CN109158677A - 一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具及其加工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具及其加工方法，所述刀具包括连杆和设于连杆一端的刀头，所述刀具还包括设于刀头刃口的刀片，刀片的刀尖圆弧半径为0.5‑1mm。本发明能够大大减少崩角、崩边、成片脱落等现象，降低了人力和时间等成本，提高了成品率。
Description
技术领域
本发明属于下部电极生产加工技术领域，具体涉及一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具及其加工方法。
背景技术
在加工中心加工产品时，是通过加工工艺、加工程序控制设备运行，加工中心主轴装夹刀具在产品上做直线、圆弧、钻削和3D动态运动，对产品表面、侧面、孔或3D曲面进行加工。但是在加工干刻下部电极Al2O3涂层时，由于Al2O3涂层特性高硬度、韧性差，且Al2O3涂层是通过等离子喷涂吸附在其它铝或不锈钢等金属材质表面上，两种材料特性不一致。
传统加工方法存在以下问题：
1、传统端面铣削加工是在产品表层的直接做跟随周边铣削的方式线性运动，但由于Al2O3涂层特性高硬度、韧性差，在端面和侧面菱角处铣削时容易发生不同程度脱落；
2、传统侧面铣削加工是用刀具侧刃加工侧面，这样加工时应力过大，容易在产品端面和侧面菱角处发生崩边，崩料后的Al2O3涂层会挤压刀具和产品，使刀具和产品损坏，随后导致整个产品从等离子喷涂等工序重头开始加工，刀具成本上升，浪费了大量的时间和成本；
3、由于Al2O3涂层特性高硬度，传统加工刀具无法铣削，必须使用专用的特制材料制作。
发明内容
本发明旨在解决现有技术中存在的技术问题。为此，本发明提供一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具及其加工方法，目的是增加与产品接触时的接触面积，应力均匀，减少崩边等现象。
为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，包括连杆和设于连杆一端的刀头，所述刀具还包括设于刀头刃口的刀片，刀片的刀尖圆弧半径为0.5-1mm。
所述刀片为PCD刀片。
所述刀头为圆柱形，刀头的直径为8-12mm。
所述刀具为圆鼻刀。
本发明还提供一种干刻下部电极表面涂层铣削的加工方法，包括如下步骤：
步骤一、干刻下部电极的端面及侧面采用所述加工刀具加工出棱角过渡R角；
步骤二、通过立铣刀继续加工干刻下部电极的侧面，通过面铣刀继续加工整体表面。
所述步骤一中通过圆鼻刀底刃以螺旋下降的方式，对干刻下部电极端面和侧面的棱角过渡R角逐次加工。
所述步骤一中采用深度轮廓加工方式，对干刻下部电极端面和侧面的棱角过渡R角逐次加工。
所述步骤二中使用立铣刀加工侧面时，采用轮廓铣削的方式依据干刻下部电极外形逐渐加工侧面。
所述步骤二中使用面铣刀加工端面时，采用跟随周边铣削的方式。
本发明的有益效果：本发明的加工方法能够大大减少崩角、崩边、成片脱落等现象，降低了人力和时间等成本，提高了成品率，并在端面和侧面的棱角加入过渡R角，提高了产品的外观性能。
附图说明
本说明书包括以下附图，所示内容分别是：
图1是本发明的刀具结构示意图。
图中标记为：
1、刀头，2、连杆，3、刀片。
具体实施方式
下面对照附图，通过对实施例的描述，对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明，目的是帮助本领域的技术人员对本发明的构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解，并有助于其实施。
如图1所示，一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，包括连杆2和设于连杆一端的刀头1，刀具还包括设于刀头1刃口的刀片3，刀片3的刀尖圆弧半径为0.5-1mm。刀具优选为圆鼻刀。刀尖圆弧半径R为0.5-1mm的圆鼻刀相比不带R角的立铣刀，在加工时刀具与产品接触面积更大、应力均匀、稳定、抖动小，从而使工件不会崩角、发生磕碰等。
由于Al2O3涂层特性高硬度，刀片优选为PCD刀片。PCD材质的刀片通过焊接的方式固定于刀头刃口。为了保证刀具使用的便利性，刀头与连杆共轴，刀头为圆柱形，刀头的直径为8-12mm。此参数设置，便于对工件的表面加工棱角过渡R角，保证了加工的需求。
采用上述加工刀具对干刻下部电极表面涂层铣削的加工方法，包括如下步骤：
步骤一、干刻下部电极的端面及侧面采用上述加工刀具加工出棱角过渡R角；
步骤二、通过立铣刀继续加工干刻下部电极的侧面，通过面铣刀继续加工整体表面。
上述两步骤具体的优选方式如下：
所述步骤一中采用深度轮廓加工方式，对干刻下部电极端面和侧面的棱角过渡R角逐次加工。使用此加工方法好处是：加工过程中此加工方法会根据棱角过渡R角自动合理的调节每一刀切削的深度以达到最佳状态。此外，在加工过程中，通过圆鼻刀底刃以螺旋下降的方式，对干刻下部电极端面和侧面的棱角过渡R角进行辅助逐次加工。切削层之间配合使用螺旋的连接方式可使刀具在加工过程中不脱离产品，始终与产品接触直至加工完成，最大限度的避免了二次进退刀对产品和刀具产生的抖动等不稳定因素。
步骤二中使用立铣刀加工侧面时，采用轮廓铣削的方式依据干刻下部电极外形逐渐加工侧面。使用面铣刀加工端面时，采用跟随周边铣削的方式。跟随周边铣削的加工模式是根据端面的外形合理均匀的计算切削路径并在加工过程中不脱离产品，始终与产品接触直至加工完成，好处是避免了二次进退刀对产品和刀具产生的抖动等不稳定因素。
使用面铣刀加工端面时，由于边界已经加工出R角过渡，面铣刀加工的是边界以内的区域，加工的应力在边界以内，避免了成片脱落。
以上结合附图对本发明进行了示例性描述。显然，本发明具体实现并不受上述方式的限制。只要是采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进；或未经改进，将本发明的上述构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，包括连杆和设于连杆一端的刀头，其特征在于，所述刀具还包括设于刀头刃口的刀片，刀片的刀尖圆弧半径为0.5-1mm。
2.根据权利要求1所述干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，其特征在于，所述刀片为PCD刀片。
3.根据权利要求1所述干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，其特征在于，所述刀头为圆柱形，刀头的直径为8-12mm。
4.根据权利要求1所述干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具，其特征在于，所述刀具为圆鼻刀。
5.一种干刻下部电极表面涂层铣削的加工方法，其特征在于，采用权利要求1-4任一项所述加工刀具铣削加工，所述加工方法包括如下步骤：
步骤一、干刻下部电极的端面及侧面采用所述加工刀具加工出棱角过渡R角；
步骤二、通过立铣刀继续加工干刻下部电极的侧面，通过面铣刀继续加工整体表面。
6.根据权利要求5所述干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具的加工方法，其特征在于，所述步骤一中通过圆鼻刀底刃以螺旋下降的方式，对干刻下部电极端面和侧面的棱角过渡R角逐次加工。
7.根据权利要求5所述干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具的加工方法，其特征在于，所述步骤一中采用深度轮廓加工方式，对干刻下部电极端面和侧面的棱角过渡R角逐次加工。
8.根据权利要求5所述干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具的加工方法，其特征在于，所述步骤二中使用立铣刀加工侧面时，采用轮廓铣削的方式依据干刻下部电极外形逐渐加工侧面。
9.根据权利要求5所述干刻下部电极表面涂层铣削加工刀具的加工方法，其特征在于，所述步骤二中使用面铣刀加工端面时，采用跟随周边铣削的方式。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040059155A (ko) * | 2002-12-28 | 2004-07-05 | 대구텍 주식회사 | 인덱서블 볼노즈 엔드밀 |
| CN1709644A (zh) * | 2005-06-01 | 2005-12-21 | 广东科达机电股份有限公司 | 一种釉面砖的磨削生产工艺 |
| CN105312592A (zh) * | 2014-07-02 | 2016-02-10 | 西安航空动力股份有限公司 | 一种带陶瓷涂层精密零件的加工方法 |
| CN105312643A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-02-10 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种航空发动机零件封严涂层的加工方法 |
| CN206215997U (zh) * | 2016-10-29 | 2017-06-06 | 东莞市哆乐数控工具有限公司 | 一种cbn圆鼻刀 |
| CN206824730U (zh) * | 2017-06-08 | 2018-01-02 | 东莞市高冶切削工具有限公司 | 大进给圆鼻立铣刀 |
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20040059155A (ko) * | 2002-12-28 | 2004-07-05 | 대구텍 주식회사 | 인덱서블 볼노즈 엔드밀 |
| CN1709644A (zh) * | 2005-06-01 | 2005-12-21 | 广东科达机电股份有限公司 | 一种釉面砖的磨削生产工艺 |
| CN105312592A (zh) * | 2014-07-02 | 2016-02-10 | 西安航空动力股份有限公司 | 一种带陶瓷涂层精密零件的加工方法 |
| CN105312643A (zh) * | 2015-11-11 | 2016-02-10 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种航空发动机零件封严涂层的加工方法 |
| CN206215997U (zh) * | 2016-10-29 | 2017-06-06 | 东莞市哆乐数控工具有限公司 | 一种cbn圆鼻刀 |
| CN206824730U (zh) * | 2017-06-08 | 2018-01-02 | 东莞市高冶切削工具有限公司 | 大进给圆鼻立铣刀 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 韩胜超: "CFRP侧铣加工工艺研究", 《工程科技Ⅰ辑 》 * |
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