CN109293227B - 热处理装置和热处理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及热处理领域，公开了一种热处理装置和热处理方法，所述热处理装置包括：热处理腔室(1)，所述热处理腔室设置有加热件；分隔件(2)，所述分隔件将所述热处理腔室分隔为缓冲室(12)和加热室(11)，所述分隔件具有导通所述加热室和所述缓冲室的导通位置和分隔所述加热室和所述缓冲室的分隔位置；以及载物台(10)，所述载物台能够在所述热处理腔室内移动，其中，当所述分隔件处于所述导通位置时，所述载物台能够在所述加热室和所述缓冲室之间切换。本发明所提供的热处理装置的操作简单，且可精确、稳定实现工件的加热、冷却，有助于获取更加准确的试验数据，提高产品质量。
Description
技术领域
本发明涉及热处理领域，具体地涉及一种热处理装置和热处理方法。
背景技术
随着LTPS OLED(Low Temperature Poly-silicon Organic Light-EmittingDiode，低温多晶硅有机发光二极管)技术的快速发展，LTPS OLED显示器所使用的玻璃基板及柔性LTPS OLED用载板玻璃要求具有良好的热收缩性能。研究热收缩性能时，精确的热处理过程是保障研究成果的重要前提，进行热处理过程中的升温、冷却步骤的装置和方法必须能够精确的符合预设的热处理要求。
传统中，通常使用加热炉(包括方形加热炉、管式加热炉等)来进行玻璃基板的热处理，但是这种热处理方法存在以下问题：一、现有方形加热炉加热空间较大，容易受外界影响，导致炉内温度不稳定、不均匀，现有管式加热炉的加热有效区空间较小、受外界影响较小，然而，管式加热炉的加热装置一般为硅钼棒或加热管外缠绕铂铑丝，硅钼棒热点集中，加热区温度不均匀，而加热管外缠绕铂铑丝的方式，存在铂铑丝易高温氧化的问题，使用寿命较短；二、传统中加热炉的升温速度和降温速率不可控，尤其是降温过程受环境影响较大，并且在放置和取出玻璃基板时，通常要在高温状态下打开炉门，影响炉内温度和加热炉的使用寿命。
因此，希望有一种装置能够克服或者至少减轻现有技术的上述缺陷。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术存在的热处理过程中需在高温状态下打开炉门以及冷却速度不可控的问题，提供一种热处理装置，该热处理装置可在炉腔内完成热处理的升温和降温过程，避免外部环境对升温和降温过程的影响。
为了实现上述目的，本发明一方面提供一种热处理装置，所述热处理装置包括：热处理腔室，所述热处理腔室设置有加热件；分隔件，所述分隔件将所述热处理腔室分隔为缓冲室和加热室，所述分隔件具有导通所述加热室和所述缓冲室的导通位置和分隔所述加热室和所述缓冲室的分隔位置；以及载物台，所述载物台能够在所述热处理腔室内移动，其中，当所述分隔件处于所述导通位置时，所述载物台能够在所述加热室和所述缓冲室之间切换。
优选地，所述热处理装置包括管状主体，所述管状主体的两端分别设置炉盖和炉门，所述管状主体的内部空腔形成为所述热处理腔室。
优选地，所述管状主体的管壁包括由内向外依次布置的加热层和保温层，其中，所述加热件布置于所述加热层。
优选地，所述加热件包括设置于所述加热室的第一加热件和设置于所述缓冲室的第二加热件，其中，所述第一加热件形成为第一铂铑管，所述第一铂铑管的两端分别安装于加热室法兰，所述加热室形成于所述第一铂铑管内部，所述第二加热件形成为第二铂铑管，所述第二铂铑管的两端分别安装于缓冲室法兰，所述缓冲室形成于所述第二铂铑管内部。
优选地，所述热处理装置还包括用于冷却所述缓冲室的冷却管路，所述冷却管路设置于所述缓冲室法兰处；和/或所述保温层包括加热室保温层和缓冲室保温层，所述加热室保温层包括第一密封固化层、第一支撑层和保温砖层，所述缓冲室保温层包括第二密封固化层和第二支撑层。
优选地，所述热处理腔室形成为密封腔室，所述炉盖处设置有用于充入惰性气体的进气管，所述炉门处设置有与抽真空装置连接的出气管。
优选地，所述热处理装置包括移动架，所述载物台可拆卸的安装于所述移动架的一端处，并在所述移动架的带动下在所述热处理腔室内移动，所述分隔件形成有用于避让所述移动架和所述载物台的避让开口。
优选地，所述炉门形成有沿所述管状主体的长度方向延伸的移动架通道，所述移动架包括杆状主体，所述杆状主体通过滑动轴承安装于所述移动架通道，并且所述杆状主体与所述移动架通道之间形成有密封结构。
优选地，所述热处理装置还包括控制单元，所述加热件处设置有用于测量所述加热件的温度的第一温度感测件，所述载物台上设置有第二温度感测件，所述控制单元能够接收所述第一温度感测件发出的第一温度信号和所述第二温度感测件发出的第二温度信号，并能够根据所述第一温度信号和所述第二温度信号控制所述加热件。
优选地，所述热处理装置还包括金属支架；和/或所述分隔件形成为抽拉式挡板。
本发明第二方面提供一种热处理方法，所述热处理方法包括以下步骤：
第一步，将待热处理的工件固定至根据上文所述的热处理装置的载物台，并将所述载物台移动至所述加热室；
第二步，使得所述分隔件处于所述分隔位置；
第三步，将所述加热室加热至第一预定温度T0，并保温预定时间t；
第四步，将所述分隔件切换至所述导通位置，将所述载物台移动至所述缓冲室进行冷却；
第五步，当所述工件冷却至第二预定温度T1时，取出所述工件。
优选地，在所述第二步中，在使得所述分隔件处于所述分隔位置之前，将所述热处理腔室抽真空和/或向所述热处理腔室中充入惰性气体。
优选地，所述第四步还包括向布置于所述缓冲室的冷却管路内通入冷却流体。
本发明第三方面提供一种热处理方法，所述热处理方法包括以下步骤：
第一步，将待热处理的工件固定至根据上文所述的热处理装置的载物台，并将所述载物台移动至所述缓冲室；
第二步，使得所述分隔件处于所述分隔位置；
第三步，将所述加热室加热至第一预定温度T0；
第四步，将所述分隔件切换至所述导通位置，将所述载物台移动至所述加热室，然后使得所述分隔件再切换至所述分隔位置，并保温预定时间t；
第五步，将所述分隔件切换至所述导通位置，将所述载物台移动至所述缓冲室进行冷却；
第六步，当所述工件冷却至第二预定温度T1时，取出所述工件。
优选地，在所述第二步中，在使得所述分隔件处于所述分隔位置之前，将所述热处理腔室抽真空和/或向所述热处理腔室中充入惰性气体。
优选地，所述第四步还包括向布置于所述缓冲室的冷却管路内通入冷却流体。
通过上述技术方案，本发明所提供的热处理装置的热处理腔室通过分隔件分隔为相对独立的加热室和缓冲室，在加热室中热处理后的工件可在缓冲室中自然冷却或者利用冷却系统快速冷却，实现工件冷却速度的精准控制，冷却速度可控，加热完成后的工件通过将分隔件切换至导通位置后迅速进入缓冲室，避免外界环境对加热室的影响，且工件在加热之前也可提前放入缓冲室，需要加热时快速移动至加热室即可，上述热处理装置操作简单，且可精确、稳定实现工件的加热、冷却，有助于获取更加准确的试验数据，提高产品质量。
附图说明
图1是根据本发明的一种实施方式的热处理装置的示意图；
图2是图1所示的热处理装置沿断面线A-A的断面图；
图3是图1所示的热处理装置的移动架的示意图；
图4是根据本发明的一种实施方式的热处理装置的载物台的示意图；
图5是根据本发明的另一种实施方式的热处理装置的载物台的示意图。
附图标记说明
1-热处理腔室，11-加热室，111-加热室法兰，12-缓冲室，121-缓冲室法兰，122-冷却管路，2-分隔件，21-第一分隔密封圈，22-第二分隔密封圈，3-管状主体，31-第一加热层，32-第一密封固化层，33-第一支撑层，34-保温砖层，35-金属支架，4-移动架，41-杆状主体，42-抽拉手柄，43-插脚，5-炉盖，51-炉盖密封垫，6-炉门，61-炉门密封垫，7-进气管，8-出气管，9-第一温度感测件，10-载物台，101-第二温度感测件，102-内嵌凹槽，103-物件放置槽，104-插槽，105-玻璃基板。
具体实施方式
在本发明中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“内、外”通常是至部件本身轮廓结构的内、外。
根据本发明的一个方面，提供一种热处理装置，参见图1，所述热处理装置包括：热处理腔室1，热处理腔室1设置有加热件；分隔件2，分隔件2将热处理腔室1分隔为缓冲室12和设置有加热件的加热室11，分隔件2具有导通加热室11和缓冲室12的导通位置和分隔加热室11和缓冲室12的分隔位置；以及载物台10，载物台10能够在热处理腔室1内移动，其中，当分隔件2处于所述导通位置时，载物台10能够在加热室11和缓冲室12之间切换。
本发明所提供的热处理装置的热处理腔室1通过分隔件2分隔为相对独立的加热室11和缓冲室12，在加热室11中热处理后的工件可在缓冲室12中自然冷却或者利用冷却系统快速冷却，实现工件冷却速度的精准控制，冷却速度可控，加热完成后的工件通过将分隔件2切换至导通位置后迅速进入缓冲室12，避免外界环境对加热室的影响，且工件在加热之前也可提前放入缓冲室12，需要加热时快速移动至加热室11即可，上述热处理装置操作简单，且可精确、稳定实现工件的加热、冷却，有助于获取更加准确的试验数据，提高产品质量。尤其适用于，玻璃基板(LTPS OLED显示器所使用的玻璃基板及柔性LTPS OLED用载板玻璃)等精度要求较高的工件的热处理。
所述热处理装置的结构可根据实际需要进行适当设计，优选地，所述热处理装置包括管状主体3，管状主体3的两端分别设置炉盖5和炉门6，管状主体3的内部空腔形成为热处理腔室1，管状结构的热处理装置结构简单，使用方便，便于载物台10在加热室11和缓冲室12之间的切换。
管状主体3的管壁优选为具有保温功能，以使得加热室11能够稳定保持在所需温度，加热件的布置位置可根据实际需要进行适当的选择，例如，布置于加热室11的两端处。进一步优选地，管状主体3的管壁包括由内向外依次布置的加热层和保温层，其中，所述加热件布置于加热层，使得热处理腔室1内的温度更加均匀。
优选地，参见图1和图2，所述加热件形成为铂铑管，进一步优选地，所述加热件包括设置于加热室11的第一加热件和设置于缓冲室12的第二加热件，其中，所述第一加热件形成为第一铂铑管，所述第一铂铑管的两端分别安装于加热室法兰111，加热室11形成于所述第一铂铑管内部，所述第二加热件形成为第二铂铑管，所述第二铂铑管的两端分别安装于缓冲室法兰121，缓冲室12形成于所述第二铂铑管内部，即图2中的第一加热层31即为第一铂铑管的管壁，加热室11形成于第一铂铑管的管体内部，使得加热室11的温度更加均匀、稳定。缓冲室12的第二铂铑管的布置方式与加热室11类似，在此不再赘述。其中，铂铑管的管壁厚度可根据实际需要进行适当的选择，例如，0.5mm、1mm、5mm等，在满足使用需求的情况下铂铑管可选择较薄的管壁厚度，以降低使用成本。加热室11和缓冲室12的加热件相互独立，可实现加热室11和缓冲室12的独立加热，以更加灵活、准确的调整工件加热速度和降温速度。
缓冲室12用于在工件完成热处理后冷却工件，或者在工件加热前将工件预先放置到缓冲室12中进入准备状态，其中，冷却工件时可利用环境温度使得工件自然冷却，但是由于环境温度不稳定，难以控制冷却速度，因此，优选地，所述热处理装置还包括用于冷却缓冲室12的冷却管路122，冷却管路122设置于缓冲室法兰121处，所述冷却管路内能够流通冷却流体，通过控制冷却管路中的冷却流体中温度来控制缓冲室12中的工件的冷却速度。冷却管路122的布置方式可根据实际需要进行适当的选择，在图示实施方式中，冷却管路122形成为缠绕在缓冲室法兰121的外周的管路，缓冲室12两侧的缓冲室法兰121上均设置有冷却管路122。
所述保温层的结构可根据实际需要进行适当的选择。优选地，所述保温层包括加热室保温层和缓冲室保温层，以针对加热室11和缓冲室12的不同需求分别设置适当的保温层。其中，加热室11的保温要求更高，所述加热室保温层包括第一密封固化层32、第一支撑层33和保温砖层34，所述缓冲室保温层包括第二密封固化层和第二支撑层。
在图示实施方式中，第一密封固化层32为氧化铝(Al2O3)浆料，能够避免第一加热层31(即第一铂铑管的管壁)与外界接触，减缓第一加热层31的老化，有利于延长热处理装置的使用寿命，尤其是第一加热层31为铂铑管的管壁时，第一密封固化层32能够避免外界环境中的氧气与第一铂铑管的管壁接触，减少铂铑高温挥发。在制造本发明中的热处理装置时，可先布置第一加热层31和第一支撑层33，然后在第一加热层31和第一支撑层33之间填充Al2O3浆料，待浆料固化后形成第一密封固化层32。
第一支撑层33的材质可根据实际需要进行适当的选择，例如，天然石墨、耐火黏土等，优选地，第一支撑层33为莫来石材质，莫来石作为一种优质耐火材料，具有耐高温、强度高导热系数小、节能效果显著等优点，有利于增加强度，以便更好支撑第一加热层31。第一支撑层33外包覆保温砖层34，以进一步提高加热室11的保温效果。
缓冲室12的第二密封固化层和第二支撑层可保持第二加热层(即第二铂铑管的管壁)稳定，减少或避免外界环境对第二加热层的影响，且具有保温效果。其中，由于不同的使用需求，第二密封固化层和第二支撑层可选择与第一密封固化层32和第一支撑层33不同的材质、厚度。
此外，在需要的情况下，也可在第二支撑层的外侧再设置保温砖层，以进一步提高保温效果和稳定性。
为了避免工件在热处理过程中受到空气的影响，优选地，热处理腔室1形成为密封腔室，炉门6处设置有与抽真空装置连接的出气管8，使得工件在可在真空环境下进行热处理，进一步优选地，炉盖5处设置有用于充入惰性气体的进气管7，在需要的情况下也可使得工件在惰性气体环境下进行热处理，所述惰性气体可以是氩气、氮气等。
载物台10可通过任意适当的结构在热处理腔室1内移动，例如，将载物台设置为在滑轨上滑动的滑动载物台等。优选地，所述热处理装置包括移动架4，载物台10可拆卸的安装于移动架4的一端处，并在移动架4的带动下在热处理腔室1内移动，分隔件2形成有用于避让移动架4和载物台10的避让开口，载物台10与移动架4可拆卸的连接便于工件的取方，且由于载物台10和移动架4均需耐高温性能，越是简单的结构可靠性越高。
优选地，炉门6形成有沿管状主体3的长度方向延伸的移动架通道，移动架4包括杆状主体41，杆状主体41通过滑动轴承安装于所述移动架通道，并且杆状主体41与所述移动架通道之间形成有密封结构，杆状主体41结构简单，使用方便，且可靠性高，通过滑动轴承安装于炉门6也使得移动架4操作流畅、省力，设置于杆状主体41与移动架通道之间的密封结构则能够保障热处理腔室1的密封性能。
载物台10的形状、尺寸可根据使用需求进行适当的选择，在图示实施方式中，载物台10形成为长方体结构，其长度为100mm至2000mm，宽度为80mm至500mm，高度为50mm至200mm。
移动架4包括杆状主体41、形成于杆状主体41的一端处的插脚43和形成于杆状主体41的另一端处的抽拉手柄42，载物台10形成有与插脚43配合的插槽104，插脚43插接于插槽104中以将载物台10安装于移动架4，杆状主体41结构简单、制造成本低，抽拉手柄42的设置便于工作人员抽拉移动架4以移动载物台10，插脚43能够插接于插槽104中以将载物台10安装于移动架4，安装简便，便于工作人员快速取放工件。
在工件的处理设备中，不同的位置通常具有不同环境，例如，温度、压力等，尤其是在玻璃基板、载板玻璃的线收缩率测量过程中，精密的热处理工艺必不可少，直接影响测量结构的精确度，因此，优选地，杆状主体41上标注有刻度，以使得能够参考刻度将载物台移动至准确的位置，杆状主体41上的刻度的精度可根据实际需要进行适当的选择，优选为精度不低于5mm。
载物台10的材质可根据不同的使用工况选择适当的材料，在用于高温环境中时，优选地，载物台10为氧化铝(Al2O3)材质，氧化铝硬度、熔点和沸点均较高，适合用于高温环境下。移动架4的材质可根据需要选择适当的材料，考虑到移动架4也需要在高温环境下作业，且需要支撑载物台10移动，需要具备耐高温特性和足够的强度、韧性。移动架4的材质优选为耐高温合金钢，能够耐受750℃以上的高温，例如，GH4169高温合金、GH2132高温合金等。
载物台10上优选为设置有第二温度感测件101，该第二温度感测件101可通过任意适当的方式安装于载物台10上，随着载物台10与工件(例如，玻璃基板105)同步移动，使得第二温度感测件101所测得的温度最大程度的接近工件所处位置的温度，有利于工件温度的精确测量。优选地，载物台10形成有内嵌凹槽102，第二温度感测件101至少部分的设置于内嵌凹槽102中，便于第二温度感测件101的定位安装，避免第二温度感测件101干涉工件的放置和载物台10的移动，且使得载物台10的外观更加平整、美观。内嵌凹槽102的尺寸可根据第二温度感测件101的尺寸进行适当的选择，通常宽度为10mm至100mm，高度为10mm至100mm。
优选地，内嵌凹槽102沿管状主体3的延伸方向延伸，载物台10形成有物件放置部，所述物件放置部相对于内嵌凹槽102的中心轴线对称设置于内嵌凹槽102的两侧，物件放置部对称设置于内嵌凹槽102的两侧即对称设置于第二温度感测件101的两侧，能够使得温度感测件所感测到的温度最大限度的接近工件所处位置的温度。其中，所述物件放置部的数量可根据实际需要进行适当的选择，例如，两个、四个、六个等。可以理解的是，在需要的情况下也可设置奇数个物件放置部，或者仅在内嵌凹槽102的一侧设置物件放置部。
所述物件放置部的结构可根据实际需要进行适当的选择。参见图4，根据本发明的一种实施方式，所述物件放置部形成为物件放置槽103，物件放置槽103的延伸方向平行于内嵌凹槽102的延伸方向，工件可插接于物件放置槽103内，物件放置槽103的尺寸可根据实际需要进行适当的设计，例如，物件放置槽103的长度为80mm至1800mm，宽度为0.4mm至30mm，高度为10mm至160mm。
根据本发明的另一种实施方式，所述物件放置部形成为物件放置平台，工件直接放置于物件放置平台上即可。
炉门6的开启方式可根据实际需要进行适当的选择，但是为了避免炉门6的开启与移动架4发生干涉，所述炉门6优选为设置为抽拉式炉门。
优选地，第二温度感测件101形成为长条形结构，并且，第二温度感测件101的中心线与管状主体3的中心线重合，使得载物台10位于管状主体3的中心位置，温度最为稳定。
优选地，所述热处理装置还包括控制单元，所述加热件处设置有用于测量所述加热件的温度的第一温度感测件9，载物台10上设置有第二温度感测件101，所述控制单元能够接收第一温度感测件9发出的第一温度信号和第二温度感测件101发出的第二温度信号，并能够根据所述第一温度信号和所述第二温度信号控制加热室11的加热件，根据所述第二温度信号控制缓冲室12的冷却件，在热处理装置上设置控制单元能够实现热处理腔室1内的温度的自动化控制，降低工作人员的劳动强度，且提高温度的控制精度。在图示实施方式中，仅在加热室11的处设置用于感测第一铂铑管的温度的第一温度感测件9，第二铂铑管的温度控制仅依靠第二温度信号。在需要的情况下，也可在热处理腔室1内其他需要的位置设置更多的温度感测件，以进一步提高控制精度。例如，在加热室11和缓冲室12处分别设置第一温度感测件9。
优选地，所述热处理装置还包括金属支架35，以支撑热处理装置的管状主体3，该金属支架35的材质可根据实际需要选择任意适当的材质，优选为具有较高强度的高强度钢材。
分隔件2的结构可根据实际需要进行适当的选择，例如，折叠式挡板等，优选地，分隔件2形成为抽拉式挡板，使用方便。其中，为了确保加热室11和缓冲室12的过渡位置的密封效果，优选为在过渡位置设置第一分隔密封圈21和第二分隔密封圈22，以保障密封效果。
根据本发明的另一个方面，提供一种热处理方法，其中，所述热处理方法包括以下步骤：
第一步，将待热处理的工件固定至根据上文所述的热处理装置的载物台10，并将载物台10移动至加热室11；
第二步，使得分隔件2处于所述分隔位置；
第三步，将加热室11加热至第一预定温度T0，并保温预定时间t；
第四步，将分隔件2切换至所述导通位置，将载物台10移动至缓冲室12进行冷却；
第五步，当所述工件冷却至第二预定温度T1时，取出所述工件。
上述热处理方法能够简单、可靠、精确的实现工件的热处理，使得工件的平均升温速率和平均降温速率大大提高，且能够实现对升温速率和降温速率的精确控制。
发明人利用上述热处理方法对三组工件进行了热处理，具体参数如下表所示：
如上述参数所示，工件的升温速率和降温速率显著提升，且控制更加精确、稳定，降低工作人员的劳动强度，改善热处理工序。
优选地，在所述第二步中，在使得分隔件2处于所述分隔位置之前，将热处理腔室1抽真空和/或向热处理腔室1中充入惰性气体，提高炉体寿命，具体地，使用时可以仅抽真空，或者仅充入惰性气体置换热处理腔室1中的空气，或者先抽真空然后再充入惰性气体，使用者可根据需求选择适当的方式。
优选地，所述第四步还包括向布置于缓冲室12的冷却管路内通入冷却流体，进一步提高冷却速度，且实现冷却速度的准确控制。
工件的升温速率和降温速率均得到较大的提高，且控制精度更高。
根据本发明的另一种实施方式，所述热处理方法包括以下步骤：
第一步，将待热处理的工件固定至根据上文所述的热处理装置的载物台10，并将载物台10移动至缓冲室12；
第二步，使得分隔件2处于所述分隔位置；
第三步，将加热室11加热至第一预定温度T0；
第四步，将分隔件2切换至所述导通位置，将载物台10移动至加热室11，然后使得分隔件2再切换至所述分隔位置，并保温预定时间t；
第五步，将分隔件2切换至所述导通位置，将载物台10移动至缓冲室12进行冷却；
第六步，当所述工件冷却至第二预定温度T1时，取出所述工件。
发明人利用上述热处理方法对三组工件进行了热处理，具体参数如下表所示：
上述方法在加热室11加热至第一预定温度T0后再将载物台10从缓冲室12移动至加热室11，进一步提高工件的升温速度，但是在高温环境下打开加热室11会在一定程度上影响热处理装置的使用寿命，使用者可根据实际需求在两种方法中选择适当的方法。
优选地，在所述第二步中，在使得分隔件2处于所述分隔位置之前，将热处理腔室1抽真空和/或向热处理腔室1中充入惰性气体，提高炉体寿命，具体地，使用时可以仅抽真空，或者仅充入惰性气体置换热处理腔室1中的空气，或者先抽真空然后再充入惰性气体，使用者可根据需求选择适当的方式。
优选地，所述第四步还包括向布置于缓冲室12的冷却管路内通入冷却流体，进一步提高冷却速度，且实现冷却速度的准确控制。以上结合附图详细描述了本发明的优选实施方式，但是，本发明并不限于此。在本发明的技术构思范围内，可以对本发明的技术方案进行多种简单变型，包括各个具体技术特征以任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本发明对各种可能的组合方式不再另行说明。但这些简单变型和组合同样应当视为本发明所公开的内容，均属于本发明的保护范围。
Claims (13)
1.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括：
热处理腔室(1)，所述热处理腔室(1)设置有加热件；
分隔件(2)，所述分隔件(2)将所述热处理腔室(1)分隔为缓冲室(12)和加热室(11)，所述分隔件(2)具有导通所述加热室(11)和所述缓冲室(12)的导通位置和分隔所述加热室(11)和所述缓冲室(12)的分隔位置；以及
载物台(10)，所述载物台(10)能够在所述热处理腔室(1)内移动，其中，当所述分隔件(2)处于所述导通位置时，所述载物台(10)能够在所述加热室(11)和所述缓冲室(12)之间切换；
所述热处理装置包括移动架(4)，所述载物台(10)可拆卸的安装于所述移动架(4)的一端处，并在所述移动架(4)的带动下在所述热处理腔室(1)内移动，所述分隔件(2)形成有用于避让所述移动架(4)和所述载物台(10)的避让开口；
所述热处理装置包括管状主体(3)，所述管状主体(3)的两端分别设置炉盖(5)和炉门(6)，所述管状主体(3)的内部空腔形成为所述热处理腔室(1)；
所述热处理腔室(1)形成为密封腔室，所述炉盖(5)处设置有用于充入惰性气体的进气管(7)，所述炉门(6)处设置有与抽真空装置连接的出气管(8)。
2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述管状主体(3)的管壁包括由内向外依次布置的加热层和保温层，其中，所述加热件布置于所述加热层。
3.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述加热件包括设置于所述加热室(11)的第一加热件和设置于所述缓冲室(12)的第二加热件，其中，所述第一加热件形成为第一铂铑管，所述第一铂铑管的两端分别安装于加热室法兰(111)，所述加热室(11)形成于所述第一铂铑管内部，所述第二加热件形成为第二铂铑管，所述第二铂铑管的两端分别安装于缓冲室法兰(121)，所述缓冲室(12)形成于所述第二铂铑管内部。
4.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，
所述热处理装置还包括用于冷却所述缓冲室(12)的冷却管路(122)，所述冷却管路(122)设置于所述缓冲室法兰(121)处；和/或
所述保温层包括加热室保温层和缓冲室保温层，所述加热室保温层包括第一密封固化层(32)、第一支撑层(33)和保温砖层(34)，所述缓冲室保温层包括第二密封固化层和第二支撑层。
5.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述炉门(6)形成有沿所述管状主体(3)的长度方向延伸的移动架通道，所述移动架(4)包括杆状主体(41)，所述杆状主体(41)通过滑动轴承安装于所述移动架通道，并且所述杆状主体(41)与所述移动架通道之间形成有密封结构。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括控制单元，所述加热件处设置有用于测量所述加热件的温度的第一温度感测件(9)，所述载物台(10)上设置有第二温度感测件(101)，所述控制单元能够接收所述第一温度感测件(9)发出的第一温度信号和所述第二温度感测件(101)发出的第二温度信号，并能够根据所述第一温度信号和所述第二温度信号控制所述加热件。
7.根据权利要求1-5中任意一项所述的热处理装置，其特征在于，
所述热处理装置还包括金属支架(35)；和/或
所述分隔件(2)形成为抽拉式挡板。
8.一种热处理方法，其特征在于，所述热处理方法包括以下步骤：
第一步，将待热处理的工件固定至根据权利要求1-7中任意一项所述的热处理装置的载物台(10)，并将所述载物台(10)移动至所述加热室(11)；
第二步，使得所述分隔件(2)处于所述分隔位置；
第三步，将所述加热室(11)加热至第一预定温度T0，并保温预定时间t；
第四步，将所述分隔件(2)切换至所述导通位置，将所述载物台(10)移动至所述缓冲室(12)进行冷却；
第五步，当所述工件冷却至第二预定温度T1时，取出所述工件。
9.根据权利要求8所述的热处理方法，其特征在于，在所述第二步中，在使得所述分隔件(2)处于所述分隔位置之前，将所述热处理腔室(1)抽真空和/或向所述热处理腔室(1)中充入惰性气体。
10.根据权利要求8所述的热处理方法，其特征在于，所述第四步还包括向布置于所述缓冲室(12)的冷却管路内通入冷却流体。
11.一种热处理方法，其特征在于，所述热处理方法包括以下步骤：
第一步，将待热处理的工件固定至根据权利要求1-7中任意一项所述的热处理装置的载物台(10)，并将所述载物台(10)移动至所述缓冲室(12)；
第二步，使得所述分隔件(2)处于所述分隔位置；
第三步，将所述加热室(11)加热至第一预定温度T0；
第四步，将所述分隔件(2)切换至所述导通位置，将所述载物台(10)移动至所述加热室(11)，然后使得所述分隔件(2)再切换至所述分隔位置，并保温预定时间t；
第五步，将所述分隔件(2)切换至所述导通位置，将所述载物台(10)移动至所述缓冲室(12)进行冷却；
第六步，当所述工件冷却至第二预定温度T1时，取出所述工件。
12.根据权利要求11所述的热处理方法，其特征在于，在所述第二步中，在使得所述分隔件(2)处于所述分隔位置之前，将所述热处理腔室(1)抽真空和/或向所述热处理腔室(1)中充入惰性气体。
13.根据权利要求11所述的热处理方法，其特征在于，所述第四步还包括向布置于所述缓冲室(12)的冷却管路内通入冷却流体。
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