CN109207931B - 一种真空镀膜水冷机 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种真空镀膜水冷机，包括机身、冷却装置、进水装置和出水装置；所述真空镀膜水冷机具有高中低三种低于常温的水温，所述机身具有低温第一水箱、中温第二水箱和高温第三水箱；所述第一水箱为大水箱，容积等于所述第二水箱和所述第三水箱的容积之和；所述第一水箱内的温度传递到所述第三水箱使得其内的水冷却，所述第一水箱和所述第三水箱通过同一个出水口进出水。所述真空镀膜水冷机通过第一水箱和第三水箱的出水口连接结构和所述冷凝管温度传递，这种方式结构简单，组装维修方便，通过内循环来减少耗能，提高效率。
Description
技术领域
本发明涉及冷水机技术领域，具体地，涉及一种真空镀膜水冷机。
背景技术
需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。真空镀膜过程中需要进行多次不同水温的冷却，这种冷却速率将影响其薄膜质量。因此，如何实现一种设计合理，能有多个不同冷却温度，冷却速率高，冷却效果好，水可循环再用，节约用水，节能环保的真空镀膜水冷机是业内亟待解决的技术问题。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明提供了一种真空镀膜水冷机，通过第一水箱和第三水箱的出水口连接结构和所述冷凝管温度传递，这种方式结构简单，组装维修方便，通过内循环来减少耗能，提高效率。
本发明的技术方案如下：
一种真空镀膜水冷机，包括机身、冷却装置、进水装置和出水装置；所述真空镀膜水冷机具有高中低三种低于常温的水温，所述机身具有低温第一水箱、中温第二水箱和高温第三水箱；所述第一水箱为低温，所述第二水箱为中温，所述第三水箱为高温；所述第一水箱为大水箱，容积等于所述第二水箱和所述第三水箱的容积之和；所述第一水箱内的温度传递到所述第三水箱使得其内的水冷却，所述第一水箱和所述第三水箱通过同一个出水口进出水。
较佳地，所述机身具有一机架，所述机架分为上、下两层，其正面分为左、中、右三份；所述第一水箱、所述第二水箱和所述第三水箱固定连接所述机架上层内；所述机架中间分上层内固设有一电箱，所述电箱下方固设有三个高压表和三个低压标，所述高压表和所述低压标两两并列设置；所述第一水箱侧面靠近底部设有第一排水口，所述第二水箱侧面靠近底部设有第二排水口，所述第三水箱侧面靠近底部设有第三排水口。
优选的，所述冷却装置包括第一压缩机、第二压缩机、第三压缩机、冷凝器、铜管、第一冷凝管、第二冷凝管、第三冷凝管和第四冷凝管；所述第一水箱内设有所述第一冷凝管和所述第二冷凝管，所述第二水箱内设有所述第三冷凝管，所述第三水箱内设有所述第四冷凝管，所述冷凝管都呈圆形螺旋上升形状；所述第一压缩机的一端通过所述铜管固定连接所述冷凝器，另一端通过所述铜管固定连接所述第一冷凝管的底部输入端；所述第二压缩机的一端通过所述铜管固定连接所述冷凝器，另一端通过所述铜管固定连接所述第二冷凝管底部输入端；所述第三压缩机的一端通过所述铜管固定连接所述冷凝器，另一端通过所述铜管固定连接所述第三冷凝管底部输入端。
优选的，所述冷却装置还包括小水泵和煤气软管；所述第一冷凝管顶部输出端通过所述煤气软管固定连接所述小水泵，所述小水泵的另一端通过所述煤气软管固定连接所述第四冷凝管底部输入端；所述第四冷凝管顶部输出端通过所述煤气软管固定连接所述第二冷凝管顶部输出端。
优选的，所述第一水箱的侧面上方并列设置有第一进水口和第一溢水口，所述第二水箱的侧面上方并列设置有第二进水口和第二溢水口，所述第三水箱的侧面上方并列设置有第三进水口和第三溢水口；所述机架侧边下层靠近底部处固设有一总进水口和一总溢水口；所述第一进水口、所述第二进水口和所述第三进水口通过所述煤气软管固定连接所述总进水口的三个分接口处；所述第一溢水口、所述第二溢水口和所述第三溢水口通过所述煤气软管固定连接所述总溢水口的三个分接口处。
优选的，所述机架侧边下层靠近底部处设有第一出水口和第二出水口；所述第一水箱下方固设有一PVC硬管，所述PVC硬管固定连接有第一气动球阀，所述第一气动球阀固定连接有第一三通；所述第三水箱下方固设有所述PVC硬管，所述PVC硬管固定连接有第二气动球阀，所述第二气动球阀固定连接所述第一三通，所述第一三通固定连接所述第一水泵，所述第一水泵固定连接所述第一出水口；所述第一水箱下方固设有所述PVC硬管，所述PVC硬管固定连接所述第一气动球阀，所述第一气动球阀固定连接有第二三通；所述第三水箱下方固设有所述PVC硬管，所述PVC硬管固定连接所述第二气动球阀，所述第二气动球阀固定连接所述第二三通，所述第二三通固定连接所述第二水泵，所述第二水泵固定连接所述第二出水口。
优选的，所述机架侧边下层靠近底部处设有第三出水口，所述第二水箱下方设有所述PVC硬管，所述PVC硬管固定连接所述第三出水口，所述第二水箱通过所述第三出水口和所述第二排水口来实现水循环。
优选的，所述第一进水口和所述第一溢水口的直径大小相同，所述第二进水口和所述第二溢水口直径大小相同，所述第三进水口和所述第三溢水口直径大小相同，所述总进水口和所述总溢水口直径大小相同。
优选的，所述第一水箱内设有液位开关；所述第一水箱、所述第二水箱和所述第三水箱都设有温度传感器。
优选的，所述冷凝器的侧面固设有两个接头，所述排水口均固设有一手动球阀。
本发明的有益效果为：
(1)该真空镀膜水冷机通过所述进水口一分为三到各个水箱，使得各个水箱的液面高度一致，所述进水口和所述溢水口的直径大小相同可以限制水箱最高水位。
(2)该真空镀膜水冷机通过小水泵将所述第一水箱的冷凝管传递到所述第三水箱冷凝管进行冷却可以减少能量损耗。(3)该真空镀膜水冷机通过所述气动球阀和所述三通来实现第一水箱和第三水箱出水冷却，这样可以减少泵的耗能，使得结构简单，组装维修方便。
附图说明
图1为本发明所述真空镀膜水冷机整机立体图；
图2为本发明所述真空镀膜水冷机立体图；
图3为本发明所述真空镀膜水冷机正视图；
图4为本发明所述真空镀膜水冷机左视图；
图5为本发明所述真空镀膜水冷机的出水装置立体图。
附图标记：
第一水箱11、第二水箱12、第三水箱13、机架14、电箱15、高压表16、低压标17、第一排水口18、第二排水口19、第三排水口110、第一压缩机21、第二压缩机22、第三压缩机23、冷凝器24、铜管25、第一冷凝管26、第二冷凝管27、第三冷凝管28、第四冷凝管29、小水泵210、煤气软管211、总进水口31、总溢水口32、第一进水口33、第一溢水口34、第二进水口35、第二溢水口36、第三进水口37、第三溢水口38、第一气动球阀41、PVC硬管42、第一三通43、第一水泵44、第二水泵45、第二三通46、第一出水口47、第二出水口48、第二气动球阀49、第三出水口410。
具体实施方式
为了使本发明的发明目的，技术方案及技术效果更加清楚明白，下面结合具体实施方式对本发明做进一步的说明。应理解，此处所描述的具体实施例，仅用于解释本发明，并不用于限定本发明。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
参照图1，一种真空镀膜水冷机，包括机身、冷却装置、进水装置和出水装置。所述真空镀膜水冷机具有高中低三种低于常温的水温，所述机身具有低温第一水箱11、中温第二水箱12和高温第三水箱13。所述第一水箱11为大水箱，容积等于所述第二水箱12和所述第三水箱13的容积之和。
所述机身包括第一水箱11、第二水箱12、第三水箱13、机架14、电箱15、高压表16、低压标17、第一排水口18、第二排水口19和第三排水口110；所述机架14分为上、下两层，其正面分为左、中、右三份；所述第一水箱11、所述第二水箱12和所述第三水箱13固定连接所述机架14上层内，所述电箱15固定连接在所述机架14中间分上层内，所述电箱15下方固设有三个所述高压表16和三个所述低压标17，所述高压表16和所述低压标17两两并列设置。所述第一水箱11侧面靠近底部设有所述第一排水口18，所述第一排水口18固设有一手动球阀，所述第二水箱12侧面靠近底部设有所述第二排水口19，所述第二排水口19固设有一手动球阀，所述第三水箱13侧面靠近底部设有所述第三排水口110，所述第三排水口110固设有一手动球阀。所述排水口是用于更换和清空水箱内的水，
所述冷却装置包括第一压缩机21、第二压缩机22、第三压缩机23、冷凝器24、铜管25、第一冷凝管26、第二冷凝管27、第三冷凝管28、第四冷凝管29、小水泵210和煤气软管211。所述第一水箱11内设有所述第一冷凝管26和所述第二冷凝管27，所述第二水箱12内设有所述第三冷凝管28，所述第三水箱13内设有所述第四冷凝管29。所述冷凝管都呈圆形螺旋上升形状。所述第一压缩机21的一端通过所述铜管25固定连接所述第四冷凝管29，所述第一压缩机21另一端通过所述铜管25固定连接所述第一冷凝管26的底部输入端。所述第二压缩机22的一端通过所述铜管25固定连接所述第四冷凝管29，所述第二压缩机22另一端通过所述铜管25固定连接所述第二冷凝管27底部输入端。所述第一冷凝管26顶部输出端通过所述煤气软管211固定连接所述小水泵210，所述小水泵210的另一端通过所述煤气软管211固定连接所述第四冷凝管29底部输入端。所述第四冷凝管29顶部输出端通过所述煤气软管211固定连接所述第二冷凝管27顶部输出端。
所述进水装置包括总进水口31、总溢水口32、第一进水口33、第一溢水口34、第二进水口35、第二溢水口36、第三进水口37和第三溢水口38。所述第一水箱11的侧面上方并列设置有所述第一进水口33和所述第一溢水口34，所述第二水箱12的侧面上方并列设置有所述第二进水口35和所述第二溢水口36，所述第三水箱13的侧面上方并列设置有所述第三进水口37和所述第三溢水口38。所述第一进水口33、所述第二进水口35和所述第三进水口37固定连接所述总进水口31的三个分接口处。所述第一溢水口34、所述第二溢水口36和所述第三溢水口38固定连接所述总溢水口32的三个分接口处。所述总进水口31和所述总溢水口32设置在所述机架14侧边下层靠近底部处。所述进水口和所述溢水口的作用是控制进入每个水箱内的水量相同且都不超标。所述第一进水口33和所述第一溢水口34的直径大小相同，所述第二进水口35和所述第二溢水口36直径大小相同，所述第三进水口37和所述第三溢水口38直径大小相同，所述总进水口31和所述总溢水口32直径大小相同。
所述出水装置包括第一气动球阀41、PVC硬管42、第一三通43、第一水泵44、第二水泵45、第二三通46、第一出水口47、第二出水口48、第二气动球阀49和第三出水口410；所述机架14侧边下层靠近底部处设有所述第一出水口47和所述第二出水口48。所述第一水箱11下方固设有所述PVC硬管42，所述PVC硬管42固定连接所述第一气动球阀41，所述第一气动球阀41固定连接所述第一三通43，所述第三水箱13下方固设有所述PVC硬管42，所述PVC硬管42固定连接所述第二气动球阀49，所述第二气动球阀49固定连接所述第一三通43，所述第一三通43固定连接所述第一水泵44，所述第一水泵44固定连接所述第一出水口47。所述第一水箱11下方固设有所述PVC硬管42，所述PVC硬管42固定连接所述第一气动球阀41，所述第一气动球阀41固定连接所述第二三通46，所述第三水箱13下方固设有所述PVC硬管42，所述PVC硬管42固定连接所述第二气动球阀49，所述第二气动球阀49固定连接所述第二三通46，所述第二三通46固定连接所述第二水泵45，所述第二水泵45固定连接所述第二出水口48。所述第一气动球阀41和所述第二气动球阀49通过同时开关来实现所述第一水箱11或所述第三水箱13的水循环系统。所述第二水箱12下方设有所述PVC硬管42，所述PVC硬管42固定连接所述第三出水口410，所述第二水箱12通过所述第三出水口410和所述第三排水口110来实现水循环。所述机架14侧边下层靠近底部处设有第三出水口410，所述第二水箱12下方设有所述PVC硬管42，所述PVC硬管42固定连接所述第三出水口410，所述第二水箱12通过所述第三出水口410和所述第二排水口19来实现水循环。
所述第一压缩机21、第二压缩机22和第三压缩机23将气态的氟利昂压缩为高温高压的液态氟利昂，然后送到所述冷凝器24散热后成为常温高压的液态氟利昂；液态的氟利昂通过所述铜管25进入所述第一冷凝管26、第二冷凝管27、第三冷凝管28和第四冷凝管29，空间突然增大，压力减小，液态的氟利昂就会汽化，变成气态低温的氟利昂，从而吸收大量的热量，冷凝管就会变冷。
所述冷凝器24的侧面设有两个接头，所述接头接通外界水管实现循环。所述第一水箱11通过所述第一冷凝管26的热传递降温，所述第一水箱11的冷水将所述第二冷凝管27降温，所述第二冷凝管27通过所述小水泵210接通所述第四冷凝管29将所述第三水箱13内的水降温。人工通过程序控制电箱15内PLC来调节所述温度，所述第一水箱11、所述第二水箱12和所述第三水箱13内都设有温度感应器，所述第一水箱11内设有液位开关，所述第一压缩机21、所述第二压缩机22、所述第三压缩机23、所述温度感应器、所述第一水泵44、所述第二水泵45和所述小水泵210分别与所述PLC工控板电连接。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，其架构形式能够灵活多变，可以派生系列产品。只是做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明由所提交的权利要求书确定的专利保护范围。
Claims (6)
1.一种真空镀膜水冷机，包括机身、冷却装置、进水装置和出水装置(40)；其特征在于，所述真空镀膜水冷机具有高中低三种低于常温的水温，所述机身具有第一水箱(11)、第二水箱(12)和第三水箱(13)；所述第一水箱(11)为低温，所述第二水箱(12)为中温，所述第三水箱(13)为高温；所述第一水箱(11)为大水箱，容积等于所述第二水箱(12)和所述第三水箱(13)的容积之和；所述第一水箱(11)内的温度传递到所述第三水箱(13)使得其内的水冷却，所述第一水箱(11)和所述第三水箱(13)通过同一个出水口进出水；
所述机身具有一机架(14)，所述机架(14)分为上、下两层，其正面分为左、中、右三份；所述第一水箱(11)、所述第二水箱(12)和所述第三水箱(13)固定连接所述机架(14)上层内；所述机架(14)中间分上层内固设有一电箱(15)，所述电箱(15)下方固设有三个高压表(16)和三个低压标(17)，所述高压表(16)和所述低压标(17)两两并列设置；所述第一水箱(11)侧面靠近底部设有第一排水口(18)，所述第二水箱(12)侧面靠近底部设有第二排水口(19)，所述第三水箱(13)侧面靠近底部设有第三排水口(110)；
所述冷却装置包括第一压缩机(21)、第二压缩机(22)、第三压缩机(23)、冷凝器(24)、铜管(25)、第一冷凝管(26)、第二冷凝管(27)、第三冷凝管(28)和第四冷凝管(29)；所述第一水箱(11)内设有所述第一冷凝管(26)和所述第二冷凝管(27)，所述第二水箱(12)内设有所述第三冷凝管(28)，所述第三水箱(13)内设有所述第四冷凝管(29)，所述冷凝管(26，27，28，29)都呈圆形螺旋上升形状；所述第一压缩机(21)的一端通过所述铜管(25)固定连接所述冷凝器(24)，另一端通过所述铜管(25)固定连接所述第一冷凝管(26)的底部输入端；所述第二压缩机(22)的一端通过所述铜管(25)固定连接所述冷凝器(24)，另一端通过所述铜管(25)固定连接所述第二冷凝管(27)底部输入端；所述第三压缩机(23)的一端通过所述铜管(25)固定连接所述冷凝器(24)，另一端通过所述铜管(25)固定连接所述第三冷凝管(28)底部输入端；
所述冷却装置还包括小水泵(210)和煤气软管(211)；所述第一冷凝管(26)顶部输出端通过所述煤气软管(211)固定连接所述小水泵(210)，所述小水泵(210)的另一端通过所述煤气软管(211)固定连接所述第四冷凝管(29)底部输入端；所述第四冷凝管(29)顶部输出端通过所述煤气软管(211)固定连接所述第二冷凝管(27)顶部输出端；所述第一水箱(11)设有液位开关；所述第一水箱(11)、所述第二水箱(12)和所述第三水箱(13)都设有温度传感器。
2.如权利要求1所述的真空镀膜水冷机，其特征在于，所述第一水箱(11)的侧面上方并列设置有第一进水口(33)和第一溢水口(34)，所述第二水箱(12)的侧面上方并列设置有第二进水口(35)和第二溢水口(36)，所述第三水箱(13)的侧面上方并列设置有第三进水口(37)和第三溢水口(38)；所述机架(14)侧边下层靠近底部处固设有一总进水口(31)和一总溢水口(32)；所述第一进水口(33)、所述第二进水口(35)和所述第三进水口(37)通过所述煤气软管(211)固定连接所述总进水口(31)的三个分接口处；所述第一溢水口(34)、所述第二溢水口(36)和所述第三溢水口(38)通过所述煤气软管(211)固定连接所述总溢水口(32)的三个分接口处。
3.如权利要求1所述的真空镀膜水冷机，其特征在于，所述机架(14)侧边下层靠近底部处设有第一出水口(47)和第二出水口(48)；所述第一水箱(11)下方固设有一PVC硬管(42)，所述PVC硬管(42)固定连接有第一气动球阀(41)，所述第一气动球阀(41)固定连接有第一三通(43)；所述第三水箱(13)下方固设有所述PVC硬管(42)，所述PVC硬管(42)固定连接有第二气动球阀(49)，所述第二气动球阀(49)固定连接所述第一三通(43)，所述第一三通(43)固定连接第一水泵(44)，第一水泵(44)固定连接所述第一出水口(47)；所述第一水箱(11)下方固设有所述PVC硬管(42)，所述PVC硬管(42)固定连接所述第一气动球阀(41)，所述第一气动球阀(41)固定连接有第二三通(46)；所述第三水箱(13)下方固设有所述PVC硬管(42)，所述PVC硬管(42)固定连接所述第二气动球阀(49)，所述第二气动球阀(49)固定连接所述第二三通(46)，所述第二三通(46)固定连接第二水泵(45)，第二水泵(45)固定连接所述第二出水口(48)。
4.如权利要求3所述的真空镀膜水冷机，其特征在于，所述机架(14)侧边下层靠近底部处设有第三出水口(410)，所述第二水箱(12)下方设有所述PVC硬管(42)，所述PVC硬管(42)固定连接所述第三出水口(410)，所述第二水箱(12)通过所述第三出水口(410)和所述第二排水口(19)来实现水循环。
5.如权利要求2所述的真空镀膜水冷机，其特征在于，所述第一进水口(33)和所述第一溢水口(34)的直径大小相同，所述第二进水口(35)和所述第二溢水口(36)直径大小相同，所述第三进水口(37)和所述第三溢水口(38)直径大小相同，所述总进水口(31)和所述总溢水口(32)直径大小相同。
6.如权利要求1所述的真空镀膜水冷机，其特征在于，所述冷凝器(24)的侧面固设有两个接头，排水口(18，19，110)均固设有一手动球阀。
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