CN109285784A - 一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及晶圆生产制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液接触反应更加充分，提高化学刻蚀效果；其使用后的化学溶液可以进行收集储存处理，降低使用局限性；包括过渡箱、底板、顶板、左支撑板、右支撑板、左弧形板、右弧形板、左放置板、右放置板、前支撑轴、后支撑轴、带动轴、上支撑轴、左卡板、右卡板、左安装板、右安装板、两组左安装螺栓、两组右安装螺栓、收集箱、两组左滑轮、两组右滑轮、左滑轨、右滑轨、固定环、左销杆、右销杆、固定座、左弹簧和右弹簧。

Description

一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置
技术领域
本发明涉及晶圆生产制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置。
背景技术
众所周知，晶圆在生产完成后，其表面附着大约2um的三氧化二铝和甘油混合液保护层,在制作前必须进行化学刻蚀，晶圆生产用表面化学刻蚀装置是一种用于晶圆，对其表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层，通过化学溶液进行喷射，以便于使其表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层进行溶解的辅助装置，其在晶圆生产制造的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆生产用表面化学刻蚀装置包括过渡箱、底板、顶板、左支撑板和右支撑板，左支撑板和右支撑板的底端分别与底板顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板和右支撑板的顶端分别与顶板帝都的左侧和右侧连接，过渡箱的顶端与顶板的底端连接，并且过渡箱的左端与左支撑板的右端上侧连接，过渡箱的右端与右支撑板的左端上侧连接，过渡箱的顶端连通设置有输送管，并且输送管上连通设置有增压泵，增压泵的底端与顶板的顶端左侧连接，过渡箱底端横向连通设置有多组出液通孔，并且多组出液通孔的底部输出端均连通设置有出液喷嘴，所述左支撑板和右支撑板的之间横向设置有放置网板；现有的晶圆生产用表面化学刻蚀装置使用时，首先将输送管的与外部化学溶液进行连通，然后将待化学刻蚀的多组晶圆放置在放置网板上，通过增压泵将化学溶液打进至过渡箱内部，并且经过多组出液喷嘴喷射在多组晶圆表面进行化学刻蚀即可；现有的晶圆生产用表面化学刻蚀装置使用中发现，多组晶圆直接放置在放置网板上，使多组晶圆放置杂乱，相互叠放，导致化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中，化学溶液与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层接触反应不充分，导致其化学刻蚀不均匀，化学刻蚀效果较差，使用可靠性较低；并且其使用后的化学溶液直接排放，容易污染环境，不能进行收集储存处理，导致其使用局限性较高。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层接触反应更加充分，提高化学刻蚀效果，提高使用可靠性；并且其使用后的化学溶液可以进行收集储存处理，防止直接排出至外界，减少污染环境，降低使用局限性的晶圆生产用表面化学刻蚀装置。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，包括过渡箱、底板、顶板、左支撑板和右支撑板，左支撑板和右支撑板的底端分别与底板顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板和右支撑板的顶端分别与顶板帝都的左侧和右侧连接，过渡箱的顶端与顶板的底端连接，并且过渡箱的左端与左支撑板的右端上侧连接，过渡箱的右端与右支撑板的左端上侧连接，过渡箱的顶端连通设置有输送管，并且输送管上连通设置有增压泵，增压泵的底端与顶板的顶端左侧连接，过渡箱底端横向连通设置有多组出液通孔，并且多组出液通孔的底部输出端均连通设置有出液喷嘴，所述左支撑板和右支撑板的之间横向设置有放置网板；包括左弧形板、右弧形板、左放置板、右放置板、前支撑轴、后支撑轴、带动轴、上支撑轴、左卡板、右卡板、左安装板、右安装板、两组左安装螺栓和两组右安装螺栓，所述弧形板的左端与所述左支撑板的右端中部连接，并且所述右弧形板的右端与所述右支撑板的左端中部连接，所述左弧形板右端的下侧中部设置有左带动槽，并且左带动槽内部固定安装有左带动滚珠轴承，所述带动轴的左端插入并固定安装至左带动滚珠轴承内部，并且所述带动轴的右端自右弧形板的左端横向依次穿过右弧形板和右支撑板内部并伸出至右支撑板的右端外界，带动轴的右端设置有带动电机，所述左弧形板右端的上前侧和上后侧分别设置有左前固定槽和左后固定槽，并且左前固定槽和左后固定槽内部分别设置有左前滚珠轴承和左后滚珠轴承，所述右弧形板左端的上前侧和上后侧分别设置有右前固定槽和右后固定槽，并且右前固定槽和右后固定槽内部分别设置有右前滚珠轴承和右后滚珠轴承，所述前支撑轴的左端插入并固定安装至左前滚珠轴承内部，并且前支撑轴的右端横向插入并固定安装至右前滚珠轴承内部，所述后支撑轴的左端插入并固定安装至左后滚珠轴承内部，并且所述后支撑轴的右端插入并固定安装至右后滚珠轴承内部，所述左安装板位于所述左弧形板的正上方，并且左安装板的左端与所述左支撑板的右端连接，所述右安装板位于所述右弧形板的正上方，并且右安装板的右端与所述右支撑板的左端连接，左安装板的顶端设置有左安装槽，并且所述右安装板的顶端设置有右安装槽，所述左安装槽和右安装槽的底端内壁均设置为下半圆形结构，所述左卡板和右卡板的底端均设置为上半圆结构，所述左放置板的底端中部与所述左卡板的顶端连接，并且左放置板顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的左安装通孔，所述左安装板顶端的前侧和后侧均设置有左安装螺纹孔，所述左卡板的底端可滑动插入至左安装槽内部，并且所述两组左安装螺栓的底端分别穿过两组左安装通孔内部并伸出至左放置板的底端外界，所述两组左安装螺栓的底端分别可插入并螺装至两组左安装螺纹孔内部，所述右放置板的底端中部与所述右卡板的顶端连接，并且右放置板顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的右安装通孔，所述右安装板顶端的前侧和后侧均设置有右安装螺纹孔，所述右卡板的底端可滑动插入至右安装槽内部，并且所述两组右安装螺栓的底端分别穿过两组右安装通孔内部并伸出至右放置板的底端外界，所述两组右安装螺栓的底端分别可插入并螺装至两组右安装螺纹孔内部，所述带动轴上均布固定套装设置有多组带动凹型轮，并且所述前支撑轴上对应均布固定套装设置有多组前凹型轮，所述后支撑轴上对应均布固定套装设置有多组后凹型轮，并且所述上支撑轴上对应均布固定套装设置有多组上凹型轮，并且上支撑轴的左端安装有左上滚珠轴承，上支撑轴的右端安装有右上滚珠轴承；还包括收集箱、两组左滑轮、两组右滑轮、左滑轨、右滑轨、固定环、左销杆、右销杆、固定座、左弹簧和右弹簧，所述两组左滑轮的顶端分别与所述收集箱底端外壁的左前侧和左后侧连接，并且两组右滑轮的顶端分别与所述收集箱底端外壁的右前侧和右后侧连接，所述收集箱的顶端与所述放置网板的底端接触，并且收集箱的顶端设置有收集槽，所述左滑轨位于所述左支撑板的右侧，并且所述右滑轨位于所述右支撑板的左侧，所述左滑轨前后方向上固定安装在所述底板的顶端左侧，并且所述右滑轨前后方向上固定安装在所述底板的顶端右侧，所述两组左滑轮与所述左滑轨内部可滑动配合，并且所述两组右滑轮与所述右滑轨内部可滑动配合，所述固定座的底端与所述底板的顶端中部前侧连接，并且固定座的顶端设置有前后贯穿的固定通槽，固定座的左端和右端分别横向设置有左销孔和右销孔，所述左销孔和右销孔均与所述固定通槽相通，所述左弹簧的右端与所述固定座的左端连接，并且所述左弹簧的内部与所述左销孔的内部横向同心设置，所述左销杆的右端自左弹簧的左端依次穿过左弹簧和左销孔的内部并伸入至固定通槽内部，左销杆的左端设置有左拉板，并且左拉板的右端与所弹簧的左端连接，所述右弹簧的左端与所述固定座的右端连接，并且所述右弹簧的内部与所述右销孔的内部横向同心设置，所述右销杆的左端自右弹簧的右端依次穿过右弹簧和右销孔的内部并伸入至固定通槽内部，右销杆的右端设置有右拉板，并且右拉板的左端与所述右弹簧的右端连接，所述固定环的顶端与所述收集箱的底端中部前侧连接。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括支板和四组支撑柱，所述支板的顶端与所述带动电机的底端连接，并且所述四组支撑柱的顶端分别与所述支板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且所述四组支撑柱的底端分别与所述底板顶端右侧驱动左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括支撑丝杆、左固定螺母、右固定螺母、第一小齿轮、第一大齿轮、第二小齿轮和第二大齿轮，所述支撑丝杆的左端与所述带动轴的右端同心连接，并且所述第一小齿轮的右端与所述第一大齿轮的左端同心连接，所述左固定螺母螺装套设在所述支撑丝杆外部的左侧，并且第一小齿轮和第一大齿轮套设在支撑丝杆上，并且第一小齿轮和第一大齿轮均位于所述左固定螺母的右侧，第一小齿轮的左端与所述左固定螺母的右端贴紧，所述右固定螺母螺装套设在所述支撑丝杆的外部右侧，并且右固定螺母的左端与第一大齿轮的右端贴紧，所述带动电机的左部输出端设置有传动轴，并且所述第二大齿轮的右端与所述传动轴的左端同心连接，所述第二小齿轮位于所述第二大齿轮的右侧，并且第二小齿轮固定套装在所述传动轴的外部右侧，所述第一小齿轮与第二大齿轮可啮合传动，并且所述第一大齿轮与第二小齿轮可啮合传动。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括两组上弧形橡胶板和两组下弧形橡胶板，所述两组上弧形橡胶板的顶端分别与所述左卡板和右卡板的底端连接，并且所述两组下弧形橡胶板的底端分别与所述左安装槽和右安装槽的底端内壁连接。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括前挡罩和后挡罩，所述前挡罩的后端下侧与所述放置网板的前端连接，并且前挡罩的后端左侧与所述左支撑板的前端连接，前挡罩的后端右侧与所述右支撑板的前端连接，所述后挡罩的前端下侧与所述放置网板的后端连接，并且后挡罩的前端左侧与所述左支撑板的后端连接，后挡罩的前端右侧与所述右支撑板的后端连接。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括调节轴和调节手轮，所述过渡箱的底端外壁内部横向设置有圆形调节通孔，并且所述圆形调节通孔的右端与外界相通，所述多组出液通孔均与圆形调节通孔内部相通，所述圆形调节通孔的内部右侧设置有机械密封，所述调节轴横向可转动设置在圆形调节通孔内部，并且调节轴的右端依次穿过机械密封和有支撑板的内部并伸出至右支撑板的右端外界，所述调节手轮的左端与所述调节轴的右端同心连接，调节轴的顶端纵向均布设置有多组调节通孔，并且所述多组调节通孔分别与所述多组出液通孔一一对应。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，每组所述出液喷嘴的底端前侧和后侧分别连通设置有前出液管和后出液管。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，每组所述前出液管的底端均向后倾斜设置，并且所述每组所述后出液管的底端均向前倾斜设置。
与现有技术相比本发明的有益效果为：可以通过多组带动凹型轮对多组晶圆的底端进行纵向支撑，同时可以通过多组前凹型轮和多组后凹型轮分别对多组晶圆的前端和后端进行支撑，从而使多组晶圆可以均布等距间隔的进行排列，从而可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，可以通过在安装槽和右安装槽分别对上支撑轴左端的左上轴承和上支撑轴右端的右上滚珠轴承进行架设，通过左卡板和右卡板分别将左上滚珠轴承和右上滚珠轴承的上部进行夹持，并且可以通过两组左安装螺栓分别与两组左安装螺纹孔之间的螺装配合，通过分别向下旋转两组左安装螺栓，使左放置板带动左卡板在左安装槽内部向下移动，从而使左卡板与左安装槽配合将左上滚珠轴承夹紧，同时可以通过两组右安装螺栓分别与两组右安装螺纹孔之间的螺装配合，通过分别向下旋转两组右安装螺栓，使右放置板带动右卡板在右安装槽内部向下移动，从而使右卡板与右安装槽配合将右上滚珠轴承夹紧，从而可以使多组上凹型轮将多组晶圆的顶端进行夹持，可以通过带动电机的转动，使多组带动凹型轮进行转动，从而使多组晶圆分别在多组前凹型轮、多组后凹型轮和多组上凹型轮的夹持下进行转动，使多组出液喷嘴喷射出的化学溶液方便喷射在多组晶圆之间的间隔中，同时在多组晶圆的转动过程中，方便使化学溶液与多组晶圆的表面进行充分接触，从而使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层接触反应更加充分，提高化学刻蚀效果，提高使用可靠性；并且可以通过两组左滑轮分别在左滑轨内部的滑动配合，同时通过两组右滑轮分别在右滑轨内部的滑动配合，使收集箱可以沿着左滑轨和右滑轨滑进至放置网板的底端，方便收集箱进行放置和抽取，同时可以通过固定环移动至固定顶端的固定通槽内部，向左拉动左拉板，使左销杆的右端在左弹簧的拉力作用下向右移动并插入至固定环的左端内部，同时向右拉动右拉板，使右销杆在右弹簧的拉力作用下向左移动并插入至固定环的右端内部，从而可以方便将收集箱进行固定安装，通过收集箱对使用后的化学溶液可以进行收集储存，收集一定量化学溶液后，通过分别向左拉动左拉板和右拉板，使左销杆和右销杆均自固定环内部拔出，使收集箱可以分别在两组左滑轮和两组右滑轮的作用下分别自左滑轨和右滑轨内部向前拔出，将溶液运走进行后续的处理，防止直接排出至外界，减少污染环境，降低使用局限性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明左卡板、左安装板和左安装螺栓等连接的右视结构示意图；
图3是本发明左弧形板的右视结构示意图；
图4是本发明调节轴的立体结构示意图；
图5是本发明A处的局部放大结构示意图；
图6是本发明B处的局部放大结构示意图；
图7是本发明C处的局部放大结构示意图；
图8是本发明固定座的立体结构示意图；
图9是本发明出液喷嘴、前出液管和后出液管连接的左视结构示意图；
图10是本发明底板、左支撑板和前挡罩等连接的左视结构示意图；
附图中标记：1、过渡箱；2、底板；3、顶板；4、左支撑板；5、出液喷嘴；6、放置网板；7、左弧形板；8、左放置板；9、前支撑轴；10、带动轴；11、上支撑轴；12、左卡板；13、左安装板；14、左安装螺栓；15、收集箱；16、左滑轮；17、左滑轨；18、固定环；19、左销杆；20、固定座；21、左弹簧；22、支板；23、支撑柱；24、支撑丝杆；25、左固定螺母；26、第一小齿轮；27、第一大齿轮；28、第二小齿轮；29、第二大齿轮；30、上弧形橡胶板；31、前挡罩；32、调节手轮；33、前出液管；34、调节轴。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图10所示，本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，包括过渡箱1、底板2、顶板3、左支撑板4和右支撑板，左支撑板4和右支撑板的底端分别与底板2顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板4和右支撑板的顶端分别与顶板3帝都的左侧和右侧连接，过渡箱1的顶端与顶板3的底端连接，并且过渡箱1的左端与左支撑板4的右端上侧连接，过渡箱1的右端与右支撑板的左端上侧连接，过渡箱1的顶端连通设置有输送管，并且输送管上连通设置有增压泵，增压泵的底端与顶板3的顶端左侧连接，过渡箱1底端横向连通设置有多组出液通孔，并且多组出液通孔的底部输出端均连通设置有出液喷嘴5，左支撑板4和右支撑板的之间横向设置有放置网板6；包括左弧形板7、右弧形板、左放置板8、右放置板、前支撑轴9、后支撑轴、带动轴10、上支撑轴11、左卡板12、右卡板、左安装板13、右安装板、两组左安装螺栓14和两组右安装螺栓，弧形板的左端与左支撑板4的右端中部连接，并且右弧形板的右端与右支撑板的左端中部连接，左弧形板7右端的下侧中部设置有左带动槽，并且左带动槽内部固定安装有左带动滚珠轴承，带动轴10的左端插入并固定安装至左带动滚珠轴承内部，并且带动轴10的右端自右弧形板的左端横向依次穿过右弧形板和右支撑板内部并伸出至右支撑板的右端外界，带动轴10的右端设置有带动电机，左弧形板7右端的上前侧和上后侧分别设置有左前固定槽和左后固定槽，并且左前固定槽和左后固定槽内部分别设置有左前滚珠轴承和左后滚珠轴承，右弧形板左端的上前侧和上后侧分别设置有右前固定槽和右后固定槽，并且右前固定槽和右后固定槽内部分别设置有右前滚珠轴承和右后滚珠轴承，前支撑轴9的左端插入并固定安装至左前滚珠轴承内部，并且前支撑轴9的右端横向插入并固定安装至右前滚珠轴承内部，后支撑轴的左端插入并固定安装至左后滚珠轴承内部，并且后支撑轴的右端插入并固定安装至右后滚珠轴承内部，左安装板13位于左弧形板7的正上方，并且左安装板13的左端与左支撑板4的右端连接，右安装板位于右弧形板的正上方，并且右安装板的右端与右支撑板的左端连接，左安装板13的顶端设置有左安装槽，并且右安装板的顶端设置有右安装槽，左安装槽和右安装槽的底端内壁均设置为下半圆形结构，左卡板12和右卡板的底端均设置为上半圆结构，左放置板8的底端中部与左卡板12的顶端连接，并且左放置板8顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的左安装通孔，左安装板13顶端的前侧和后侧均设置有左安装螺纹孔，左卡板12的底端可滑动插入至左安装槽内部，并且两组左安装螺栓14的底端分别穿过两组左安装通孔内部并伸出至左放置板8的底端外界，两组左安装螺栓14的底端分别可插入并螺装至两组左安装螺纹孔内部，右放置板的底端中部与右卡板的顶端连接，并且右放置板顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的右安装通孔，右安装板顶端的前侧和后侧均设置有右安装螺纹孔，右卡板的底端可滑动插入至右安装槽内部，并且两组右安装螺栓的底端分别穿过两组右安装通孔内部并伸出至右放置板的底端外界，两组右安装螺栓的底端分别可插入并螺装至两组右安装螺纹孔内部，带动轴10上均布固定套装设置有多组带动凹型轮，并且前支撑轴9上对应均布固定套装设置有多组前凹型轮，后支撑轴上对应均布固定套装设置有多组后凹型轮，并且上支撑轴11上对应均布固定套装设置有多组上凹型轮，并且上支撑轴11的左端安装有左上滚珠轴承，上支撑轴11的右端安装有右上滚珠轴承；还包括收集箱15、两组左滑轮16、两组右滑轮、左滑轨17、右滑轨、固定环18、左销杆19、右销杆、固定座20、左弹簧21和右弹簧，两组左滑轮16的顶端分别与收集箱15底端外壁的左前侧和左后侧连接，并且两组右滑轮的顶端分别与收集箱15底端外壁的右前侧和右后侧连接，收集箱15的顶端与放置网板6的底端接触，并且收集箱15的顶端设置有收集槽，左滑轨17位于左支撑板4的右侧，并且右滑轨位于右支撑板的左侧，左滑轨17前后方向上固定安装在底板2的顶端左侧，并且右滑轨前后方向上固定安装在底板2的顶端右侧，两组左滑轮16与左滑轨17内部可滑动配合，并且两组右滑轮与右滑轨内部可滑动配合，固定座20的底端与底板2的顶端中部前侧连接，并且固定座20的顶端设置有前后贯穿的固定通槽，固定座20的左端和右端分别横向设置有左销孔和右销孔，左销孔和右销孔均与固定通槽相通，左弹簧21的右端与固定座20的左端连接，并且左弹簧21的内部与左销孔的内部横向同心设置，左销杆19的右端自左弹簧21的左端依次穿过左弹簧21和左销孔的内部并伸入至固定通槽内部，左销杆19的左端设置有左拉板，并且左拉板的右端与所弹簧的左端连接，右弹簧的左端与固定座20的右端连接，并且右弹簧的内部与右销孔的内部横向同心设置，右销杆的左端自右弹簧的右端依次穿过右弹簧和右销孔的内部并伸入至固定通槽内部，右销杆的右端设置有右拉板，并且右拉板的左端与右弹簧的右端连接，固定环18的顶端与收集箱15的底端中部前侧连接；可以通过多组带动凹型轮对多组晶圆的底端进行纵向支撑，同时可以通过多组前凹型轮和多组后凹型轮分别对多组晶圆的前端和后端进行支撑，从而使多组晶圆可以均布等距间隔的进行排列，从而可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，可以通过在安装槽和右安装槽分别对上支撑轴左端的左上轴承和上支撑轴右端的右上滚珠轴承进行架设，通过左卡板和右卡板分别将左上滚珠轴承和右上滚珠轴承的上部进行夹持，并且可以通过两组左安装螺栓分别与两组左安装螺纹孔之间的螺装配合，通过分别向下旋转两组左安装螺栓，使左放置板带动左卡板在左安装槽内部向下移动，从而使左卡板与左安装槽配合将左上滚珠轴承夹紧，同时可以通过两组右安装螺栓分别与两组右安装螺纹孔之间的螺装配合，通过分别向下旋转两组右安装螺栓，使右放置板带动右卡板在右安装槽内部向下移动，从而使右卡板与右安装槽配合将右上滚珠轴承夹紧，从而可以使多组上凹型轮将多组晶圆的顶端进行夹持，可以通过带动电机的转动，使多组带动凹型轮进行转动，从而使多组晶圆分别在多组前凹型轮、多组后凹型轮和多组上凹型轮的夹持下进行转动，使多组出液喷嘴喷射出的化学溶液方便喷射在多组晶圆之间的间隔中，同时在多组晶圆的转动过程中，方便使化学溶液与多组晶圆的表面进行充分接触，从而使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层接触反应更加充分，提高化学刻蚀效果，提高使用可靠性；并且可以通过两组左滑轮分别在左滑轨内部的滑动配合，同时通过两组右滑轮分别在右滑轨内部的滑动配合，使收集箱可以沿着左滑轨和右滑轨滑进至放置网板的底端，方便收集箱进行放置和抽取，同时可以通过固定环移动至固定顶端的固定通槽内部，向左拉动左拉板，使左销杆的右端在左弹簧的拉力作用下向右移动并插入至固定环的左端内部，同时向右拉动右拉板，使右销杆在右弹簧的拉力作用下向左移动并插入至固定环的右端内部，从而可以方便将收集箱进行固定安装，通过收集箱对使用后的化学溶液可以进行收集储存，收集一定量化学溶液后，通过分别向左拉动左拉板和右拉板，使左销杆和右销杆均自固定环内部拔出，使收集箱可以分别在两组左滑轮和两组右滑轮的作用下分别自左滑轨和右滑轨内部向前拔出，将溶液运走进行后续的处理，防止直接排出至外界，减少污染环境，降低使用局限性。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括支板22和四组支撑柱23，支板22的顶端与带动电机的底端连接，并且四组支撑柱23的顶端分别与支板22底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且四组支撑柱23的底端分别与底板2顶端右侧驱动左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；可以通过四组支撑柱和支板提高对带动电机的安装支撑稳定能力。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括支撑丝杆24、左固定螺母25、右固定螺母、第一小齿轮26、第一大齿轮27、第二小齿轮28和第二大齿轮29，支撑丝杆24的左端与带动轴10的右端同心连接，并且第一小齿轮26的右端与第一大齿轮27的左端同心连接，左固定螺母25螺装套设在支撑丝杆24外部的左侧，并且第一小齿轮26和第一大齿轮27套设在支撑丝杆24上，并且第一小齿轮26和第一大齿轮27均位于左固定螺母25的右侧，第一小齿轮26的左端与左固定螺母25的右端贴紧，右固定螺母螺装套设在支撑丝杆24的外部右侧，并且右固定螺母的左端与第一大齿轮27的右端贴紧，带动电机的左部输出端设置有传动轴，并且第二大齿轮29的右端与传动轴的左端同心连接，第二小齿轮28位于第二大齿轮29的右侧，并且第二小齿轮28固定套装在传动轴的外部右侧，第一小齿轮26与第二大齿轮29可啮合传动，并且第一大齿轮27与第二小齿轮28可啮合传动；可以通过左固定螺母和右固定螺母分别与支撑丝杆之间的螺装配合，将左固定螺母和右固定螺母拧松，使第一小齿轮和第二小齿轮可以在支撑丝杆上进行左右移动，并且可以通过分别拧紧左固定螺母和右固定螺母将调节后的第一小齿轮和第二小齿轮在支撑丝杆上的位置进行锁紧固定，当第一小齿轮与传动轴上的第二大齿轮进行啮合时，通过带动电机的转动，使第二大齿轮带动第一小齿轮进行转动，从而使带动轴进行增速转动，当将第一大齿轮与第二小齿轮啮后，使第二小齿轮带动第一大齿轮进行转动，从而可以对带动轴进行减速转动，从而可以方便对多组晶圆根据化学刻蚀情况选择不同的转速，提高适应能力，降低使用局限性。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括两组上弧形橡胶板30和两组下弧形橡胶板，两组上弧形橡胶板30的顶端分别与左卡板12和右卡板的底端连接，并且 两组下弧形橡胶板的底端分别与左安装槽和右安装槽的底端内壁连接；可以通过两组上弧形橡胶板和分别提高左卡板和右卡板对左上滚珠轴承和右上滚珠轴承上部的摩擦力，同时可以通过两组下弧形橡胶板分别提高左安装槽和右安装槽分别对左上滚珠轴承和右上滚珠轴承下部的摩擦力，从而可以提高左上滚珠轴承和右上滚珠轴承的固定安装能力，提高左上滚珠轴承和右上滚珠轴承的使用可靠性。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括前挡罩31和后挡罩，前挡罩31的后端下侧与放置网板6的前端连接，并且前挡罩31的后端左侧与左支撑板4的前端连接，前挡罩31的后端右侧与右支撑板的前端连接，后挡罩的前端下侧与放置网板6的后端连接，并且后挡罩的前端左侧与左支撑板4的后端连接，后挡罩的前端右侧与右支撑板的后端连接；可以通过前挡罩和后挡罩可以防止喷射后的化学溶液在多组晶圆的转动下四处喷溅，方便使化学溶液流进至收集箱内部，提高实用性。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，还包括调节轴34和调节手轮32，过渡箱1的底端外壁内部横向设置有圆形调节通孔，并且圆形调节通孔的右端与外界相通，多组出液通孔均与圆形调节通孔内部相通，圆形调节通孔的内部右侧设置有机械密封，调节轴34横向可转动设置在圆形调节通孔内部，并且调节轴34的右端依次穿过机械密封和有支撑板的内部并伸出至右支撑板的右端外界，调节手轮32的左端与调节轴34的右端同心连接，调节轴34的顶端纵向均布设置有多组调节通孔，并且多组调节通孔分别与多组出液通孔一一对应；可以通过转动调节手轮，使调节轴在圆形调节通孔内部进行转动，从而可以使多组调节通孔与多组出液通孔之间进行角度调节，通过多组调节通孔的转动角度，调节化学溶液在多组出液通孔出液流量，从而可以控制多组出液喷嘴对多组晶圆的喷射的化学溶液用量，方便操作人员根据实际环境对化学溶液用量进行调节，提高适应能力，降低使用局限性。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，每组出液喷嘴5的底端前侧和后侧分别连通设置有前出液管33和后出液管；可以通过多组前出液管和多组后出液管的设计，使化学溶液可以避开直接与上支撑轴上的多组上凹型轮的冲击直接喷射在多组晶圆上，减少化学溶液的撞击喷溅，提高化学溶液利用率，提高实用性。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，每组前出液管33的底端均向后倾斜设置，并且每组后出液管的底端均向前倾斜设置；可以通过多组前出液管和多组后出液管角度倾斜的设置，使化学溶液方便喷射进多组晶圆之间的间隔内部，从而提高化学溶液与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层的接触效果，减少化学溶液浪费，提高实用性。
本发明的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其在工作时，首先将多组晶圆均布等距的纵向放置在多组带动凹型轮上，通过多组带动凹型轮对多组晶圆的底端进行纵向支撑，同时可以通过多组前凹型轮和多组后凹型轮分别对多组晶圆的前端和后端进行支撑，从而使多组晶圆可以均布等距间隔的进行排列，从而可以使多组晶圆放置规整，防止多组晶圆相互叠放，可以通过在安装槽和右安装槽分别对上支撑轴左端的左上轴承和上支撑轴右端的右上滚珠轴承进行架设，通过左卡板和右卡板分别将左上滚珠轴承和右上滚珠轴承的上部进行夹持，并且可以通过两组左安装螺栓分别与两组左安装螺纹孔之间的螺装配合，通过分别向下旋转两组左安装螺栓，使左放置板带动左卡板在左安装槽内部向下移动，从而使左卡板与左安装槽配合将左上滚珠轴承夹紧，同时可以通过两组右安装螺栓分别与两组右安装螺纹孔之间的螺装配合，通过分别向下旋转两组右安装螺栓，使右放置板带动右卡板在右安装槽内部向下移动，从而使右卡板与右安装槽配合将右上滚珠轴承夹紧，从而可以使多组上凹型轮将多组晶圆的顶端进行夹持，通过四组支撑柱和支板对带动电机进行支撑，通过左固定螺母和右固定螺母分别与支撑丝杆之间的螺装配合，将左固定螺母和右固定螺母拧松，使第一小齿轮和第二小齿轮可以在支撑丝杆上进行左右移动，并且可以通过分别拧紧左固定螺母和右固定螺母将调节后的第一小齿轮和第二小齿轮在支撑丝杆上的位置进行锁紧固定，当第一小齿轮与传动轴上的第二大齿轮进行啮合时，通过带动电机的转动，使第二大齿轮带动第一小齿轮进行转动，从而使带动轴进行增速转动，当将第一大齿轮与第二小齿轮啮后，使第二小齿轮带动第一大齿轮进行转动，从而可以对带动轴进行减速转动，从而可以方便对多组晶圆根据化学刻蚀情况选择不同的转速，选择合适的转速后，然后将带动电机与外部电源接通，使带动电机转动，通过带动电机的转动，使多组带动凹型轮进行转动，从而使多组晶圆分别在多组前凹型轮、多组后凹型轮和多组上凹型轮的夹持下进行转动，使多组出液喷嘴喷射出的化学溶液方便喷射在多组晶圆之间的间隔中，同时在多组晶圆的转动过程中，方便使化学溶液与多组晶圆的表面进行充分接触，从而使化学溶液在对多组晶圆进行冲洗的过程中与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层接触反应更加充分，通过两组上弧形橡胶板和分别提高左卡板和右卡板对左上滚珠轴承和右上滚珠轴承上部的摩擦力，同时可以通过两组下弧形橡胶板分别提高左安装槽和右安装槽分别对左上滚珠轴承和右上滚珠轴承下部的摩擦力，从而可以提高左上滚珠轴承和右上滚珠轴承的固定安装能力，过前挡罩和后挡罩可以防止喷射后的化学溶液在多组晶圆的转动下四处喷溅，方便使化学溶液流进至收集箱内部，通过转动调节手轮，使调节轴在圆形调节通孔内部进行转动，从而可以使多组调节通孔与多组出液通孔之间进行角度调节，通过多组调节通孔的转动角度，调节化学溶液在多组出液通孔出液流量，从而可以控制多组出液喷嘴对多组晶圆的喷射的化学溶液用量，方便操作人员根据实际环境对化学溶液用量进行调节，通过多组前出液管和多组后出液管的设计，使化学溶液可以避开直接与上支撑轴上的多组上凹型轮的冲击直接喷射在多组晶圆上，减少化学溶液的撞击喷溅，通过多组前出液管和多组后出液管角度倾斜的设置，使化学溶液方便喷射进多组晶圆之间的间隔内部，从而提高化学溶液与多组晶圆表面上的三氧化二铝和甘油混合液保护层的接触效果，减少化学溶液浪费，最后将输送管的与外部化学溶液进行连通，然后将待化学刻蚀的多组晶圆放置在放置网板上，通过增压泵将化学溶液打进至过渡箱内部，并且经过多组出液喷嘴喷射在多组晶圆表面进行化学刻蚀即可。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，包括过渡箱（1）、底板（2）、顶板（3）、左支撑板（4）和右支撑板，左支撑板（4）和右支撑板的底端分别与底板（2）顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板（4）和右支撑板的顶端分别与顶板（3）帝都的左侧和右侧连接，过渡箱（1）的顶端与顶板（3）的底端连接，并且过渡箱（1）的左端与左支撑板（4）的右端上侧连接，过渡箱（1）的右端与右支撑板的左端上侧连接，过渡箱（1）的顶端连通设置有输送管，并且输送管上连通设置有增压泵，增压泵的底端与顶板（3）的顶端左侧连接，过渡箱（1）底端横向连通设置有多组出液通孔，并且多组出液通孔的底部输出端均连通设置有出液喷嘴（5），所述左支撑板（4）和右支撑板的之间横向设置有放置网板（6）；其特征在于，包括左弧形板（7）、右弧形板、左放置板（8）、右放置板、前支撑轴（9）、后支撑轴、带动轴（10）、上支撑轴（11）、左卡板（12）、右卡板、左安装板（13）、右安装板、两组左安装螺栓（14）和两组右安装螺栓，所述弧形板的左端与所述左支撑板（4）的右端中部连接，并且所述右弧形板的右端与所述右支撑板的左端中部连接，所述左弧形板（7）右端的下侧中部设置有左带动槽，并且左带动槽内部固定安装有左带动滚珠轴承，所述带动轴（10）的左端插入并固定安装至左带动滚珠轴承内部，并且所述带动轴（10）的右端自右弧形板的左端横向依次穿过右弧形板和右支撑板内部并伸出至右支撑板的右端外界，带动轴（10）的右端设置有带动电机，所述左弧形板（7）右端的上前侧和上后侧分别设置有左前固定槽和左后固定槽，并且左前固定槽和左后固定槽内部分别设置有左前滚珠轴承和左后滚珠轴承，所述右弧形板左端的上前侧和上后侧分别设置有右前固定槽和右后固定槽，并且右前固定槽和右后固定槽内部分别设置有右前滚珠轴承和右后滚珠轴承，所述前支撑轴（9）的左端插入并固定安装至左前滚珠轴承内部，并且前支撑轴（9）的右端横向插入并固定安装至右前滚珠轴承内部，所述后支撑轴的左端插入并固定安装至左后滚珠轴承内部，并且所述后支撑轴的右端插入并固定安装至右后滚珠轴承内部，所述左安装板（13）位于所述左弧形板（7）的正上方，并且左安装板（13）的左端与所述左支撑板（4）的右端连接，所述右安装板位于所述右弧形板的正上方，并且右安装板的右端与所述右支撑板的左端连接，左安装板（13）的顶端设置有左安装槽，并且所述右安装板的顶端设置有右安装槽，所述左安装槽和右安装槽的底端内壁均设置为下半圆形结构，所述左卡板（12）和右卡板的底端均设置为上半圆结构，所述左放置板（8）的底端中部与所述左卡板（12）的顶端连接，并且左放置板（8）顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的左安装通孔，所述左安装板（13）顶端的前侧和后侧均设置有左安装螺纹孔，所述左卡板（12）的底端可滑动插入至左安装槽内部，并且所述两组左安装螺栓（14）的底端分别穿过两组左安装通孔内部并伸出至左放置板（8）的底端外界，所述两组左安装螺栓（14）的底端分别可插入并螺装至两组左安装螺纹孔内部，所述右放置板的底端中部与所述右卡板的顶端连接，并且右放置板顶端的前侧和后侧均设置有上下贯穿的右安装通孔，所述右安装板顶端的前侧和后侧均设置有右安装螺纹孔，所述右卡板的底端可滑动插入至右安装槽内部，并且所述两组右安装螺栓的底端分别穿过两组右安装通孔内部并伸出至右放置板的底端外界，所述两组右安装螺栓的底端分别可插入并螺装至两组右安装螺纹孔内部，所述带动轴（10）上均布固定套装设置有多组带动凹型轮，并且所述前支撑轴（9）上对应均布固定套装设置有多组前凹型轮，所述后支撑轴上对应均布固定套装设置有多组后凹型轮，并且所述上支撑轴（11）上对应均布固定套装设置有多组上凹型轮，并且上支撑轴（11）的左端安装有左上滚珠轴承，上支撑轴（11）的右端安装有右上滚珠轴承；还包括收集箱（15）、两组左滑轮（16）、两组右滑轮、左滑轨（17）、右滑轨、固定环（18）、左销杆（19）、右销杆、固定座（20）、左弹簧（21）和右弹簧，所述两组左滑轮（16）的顶端分别与所述收集箱（15）底端外壁的左前侧和左后侧连接，并且两组右滑轮的顶端分别与所述收集箱（15）底端外壁的右前侧和右后侧连接，所述收集箱（15）的顶端与所述放置网板（6）的底端接触，并且收集箱（15）的顶端设置有收集槽，所述左滑轨（17）位于所述左支撑板（4）的右侧，并且所述右滑轨位于所述右支撑板的左侧，所述左滑轨（17）前后方向上固定安装在所述底板（2）的顶端左侧，并且所述右滑轨前后方向上固定安装在所述底板（2）的顶端右侧，所述两组左滑轮（16）与所述左滑轨（17）内部可滑动配合，并且所述两组右滑轮与所述右滑轨内部可滑动配合，所述固定座（20）的底端与所述底板（2）的顶端中部前侧连接，并且固定座（20）的顶端设置有前后贯穿的固定通槽，固定座（20）的左端和右端分别横向设置有左销孔和右销孔，所述左销孔和右销孔均与所述固定通槽相通，所述左弹簧（21）的右端与所述固定座（20）的左端连接，并且所述左弹簧（21）的内部与所述左销孔的内部横向同心设置，所述左销杆（19）的右端自左弹簧（21）的左端依次穿过左弹簧（21）和左销孔的内部并伸入至固定通槽内部，左销杆（19）的左端设置有左拉板，并且左拉板的右端与所弹簧的左端连接，所述右弹簧的左端与所述固定座（20）的右端连接，并且所述右弹簧的内部与所述右销孔的内部横向同心设置，所述右销杆的左端自右弹簧的右端依次穿过右弹簧和右销孔的内部并伸入至固定通槽内部，右销杆的右端设置有右拉板，并且右拉板的左端与所述右弹簧的右端连接，所述固定环（18）的顶端与所述收集箱（15）的底端中部前侧连接。
2.如权利要求1所述的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其特征在于，还包括支板（22）和四组支撑柱（23），所述支板（22）的顶端与所述带动电机的底端连接，并且所述四组支撑柱（23）的顶端分别与所述支板（22）底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且所述四组支撑柱（23）的底端分别与所述底板（2）顶端右侧驱动左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接。
3.如权利要求2所述的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其特征在于，还包括支撑丝杆（24）、左固定螺母（25）、右固定螺母、第一小齿轮（26）、第一大齿轮（27）、第二小齿轮（28）和第二大齿轮（29），所述支撑丝杆（24）的左端与所述带动轴（10）的右端同心连接，并且所述第一小齿轮（26）的右端与所述第一大齿轮（27）的左端同心连接，所述左固定螺母（25）螺装套设在所述支撑丝杆（24）外部的左侧，并且第一小齿轮（26）和第一大齿轮（27）套设在支撑丝杆（24）上，并且第一小齿轮（26）和第一大齿轮（27）均位于所述左固定螺母（25）的右侧，第一小齿轮（26）的左端与所述左固定螺母（25）的右端贴紧，所述右固定螺母螺装套设在所述支撑丝杆（24）的外部右侧，并且右固定螺母的左端与第一大齿轮（27）的右端贴紧，所述带动电机的左部输出端设置有传动轴，并且所述第二大齿轮（29）的右端与所述传动轴的左端同心连接，所述第二小齿轮（28）位于所述第二大齿轮（29）的右侧，并且第二小齿轮（28）固定套装在所述传动轴的外部右侧，所述第一小齿轮（26）与第二大齿轮（29）可啮合传动，并且所述第一大齿轮（27）与第二小齿轮（28）可啮合传动。
4.如权利要求3所述的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其特征在于，还包括两组上弧形橡胶板（30）和两组下弧形橡胶板，所述两组上弧形橡胶板（30）的顶端分别与所述左卡板（12）和右卡板的底端连接，并且 所述两组下弧形橡胶板的底端分别与所述左安装槽和右安装槽的底端内壁连接。
5.如权利要求4所述的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其特征在于，还包括前挡罩（31）和后挡罩，所述前挡罩（31）的后端下侧与所述放置网板（6）的前端连接，并且前挡罩（31）的后端左侧与所述左支撑板（4）的前端连接，前挡罩（31）的后端右侧与所述右支撑板的前端连接，所述后挡罩的前端下侧与所述放置网板（6）的后端连接，并且后挡罩的前端左侧与所述左支撑板（4）的后端连接，后挡罩的前端右侧与所述右支撑板的后端连接。
6.如权利要求5所述的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其特征在于，还包括调节轴（34）和调节手轮（32），所述过渡箱（1）的底端外壁内部横向设置有圆形调节通孔，并且所述圆形调节通孔的右端与外界相通，所述多组出液通孔均与圆形调节通孔内部相通，所述圆形调节通孔的内部右侧设置有机械密封，所述调节轴（34）横向可转动设置在圆形调节通孔内部，并且调节轴（34）的右端依次穿过机械密封和有支撑板的内部并伸出至右支撑板的右端外界，所述调节手轮（32）的左端与所述调节轴（34）的右端同心连接，调节轴（34）的顶端纵向均布设置有多组调节通孔，并且所述多组调节通孔分别与所述多组出液通孔一一对应。
7.如权利要求6所述的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其特征在于，每组所述出液喷嘴（5）的底端前侧和后侧分别连通设置有前出液管（33）和后出液管。
8.如权利要求7所述的一种晶圆生产用表面化学刻蚀装置，其特征在于，每组所述前出液管（33）的底端均向后倾斜设置，并且所述每组所述后出液管的底端均向前倾斜设置。
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