76，在所述第一维持结构72进行的维持被解除后，所述第一转动结构73使所述第一保持部20向远离所述另一条边的方向转动，在所述第二维持结构75进行的维持被解除后，所述第二转动结构76使所述第二保持部30向远离所述一条边的方向转动。

本实施方式所涉及的基板翻转装置1也可以是：所述第一保持部20和所述第二保持部30具备保持板24和缓冲材料35，所述保持板24用于保持所述基板2，所述缓冲材料35配置在所述保持板24与所述基板2之间。

本实施方式所涉及的基板翻转装置1也可以进一步具备限制部517、518，所述限制部517、518在所述框架部10从所述基板2的正面侧向上的状态开始转动到所述基板2的正面侧向下后对所述框架部10的转动进行限制，以及/或者在所述框架部10从所述基板2的正面侧向下的状态开始转动到所述基板2的正面侧向上后对所述框架部10的转动进行限制。

本实施方式所涉及的基板翻转装置1也可以进一步具备第三维持结构516，所述第三维持结构516用于维持所述框架部10的转动由于所述限制部517、518而受限的状态。

本实施方式所涉及的基板翻转装置1也可以在所述第二保持部30的下部具备操作框架40，所述操作框架40由若干个框架部件41～47组装而成。

根据上述的结构，能够在通过第一保持部20和第二保持部30夹住基板2的正反面的状态下进行翻转，因此能够降低在翻转时基板2发生破裂或连接在基板2上的电子部件发生破损的可能性。

还有，根据上述的结构，能够从同一方向进行基板2相对于基板翻转装置1的放置和取出，因此在翻转后无需绕到装置的相反侧(后侧)，能够抑制由于基板2翻转导致的操作效率下降。

本次公开的实施方式在所有方面都只是例示，不应被看作是限制性的。本发明的范围不限于上述的说明，而是由权利要求书来确定，并应理解为包括与专利权利要求均等的范围以及范围内的所有变更。

〔附图标记说明〕

1 基板翻转装置

2 基板

10 托盘底座(框架部)

11、12 框架部件

13 轴

14 限制用突起

20 上托盘盖(第一保持部)

21、22 框架部件

23 加固框架

24 缓冲基座(保持板)

25 缓冲物(缓冲材料)

30 下托盘盖(第二保持部)

31、32 框架部件

33 加固框架

34 缓冲基座(保持板)

35 缓冲物(缓冲材料)

40 操作框架

50 支承台(支承部)

71、74 合页

72、75 锁定结构(第一、第二维持结构)

73、76 转动结构(第一、第二转动结构)

51 侧部框架

515 轴承

516 旋转锁定机构(第三维持结构)

517、518 突起接收部(限制部)

Claims (7)

1.一种基板翻转装置，用于翻转基板的正反，其特征在于具备：

框架部，所述框架部是矩形框架状的，并围绕作为翻转对象的基板的周缘；

第一保持部，所述第一保持部与所述框架部的一条边以可转动的方式连结，并从所述基板的正面侧保持住所述基板；

第二保持部，所述第二保持部与所述框架部上所述一条边对面的另一条边以可转动的方式连结，并从所述基板的反面侧保持住所述基板；以及

支承部，所述支承部对所述框架部进行支承，使所述框架部在所述第一保持部和所述第二保持部保持住所述基板的状态下可以绕水平方向的轴进行转动。

2.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述第一保持部以相对于所述框架部为关闭的状态从所述基板的正面侧保持所述基板，

所述第二保持部以相对于所述框架部为关闭的状态从所述基板的反面侧保持所述基板，

所述基板翻转装置还具备第一维持结构和第二维持结构，

所述第一维持结构用于维持所述第一保持部相对于所述框架部的关闭状态，

所述第二维持结构用于维持所述第二保持部相对于所述框架部的关闭状态。

3.根据权利要求2所述的基板翻转装置，其特征在于，

进一步具备第一转动结构和第二转动结构，

在所述第一维持结构进行的维持被解除后，所述第一转动结构使所述第一保持部向远离所述另一条边的方向转动，

在所述第二维持结构进行的维持被解除后，所述第二转动结构使所述第二保持部向远离所述一条边的方向转动。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述第一保持部和所述第二保持部具备保持板和缓冲材料，

所述保持板用于保持所述基板，

所述缓冲材料配置在所述保持板与所述基板之间。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板翻转装置，其特征在于，

进一步具备限制部，

在所述框架部从所述基板的正面侧向上的状态开始转动到所述基板的正面侧向下后，所述限制部对所述框架部的转动进行限制，以及/或者在所述框架部从所述基板的正面侧向下的状态开始转动到所述基板的正面侧向上后，所述限制部对所述框架部的转动进行限制。

6.根据权利要求5所述的基板翻转装置，其特征在于，

进一步具备第三维持结构，所述第三维持结构用于维持所述框架部的转动由于所述限制部而受限的状态。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板翻转装置，其特征在于，

在所述第二保持部的下部具备操作框架，所述操作框架由若干个框架部件组装而成。