CN109216244A - 一种湿式机台槽内载具及其工作方式 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种湿式机台槽内载具及其工作方式，其结构包括载具架、机台槽、气体通入装置传动机构、密封舱、气体输入管道、气体干燥装置、吸气机、气体过滤装置、载具座、气体通入装置和铁氟龙顶杆，所述载具座设于机台槽内，所述密封舱设于载具座上，所述气体通入装置传动机构设于密封舱内，所述载具架设于载具座上端，所述铁氟龙顶杆固定于载具座上，所述气体通入装置设于载具座上且位于铁氟龙顶杆下侧，所述气体输入管道两端分别连接气体通入装置和吸气机，所述气体过滤装置与气体干燥装置在吸气机与气体通入装置之间的气体输入管道依次安装，本发明增加铁氟龙顶杆和气体通入装置使产品在载具内做顺/逆时针移动，提升制程均匀度与产品良率。
Description
技术领域
本发明属于半导体湿式制程设备领域；涉及湿式机台槽内载具设计技术；具体是一种湿式机台槽内载具及其工作方式。
背景技术
在半导体湿式制程中，机台槽体内的载具是必不可少的，其作用是将产品放置在载具上，再将载具放入槽内与化学品进行反应，达到清洁或蚀刻制程效果。
一般湿式制程机台的槽内载具放置在载台，产品与载具为多点接触，且接触面积较大，对于特定的产品或制程可能造成接触区域反应状况不佳，造成制程均匀度以及产品良率下降等问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种湿式机台槽内载具及其工作方式。
本发明的目的可以通过以下技术方案实现：
一种湿式机台槽内载具，包括载具架、机台槽、气体通入装置传动机构、密封舱、气体输入管道、气体干燥装置、吸气机、气体过滤装置、载具座、气体通入装置以及铁氟龙顶杆，所述载具座设于机台槽内，所述密封舱设于载具座上，所述气体通入装置传动机构设于密封舱内，所述载具架设于载具座上端，所述铁氟龙顶杆固定于载具座上，所述气体通入装置设于载具座上且位于铁氟龙顶杆下侧，所述气体输入管道一端连接气体通入装置，另一端连接吸气机，所述气体过滤装置与气体干燥装置在吸气机与气体通入装置之间的气体输入管道依次安装。
所述载具架为上大下小的支架，所述载具架侧壁下端设有凹槽，所述凹槽恰好与铁氟龙顶杆相配合，所述载具架侧壁涂有铁氟龙。
所述气体通入装置传动机构包括第一转动轴、第一传动皮带轮、传动皮带、第二转动轴、第二传动皮带轮、传动电机以及传动电机固定架，所述第一传动轴安装于机台槽侧壁的轴承上，所述第一传动轴一端连接气体通入装置，另一端连接第一传动皮带轮，所述传动电机通过传动电机固定架安装于密封舱的内侧壁上，所述第二转动轴一端连接传动电机输出轴承，另一端连接第二传动皮带轮，所述第一传动皮带轮与第二传动皮带轮通过传动皮带连接。
所述气体干燥装置包括空气干燥剂、干燥装置外壳以及过滤网，所述空气干燥剂与过滤网设于干燥装置外壳内，所述客气干燥剂外侧包裹有过滤网，所述过滤网固定于干燥装置外壳内侧壁上，所述干燥装置外壳两端连接有气体输入管道。
所述干燥装置外壳两端连接气体输入管道处的内侧壁设有螺纹，所述气体输入管道与干燥装置外壳两端连接处的外侧壁设有螺纹，两者螺纹配合。
所述气体过滤装置包括过滤上盖、过滤外壳、过滤网以及滤芯，所述过滤上盖上端安装有气体输入管道，所述过滤外壳下端侧面设有气体输入管道，所述过滤网以及滤芯设于过滤外壳内侧，所述过滤上盖设于过滤外壳上端面，所述滤芯包裹于过滤网内部。
所述过滤上盖与过滤外壳通过螺纹配合。
所述气体通入装置包括气体通入装置外壳、外壳气体入口、通入装置电机密封舱、通入装置电机固定架、气体输入底座、底座气体输出口、通入装置电机、第一通入装置皮带轮、第一通入装置转动轴、通入装置皮带、第二通入装置转动轴、第二通入装置皮带轮、通入装置皮带传动密封舱、气体通入装置体积改变器、气体输出喷口以及气体通入装置外壳出气通道，所述气体通入装置外壳出气通道设于气体通入装置外壳外侧，所述气体通入装置体积改变器通过改变器转动轴设于气体通入装置外壳内侧，所述气体输出喷口设于气体通入装置外壳出气通道上，所述气体通入装置外壳下端安装有气体输入底座，所述气体通入装置外壳下端设有外壳气体入口，所述气体输入底座上端设有底座气体输出口，所述气体输入底座下端连接气体输入管道，所述底座气体输出口与外壳气体入口相配合，所述通入装置电机通过通入装置电机固定架固定于通入装置电机密封舱内，所述通入装置电机密封舱固定于气体通入装置外壳上，所述第一通入装置皮带轮安装于第一通入装置转动轴上，所述第二通入装置皮带轮安装于第二通入装置转动轴，所述第一通入装置皮带轮与第二通入装置皮带轮通过通入装置皮带连接，所述第一通入装置转动轴与装置电机输出轴连接，所述第二通入装置转动轴与改变器转动轴连接，所述通入装置皮带传动密封舱设于第一通入装置皮带轮、第二通入装置皮带轮以及通入装置皮带外侧且与通入装置电机密封舱连接。
所述气体通入装置体积改变器为一个空心半圆柱壳体，圆柱中心位置设有改变器转动轴，通过改变器转动轴转动带动空心半圆柱体转动，从而改变气体通入装置外壳的内部空间，即改变气体通入装置外壳内部可用体积。
所述气体通入装置外壳出气通道在气体输出喷口位置为一个小平面，所述小平面上设有四排喷口，且所有气体输出喷口呈斜向排列。
所述气体通入装置外壳两端固定有外壳轴，所述改变器转动轴通过轴承设于外壳轴内部，所述外壳轴与第一传动轴连接。
将产品放置在载具架上，再将载具架放入机台槽内的载具座上使其与化学品进行反应，载具座上设有的铁氟龙顶杆将产品顶起，避免产品下端与载具架接触，同时启动吸气机，吸气机将空气由气体输入管道通过气体过滤装置以及气体干燥装置进入气体输入底座，从气体输入底座的底座气体输出口进入气体通入装置外壳，由气体通入装置外壳的气体输出喷口喷出，此时启动传动电机，从而使得第二传动皮带轮转动，通过传动皮带带动第一传动皮带轮转动，使第一转动轴转动，带动外壳轴转动，从而使得气体通入装置外壳转动，通过调节传动电机，使气体通入装置外壳转动一个角度，让气体通入装置外壳上的气体输出喷口使产品在载具架上做顺时针移动，转动另一个角度，让气体通入装置外壳上的气体输出喷口使产品在载具架上做逆时针移动；当需要增大气体压力，使产品在载具架上更快的移动时，启动通入装置电机，从而使第一通入装置皮带轮转动，通过通入装置皮带第二通入装置皮带轮被第一通入装置皮带轮带动，从而使第二通入装置转动轴转动，导致改变器转动轴转动，进而使气体通入装置体积改变器在气体通入装置外壳内转动，使气体通入装置外壳内部体积变小，从而提高了气体压强，提高喷气速度与喷气压力，使产品在载具架上更快的移动时。
本发明的有益效果：本发明通过增加铁氟龙顶杆以及气体通入装置，将载具架放入机台槽内的载具座，通过铁氟龙顶杆，载具架内的产品会被铁氟龙顶杆顶起，减少产品与载具接触位置与接触面积，槽体下方的气体通入装置，可控制喷出气体的角度与压力，使产品在载具内按照一定的速度做顺时针或者逆时针的移动，改善了产品固定位置持续与载具接触，有效的提升了制程的均匀度与产品生产的良品率。
附图说明
为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明。
图1是本发明一种湿式机台槽内载具的总体结构示意图；
图2是本发明一种湿式机台槽内载具的气体通入装置传动机构结构示意图；
图3是本发明一种湿式机台槽内载具的气体干燥装置结构示意图；
图4是本发明一种湿式机台槽内载具的气体过滤装置结构示意图；
图5是本发明一种湿式机台槽内载具的气体气体通入装置结构示意图；
图6是本发明一种湿式机台槽内载具的气体通入装置横剖面结构示意图；
图7是本发明一种湿式机台槽内载具的气体通入装置外壳出气通道正视图。
具体实施方式
如图1-7所示，一种湿式机台槽内载具，包括载具架1、机台槽2、气体通入装置传动机构3、密封舱4、气体输入管道5、气体干燥装置6、吸气机7、气体过滤装置8、载具座9、气体通入装置10以及铁氟龙顶杆11，其特征在于，载具座9设于机台槽2内，密封舱4设于载具座9上，气体通入装置传动机构3设于密封舱4内，载具架1设于载具座9上端，铁氟龙顶杆11固定于载具座9上，气体通入装置10设于载具座9上且位于铁氟龙顶杆11下侧，气体输入管道5一端连接气体通入装置10，另一端连接吸气机7，气体过滤装置8与气体干燥装置6在吸气机7与气体通入装置10之间的气体输入管道5依次安装。
载具架1为上大下小的支架，载具架1侧壁下端设有凹槽，凹槽恰好与铁氟龙顶杆11相配合，载具架1侧壁涂有铁氟龙。
如图2所示，气体通入装置传动机构3包括第一转动轴31、第一传动皮带轮32、传动皮带33、第二转动轴34、第二传动皮带轮35、传动电机36以及传动电机固定架37，第一传动轴31安装于机台槽2侧壁的轴承上，第一传动轴31一端连接气体通入装置10，另一端连接第一传动皮带轮32，传动电机36通过传动电机固定架37安装于密封舱4的内侧壁上，第二转动轴34一端连接传动电机36输出轴承，另一端连接第二传动皮带轮35，第一传动皮带轮32与第二传动皮带轮35通过传动皮带33连接。
如图3所示，气体干燥装置6包括空气干燥剂61、干燥装置外壳63以及过滤网63，空气干燥剂61与过滤网63设于干燥装置外壳63内，客气干燥剂61外侧包裹有过滤网63，过滤网63固定于干燥装置外壳63内侧壁上，干燥装置外壳63两端连接有气体输入管道5。
干燥装置外壳63两端连接气体输入管道5处的内侧壁设有螺纹，气体输入管道5与干燥装置外壳63两端连接处的外侧壁设有螺纹，两者螺纹配合。
如图4所示，气体过滤装置8包括过滤上盖81、过滤外壳82、过滤网83以及滤芯84，过滤上盖81上端安装有气体输入管道5，过滤外壳82下端侧面设有气体输入管道5，过滤网83以及滤芯84设于过滤外壳82内侧，过滤上盖81设于过滤外壳82上端面，滤芯84包裹于过滤网83内部。
过滤上盖81与过滤外壳82通过螺纹配合。
如图5所示，气体通入装置10包括气体通入装置外壳101、外壳气体入口102、通入装置电机密封舱103、通入装置电机固定架104、气体输入底座105、底座气体输出口106、通入装置电机107、第一通入装置皮带轮108、第一通入装置转动轴109、通入装置皮带1010、第二通入装置转动轴1011、第二通入装置皮带轮1012、通入装置皮带传动密封舱1013、气体通入装置体积改变器1014、气体输出喷口1015以及气体通入装置外壳出气通道1016，气体通入装置外壳出气通道设于气体通入装置外壳101外侧，气体通入装置体积改变器1014通过改变器转动轴设于气体通入装置外壳101内侧，气体输出喷口1015设于气体通入装置外壳出气通道上，气体通入装置外壳101下端安装有气体输入底座105，气体通入装置外壳101下端设有外壳气体入口102，气体输入底座105上端设有底座气体输出口106，气体输入底座105下端连接气体输入管道5，底座气体输出口106与外壳气体入口102相配合，通入装置电机107通过通入装置电机固定架104固定于通入装置电机密封舱103内，通入装置电机密封舱103固定于气体通入装置外壳101上，第一通入装置皮带轮108安装于第一通入装置转动轴109上，第二通入装置皮带轮1012安装于第二通入装置转动轴1011，第一通入装置皮带轮108与第二通入装置皮带轮1012通过通入装置皮带1010连接，第一通入装置转动轴109与装置电机107输出轴连接，第二通入装置转动轴1011与改变器转动轴连接，通入装置皮带传动密封舱1013设于第一通入装置皮带轮108、第二通入装置皮带轮1012以及通入装置皮带1010外侧且与通入装置电机密封舱103连接。
如图6所示，气体通入装置体积改变器1014为一个空心半圆柱壳体，圆柱中心位置设有改变器转动轴，通过改变器转动轴转动带动空心半圆柱体转动，从而改变气体通入装置外壳101的内部空间，即改变气体通入装置外壳101内部可用体积。
如图7所示，气体通入装置外壳出气通道1016在气体输出喷口1015位置为一个小平面，小平面上设有四排喷口，且所有气体输出喷口1015呈斜向排列。
气体通入装置外壳101两端固定有外壳轴，改变器转动轴通过轴承设于外壳轴内部，外壳轴与第一传动轴31连接。
将产品放置在载具架1上，再将载具架1放入机台槽2内的载具座9上使其与化学品进行反应，载具座9上设有的铁氟龙顶杆11将产品顶起，避免产品下端与载具架1接触，同时启动吸气机7，吸气机7将空气由气体输入管道5通过气体过滤装置8以及气体干燥装置6进入气体输入底座105，从气体输入底座105的底座气体输出口106进入气体通入装置外壳101，由气体通入装置外壳101的气体输出喷口1015喷出，此时启动传动电机36，从而使得第二传动皮带轮35转动，通过传动皮带33带动第一传动皮带轮32转动，使第一转动轴31转动，带动外壳轴转动，从而使得气体通入装置外壳101转动，通过调节传动电机36，使气体通入装置外壳101转动一个角度，让气体通入装置外壳101上的气体输出喷口1015使产品在载具架1上做顺时针移动，转动另一个角度，让气体通入装置外壳101上的气体输出喷口1015使产品在载具架1上做逆时针移动；当需要增大气体压力，使产品在载具架1上更快的移动时，启动通入装置电机107，从而使第一通入装置皮带轮108转动，通过通入装置皮带1010第二通入装置皮带轮1012被第一通入装置皮带轮108带动，从而使第二通入装置转动轴1011转动，导致改变器转动轴转动，进而使气体通入装置体积改变器1014在气体通入装置外壳101内转动，使气体通入装置外壳101内部体积变小，从而提高了气体压强，提高喷气速度与喷气压力，使产品在载具架1上更快的移动时。
本发明通过增加铁氟龙顶杆以及气体通入装置，将载具架放入机台槽内的载具座，通过铁氟龙顶杆，载具架内的产品会被铁氟龙顶杆顶起，减少产品与载具接触位置与接触面积，槽体下方的气体通入装置，可控制喷出气体的角度与压力，使产品在载具内按照一定的速度做顺时针或者逆时针的移动，改善了产品固定位置持续与载具接触，有效的提升了制程的均匀度与产品生产的良品率。
以上内容仅仅是对本发明结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离发明的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种湿式机台槽内载具，包括载具架(1)、机台槽(2)、气体通入装置传动机构(3)、密封舱(4)、气体输入管道(5)、气体干燥装置(6)、吸气机(7)、气体过滤装置(8)、载具座(9)、气体通入装置(10)以及铁氟龙顶杆(11)，其特征在于，所述载具座(9)设于机台槽(2)内，所述密封舱(4)设于载具座(9)上，所述气体通入装置传动机构(3)设于密封舱(4)内，所述载具架(1)设于载具座(9)上端，所述铁氟龙顶杆(11)固定于载具座(9)上，所述气体通入装置(10)设于载具座(9)上且位于铁氟龙顶杆(11)下侧，所述气体输入管道(5)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接吸气机(7)，所述气体过滤装置(8)与气体干燥装置(6)在吸气机(7)与气体通入装置(10)之间的气体输入管道(5)依次安装；
所述载具架(1)为上大下小的支架，所述载具架(1)侧壁下端设有凹槽，所述凹槽恰好与铁氟龙顶杆(11)相配合，所述载具架(1)侧壁涂有铁氟龙。
2.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体通入装置传动机构(3)包括第一转动轴(31)、第一传动皮带轮(32)、传动皮带(33)、第二转动轴(34)、第二传动皮带轮(35)、传动电机(36)以及传动电机固定架(37)，所述第一传动轴(31)安装于机台槽(2)侧壁的轴承上，所述第一传动轴(31)一端连接气体通入装置(10)，另一端连接第一传动皮带轮(32)，所述传动电机(36)通过传动电机固定架(37)安装于密封舱(4)的内侧壁上，所述第二转动轴(34)一端连接传动电机(36)输出轴承，另一端连接第二传动皮带轮(35)，所述第一传动皮带轮(32)与第二传动皮带轮(35)通过传动皮带(33)连接。
3.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体干燥装置(6)包括空气干燥剂(61)、干燥装置外壳(63)以及过滤网(63)，所述空气干燥剂(61)与过滤网(63)设于干燥装置外壳(63)内，所述客气干燥剂(61)外侧包裹有过滤网(63)，所述过滤网(63)固定于干燥装置外壳(63)内侧壁上，所述干燥装置外壳(63)两端连接有气体输入管道(5)；
所述干燥装置外壳(63)两端连接气体输入管道(5)处的内侧壁设有螺纹，所述气体输入管道(5)与干燥装置外壳(63)两端连接处的外侧壁设有螺纹，两者螺纹配合。
4.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体过滤装置(8)包括过滤上盖(81)、过滤外壳(82)、过滤网(83)以及滤芯(84)，所述过滤上盖(81)上端安装有气体输入管道(5)，所述过滤外壳(82)下端侧面设有气体输入管道(5)，所述过滤网(83)以及滤芯(84)设于过滤外壳(82)内侧，所述过滤上盖(81)设于过滤外壳(82)上端面，所述滤芯(84)包裹于过滤网(83)内部；
所述过滤上盖(81)与过滤外壳(82)通过螺纹配合。
5.根据权利要求1所述的一种湿式机台槽内载具，其特征在于，所述气体通入装置(10)包括气体通入装置外壳(101)、外壳气体入口(102)、通入装置电机密封舱(103)、通入装置电机固定架(104)、气体输入底座(105)、底座气体输出口(106)、通入装置电机(107)、第一通入装置皮带轮(108)、第一通入装置转动轴(109)、通入装置皮带(1010)、第二通入装置转动轴(1011)、第二通入装置皮带轮(1012)、通入装置皮带传动密封舱(1013)、气体通入装置体积改变器(1014)、气体输出喷口(1015)以及气体通入装置外壳出气通道(1016)，所述气体通入装置外壳出气通道设于气体通入装置外壳(101)外侧，所述气体通入装置体积改变器(1014)通过改变器转动轴设于气体通入装置外壳(101)内侧，所述气体输出喷口(1015)设于气体通入装置外壳出气通道上，所述气体通入装置外壳(101)下端安装有气体输入底座(105)，所述气体通入装置外壳(101)下端设有外壳气体入口(102)，所述气体输入底座(105)上端设有底座气体输出口(106)，所述气体输入底座(105)下端连接气体输入管道(5)，所述底座气体输出口(106)与外壳气体入口(102)相配合，所述通入装置电机(107)通过通入装置电机固定架(104)固定于通入装置电机密封舱(103)内，所述通入装置电机密封舱(103)固定于气体通入装置外壳(101)上，所述第一通入装置皮带轮(108)安装于第一通入装置转动轴(109)上，所述第二通入装置皮带轮(1012)安装于第二通入装置转动轴(1011)，所述第一通入装置皮带轮(108)与第二通入装置皮带轮(1012)通过通入装置皮带(1010)连接，所述第一通入装置转动轴(109)与装置电机(107)输出轴连接，所述第二通入装置转动轴(1011)与改变器转动轴连接，所述通入装置皮带传动密封舱(1013)设于第一通入装置皮带轮(108)、第二通入装置皮带轮(1012)以及通入装置皮带(1010)外侧且与通入装置电机密封舱(103)连接；
所述气体通入装置体积改变器(1014)为一个空心半圆柱壳体，圆柱中心位置设有改变器转动轴，通过改变器转动轴转动带动空心半圆柱体转动，从而改变气体通入装置外壳(101)的内部空间，即改变气体通入装置外壳(101)内部可用体积；
所述气体通入装置外壳出气通道(10160)在气体输出喷口(1015)位置为一个小平面，所述小平面上设有四排喷口，且所有气体输出喷口(1015)呈斜向排列；
所述气体通入装置外壳(101)两端固定有外壳轴，所述改变器转动轴通过轴承设于外壳轴内部，所述外壳轴与第一传动轴(31)连接。
6.一种湿式机台槽内载具的工作方式，其特征在于，将产品放置在载具架(1)上，再将载具架(1)放入机台槽(2)内的载具座(9)上使其与化学品进行反应，载具座(9)上设有的铁氟龙顶杆(11)将产品顶起，避免产品下端与载具架(1)接触，同时启动吸气机(7)，吸气机(7)将空气由气体输入管道(5)通过气体过滤装置(8)以及气体干燥装置(6)进入气体输入底座(105)，从气体输入底座(105)的底座气体输出口(106)进入气体通入装置外壳(101)，由气体通入装置外壳(101)的气体输出喷口(1015)喷出，此时启动传动电机(36)，从而使得第二传动皮带轮(35)转动，通过传动皮带(33)带动第一传动皮带轮(32)转动，使第一转动轴(31)转动，带动外壳轴转动，从而使得气体通入装置外壳(101)转动，通过调节传动电机(36)，使气体通入装置外壳(101)转动一个角度，让气体通入装置外壳(101)上的气体输出喷口(1015)使产品在载具架(1)上做顺时针移动，转动另一个角度，让气体通入装置外壳(101)上的气体输出喷口(1015)使产品在载具架(1)上做逆时针移动；当需要增大气体压力，使产品在载具架(1)上更快的移动时，启动通入装置电机(107)，从而使第一通入装置皮带轮(108)转动，通过通入装置皮带(1010)第二通入装置皮带轮(1012)被第一通入装置皮带轮(108)带动，从而使第二通入装置转动轴(1011)转动，导致改变器转动轴转动，进而使气体通入装置体积改变器(1014)在气体通入装置外壳(101)内转动，使气体通入装置外壳(101)内部体积变小，从而提高了气体压强，提高喷气速度与喷气压力，使产品在载具架(1)上更快的移动时。
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