CN109252223A - 一种用于单晶炉的观察窗 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种用于单晶炉的观察窗,包括安装框架、维修板、观察窗安装架和观察窗体,所述的安装框架安装在单晶炉炉体上,所述的单晶炉炉体上设置有定位柱,所述的安装框架的四个各开设有一个导向孔,所述的定位柱穿过导向孔并通过螺母对安装框架进行固定,所述的安装框架上开设有用于安装维修板的连接槽,所述的维修板的一端转动连接在连接槽内的一侧侧壁上,所述的维修板的另一端与连接槽内的另一侧侧壁之间设置有密封橡胶垫,所述的维修板开设有与观察窗安装架相匹配的安装槽,所述的观察窗体通过观察窗安装架连接在安装槽内。本设计具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
Description
技术领域
本发明涉及单晶炉技术领域,具体的涉及一种用于单晶炉的观察窗。
背景技术
单晶炉是晶棒制作的载体,观察视窗虽然只是单晶炉的小小配件,但其作用却是重中之重。通过观察视窗可以直观的查看单晶生长变化,及时作出调整,确保单晶稳定生长。现有技术中的单晶炉观察窗,采用双层玻璃结构,其表面温度高达 1400 摄氏度,在单晶硅的制造过程中,操作人员在进行观察操作时,常常被观察窗烫伤,给单晶硅的制造过程造成了安全隐患,给操作人员带来了很大的不便。
发明内容
本发明把观察窗体安装在维修板上,在通过观察窗体发现炉体内发生问题后,可以通过打开维修板直接进行维护,起到了提高其实用性能的作用;提供一种用于单晶炉的观察窗。
为解决上述的技术问题,本发明提供了一种用于单晶炉的观察窗,其特征在于:包括安装框架、维修板、观察窗安装架和观察窗体,所述的安装框架安装在单晶炉炉体上,所述的单晶炉炉体上设置有定位柱,所述的安装框架的四个各开设有一个导向孔,所述的定位柱穿过导向孔并通过螺母对安装框架进行固定,所述的安装框架上开设有用于安装维修板的连接槽,所述的维修板的一端转动连接在连接槽内的一侧侧壁上,所述的维修板的另一端与连接槽内的另一侧侧壁之间设置有密封橡胶垫,所述的维修板开设有与观察窗安装架相匹配的安装槽,所述的观察窗体通过观察窗安装架连接在安装槽内,所述的观察窗安装架的四周开设有连接孔,所述的安装槽内的底部相对于连接孔的位置开设有螺纹孔,所述的观察窗安装架通过螺栓固定连接在安装槽内,所述的螺栓穿过连接孔连接在螺纹孔内。
进一步:所述的连接槽内的一侧侧壁上设置有连接座,所述的连接座内转动连接有转轴,所述的转轴的一端穿过安装框架与伺服电机相连,所述的维修板的一端连接在转轴上并随着转轴一同转动。
又进一步:所述的维修板的另一端呈弧形状,所述的密封橡胶垫与维修板连接的一侧也呈弧面状。
又进一步:所述的安装框架上通过螺杆连接有限位板,所述的限位板的一端转动连接在螺杆,通过转动限位板使限位板的另一端伸至维修板的正上方,所述的限位板上方的螺杆上连接有夹紧螺母,所述的限位板通过夹紧螺母与安装框架固定连接。
又进一步:所述的安装槽与观察窗安装架之间设置有弹性定位机构,所述的弹性定位机构包括开设在观察窗安装架外壁上的半球形卡槽、开设在安装槽内壁上的凹槽、球形卡头和弹簧,所述的球形卡头通过弹簧连接在凹槽内,所述的球形卡头在弹簧的作用下卡入半球形卡槽内。
再进一步:所述的定位柱上螺纹柱体和下定位柱体上下连接所组成,所述的下定位柱体的外径尺寸与导向孔的尺寸相匹配,所述的上螺纹柱体的上端穿过导向孔,所述的螺母连接在上螺纹柱体上。
采用上述结构后,本发明把观察窗体安装在维修板上,在通过观察窗体发现炉体内发生问题后,可以通过打开维修板直接进行维护,起到了提高其实用性能的作用;并且本设计还具有结构简单、易于制造和实用高效的优点。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
图1为本发明的结构示意图。
图2为定位柱的结构示意图。
图3为橡胶密封垫的连接示意图。
图4为图3中A的放大图。
具体实施方式
如图1和图3所示的一种用于单晶炉的观察窗,包括安装框架1、维修板2、观察窗安装架6和观察窗体9,所述的安装框架1安装在单晶炉炉体上,所述的单晶炉炉体上设置有定位柱4,所述的安装框架1的四个各开设有一个导向孔,所述的定位柱4穿过导向孔并通过螺母7对安装框架1进行固定,所述的安装框架上开设有用于安装维修板2的连接槽,所述的维修板2的一端转动连接在连接槽内的一侧侧壁上,所述的维修板2的另一端与连接槽内的另一侧侧壁之间设置有密封橡胶垫3,所述的维修板2开设有与观察窗安装架6相匹配的安装槽,所述的观察窗体9通过观察窗安装架6连接在安装槽内,所述的观察窗安装架6的四周开设有连接孔,所述的安装槽内的底部相对于连接孔的位置开设有螺纹孔,所述的观察窗安装架6通过螺栓16固定连接在安装槽内,所述的螺栓16穿过连接孔连接在螺纹孔内。
如图1和图3所示的连接槽内的一侧侧壁上设置有连接座8,所述的连接座8内转动连接有转轴,所述的转轴的一端穿过安装框架1与伺服电机17相连,所述的维修板2的一端连接在转轴上并随着转轴一同转动。
如图3所示的维修板2的另一端呈弧形状,所述的密封橡胶垫3与维修板2连接的一侧也呈弧面状。
如图1和图3所示的安装框架1上通过螺杆10连接有限位板5,所述的限位板5的一端转动连接在螺杆10,通过转动限位板5使限位板的另一端伸至维修板2的正上方,所述的限位板5上方的螺杆10上连接有夹紧螺母11,所述的限位板5通过夹紧螺母与安装框架1固定连接。
如图3所示的安装槽与观察窗安装架6之间设置有弹性定位机构,所述的弹性定位机构包括开设在观察窗安装架6外壁上的半球形卡槽14、开设在安装槽内壁上的凹槽12、球形卡头15和弹簧13,所述的球形卡头15通过弹簧13连接在凹槽12内,所述的球形卡头15在弹簧的作用下卡入半球形卡槽14内。
如图2所示的定位柱4上螺纹柱体4-2和下定位柱体4-1上下连接所组成,所述的下定位柱体的外径尺寸与导向孔的尺寸相匹配,所述的上螺纹柱体4-2的上端穿过导向孔,所述的螺母7连接在上螺纹柱体4-2上。
Claims (6)
1.一种用于单晶炉的观察窗,其特征在于:包括安装框架、维修板、观察窗安装架和观察窗体,所述的安装框架安装在单晶炉炉体上,所述的单晶炉炉体上设置有定位柱,所述的安装框架的四个各开设有一个导向孔,所述的定位柱穿过导向孔并通过螺母对安装框架进行固定,所述的安装框架上开设有用于安装维修板的连接槽,所述的维修板的一端转动连接在连接槽内的一侧侧壁上,所述的维修板的另一端与连接槽内的另一侧侧壁之间设置有密封橡胶垫,所述的维修板开设有与观察窗安装架相匹配的安装槽,所述的观察窗体通过观察窗安装架连接在安装槽内,所述的观察窗安装架的四周开设有连接孔,所述的安装槽内的底部相对于连接孔的位置开设有螺纹孔,所述的观察窗安装架通过螺栓固定连接在安装槽内,所述的螺栓穿过连接孔连接在螺纹孔内。
2.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的观察窗,其特征在于:所述的连接槽内的一侧侧壁上设置有连接座,所述的连接座内转动连接有转轴,所述的转轴的一端穿过安装框架与伺服电机相连,所述的维修板的一端连接在转轴上并随着转轴一同转动。
3.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的观察窗,其特征在于:所述的维修板的另一端呈弧形状,所述的密封橡胶垫与维修板连接的一侧也呈弧面状。
4.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的观察窗,其特征在于:所述的安装框架上通过螺杆连接有限位板,所述的限位板的一端转动连接在螺杆,通过转动限位板使限位板的另一端伸至维修板的正上方,所述的限位板上方的螺杆上连接有夹紧螺母,所述的限位板通过夹紧螺母与安装框架固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的观察窗,其特征在于:所述的安装槽与观察窗安装架之间设置有弹性定位机构,所述的弹性定位机构包括开设在观察窗安装架外壁上的半球形卡槽、开设在安装槽内壁上的凹槽、球形卡头和弹簧,所述的球形卡头通过弹簧连接在凹槽内,所述的球形卡头在弹簧的作用下卡入半球形卡槽内。
6.根据权利要求1所述的一种用于单晶炉的观察窗,其特征在于:所述的定位柱上螺纹柱体和下定位柱体上下连接所组成,所述的下定位柱体的外径尺寸与导向孔的尺寸相匹配,所述的上螺纹柱体的上端穿过导向孔,所述的螺母连接在上螺纹柱体上。
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