CN109271668A - 版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，涉及集成电路技术领域，用于检测一多边形的长度方向和宽度方向，其中所述多边形包括至少一条平行于X轴的边和至少一条垂直于X轴的边，首先选出多边形中与X轴平行的边及与X轴垂直的边，然后将多边形与X轴平行的边和与X轴垂直的边进行扩展，并将各边扩展后得到的矩形图形集合建立连接关系，然后借由连接关系进行面积比值计算，由面积比值的结果来选取多边形的长度方向和宽度方向，以得到一种普适性的检测方法。

Description

版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法
技术领域
本发明涉及集成电路技术领域，尤其涉及一种版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法。
背景技术
在集成电路技术领域中，设计规则检查(DRC)是集成电路版图设计过程中重要的物理验证技术文件，设计规则检查的开发需要完全依托于集成电路制造厂提供的版图设计规则，设计规则检查中的所有检查项需要满足版图设计规则中的要求，以保证集成电路制造能取得较好的良率。
随着半导体制造工艺的发展，版图设计规则需要包含的设计限制因素也越来越多，为了满足一些工艺制程的需要，版图设计规则中逐渐开始增加一些有关于沿图形长边(即图形的长度方向)或宽边(即图形的宽度方向)进行相关规则检查的要求。
为了满足这些要求，设计规则检查需要提供一种普适性的、尽可能少的限制条件的方法来进行图形的长度方向和宽度方向的检查，以便后续的设计规则检查(DRC)。
发明内容
本发明的目的在于提供一种普适性的、尽可能少的限制条件的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法。
本发明提供的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，用于检测一多边形的长度方向和宽度方向，其中所述多边形包括至少一条平行于X轴的边和至少一条垂直于X轴的边，其特征在于，包括：S1：选出多边形中与X轴平行的边及与X轴垂直的边；S2：将与X轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展构成与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合，及，将与Y轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展构成与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合；S3：将有重叠关系的与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合和与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合建立连接关系；S4：将建立连接关系的由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合进行面积比值计算，并将建立连接关系的由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合进行面积比值计算，面积比值大于1，则得到的面积较大的矩形图形集合为由多边形的长度方向的边扩展得到的矩形图形集合，面积比值小于1，则得到的面积较小的矩形图形集合为由多边形的宽度方向的边扩展得到的矩形图形集合；以及S5：对与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合进行判断，得到多边形图形的边。
更进一步的，所述多边形的边数大于等于三，且包括至少一条平行于X轴的边和至少一条垂直于X轴的边的图形。
更进一步的，步骤S2为将与X轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展一个单位距离构成与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合，及，将与Y轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展一个单位距离构成与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合。
更进一步的，所述多边形为四边形。
更进一步的，利用EDA物理验证工具calibre在版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向。
在本发明一实施例中，通过对多边形与X轴平行的边和与X轴垂直的边进行扩展，并将各边扩展后得到的矩形图形集合建立连接关系，然后借由连接关系进行面积比值计算，由面积比值的结果来选取多边形的长度方向和宽度方向，此方法仅根据多边形本身进行判断多边形的长度方向和宽度方向，因此具有普适性，且限制条件少。
附图说明
图1为集成电路版图中四边形的示意图。
图2为本发明一实施例的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法流程图。
图3为本发明一实施例的将图1所示的四边形沿边扩展后的示意图。
具体实施方式
下面将结合附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在不做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
集成电路版图中通常包括多边形图形，请参阅图1的四边形，图1为集成电路版图中四边形的示意图。如图1所示，集成电路版图中包括的四边形100包括两条平行于X轴的边102和两条垂直于X轴的边104，其中两条平行于X轴的边102为四边形100的长度方向，两条垂直于X轴的边104为四边形100的宽度方向，也即两条平行于X轴的边102为四边形100的长度方向的边，两条垂直于X轴的边104为四边形100的宽度方向的边。本发明一实施例中，多边形的边数大于等于三，且包括至少一条平行于X轴的边和至少一条垂直于X轴的边的图形。在版图设计规则检查中需要有关于沿图形长度方向或宽度方向进行相关规则检查的要求。为此，在本发明一实施例中提供一种普适性的方法来进行对应的检查多边形的长宽度方向的方法，以利用尽可能少的限制条件进行图形的长度方向和宽度方向的检查，以便后续的设计规则检查(DRC)。
本发明一实施例中，提供的一种版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，用于检测多边形的长度方向和宽度方向，其中多边形包括至少一条平行于X轴的边和至少一条垂直于X轴的边。具体的可参阅图2，图2为本发明一实施例的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法流程图。如图2所示，本发明提供的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，包括以下步骤：
S1：选出多边形中与X轴平行的边及与X轴垂直的边。
具体的，请参阅图1的四边形100，如图1所示，选出四边形100中与X轴平行的两条边102和与X轴垂直的两条边104。
利用EDA物理验证工具calibre，编辑代码文件，关键代码如下：
①图形与X轴平行的边＝ANGLE多边形图形＝＝0
②图形与X轴垂直的边＝ANGLE多边形图形＝＝90
S2：将与X轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展构成与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合，及，将与Y轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展构成与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合。
具体的，请参阅图3，图3为本发明一实施例的将图1所示的四边形沿边扩展后的示意图，如图3所示，四边形100中与X轴平行的两条边102向四边形内侧和外侧扩展后得到矩形图形112，与X轴垂直的两条边104向四边形内侧和外侧扩展后得到矩形图形114。具体的，四边形100中与X轴平行的两条边102向四边形内侧扩展为与X轴平行的两条边102向四边形100覆盖的区域一侧进行扩展；四边形100中与X轴平行的两条边102向四边形外侧扩展为与X轴平行的两条边102向四边形100覆盖的区域之外的一侧进行扩展。具体的，四边形100中与Y轴平行的两条边104向四边形内侧扩展为与Y轴平行的两条边104向四边形100覆盖的区域一侧进行扩展；四边形100中与Y轴平行的两条边104向四边形外侧扩展为与Y轴平行的两条边104向四边形100覆盖的区域之外的一侧进行扩展。
在本发明一实施例中，将与X轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展一个单位距离构成与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合，及，将与Y轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展一个单位距离构成与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合。
利用EDA物理验证工具calibre，编辑代码文件，关键代码如下：
①由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合＝EXPAND EDGE多边形与X轴平行的边BY 0.005
②由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合＝EXPAND EDGE多边形与X轴垂直的边BY 0.005
S3：将有重叠关系的与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合和与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合建立连接关系。
具体的，请参阅图3，如图3所示，与X轴平行的两条边102向四边形内侧和外侧扩展后得到矩形图形112与与X轴垂直的两条边104向四边形内侧和外侧扩展后得到矩形图形114在四边形的四个直角处存在重叠，如图3中的椭圆选中区域内的重叠区域。
利用EDA物理验证工具calibre，编辑代码文件，关键代码如下：
CONNECT由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合由图形与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合
将有重叠关系的与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合和与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合建立连接关系，则只有同一个多边形图形(如同一个多晶硅)上的边产生的矩形图形会建立关联关系，并参与后续计算该多边形图形长度方向和宽度方向的边，以能准确区分一个多边形图形长度方向和宽度方向的边，而不受晶圆上其它多边形图形的影响。
S4：将建立连接关系的由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合进行面积比值计算，并将建立连接关系的由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合进行面积比值计算，面积比值大于1，则得到的面积较大的矩形图形集合为由多边形的长度方向的边扩展得到的矩形图形集合，面积比值小于1，则得到的面积较小的矩形图形集合为由多边形的宽度方向的边扩展得到的矩形图形集合。
利用EDA物理验证工具calibre，编辑代码文件，关键代码如下：
①平行X轴多边形长度方向的边扩展得到的面积较大的矩形图形集合＝NET AREARATIO由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合>1
②垂直X轴多边形长度方向的边扩展得到的面积较大的矩形图形集合＝NET AREARATIO由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合>1
①和②集合在一起得到的即为版图上多边形长度方向的边扩展后得到的矩形图形数据集合。
S5：对与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合进行判断，得到多边形图形的边。
利用EDA物理验证工具calibre，编辑代码文件，关键代码如下：
①POLYGON_LE＝多边形图形INSIDE EDGE(OR平行X轴长度方向的边扩展得到的矩形图形集合垂直X轴长度方向的边扩展得到的矩形图形集合)
②POLYGON_WE＝多边形图形NOT COIN EDGE PO_LE
其中POLYGON_LE是多边形图形的长度方向的边，POLYGON_WE是多边形图形的宽度方向的边。
如此，在本发明一实施例中，通过对多边形与X轴平行的边和与X轴垂直的边进行扩展，并将各边扩展后得到的矩形图形集合建立连接关系，然后借由连接关系进行面积比值计算，由面积比值的结果来选取多边形的长度方向和宽度方向，此方法仅根据多边形本身进行判断多边形的长度方向和宽度方向，因此具有普适性，且限制条件少。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (5)

1.一种版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，用于检测一多边形的长度方向和宽度方向，其中所述多边形包括至少一条平行于X轴的边和至少一条垂直于X轴的边，其特征在于，包括：
S1：选出多边形中与X轴平行的边及与X轴垂直的边；
S2：将与X轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展构成与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合，及，将与Y轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展构成与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合；
S3：将有重叠关系的与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合和与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合建立连接关系；
S4：将建立连接关系的由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合进行面积比值计算，并将建立连接关系的由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合进行面积比值计算，面积比值大于1，则得到的面积较大的矩形图形集合为由多边形的长度方向的边扩展得到的矩形图形集合，面积比值小于1，则得到的面积较小的矩形图形集合为由多边形的宽度方向的边扩展得到的矩形图形集合；以及
S5：对与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合与由与X轴垂直的边扩展得到的矩形图形集合进行判断，得到多边形图形的边。
2.根据权利要求1所述的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，其特征在于，所述多边形的边数大于等于三，且包括至少一条平行于X轴的边和至少一条垂直于X轴的边的图形。
3.根据权利要求1所述的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，其特征在于，步骤S2为将与X轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展一个单位距离构成与X轴平行的边扩展得到的矩形图形集合，及，将与Y轴平行的边沿边向多边形的内侧和外侧扩展一个单位距离构成与Y轴平行的边扩展得到的矩形图形集合。
4.根据权利要求1所述的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，其特征在于，所述多边形为四边形。
5.根据权利要求1所述的版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向的方法，其特征在于，利用EDA物理验证工具calibre在版图设计规则检查中区分多边形长宽度方向。
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