CN109414657A - 细胞捕捉用过滤器、细胞捕捉用过滤器的制造方法、以及细胞捕捉用过滤器的劣化判定方法 - Google Patents

细胞捕捉用过滤器、细胞捕捉用过滤器的制造方法、以及细胞捕捉用过滤器的劣化判定方法 Download PDF

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Abstract

本发明更早地判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的经年劣化。细胞捕捉用过滤器具备金属制多孔膜，金属制多孔膜具有贯通相互对置的主面的多个贯通孔，金属制多孔膜由从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属形成，在金属制多孔膜的任一主面的一部分，附着有以铜为主成分的金属。通过确认以铜为主成分的金属的状态变化，从而能够更早地判定金属制多孔膜的经年劣化。

Description

细胞捕捉用过滤器、细胞捕捉用过滤器的制造方法、以及细胞 捕捉用过滤器的劣化判定方法
技术领域
本发明涉及能够判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的劣化的细胞捕捉用过滤器及其制造方法、以及判定细胞捕捉用过滤器的劣化的方法。
背景技术
近年来，作为捕捉流体中的细胞的细胞捕捉用过滤器，已知有具备金属制多孔膜的过滤器(例如，参照专利文献1。)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特表2010-520446号公报
发明内容
发明要解决的课题
这样的过滤器具备的金属制多孔膜的经年而劣化发展，根据情况，有可能金属制多孔膜的机械强度下降而损伤，在这样的情况下，变得难以发挥作为过滤器的功能。此外，在变得能够在外观上判别金属制多孔膜的经年劣化时，已成为劣化相当严重的状态。
因此，本发明的目的在于，解决上述以往的课题，提供一种能够更早地判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的经年劣化的细胞捕捉用过滤器及其制造方法、以及细胞捕捉用过滤器的劣化判定方法。
用于解决课题的技术方案
本发明的一个方式的细胞捕捉用过滤器是如下的过滤器，即，具备金属制多孔膜，该金属制多孔膜具有贯通相互对置的主面的多个贯通孔，所述金属制多孔膜由从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属形成，在所述金属制多孔膜的任一所述主面的一部分附着有以铜为主成分的金属。
本发明的一个方式的细胞捕捉用过滤器的制造方法是具备具有多个贯通孔的金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的制造方法，包括：在基板的表面形成以铜为主成分的金属膜的工序；在所述金属膜的表面形成抗蚀剂膜的工序；将所述抗蚀剂膜曝光，形成具有使所述金属膜部分地露出的多个槽部的抗蚀剂像的工序；将所述金属膜作为供电电极而进行镀敷处理，使从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属析出到所述槽部内而形成金属制多孔膜的工序；除去所述抗蚀剂像的工序；以及除去所述基板以及所述金属膜的工序，在除去所述基板以及所述金属膜的工序中，使构成所述金属膜的以铜为主成分的金属残留在所述金属制多孔膜的表面。
本发明的一个方式的细胞捕捉用过滤器的劣化判定方法是判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的劣化程度的劣化判定方法，包括：准备细胞捕捉用过滤器的工序，所述细胞捕捉用过滤器使以铜为主成分的金属附着在由从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属形成的所述金属制多孔膜的任一主面的一部分；基于附着于所述金属制多孔膜的以铜为主成分的金属的状态变化，判定所述金属制多孔膜的劣化程度的工序。
发明效果
根据本发明，能够提供一种能更早地判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的经年劣化的细胞捕捉用过滤器及其制造方法、以及细胞捕捉用过滤器的劣化判定方法。
附图说明
图1是本发明的一个实施方式涉及的细胞捕捉用过滤器的概略结构图。
图2是图1的过滤器中的金属制多孔膜的部分放大图。
图3是从第二主面侧观察了图1的过滤器的金属制多孔膜的部分放大图。
图4是本发明的一个实施方式涉及的过滤器的劣化判定方法的流程图。
图5是本发明的一个实施方式涉及的过滤器的制造方法的流程图。
图6是说明图5的过滤器的制造方法中的各工序的示意剖视图。
具体实施方式
本发明的一个方式的细胞捕捉用过滤器是如下的过滤器，即，具备金属制多孔膜，该金属制多孔膜具有贯通相互对置的主面的多个贯通孔，所述金属制多孔膜由从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属形成，在所述金属制多孔膜的任一所述主面的一部分附着有以铜为主成分的金属。
根据这样的结构，通过确认以铜为主成分的金属的状态变化，从而能够更早地判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的经年劣化。
此外，也可以使得所述金属制多孔膜具有配置有所述多个贯通孔的中央侧区域和配置为包围所述中央侧区域的周缘区域，所述金属附着在所述周缘区域。
通过这样的结构，能够在不对担负作为细胞捕捉用过滤器的功能的中央侧区域造成影响的情况下使用配置在周缘区域的金属来判定细胞捕捉用过滤器的经年劣化。
本发明的一个方式的细胞捕捉用过滤器组是具备金属制多孔膜的同一批次的细胞捕捉用过滤器组，所述金属制多孔膜具有贯通相互对置的主面的多个贯通孔，可以使得所述细胞捕捉用过滤器组至少包含一个上述任一方式的所述细胞捕捉用过滤器。
同一批次的细胞捕捉用过滤器是在同一时期制造的，因此可推定经年劣化也相同地发展。因而，通过使同一批次内的细胞捕捉用过滤器组中包含附着了上述金属的至少一个细胞捕捉用过滤器，从而能够进行同一批次的细胞捕捉用过滤器组的经年劣化的判定。
本发明的一个方式的细胞捕捉用过滤器的制造方法是具备具有多个贯通孔的金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的制造方法，包括：在基板的表面形成以铜为主成分的金属膜的工序；在所述金属膜的表面形成抗蚀剂膜的工序；将所述抗蚀剂膜曝光，形成具有使所述金属膜部分地露出的多个槽部的抗蚀剂像的工序；将所述金属膜作为供电电极而进行镀敷处理，使从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属在所述槽部内析出而形成金属制多孔膜的工序；除去所述抗蚀剂像的工序；以及除去所述基板以及所述金属膜的工序，在除去所述基板以及所述金属膜的工序中，使构成所述金属膜的以铜为主成分的金属残留在所述金属制多孔膜的表面。
根据这样的结构，在具备金属制多孔膜的过滤器的制造过程中，不是将在形成金属制多孔膜的镀敷处理时作为供电电极来利用的金属膜全部除去，而是使得残留一部分。由此，能够在金属膜的除去工序中进行以铜为主成分的金属的配置，而无需追加用于在金属制多孔膜的表面配置以铜为主成分的金属的工序，其中，在捕捉细胞的环境下，铜较之于以作为金属制多孔膜的主材料的镍为主成分的金属、或从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金，状态变化容易发展得快。因而，能够提供一种能够更早地判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的经年劣化的细胞捕捉用过滤器的制造方法。
本发明的一个方式的细胞捕捉用过滤器的劣化判定方法是判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的劣化程度的劣化判定方法，包括：准备细胞捕捉用过滤器的工序，所述细胞捕捉用过滤器使以铜为主成分的金属附着在由从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属形成的所述金属制多孔膜的任一主面的一部分；以及基于附着于所述金属制多孔膜的以铜为主成分的金属的状态变化，判定所述金属制多孔膜的劣化程度的工序。
根据这样的结构，能够通过确认以铜为主成分的金属的状态变化，从而更早地判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的经年劣化。
以下，参照附图对本发明涉及的实施方式进行说明。此外，在各图中，为了容易说明，夸大地示出了各要素。
(实施方式1)
(过滤器的整体结构)
图1示出本发明涉及的实施方式1的细胞捕捉用过滤器1(以后，称为过滤器1。)的概略图。图2示出过滤器1的部分放大图。图2中的X、Y方向分别是沿着过滤器1的表面的方向，且是相互正交的方向，Z方向是过滤器1的厚度方向，且是与X方向以及Y方向正交的方向。
如图1所示，过滤器1具备金属制多孔膜10，金属制多孔膜10具有在厚度方向上贯通的多个贯通孔11。金属制多孔膜10具有配置有多个贯通孔11的中央侧区域R1和配置为包围中央侧区域R1的周缘区域R2。在本实施方式1中，中央侧区域R1是圆形的区域，周缘区域R2是圆环状的区域，在周缘区域R2未形成贯通孔11。此外，在过滤器1中，也可以具备夹持金属制多孔膜10的周缘区域R2那样的框体，使得提高过滤器1的操控性。
金属制多孔膜10通过使包含过滤对象物(或者捕捉对象物)的流体在贯通孔11中通过，从而从流体中分离过滤对象物。在本说明书中，所谓“过滤对象物”，是指由金属制多孔膜10过滤的对象物。作为过滤对象物的例子，包括来源于生物的物质、PM2.5等。所谓“来源于生物的物质”，是指细胞(真核生物)、细菌(真细菌)、病毒等来源于生物的物质。作为细胞(真核生物)，例如，包括人工多能干细胞(iPS细胞)、ES细胞、干细胞、间充质干细胞、单核细胞、单细胞、细胞团块、浮游细胞、黏附细胞、神经细胞、白血球、再生医疗用细胞、自体细胞、癌细胞、血液循环癌细胞(CTC)、HL-60、HELA、菌类。作为细菌(真细菌)，例如，包括大肠杆菌、结核菌。
如图1所示，金属制多孔膜10是圆形的金属网。此外，如图2所示，金属制多孔膜10是如下的构造体，即，具有相互对置的第一主面PS1和第二主面PS2，并具有贯通两个主面的多个贯通孔11。多个贯通孔11在金属制多孔膜10的中央侧区域R1中周期性地配置在第一主面PS1以及第二主面PS2上。金属制多孔膜10以镍为主材料而形成。关于金属制多孔膜10的尺寸，例如，直径为6mm，厚度为1.2μm。
如图2所示，金属制多孔膜10是呈矩阵状以固定的间隔配置有多个贯通孔11的板状构造体(格子状构造体)。从金属制多孔膜10的第一主面PS1侧观察，即，在Z方向上观察，多个贯通孔11具有正方形的形状。多个贯通孔11在与正方形的各边平行的两个排列方向、即图2中的X方向和Y方向上以相等的间隔进行设置。另外，贯通孔11并不限定于正方形，例如，也可以是长方形、圆、椭圆等。此外，孔的排列也不限定于正方格子排列，例如，如果是方形排列，则可以是两个排列方向上的间隔不相等的长方形排列，也可以是三角格子排列、准周期排列等。
贯通孔11的形状、尺寸可根据过滤的过滤对象物的大小、形状而适当地进行设计。在本实施方式1中，例如，从金属制多孔膜10的第一主面PS1侧观察，即，从Z方向观察，贯通孔11为正方形，设计成纵向为0.1μm以上且500μm以下，横向为0.1μm以上且500μm以下。贯通孔11间的间隔例如大于贯通孔11的一倍且为十倍以下，更优选为贯通孔11的三倍以下。或者，对于开口率而言优选为10％以上。
在此，将从金属制多孔膜10的第二主面PS2侧观察的中央侧区域R1与周缘区域R2的边界附近的部分放大图示于图3。
如图3所示，在金属制多孔膜10的第二主面PS2上的周缘区域R2配置有指示器20。形成指示器20的金属只要是在捕捉细胞的环境下状态变化比金属制多孔膜10的主材料发展得快的金属即可。在本实施方式1中，作为金属制多孔膜10的主材料而使用镍，作为指示器20的材料而使用铜。若金属制多孔膜10的经年劣化发展，则与作为金属制多孔膜10的主材料的镍相比，形成指示器20的铜的状态变化发展得快。
关于镍，致密的氧化物层对以镍为主成分的金属层的内部进行保护，因此氧化不易发展至金属层内部，可保持氧化物层薄的状态。因此，还可保持金属层的金属光泽，不易发生伴随着经时变化的金属层的变色。另一方面，关于铜，生成在铜表面的氧化物(CuO、Cu2O)是多孔的，因此氧化容易发展至以铜为主成分的金属层的内部。因此，伴随着经时变化，氧化物层的厚度变大，在金属层强烈地出现氧化物的色调。也就是说，与镍相比，铜容易发生伴随着经时变化的变色。从这样的观点出发，优选金属制多孔膜10由以镍为主成分的金属形成，指示器20由以铜为主成分的金属形成。
所谓以镍为主成分的金属，是金属包含的一种或多种成分中的镍的成分比例(质量比)最高的金属。所谓以铜为主成分的金属，是金属包含的一种或多种成分中的铜的成分比例(质量比)最高的金属。此外，在本实施方式1中，以金属制多孔膜10由以镍为主成分的金属形成的情况为例。也可以代替这样的情况而是如下的情况，即，金属制多孔膜由选自由金、铂以及钯构成的组的一种或多种元素与镍的合金形成。作为这样的合金，例如，可以使用80wt％的钯和20wt％的镍的合金、95wt％的金和5wt％的镍的合金、或90wt％的铂和10wt％的镍的合金。这些金属的成分比例例如可以使用ICP-AES(电感耦合等离子体发光光谱分析装置)进行测定。
指示器20只要配置在金属制多孔膜10的第一主面PS1以及第二主面PS2中的任一主面的一部分即可。指示器20在任一主面中可以配置在中央侧区域R1，也可以配置在中央侧区域R1以及周缘区域R2双方。此外，在金属制多孔膜10中，也可以在多处配置有指示器20。在本实施方式1中，在金属制多孔膜10的第二主面PS2上的周缘区域R2，仅配置有一个指示器20。
指示器20只要是能够确认指示器20自身的经年的状态变化的尺寸即可。例如，在通过目视来确认状态变化那样的情况下，指示器20优选为能够进行视觉确认的尺寸。另一方面，在基于X射线分析等的利用了分析装置的分析结果来确认指示器20的氧化状态那样的情况下，即使指示器20不能目视，只要是能够通过分析装置进行分析的尺寸即可。在本实施方式1中，从与第二主面PS2正交的方向观察，指示器20形成为直径为3μm左右的尺寸。为了使指示器20为能够确认状态的大小，指示器至少配置在周缘区域R2为佳。
(过滤器的劣化判定方法)
接着，对在本实施方式1的细胞捕捉用过滤器1中判定金属制多孔膜10的经年劣化的方法的一个例子进行说明。将过滤器1的劣化判定方法的流程图示于图4。
首先，在步骤S11中，准备过滤器1，过滤器1具备配置有指示器20的金属制多孔膜10。可以准备如下的过滤器1，该过滤器1通过使在捕捉细胞的环境下状态变化比金属制多孔膜10的主材料发展得快的金属附着在金属制多孔膜10，从而配置有指示器20。此外，也可以通过利用后述的制造方法来制造配置有指示器20的过滤器1，从而准备过滤器1。
接着，在步骤S12中，对指示器20的状态变化进行分析，并基于分析结果来判定金属制多孔膜10的劣化程度。例如，使用X射线分析装置，作为指示器20的状态变化而进行氧化状态的分析。将分析结果与氧化状态的阈值进行比较，判定金属制多孔膜10的劣化程度。可以仅使用一个阈值来判定劣化程度，也可以使用多个阈值阶段性地判定劣化程度(劣化的发展程度)。
在判定为金属制多孔膜10发生了经年劣化的情况下，将当前使用的过滤器1更换为新的过滤器1。
另外，虽然在上述的劣化判定方法中，以通过使用了X射线的分析对指示器20的状态变化(例如，氧化状态)进行分析的情况为例，但是也可以不使用X射线而进行状态变化的确认。例如，也可以通过目视来确认指示器20的状态变化(例如，通过目视来确认由氧化造成的变色的程度)，例如，可以通过确认指示器20的由氧化造成的体积变化，从而进行状态变化的确认。若指示器20的氧化发展，则存在指示器20的体积增加的倾向。例如，也可以通过光的散射来确认指示器20的状态变化。若指示器20的氧化发展，则指示器20的表面失去平滑性，在表面形成凹凸，由此，存在光的高阶的散射变强的倾向。
(过滤器的制造方法)
接着，对本实施方式1的细胞捕捉用过滤器1的制造方法的一个例子进行说明。将过滤器1的制造方法的流程图示于图5，将过滤器1的制造方法中的各个制造过程的部分剖视图(中央侧区域R1与周缘区域R2的边界附近的部分剖视图)示于图6的(A)～图6的(F)。
首先，在图5的步骤S21(形成铜薄膜)中，进行供电膜的形成。如图6的(A)所示，在硅等的基板31上形成由第一金属构成的金属膜。第一金属是在捕捉细胞的环境下状态变化比成为金属制多孔膜10的主材料发展得快的金属，例如，使用以铜为主成分的金属，在基材31上形成铜薄膜32。铜薄膜32例如能够通过蒸镀或溅射来形成。与通过蒸镀来形成的情况相比，通过溅射来形成能够使表面膜质更良好。该铜薄膜32在后述的镀敷处理时被用作供电电极。
接着，如图6的(B)所示，在铜薄膜32上形成抗蚀剂膜33(步骤S22：形成抗蚀剂膜)。具体地，在铜薄膜32上，例如，通过旋涂进行抗蚀剂的涂敷，并进行干燥处理，由此形成抗蚀剂膜33。抗蚀剂膜33例如形成为2μm左右的厚度。
接着，如图6的(C)所示，对抗蚀剂膜33进行曝光以及显影处理，形成具有从抗蚀剂膜33除去了相当于金属制多孔膜10的部分而成的槽部34的抗蚀剂像35(步骤S23：曝光、显影(形成抗蚀剂像))。在槽部34的底部，成为露出(部分地露出)了铜薄膜32的状态。
接着，如图6的(D)所示，在抗蚀剂像35中，使以镍为主成分的第二金属析出到槽部34内，在槽部34内形成金属制多孔膜10(步骤S24：镀敷处理)。金属制多孔膜10例如通过将铜薄膜32作为供电电极来进行电解镀敷法而形成。
接着，如图6的(E)所示，进行向溶剂(例如，丙酮等)的浸渍，溶解抗蚀剂像35，使其从铜薄膜32剥离(步骤S25：除去抗蚀剂像)。
然后，如图6的(F)所示，进行铜薄膜32以及基板31的除去(步骤S26：除去基板、铜薄膜)。具体地，使用蚀刻液，通过蚀刻将铜薄膜32除去，由此，从金属制多孔膜10剥离基板31。此时，进行对铜薄膜32的蚀刻，使得不是将铜薄膜32全部除去，而是使铜薄膜32的一部分以附着在金属制多孔膜10的主面的状态而残留。像这样，金属制多孔膜10的主面的一部分残留的铜薄膜32的一部分成为指示器20。指示器20附着在金属制多孔膜10的第二主面PS2中的周缘区域R2。通过对铜薄膜32的厚度、蚀刻液的组成、以及蚀刻时间的参数中的一个或多个进行调整，从而能够实现使铜薄膜32的一部分残留那样的蚀刻。
通过这样的过程，制作在金属制多孔膜10的第二主面PS2配置了指示器20的过滤器1。另外，使用图5以及图6的(A)至(F)说明的制造方法是一个例子，也可以采用其它的制造方法。例如，在步骤S26中，也可以设置在完全除去了铜薄膜32之后在金属制多孔膜的主面形成指示器20的步骤。
根据本实施方式1，在过滤器1中，在金属制多孔膜10的任一主面，附着有由在捕捉细胞的环境下比金属制多孔膜10的主材料更容易产生状态变化的金属形成的指示器20。由此，通过确认指示器20的状态，从而能够判定金属制多孔膜10的经年劣化。因而，能够更早地判定具备金属制多孔膜10的过滤器1的经年劣化。
此外，指示器20不是配置在配置有多个贯通孔11的中央侧区域R1，而是配置在周缘区域R2。通过这样的结构，能够在不在担负作为过滤器的功能的中央侧区域R1中对过滤处理等造成影响的情况下使用配置在周缘区域R2的指示器20判定过滤器1的经年劣化。
此外，因为同一批次的过滤器1是在同一时期制造的，所以可推定经年劣化也相同地发展。例如，通过预先使同一批次中的过滤器组中包含配置了指示器20的至少一个过滤器1，从而能够进行同一批次的过滤器组的经年劣化的判定。
此外，在过滤器1的制造过程中，在将在形成金属制多孔膜10的镀敷处理时作为供电电极来利用的铜薄膜32从金属制多孔膜10除去的工序中，并不是全部除去，而是使得残留一部分，并将其作为指示器20。由此，能够在铜薄膜32的除去工序中进行铜的配置、即指示器20的配置，而无需追加用于使状态变化比作为金属制多孔膜10的主材料的镍更容易发展的铜配置在金属制多孔膜10的主面的工序。因而，能够作为更高效的制造方法而提供能够更早地判定具备金属制多孔膜10的过滤器1的经年劣化的过滤器的制造方法。
以下，对本发明的细胞捕捉用过滤器的制造方法的实施例进行说明。
(实施例)
在本实施例中，作为第一金属，使用以铜为主成分的金属，作为第二金属，使用镍，制作了在以第二金属为主材料的金属制多孔膜10的任一主面的一部分附着了由第一金属构成的指示器20的过滤器1。具体地，通过实施图5的步骤S21至S26的步骤，制作了过滤器1。作为第一金属，使用了铜为99wt％的金属，作为第二金属，使用了镍为99wt％的金属。这些金属的成分比例是使用ICP-AES(电感耦合等离子体发光光谱分析装置)测定的值。
首先，在步骤S21中，使用溅射装置在硅制的基板的上表面形成铜薄膜。作为溅射气体而使用氩气，以溅射装置中的真空度5.0×10-4Pa、施加功率DC500W形成了铜薄膜。溅射时间设为120分钟，形成了膜厚为2μm的铜薄膜。
接着，在步骤22中，使用旋涂机在铜薄膜上形成了给定的膜厚的抗蚀剂膜。具体地，在铜薄膜上涂敷了抗蚀剂之后，在氮环境下以130℃使溶剂挥发之后进行冷却，由此形成了抗蚀剂膜。作为抗蚀剂，使用酚醛清漆类树脂和有机溶剂，以旋涂机的转速1130rpm形成了2μm的膜厚的抗蚀剂膜。
接着，在步骤S23中，对抗蚀剂膜进行曝光以及显影处理，形成了在抗蚀剂膜形成了与金属制多孔膜对应的槽部的抗蚀剂像。通过对抗蚀剂膜照射0.25秒钟的包含365nm的波长的能量密度为2500J/m2的光线，从而进行了曝光。然后，通过使抗蚀剂膜中的感光部分与碱性溶液接触，从而除去感曝光部分而形成了槽部。
接着，在步骤S24中，将之前形成的铜薄膜作为供电电极，使用电解镀敷法，在抗蚀剂像的槽部内形成了由以镍材料为主材料的镀敷膜构成的金属制多孔膜。首先，作为预处理，使形成了铜薄膜以及抗蚀剂像的基板浸渍于稀硫酸中60秒钟，进行了在抗蚀剂像的槽部的底部露出的铜薄膜的表面的活性化。然后，在氨基磺酸镍镀敷液(液温为55℃，pH为4.0)中一边使基板摇动一边将铜薄膜作为供电电极而进行了电解镀敷处理。镀敷速度为0.5μm/min。
接着，在步骤S25中，进行向溶剂的浸渍，溶解抗蚀剂像，使其从铜薄膜剥离。作为溶剂而使用丙酮溶液，通过在丙酮溶液中施加15分钟超声波，从而促进了抗蚀剂像的溶解、剥离。
接着，在步骤S26中，进行了铜薄膜以及基板的除去。具体地，作为蚀刻液，使用以醋酸：双氧水：纯水＝10：10：20的体积比进行了混合的液体，以24小时的蚀刻时间进行了对铜薄膜的蚀刻。由此，铜薄膜以及基板被除去，完成了实施例涉及的具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器。
(比较例)
对比较例涉及的细胞捕捉用过滤器的制造方法进行说明。
在比较例中，上述的实施例中的步骤S22以及步骤S26不同，因此仅对不同点进行说明。
首先，使用溅射装置在硅制的基板的上表面形成了铜薄膜。作为溅射气体，使用氩气，以溅射装置中的真空度5.0×10-4Pa、施加功率DC500W形成了铜薄膜。溅射时间比实施例短，设为30分钟，形成了比实施例薄的膜厚为0.5μm的铜薄膜。
然后，在进行了抗蚀剂膜的形成、曝光及显影处理、镀敷处理、以及抗蚀剂像的除去之后，进行了铜薄膜以及基板的除去。具体地，作为蚀刻液，使用以醋酸：双氧水：纯水＝1∶1∶20的体积比进行了混合的液体，以48小时的蚀刻时间进行了对铜薄膜的蚀刻。由此，铜薄膜以及基板被除去，完成了比较例涉及的具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器。
对实施例的细胞捕捉用过滤器的金属制多孔膜进行确认的结果，确认了在形成有铜薄膜的一侧的主面作为指示器残存有铜薄膜的一部分。另一方面，在比较例的细胞捕捉用过滤器的金属制多孔膜中，未确认到相当于指示器的那样的铜薄膜的残存。此外，为了使铜薄膜的一部分作为指示器而残存，例如，优选将铜薄膜的膜厚增厚，并通过调整了组成的蚀刻液进行短时间的蚀刻。
另外，通过将上述各种各样的实施方式中的任意的实施方式适当地进行组合，从而能够使得达到各自具有的效果。
产业上的可利用性
在本发明中，使在捕捉细胞的环境下状态变化比形成金属制多孔膜的材料更容易发展的金属附着于细胞捕捉用过滤器具备的金属制多孔膜的任一主面的一部分，并确认金属的状态变化，由此能够判定金属制多孔膜的经年劣化。因而，向利用这样的细胞捕捉用过滤器的各种技术领域的应用是有用的，例如，化学分析、药物开发/制药、临床检查、公共卫生管理、环境计测等领域。
附图标记说明
1：过滤器；
10：金属制多孔膜；
11：贯通孔；
20：指示器；
PS1：第一主面；
PS2：第二主面；
R1：中央侧区域；
R2：周缘区域。

Claims (5)

1.一种细胞捕捉用过滤器，其中，
具备金属制多孔膜，该金属制多孔膜具有贯通相互对置的主面的多个贯通孔，
所述金属制多孔膜由从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属形成，
在所述金属制多孔膜的任一所述主面的一部分附着有以铜为主成分的金属。
2.根据权利要求1所述的细胞捕捉用过滤器，其中，
所述金属制多孔膜具有配置有所述多个贯通孔的中央侧区域和配置为包围所述中央侧区域的周缘区域，
所述金属附着在所述周缘区域。
3.一种细胞捕捉用过滤器组，是具备金属制多孔膜的同一批次的细胞捕捉用过滤器组，所述金属制多孔膜具有贯通相互对置的主面的多个贯通孔，其中，
所述细胞捕捉用过滤器组至少包含一个权利要求1或2所述的所述细胞捕捉用过滤器。
4.一种细胞捕捉用过滤器的制造方法，所述细胞捕捉用过滤器具备具有多个贯通孔的金属制多孔膜，其中，
所述细胞捕捉用过滤器的制造方法包括：
在基板的表面形成以铜为主成分的金属膜的工序；
在所述金属膜的表面形成抗蚀剂膜的工序；
将所述抗蚀剂膜曝光，形成具有使所述金属膜部分地露出的多个槽部的抗蚀剂像的工序；
将所述金属膜作为供电电极而进行镀敷处理，使从金、铂、钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属析出到所述槽内而形成金属制多孔膜的工序；
除去所述抗蚀剂像的工序；以及
除去所述基板以及所述金属膜的工序，
在除去所述基板以及所述金属膜的工序中，使构成所述金属膜的以铜为主成分的金属残留在所述金属制多孔膜的表面。
5.一种细胞捕捉用过滤器的劣化判定方法，判定具备金属制多孔膜的细胞捕捉用过滤器的劣化程度，其中，
所述细胞捕捉用过滤器的劣化判定方法包括：
准备细胞捕捉用过滤器的工序，所述细胞捕捉用过滤器使以铜为主成分的金属附着在由从金、铂以及钯选择的元素与镍的合金、或以镍为主成分的金属形成的所述金属制多孔膜的任一主面的一部分；以及
基于附着于所述金属制多孔膜的以铜为主成分的金属的状态变化，判定所述金属制多孔膜的劣化程度的工序。
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