CN109260881A - 一种过滤设备及真空泵 - Google Patents

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魏斌
戴煜
胡祥龙
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    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D50/00—Combinations of methods or devices for separating particles from gases or vapours
    • B01D50/20—Combinations of devices covered by groups B01D45/00 and B01D46/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
    • F04B39/16—Filtration; Moisture separation

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Abstract

本发明公开了一种过滤设备，包括上端开口下端封闭的杯体，所述杯体内腔设置有上端开口下端封闭的滤筒，所述滤筒外壁与所述杯体内壁之间形成有过滤腔，所述过滤腔上方设置有用于外部待过滤气体输入的入气口，所述入气口下方设置有导流器，所述导流器下方设置有挡尘板，所述导流器与所述挡尘板均设置在所述过滤腔内，所述挡尘板外壁与所述杯体内壁之间设置有导流间隙，其中，当从所述入气口传输来的待过滤气体喷射到所述导流器上时，待过滤气体被所述导流器导向所述杯体内壁后沿所述导流间隙下流至所述杯体底部。本发明还公开了一种真空泵。本发明能有效实现尾气中焦油与粉尘的过滤。

Description

一种过滤设备及真空泵
技术领域
本发明涉及抽气设备，更具体地说，特别涉及一种过滤设备及真空泵。
背景技术
化学气相沉积技术是应用气态物质在固体表面发生化学反应并产生固态沉积物的一种工艺，它大致包含三步：(1)形成挥发性物质；(2)把上述物质转移至沉积区域；(3)在固体上产生化学反应并产生固态物质。
化学气相沉积往往需要依托专门的气相沉积炉，而气相沉积炉上往往连接有真空泵来控制气相沉积炉内部的工作气压。实际操作中，气相沉积工艺对沉积时间的要求非常长，单炉次甚至长达10-15天，气相沉积过程中，会产生大量的尾气，这些尾气中除了包含常规的焦油外，还有大量的粉尘，巨大的焦油量以及超长的连续工作时间，导致真空泵使用一段时间后往往都会出现极其严重的堵塞情况，如此，工作人员常常会在真空泵前面连接过滤设备，但是，由于常规过滤设备结构设计的局限性，常规过滤设备往往无法对焦油与粉尘起到要求的过滤效果。
发明内容
本发明要解决的技术问题为提供一种过滤设备，该过滤设备通过其结构设计，能够有效实现尾气中焦油与粉尘的过滤。
一种过滤设备，包括上端开口下端封闭的杯体，所述杯体内腔设置有上端开口下端封闭的滤筒，所述滤筒外壁与所述杯体内壁之间形成有过滤腔，所述过滤腔上方设置有用于外部待过滤气体输入的入气口，所述入气口下方设置有导流器，所述导流器下方设置有挡尘板，所述导流器与所述挡尘板均设置在所述过滤腔内，所述挡尘板外壁与所述杯体内壁之间设置有导流间隙，其中，当从所述入气口传输来的待过滤气体喷射到所述导流器上时，待过滤气体被所述导流器导向所述杯体内壁后沿所述导流间隙下流至所述杯体底部。
优选地，所述杯体为透明杯体。
优选地，所述杯体底部设置有排污阀。
优选地，所述导流器包括套设在所述滤筒外周的套筒以及呈螺旋状布置在所述套筒外壁的导流片。
优选地，所述导流片呈倾斜状布置在所述套筒的外壁上。
本发明还提供了一种真空泵，所述真空泵上安装有上述任意一项所述的过滤设备，其中，所述真空泵的进气口与所述过滤设备的滤筒的上端开口相导通。
本发明的有益效果是：本发明可以高效实现尾气中焦油与粉尘类有毒有害物质的过滤，有效防止尾气中的焦油与粉尘等物质堵塞后续设备的管路，也可以防止尾气直排造成的环境污染。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例1所提供的过滤设备的结构示意图；
图2为本发明实施例1所提供的导流器的结构示意图；
图3为本发明实施例2所提供的真空泵的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。
基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
实施例1：
参见图1和图2，图1和图2提供了一种过滤设备的具体实施例，其中，图1为本发明实施例1所提供的过滤设备的结构示意图；图2为本发明实施例1所提供的导流器的结构示意图。图中箭头方向为气体的流动方向。
如图1和图2所示，本发明提供的该过滤设备可以有效实现尾气中焦油与粉尘类有毒有害物质的过滤，高效防止尾气中的焦油与粉尘等物质堵塞后续设备的管路，也可以防止尾气直排造成环境污染。本发明提供的该过滤设备包括杯体1，滤筒2，过滤腔3，入气口4，导流器5，挡尘板6，导流间隙7。
本发明中，该过滤设备包括上端开口下端封闭的杯体1，杯体1为该设备的主体支撑部分。杯体1的具体形状与尺寸可以根据实际需要进行选择设计。其中，本实施例选用了圆筒状杯体。
本方案中，杯体1内腔设置有上端开口下端封闭的滤筒2，滤筒2外壁与所述杯体1内壁之间形成有过滤腔3，滤筒2用于尾气的过滤，其中，尾气由滤筒2的滤网后进入滤筒2的内腔后，由滤筒2上端开口输出。
本方案中，过滤腔3上方设置有用于外部待过滤气体输入的入气口4，所述入气口4下方设置有导流器5，导流器5用于气体在过滤腔3内的导流，确保气体可以按照设计轨道流动。导流器5下方设置有挡尘板6，挡尘板6用于有效阻挡已经流动沉积到杯体1底部的焦油或粉尘再次被气体带出。
本方案中，导流器5与所述挡尘板6均设置在所述过滤腔3内，所述挡尘板6外壁与所述杯体1内壁之间设置有导流间隙7，导流间隙7用于气体流动时的导向，其中，当从所述入气口4传输来的待过滤气体喷射到所述导流器5上时，待过滤气体被所述导流器5导向所述杯体1内壁后沿所述导流间隙7下流至所述杯体1底部。
尾气进行过滤的具体实施过程如下：
首先，待过滤尾气从入气口4输入至过滤腔3内，待过滤尾气进入过滤腔3并喷射至导流器5上，导流器5将待过滤尾气导向杯体1内壁，尾气中包含的焦油与粉尘等物质会顺着杯体1内壁下流，直至从导流间隙7流至杯体1底部沉积，也就是说，该步骤为尾气的初次处理，尾气中包含的焦油与粉尘类物质可以基本沉积在杯体1底部，从而从尾气中分离出来；
然后，尾气进入杯体1底部后会逐渐向杯体1底部中心处汇集并向上爬升，该过程中，部分焦油与粉尘会继续沉积在杯体1底部，而部分焦油与粉尘会被尾气带起上升，由于有挡尘板6的设置，该部分被带起上升的焦油与粉尘会被挡尘板6所阻挡而再次落回杯体1底部，而剩余的较纯净的尾气则会受挡尘板6阻挡而向挡尘板6外周移动，然后从导流间隙7处涌向过滤腔3上方；
最后，较纯净的尾气经滤筒2进行过滤，尾气中包含的颗粒较小的液态和固态粒子会被过滤掉，同时，经完全过滤处理的纯净的气体由滤筒2上端开口输出。
本实施例中，为进一步方便杯体1底部焦油与粉尘等物质沉积量的监测，优选地，所述杯体1为透明杯体。
本实施例中，为进一步方便杯体1底部焦油与粉尘等物质的排除，优选地，所述杯体1底部设置有排污阀8。
本实施例中，为进一步方便气体的导流，优选地，所述导流器5包括套设在所述滤筒2外周的套筒501以及呈螺旋状布置在所述套筒501外壁的导流片502。所述导流片502呈倾斜状布置在所述套筒501的外壁上。
如此，尾气喷射至导流器5上后，导流片502会使气流沿切线方向作旋转，气体中较重的焦油和粉尘在离心力作用下甩到杯体1内壁上，并沿内壁流至杯体1底部被沉积起来。同时，由于挡尘板6可以将过滤腔3分成上下隔开的两个腔，如此，上方腔体的气体便可以在上述导流器5的作用下形成涡流做旋转运动，进一步方便气体甩向杯体1内壁；下方腔体的气体则相对静止而仅仅是汇集到杯体1底部中心处再上爬，可以进一步防止已沉积在下方腔体的粉尘或焦油再次混入气体中。
实施例2：
参见图3，图3提供了一种真空泵的具体实施例，其中，图3为本发明实施例2所提供的真空泵的结构示意图。
本发明还提供了一种真空泵，所述真空泵9上安装有上述任意一项所述的过滤设备，其中，所述真空泵9的进气口901与所述过滤设备的滤筒2的上端开口相导通。
以上对本发明所提供的一种过滤设备及真空泵进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (6)

1.一种过滤设备，其特征在于，包括上端开口下端封闭的杯体，所述杯体内腔设置有上端开口下端封闭的滤筒，所述滤筒外壁与所述杯体内壁之间形成有过滤腔，所述过滤腔上方设置有用于外部待过滤气体输入的入气口，所述入气口下方设置有导流器，所述导流器下方设置有挡尘板，所述导流器与所述挡尘板均设置在所述过滤腔内，所述挡尘板外壁与所述杯体内壁之间设置有导流间隙，其中，当从所述入气口传输来的待过滤气体喷射到所述导流器上时，待过滤气体被所述导流器导向所述杯体内壁后沿所述导流间隙下流至所述杯体底部。
2.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述杯体为透明杯体。
3.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述杯体底部设置有排污阀。
4.根据权利要求1所述的过滤设备，其特征在于，所述导流器包括套设在所述滤筒外周的套筒以及呈螺旋状布置在所述套筒外壁的导流片。
5.根据权利要求4所述的过滤设备，其特征在于，所述导流片呈倾斜状布置在所述套筒的外壁上。
6.一种真空泵，其特征在于，所述真空泵上安装有上述权利要求1至权利要求5任意一项所述的过滤设备，其中，所述真空泵的进气口与所述过滤设备的滤筒的上端开口相导通。
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