CN109375331A - 一种多透镜阵列光轴垂直固化装置 - Google Patents

一种多透镜阵列光轴垂直固化装置 Download PDF

Info

Publication number
CN109375331A
CN109375331A CN201811387924.6A CN201811387924A CN109375331A CN 109375331 A CN109375331 A CN 109375331A CN 201811387924 A CN201811387924 A CN 201811387924A CN 109375331 A CN109375331 A CN 109375331A
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens array
optical axis
vacuum
lens
cavity plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201811387924.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109375331B (zh
Inventor
汪洋
莫德锋
张珏颖
吴家荣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Original Assignee
Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Institute of Technical Physics of CAS filed Critical Shanghai Institute of Technical Physics of CAS
Priority to CN201811387924.6A priority Critical patent/CN109375331B/zh
Publication of CN109375331A publication Critical patent/CN109375331A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109375331B publication Critical patent/CN109375331B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/021—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses for more than one lens
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
    • B05C13/02—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles for particular articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/02—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by baking
    • B05D3/0254—After-treatment
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/003—Alignment of optical elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/02—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses
    • G02B7/025—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for lenses using glue

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)

Abstract

本发明公开了一种多透镜阵列光轴垂直固化装置，由上下真空腔体板组成真空密封腔体，在真空腔体表面加工真空吸附孔阵列，通过真空排气管路对真空腔体抽气，使多透镜阵列的光轴垂直于透镜安装面，温控模块对固定透镜的环氧胶加温固化。该结构的优点在于充分利用真空吸附使透镜光轴自动垂直于安装面，从而解决微小型透镜阵列装配过程中无法高精度光轴垂直加温固化的问题。该结构通过真空吸附和温控的方式使多透镜阵列光轴高精度垂直加温固化，提高透镜组固化效率，该固化装置不会造成样品表面污染和表面损伤，特别适合于微小型透镜阵列高精度光轴垂直加温固化工艺。

Description

一种多透镜阵列光轴垂直固化装置
技术领域
本发明公开了一种多透镜阵列光轴垂直固化装置，特别是一种用于微小型透镜阵列高精度光轴垂直加温固化工艺的装置。
背景技术
红外探测器组件是红外探测系统的核心元件，在航天和军事等领域有广泛的应用。随着红外探测系统对于减小光学系统体积和杂散光抑制的要求，探测器组件内集成多透镜阵列成为技术发展的必然趋势。组件内集成多透镜阵列可以降低背景辐射和抑制杂散光，并且可以大大减小光学系统的体积，这种光学结构设计在国外CrIs空间光学仪器上得到很好地应用。多透镜阵列组件内装配涉及到光轴的高精度垂直与固定要求，对于大质量透镜可利用自身的重力实现透镜与透镜安装面的高精度垂直固定，对于微小型透镜阵列此方法明显不适用。为了解决这个问题，通常的手段是采用底面平整的压块作用于多透镜阵列上表面，使透镜与安装面紧密接触，并保持垂直。压块的方法也存在局限性，实际透镜加工过程中无法保证所有的透镜高度一致，从而使多透镜与压块存在不完全接触，最后导致无法实现所有的透镜高度垂直于透镜安装面，还有一个问题是压块可能造成表面污染和损伤，从而影响多透镜阵列的光学性能。随着光学系统对多透镜阵列光轴垂直一致性要求的提高，该方法已经无法满足高精度装配要求。本发明针对这个问题，提出了一种多透镜阵列光轴垂直固化装置。
发明内容
本发明的解决的技术问题是：一是多透镜阵列与透镜安装面的高精度垂直固定，微小型透镜阵列采用压块固定的方式由于透镜阵列的不一致导致多透镜阵列无法高精度垂直固定，并存在表面污染和表面损伤的问题；二是固定透镜的环氧胶加温固化，红外探测器低温工作，因此采用低温DW-3胶固定透镜阵列，该胶存在固化时间长的问题，压块固定的方式一般需要先室温固化一天，然后进烘箱加温固化，导致透镜阵列固化工艺时间过长和加温固化过程中透镜阵列固定不稳定的问题。
本发明解决的技术问题所采用的技术方案是：在传统真空吸附夹具的基础上改进结构，将真空吸附小孔的大小和间距设计成适合多透镜组尺寸较小和中间存在孔洞的特点，同时采用蓝膜覆盖多透镜组放置后多余的真空吸附小孔，实现多透镜组的可靠固定，同时真空吸附使多透镜组阵列与透镜安装面高度垂直固定，并且避免压块固定方式的表面污染和损伤问题；真空吸附夹具采用高导热的材料进行加工，从而使控温模块的温度高效均匀的传输到多透镜组，当透镜阵列光轴自动垂直于透镜安装面时，就可以在透镜边缘点上低温DW3胶，然后置于控温模块上加热使透镜组阵列加温固化，从而解决多透镜组阵列光轴垂直固化工艺的精度和长时间固化带来的问题。
本发明的多透镜阵列光轴垂直固化装置包括上真空腔板1、下真空腔板2、温控模块3和真空排气管路4。上真空腔板1和下真空腔板2通过定位孔1-1和定位螺纹孔2-1螺接成真空密封腔体，上真空腔板1表面加工的真空排气孔阵列1-2对多透镜组5进行吸附,多透镜阵列5-1的上下表面压力差使多透镜阵列5-1吸附于透镜组支架5-2，实现多透镜阵列5-1光轴垂直于透镜组支架5-2内透镜安装面，下真空腔板2内部镂空为中空腔体6,并且与真空排气管路4的排气管4-1钎焊，实现整个腔体的真空抽气，其中流量调节阀4-2控制气体抽速，多透镜阵列5-1光轴垂直后进行环氧胶点胶，并置于温控模块3上，对光轴垂直后多透镜阵列5-1进行环氧胶加温固化，其中上真空腔板1和下真空腔板2采用紫铜或铝合金高导热材料，排气管4-1采用紫铜、铝或不锈钢材料。
本发明的有益效果是：该结构的多透镜阵列光轴垂直固化装置可以用于多透镜组阵列装配过程中的固化工艺，并且多透镜阵列固化装置真空吸附多透镜组不会造成透镜表面污染和表面损伤。真空吸附可以使透镜阵列高度垂直于透镜安装面，控温模块使多透镜阵列光轴高度垂直过程中加温固化，实现多透镜阵列快速固化和高精度光轴垂直。该结构的真空吸附夹具可应用于各种不同结构和大小的多透镜组的光轴垂直固化工艺，同时可应用于探测器模块和引线过渡基板等零件在装配过程中的固化工艺。
附图说明
图1是本发明的多透镜阵列光轴垂直固化装置整体结构图。
图2是本发明的真空吸附部分和透镜组剖面结构图。
图中：1.上真空腔板，2.下真空腔板，3.温控模块，4.真空排气管路，5.多透镜组，6.中空腔体，1-1.定位孔，1-2.真空吸附孔阵列，2-1.定位螺纹孔，4-1.排气管，4-2.流量调节阀，5-1.多透镜阵列，5-2.透镜组支架。
具体实施方式：
下面结合附图和实例对本发明进一步说明，从图1和图2中可以看出，本发明为一种多透镜阵列光轴垂直固化装置，特别适用于微小型透镜阵列高精度光轴垂直加温固化工艺，该结构真空吸附部分由上真空腔板1和下真空腔板2通过定位孔1-1和定位螺纹孔2-1的8个M3螺丝螺接成真空密封腔体，腔体材料采用高导热的铝合金材料，上真空腔板1厚度为2mm,下真空腔板2厚度为3mm，整个固化装置的尺寸为76mm(长)×76mm(宽)×42mm(高)。透镜组样品5样品放置在上真空腔板1的真空吸附孔1-2区域，真空吸附孔1-2为直径Φ4mm，间距7mm的9×9阵列，裸露的真空吸附孔1-2采用蓝膜覆盖，下真空腔体板2内部镂空为中空腔体4，并且与真空排气管路4的排气管4-1钎焊，实现整个腔体的真空抽气，其中流量调节阀4-2控制气体抽速，当透镜上下表面形成压差，多透镜阵列5-1自动垂直吸附于透镜支架5-2内透镜安装面，随后温控模块5对固定多透镜阵列5-1的低温DW-3胶进行加温固化，从而实现多透镜阵列5-1的高精度垂直加温固化。该固化装置结构简单，可以实现多透镜阵列的高精度自动垂直吸附，同时可进行固定透镜的DW-3胶加温固化，减少透镜阵列固化过程中振动带来的风险，不会对透镜组样品造成表面污染和表面损伤。

Claims (3)

1.一种多透镜阵列光轴垂直固化装置，包括上真空腔板(1)、下真空腔板(2)、温控模块(3)和真空排气管路(4)，其特征在于：
所述的高导热上真空腔板(1)和下真空腔板(2)通过定位孔(1-1)和定位螺纹孔(2-1)螺接成真空密封腔体，上真空腔板(1)表面加工的真空排气孔阵列(1-2)对多透镜组(5)进行吸附,多透镜阵列(5-1)的上下表面压力差使多透镜阵列(5-1)吸附于透镜组支架(5-2)，实现多透镜阵列(5-1)光轴垂直于透镜组支架(5-2)内透镜安装面，下真空腔板(2)内部镂空为中空腔体(6),并且与真空排气管路(4)的排气管(4-1)钎焊，实现整个腔体的真空抽气，其中流量调节阀(4-2)控制气体抽速，多透镜阵列(5-1)光轴垂直后进行环氧胶点胶，并置于温控模块(3)上，对光轴垂直后多透镜阵列(5-1)进行环氧胶加温固化。
2.根据权利要求1所述的一种多透镜阵列光轴垂直固化装置，其特征在于：所述的排气管(4-1)采用紫铜、铝或不锈钢材料。
3.根据权利要求1所述的一种多透镜阵列光轴垂直固化装置，其特征在于：所述的上真空腔板(1)和下真空腔板(2)采用紫铜或铝合金高导热材料。
CN201811387924.6A 2018-11-21 2018-11-21 一种多透镜阵列光轴垂直固化装置 Active CN109375331B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811387924.6A CN109375331B (zh) 2018-11-21 2018-11-21 一种多透镜阵列光轴垂直固化装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811387924.6A CN109375331B (zh) 2018-11-21 2018-11-21 一种多透镜阵列光轴垂直固化装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109375331A true CN109375331A (zh) 2019-02-22
CN109375331B CN109375331B (zh) 2023-07-04

Family

ID=65376800

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811387924.6A Active CN109375331B (zh) 2018-11-21 2018-11-21 一种多透镜阵列光轴垂直固化装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109375331B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114506089A (zh) * 2022-01-18 2022-05-17 北京智创芯源科技有限公司 一种红外多谱段滤光片制备方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006145953A (ja) * 2004-11-22 2006-06-08 Alps Electric Co Ltd 光学モジュールの取付方法
US20080051017A1 (en) * 2006-08-22 2008-02-28 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Process for holding an optical lens on a holder of a lens machining equipment
CN103221865A (zh) * 2011-10-31 2013-07-24 柯尼卡美能达株式会社 透镜单元的制造方法、透镜阵列以及透镜单元
CN103658984A (zh) * 2013-12-04 2014-03-26 上海交通大学 激光焊接等离子体侧吸负压装置及激光焊接系统
CN104335340A (zh) * 2012-05-17 2015-02-04 赫普塔冈微光有限公司 晶片堆叠的组装
CN104932076A (zh) * 2014-03-19 2015-09-23 柯尼卡美能达株式会社 保持装置、光学单元、光学单元的制造装置以及制造方法
CN107186648A (zh) * 2017-07-12 2017-09-22 中国科学院上海技术物理研究所 一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具
CN206725817U (zh) * 2017-04-27 2017-12-08 苏州易锐光电科技有限公司 多通道多透镜波分复用装置及其治具

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006145953A (ja) * 2004-11-22 2006-06-08 Alps Electric Co Ltd 光学モジュールの取付方法
US20080051017A1 (en) * 2006-08-22 2008-02-28 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Process for holding an optical lens on a holder of a lens machining equipment
CN103221865A (zh) * 2011-10-31 2013-07-24 柯尼卡美能达株式会社 透镜单元的制造方法、透镜阵列以及透镜单元
CN104335340A (zh) * 2012-05-17 2015-02-04 赫普塔冈微光有限公司 晶片堆叠的组装
CN103658984A (zh) * 2013-12-04 2014-03-26 上海交通大学 激光焊接等离子体侧吸负压装置及激光焊接系统
CN104932076A (zh) * 2014-03-19 2015-09-23 柯尼卡美能达株式会社 保持装置、光学单元、光学单元的制造装置以及制造方法
CN206725817U (zh) * 2017-04-27 2017-12-08 苏州易锐光电科技有限公司 多通道多透镜波分复用装置及其治具
CN107186648A (zh) * 2017-07-12 2017-09-22 中国科学院上海技术物理研究所 一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114506089A (zh) * 2022-01-18 2022-05-17 北京智创芯源科技有限公司 一种红外多谱段滤光片制备方法
CN114506089B (zh) * 2022-01-18 2024-01-05 北京智创芯源科技有限公司 一种红外多谱段滤光片制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN109375331B (zh) 2023-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890013214A (ko) 규소원판을 고정시키기 위한 장치
CN109375331A (zh) 一种多透镜阵列光轴垂直固化装置
CN209148935U (zh) 多透镜阵列光轴垂直固化装置
CN110433875B (zh) 高低温真空光学试验箱
CN103400848B (zh) 用于倍增电荷耦合器件的封装结构
KR102257692B1 (ko) 지그를 이용한 베이퍼 챔버 제조방법
CN218867040U (zh) 一种可快速更换晶圆检测载台的固定装置
CN102395250B (zh) 一种电路板抽真空的装置和方法
CN108214362A (zh) 激光投影机的光机组装旋转平台定位夹具
CN217064407U (zh) 气压式芯片拾取装置
CN110676383A (zh) 曲面基板的制作装置及采用该装置的制作方法
CN107024730B (zh) 一种采用lift-off原理制作方形光栅的方法
CN110137130A (zh) 一种干法刻蚀系统用尺寸转换托盘
CN112505954B (zh) 液晶显示模组的生产方法、抽真空装置及生产设备
TWI428656B (zh) 鏡片承載治具
CN218499461U (zh) 一种循环散热系统的均温板
TWI407168B (zh) 承載裝置、其使用方法及鏡頭模組量測裝置
CN210862929U (zh) 可实现被动温控的中波制冷型红外成像系统
TW202230564A (zh) 晶片移轉模組以及晶片移轉與固晶裝置與方法
CN206263831U (zh) 激光投影机的光机组装旋转平台定位夹具
CN112133619A (zh) 下部电极塑封夹具及塑封工艺
CN113145976A (zh) 钎焊装架工装及封接方法
CN221203156U (zh) Pcb板平面贴片装置
CN220041411U (zh) 一种核电站水泥固化线用窥视窗
CN221248469U (zh) 一种薄壁零件真空夹具

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant