CN109283806A - 一种ito光刻胶坚膜烘焙调控装置 - Google Patents

一种ito光刻胶坚膜烘焙调控装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，涉及LCD显示技术领域。本发明中：第一固定边板上固定在设有第二伸缩动力装置；第二伸缩动力装置的输出轴上设有第二伸缩连杆；第二伸缩连杆的端侧固定连接有第二支撑横板；第二支撑横板上装设有若干均匀分布的加热装置和若干温度传感装置。本发明通过传送带板将ITO光刻胶玻璃基板传输至加热装置下方；通过在加热装置上设置的加热环板，能够有效提升光刻胶接收的热量，并通过靠近加热环板的温度传感探头对加热环板附近的温度进行监测，便于光刻胶加热受热控制，同时光刻胶层受热释放出来的水分/气体，通过抽气管头抽离出去，从而高效的完成光刻胶坚膜的加工操作。

Description

一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置
技术领域
本发明涉及LCD显示技术领域，尤其涉及一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置。
背景技术
LCD的构造是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶盒，下基板玻璃上设置TFT/薄膜晶体管，上基板玻璃上设置彩色滤光片，通过TFT上的信号与电压改变来控制液晶分子的转动方向，从而达到控制每个像素点偏振光出射与否而达到显示目的。
LCD显示器在生产加工过程中，由于显影时光刻胶膜发生软化、膨胀，影响胶膜的抗蚀能力，因此显影后必须用适当的温度烘焙光刻胶玻璃以除水分，从而增强胶膜与玻璃的粘附性，这一过程称之为坚膜；而光刻胶的烘焙温度以及光刻胶玻璃板的烘焙承载方式，影响着光刻胶坚膜的加工操作效率；如何高效的完成光刻胶坚膜的加工操作，成为需要解决的问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，从而高效的完成光刻胶坚膜的加工操作。
为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：
本发明提供一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，包括第一固定边板，第一固定边板的两端侧都固定连接有第二固定边板；第二固定边板上固定装设有第一伸缩动力装置；第一伸缩动力装置的输出轴上设有第一伸缩连杆；第一伸缩连杆的端侧固定连接有第一阻隔连板；第二固定边板上固定装设有边侧定位框架；第一伸缩连杆、第一阻隔连板活动穿过边侧定位框架；包括用于传输ITO光刻胶玻璃基板的传输带板。
第一固定边板上固定在设有第二伸缩动力装置；第二伸缩动力装置的输出轴上设有第二伸缩连杆；第二伸缩连杆的端侧固定连接有第二支撑横板；第二支撑横板上装设有若干均匀分布的加热装置和若干温度传感装置。
第一固定边板上固定装设有一对抽气动力装置；第二固定边板上固定装设有第三伸缩动力装置；第三伸缩动力装置的输出轴上设有第三伸缩连杆；第三伸缩连杆的端侧固定装设有抽气管头；抽气管头与抽气动力装置之间通过抽气软连管相连通。
作为本发明的一种优选技术方案，第一阻隔连板上设有橡胶材质的第一隔离垫板。
作为本发明的一种优选技术方案，传输带板上开设有与第一阻隔连板相配合的第一密封槽；第一密封槽内设有硅胶材质的第一密封垫板；传输带板上开设有第一放置槽。
作为本发明的一种优选技术方案，加热装置和温度传感装置在第二支撑横板上交错分布；加热装置上设有靠近ITO光刻胶的加热环板；温度传感装置上设有靠近加热环板的温度传感探头。
作为本发明的一种优选技术方案，抽气管头上开设有倾斜靠近ITO光刻胶板的抽气开口。
与现有的技术相比，本发明的有益效果是：
本发明通过传送带板将ITO光刻胶玻璃基板传输至加热装置下方，通过第一伸缩动力装置驱动调节第一阻隔连板与传输带板的第一密封槽进行位置配合；通过在加热装置上设置的加热环板，能够有效提升光刻胶接收的热量，并通过靠近加热环板的温度传感探头对加热环板附近的温度进行监测，便于光刻胶加热受热控制，同时光刻胶层受热释放出来的水分/气体，通过抽气管头抽离出去，从而高效的完成光刻胶坚膜的加工操作。
附图说明
图1为本发明整体装置的结构示意图；
图2为图1中A处局部放大的结构示意图；
图3为图1中B处局部放大的结构示意图；
图4为图1中C处局部放大的结构示意图；
其中：1-第一固定边板；2-第二固定边板；3-第一伸缩动力装置；4-第一伸缩连杆；5-边侧定位框架；6-第一阻隔连板，601-第一隔离垫板；7-传输带板，701-第一密封槽，702-第一密封垫板，703-第一放置槽；8-第二伸缩动力装置；9-第二伸缩连杆；10-第二支撑横板；11-加热装置；12-温度传感装置；13-第三伸缩动力装置；14-第三伸缩连杆；15-抽气动力装置；16-抽气软连管；17-主处理控制器；18-玻璃基板；19-ITO膜；20-光刻胶；21-抽气管头；22-温度传感探头；23-加热环板。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明为一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，包括第一固定边板1，第一固定边板1的两端侧都固定连接有第二固定边板2；第二固定边板2上固定装设有第一伸缩动力装置3；第一伸缩动力装置3的输出轴上设有第一伸缩连杆4；第一伸缩连杆4的端侧固定连接有第一阻隔连板6；第二固定边板2上固定装设有边侧定位框架5；第一伸缩连杆4、第一阻隔连板6活动穿过边侧定位框架5；包括用于传输ITO光刻胶玻璃基板的传输带板7；
第一固定边板1上固定在设有第二伸缩动力装置8；第二伸缩动力装置8的输出轴上设有第二伸缩连杆9；第二伸缩连杆9的端侧固定连接有第二支撑横板10；第二支撑横板10上装设有若干均匀分布的加热装置11和若干温度传感装置12；
第一固定边板1上固定装设有一对抽气动力装置15；第二固定边板2上固定装设有第三伸缩动力装置13；第三伸缩动力装置13的输出轴上设有第三伸缩连杆14；第三伸缩连杆14的端侧固定装设有抽气管头21；
抽气管头21与抽气动力装置15之间通过抽气软连管16相连通。
进一步的，第一阻隔连板6上设有橡胶材质的第一隔离垫板601。
进一步的，传输带板7上开设有与第一阻隔连板6相配合的第一密封槽701；第一密封槽701内设有硅胶材质的第一密封垫板702；传输带板7上开设有第一放置槽703。
进一步的，加热装置11和温度传感装置12在第二支撑横板10上交错分布；加热装置11上设有靠近ITO光刻胶的加热环板23；温度传感装置12上设有靠近加热环板23的温度传感探头22。
进一步的，抽气管头21上开设有倾斜靠近ITO光刻胶板的抽气开口。
在本发明装置中，传送带板7将需要坚膜烘焙的ITO光刻胶玻璃基板传输至加热装置11下方；第一伸缩动力装置3驱动调节第一阻隔连板6，第一阻隔连板6的端侧卡至传输带板7的第一密封槽701内，将光刻胶玻璃基板进行隔离；同时，第二伸缩动力装置8对第二支撑横板10进行位置调节，将第二支撑横板10上的加热装置11和温度传感装置12靠近光刻胶，加热装置11上的加热环板23能够有效提升光刻胶接收的热量，并通过靠近加热环板23的温度传感探头22对加热环板23附近的温度进行监测，便于光刻胶加热受热控制；同时光刻胶层受热释放出来的水分/气体，通过抽气管头21抽离出去。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
包括第一固定边板（1），所述第一固定边板（1）的两端侧都固定连接有第二固定边板（2）；
所述第二固定边板（2）上固定装设有第一伸缩动力装置（3）；
所述第一伸缩动力装置（3）的输出轴上设有第一伸缩连杆（4）；
所述第一伸缩连杆（4）的端侧固定连接有第一阻隔连板（6）；
所述第二固定边板（2）上固定装设有边侧定位框架（5）；
所述第一伸缩连杆（4）、第一阻隔连板（6）活动穿过边侧定位框架（5）；
包括用于传输ITO光刻胶玻璃基板的传输带板（7）；
所述第一固定边板（1）上固定在设有第二伸缩动力装置（8）；
所述第二伸缩动力装置（8）的输出轴上设有第二伸缩连杆（9）；
所述第二伸缩连杆（9）的端侧固定连接有第二支撑横板（10）；
所述第二支撑横板（10）上装设有若干均匀分布的加热装置（11）和若干温度传感装置（12）；
所述第一固定边板（1）上固定装设有一对抽气动力装置（15）；
所述第二固定边板（2）上固定装设有第三伸缩动力装置（13）；
所述第三伸缩动力装置（13）的输出轴上设有第三伸缩连杆（14）；
所述第三伸缩连杆（14）的端侧固定装设有抽气管头（21）；
所述抽气管头（21）与抽气动力装置（15）之间通过抽气软连管（16）相连通。
2.根据权利要求1所述的一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
所述第一阻隔连板（6）上设有橡胶材质的第一隔离垫板（601）。
3.根据权利要求1所述的一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
所述传输带板（7）上开设有与第一阻隔连板（6）相配合的第一密封槽（701）；
所述第一密封槽（701）内设有硅胶材质的第一密封垫板（702）；
所述传输带板（7）上开设有第一放置槽（703）。
4.根据权利要求1所述的一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
所述加热装置（11）和温度传感装置（12）在第二支撑横板（10）上交错分布；
所述加热装置（11）上设有靠近ITO光刻胶的加热环板（23）；
所述温度传感装置（12）上设有靠近加热环板（23）的温度传感探头（22）。
5.根据权利要求1所述的一种ITO光刻胶坚膜烘焙调控装置，其特征在于：
所述抽气管头（21）上开设有倾斜靠近ITO光刻胶板的抽气开口。
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