CN109273560A - 一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，包括：臭氧供给系统，用于供给适量浓度的臭氧和空气混合气体；离线氧化腔体，所述离线氧化腔体为封闭容器，与所述臭氧供给系统相连；所述离线氧化腔体用于承载从生产线取下的硅片，通入臭氧后待反应完成，再将带有二氧化硅膜的硅片放至氮化硅膜生产线。通过增加二氧化硅钝化膜，可以有效减少电位诱导衰减，相比在线生成二氧化硅膜，离线氧化腔体可以使覆膜和其他生产线在不同地点分开进行，而不限于在同一生产线即时完成覆膜，且单次覆膜量较大，每个离线氧化腔体可放置400片硅片，每小时可完成氧化覆膜4000片。
Description
技术领域
本发明涉及硅电池技术领域，具体涉及一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统。
背景技术
太阳能光伏电池(简称光伏电池)用于把太阳的光能直接转化为电能。目前地面光伏系统大量使用的是以硅为基底的硅太阳能电池，可分为单晶硅、多晶硅、非晶硅太阳能电池。在能量转换效率和使用寿命等综合性能方面，单晶硅和多晶硅电池优于非晶硅电池。多晶硅比单晶硅转换效率低，但价格更便宜。
但是现有的太阳能电池存在电位诱导衰减的问题，电位诱导衰减PID现象是指在高温多湿环境下，高电压流经太阳能电池单元便会导致输出功率下降的现象，是光伏电池所特有的现象。在过去的几十年里，由于系统偏压而引起组件功率大幅衰减，有的衰减甚至超过50％。PID与环境因素、组件材料以及逆变器阵列接地方式等有关。
发明内容
因此，为了克服现有技术中电池电位诱导衰减问题严重的问题，从而提供一种在能够生产具有氧化硅膜的太阳能电池，从而减轻电位诱导衰减问题的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统。
本发明的设计方案如下：
一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，包括：臭氧供给系统，用于供给设定臭氧浓度的臭氧混合气体；离线氧化腔体，为与所述臭氧供给系统相连的封闭容器；所述离线氧化腔体用于承载从生产线取下的硅片，所述硅片在所述离线氧化腔体内反应形成二氧化硅膜。
优选的，包括放置所述硅片的承载盒，所述离线氧化腔体设有多个可分别取出的所述承载盒。
优选的，所述承载盒在所述离线氧化腔高度方向上分层设置，所述离线氧化腔体从顶部通入所述臭氧混合气体，底部设有过量气体排放管路。
优选的，还包括空气吹扫管路，用于对所述离线氧化腔体进行粉尘吹扫。
优选的，所述臭氧供给系统包括气体混合器以及与所述气体混合器两输入端连接的臭氧发生器和压缩空气输入装置；所述臭氧发生器生成臭氧后输入所述气体混合器，所述压缩空气输入装置向所述气体混合器输入压缩空气，所述气体混合器将空气与臭氧混合成适量臭氧浓度的所述臭氧混合气体通过输出端输出至所述离线氧化腔体。
优选的，还包括臭氧浓度监测系统，所述臭氧浓度检测系统包括设置于臭氧浓度检测装置、警报装置和臭氧浓度调节装置；所述臭氧浓度检测装置设置于所述气体混合器的所述输出端。
本发明技术方案，具有如下优点：
1、本发明提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，包括：臭氧供给系统，用于供给适量臭氧浓度的臭氧混合气体；所述离线氧化腔体为与所述臭氧供给系统相连封闭容器；所述离线氧化腔体用于承载从生产线取下的硅片，所述硅片在所述离线氧化腔体内反应形成二氧化硅膜。通入臭氧后待反应完成，再将带有二氧化硅膜的硅片放至氮化硅膜生产线。通过增加二氧化硅钝化膜，可以有效减少电位诱导衰减，相比在线生成二氧化硅膜，离线氧化腔体可以使覆膜和其他生产线在不同地点分开进行，而不限于在同一生产线即时完成覆膜，且单次覆膜量较大，每个离线氧化腔体可放置400片硅片，每小时可完成氧化覆膜4000片。
2、本发明提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，所述离线氧化腔体设有若干层可分别取出的硅片载放台，使得腔体内的硅片可以均匀分布，提高产量的同时保证了覆膜效果。
3、本发明提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，所述离线氧化腔体从顶部通入氧气和空气混合气体，底部设有过量气体排放管路，可通过接入风机提供负压，从而控制腔内臭氧的流速，同时排放过量臭氧气体。
4、本发明提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，还包括空气吹扫管路，用于对所述离线氧化腔体进行粉尘吹扫，去除附着在氧化后的硅片表面的粉尘颗粒。
5、本发明提供的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，包括臭氧浓度检测装置、警报装置和臭氧浓度调节装置，用于控制反应的臭氧浓度始终处于适当范围以保证覆膜均匀。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统结构示意图。
附图标记说明：
1-离线氧化腔体；2-过量气体排放管路；3-空气吹扫管路；4-臭氧发生器；5-气体混合器；6-臭氧浓度检测装置。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
图1示出了一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，包括：臭氧供给系统，用于供给设定臭氧的臭氧和空气混合气体，所述臭氧供给系统包括氧气输入装置、臭氧发生器4、压缩空气输入装置和气体混合器5，所述氧气输入装置向所述臭氧发生器4输入氧气，所述臭氧发生器4生成臭氧后输入所述气体混合器5，所述压缩空气输入装置向所述气体混合器5内输入压缩空气，所述气体混合器5将空气与臭氧混合成适量浓度的臭氧和空气混合气体后供给至所述离线氧化腔体1，所述气体混合器5相连的臭氧浓度监测系统，包括臭氧浓度检测装置6、警报装置和臭氧浓度调节装置，所述臭氧浓度检测装置设置于所述气体混合器5的所述输出端，用于控制反应的臭氧浓度始终处于适当范围以保证覆膜均匀。
离线氧化腔体1，所述离线氧化腔体1为封闭容器，与所述臭氧供给系统相连，从顶部通入氧气和空气混合气体，底部设有过量气体排放管路2，可通过接入风机提供负压，从而控制腔内臭氧的流速，同时排放过量臭氧气体；所述离线氧化腔体1设有多个可分别取出的承载盒，所述承载盒在所述离线氧化腔高度方向上分层设置，用于承载从生产线取下的硅片，通入臭氧后待反应完成，所述硅片在所述离线氧化腔体内反应形成二氧化硅膜，再将带有二氧化硅膜的硅片放至氮化硅膜生产线。通过增加二氧化硅钝化膜，可以有效减少电位诱导衰减，相比在线生成二氧化硅膜，离线氧化腔体1可以使覆膜和其他生产线在不同地点分开进行，而不限于在同一生产线即时完成覆膜，且单次覆膜量较大，每个离线氧化腔体1可放置400片硅片，每小时可完成氧化覆膜4000片。还包括空气吹扫管路3，用于对所述离线氧化腔体1进行粉尘吹扫，用于对所述离线氧化腔体1进行粉尘吹扫，去除附着在氧化后的硅片表面的粉尘颗粒。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。
Claims (6)
1.一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，包括：
臭氧供给系统，用于供给设定臭氧浓度的臭氧混合气体；
离线氧化腔体(1)，为与所述臭氧供给系统相连的封闭容器；
所述离线氧化腔体(1)用于承载从生产线取下的硅片，所述硅片在所述离线氧化腔体内反应形成二氧化硅膜。
2.根据权利要求1中所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，包括放置所述硅片的承载盒，所述离线氧化腔体(1)设有多个可分别取出的所述承载盒。
3.根据权利要求2中所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，所述承载盒在所述离线氧化腔高度方向上分层设置，所述离线氧化腔体(1)从顶部通入所述臭氧混合气体，底部设有过量气体排放管路(2)。
4.根据权利要求3中所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，还包括空气吹扫管路(3)，用于对所述离线氧化腔体(1)进行粉尘吹扫。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，所述臭氧供给系统包括气体混合器(5)以及与所述气体混合器(5)两输入端连接的臭氧发生器(4)和压缩空气输入装置；所述臭氧发生器(4)生成臭氧后输入所述气体混合器(5)，所述压缩空气输入装置向所述气体混合器(5)输入压缩空气，所述气体混合器(5)将空气与臭氧混合成适量臭氧浓度的所述臭氧混合气体通过输出端输出至所述离线氧化腔体(1)。
6.根据权利要求5所述的一种用于硅电池的二氧化硅膜离线生成系统，其特征在于，还包括臭氧浓度监测系统，所述臭氧浓度检测系统包括设置于臭氧浓度检测装置(6)、警报装置和臭氧浓度调节装置；所述臭氧浓度检测装置设置于所述气体混合器(5)的所述输出端。
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Legal Events
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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