CN109136838A - 一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备 - Google Patents

一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备 Download PDF

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Abstract

本发明的目的在于提供一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备，所述掩模板的制作方法，包括：提供一掩模板本体的初始盲板及一内部中空的框架；将所述初始盲板张网固定于所述框架上；采用激光钻孔方式，在所述初始盲板上进行钻孔，得到多个开口。本发明提供的掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备，能够解决现有技术中精细金属掩模板的开口图案精度难以控制的问题。

Description

一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备。
背景技术
OLED(Organic Light Emission Display，有机电致发光二极管)显示技术凭借其各方面优点，而逐渐取代LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)显示，OLED显示技术的发展迎来了黄金时代，各大OLED显示器制造商不断推出各种颠覆性的产品来吸引人们的眼球。
在OLED(Organic Light Emission Display，有机电致发光二极管)制造技术中，真空蒸镀用的掩模板是至关重要的部件，掩模板的质量直接影响着生产制造成本和产品质量。OLED蒸镀过程用的掩模板主要包括精细金属掩模板(Fine Metal Mask，简称：FMM)，精细金属掩模板FMM上具有多个开口图案，用于蒸镀发光层材料，在蒸镀基板上形成像素图形，精细金属掩模板FMM的四边焊接在掩模板框架上。
目前所使用的精细金属掩模板FMM通常是由多个掩模条来组成，在制作过程中，首先，在各掩模条上通过刻蚀工艺来形成有开口图案，然后，再将各掩模条一条一条对位张网焊接在掩模板框架上。
对于OLED小尺寸显示产品来说，例如，手机等，通常精细金属掩模板FMM上的开口图案精度以及掩模条对位精度比较容易控制，可以实现RGB OLED(红、绿、蓝三像素)，而对于大尺寸显示产品，例如，大尺寸显示器等，精细金属掩模板的工艺制作困难，开口图案精度难以控制，且大尺寸掩模条对位精度较难控制，因此，目前市面上的大尺寸OLED显示产品都是采用RGBW OLED(红、绿、蓝、白像素)技术，RGBW OLED虽然保留OLED绝大多数的物理特性，但显示效果难以媲及RGB OLED。
由此可见，现有技术中对于OLED显示产品来说，尤其是大尺寸OLED显示产品，存在精细金属掩模板的开口图案精度及对位精度难以控制的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备，能够解决现有技术中精细金属掩模板的开口图案精度难以控制的问题。
本发明所提供的技术方案如下：
一种掩模板的制作方法，包括：
提供一掩模板本体的初始盲板及一内部中空的框架；
将所述初始盲板张网固定于所述框架上；
采用激光钻孔方式，在所述初始盲板上进行钻孔，得到多个开口。
进一步的，所述方法中，所述初始盲板为一张一体式的板状结构。
进一步的，所述方法中，将所述初始盲板张网固定于所述框架上，具体包括：利用夹具夹持住所述初始盲板的四边，并拉伸所述初始盲板至平坦状态，将一整张所述初始盲板的四边焊接于所述框架上。
进一步的，所述方法中，采用激光钻孔方式，在所述初始盲板上进行钻孔，得到多个开口，具体包括：采用飞秒激光钻孔方式，在所述初始盲板上依次钻多个孔，以得到多个开口。
进一步的，所述方法中，所述初始盲板为因瓦合金板。
一种掩模板，采用如上所述的方法制作而成，所述掩模板包括：
内部中空的框架；
掩模板本体，其周边固定在所述框架上，所述掩模板本体上设有由激光钻孔方式形成的多个开口。
进一步的，所述掩模板本体为一张一体式的板状结构，其四边焊接于所述框架上。
进一步的，所述掩模板本体为因瓦合金板。
一种蒸镀设备，包括如上所述的掩模板。
本发明所带来的有益效果如下：
上述方案中，利用激光钻孔方式在掩模板本体的初始盲板上进行钻孔，来得到掩模板上的多个开口，相较于现有技术中利用蚀刻工艺来制作精细金属掩模板上的开口图案来说，钻孔的精度更高，能够获得更高精度的开口图案，对于显示产品，尤其是大尺寸显示产品来说，可以实现视角更宽，开口率更大，显示效果更好的目的。
附图说明
图1表示本发明实施例中提供的掩模板的侧视图；
图2表示本发明实施例中提供的掩模板的主视图；
图3表示本发明实施例中提供的掩模板的制作方法流程示意图；
图4表示本发明实施例中提供的掩模板的制作方法步骤S1中的框架的结构示意图；
图5表示本发明实施例中提供的掩模板的制作方法步骤S1中的掩模板本体的初始盲板的结构示意图；
图6表示本发明实施例中提供的掩模板的制作方法中步骤S2中对初始盲板进行张网时的结构示意图；
图7表示本发明实施例中提供的掩模板的制作方法步骤S2中初始盲板焊接于框架之后的结构示意图；
图8表示本发明实施例中提供的掩模板的制作方法步骤S3中利用夹持装置夹持焊接有初始盲板的框架的结构示意图；
图9表示本发明实施例中提供的掩模板的制作方法步骤S3中进行激光钻孔时的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
针对现有技术中精细金属掩模板的开口图案精度难以控制的问题，本发明实施例中提供了一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备，能够提高掩模板的开口图案精度，实现视角更宽，开口率更大，显示效果更好的目的。
如图1至图9所示，本发明实施例所提供的掩模板的制作方法，包括以下步骤：
步骤S1、提供一掩模板本体的初始盲板100及一内部中空的框架200；
步骤S2、将所述初始盲板100张网固定于所述框架200上；
步骤S3、采用激光钻孔方式，在所述初始盲板100上进行钻孔，得到多个开口110。
本发明实施例中所提供的掩模板的制作方法，在制作掩模板时，利用激光钻孔的方式在初始盲板100上进行钻孔，来得到掩模板上的开口110图案，采用这种激光钻孔的方式，与现有技术中采用蚀刻工艺在掩模板上开口110的方式相比，激光钻孔所获得的开口110精度更高，能够获得更高精度的开口110图案，对于显示产品，可以实现视角更宽，开口110率更大，显示效果更好的目的。尤其是大尺寸显示产品来说，现有技术中由于工艺限制，无法满足大尺寸RBG OLED(三像素)显示面板的精细金属掩模板的开口110图案精度要求，而采用本发明实施例所提供的方法，可以满足大尺寸RBG OLED(三像素)显示面板的精细金属掩模板的开口110图案精度要求。
需要说明的是，在上述方案中，所述掩模板为精细金属掩模板，所述开口110用于在显示基板上形成像素图形。
当然可以理解的是，上述方法也可以应用于其他类型的掩模板制作。
此外，还需要说明的是，本发明实施例所提供的方法，尤其可以适用于制作大尺寸显示产品时所使用的精细金属掩模板，当然，也可以应用于制作小尺寸显示产品时所使用的精细金属掩模板。
此外，在本发明实施例所提供的方法中，优选的，在所述步骤S1中，所述初始盲板100为一张一体式的板状结构；如图4至图7所示，所述步骤S2具体包括：利用夹具20夹持住所述初始盲板100的四边，并拉伸所述初始盲板100至平坦状态，将一整张所述初始盲板100的四边焊接于所述框架200上。
采用上述方案，所述掩模板本体的初始盲板100采用的是一整张板，通过将一整张初始盲板100的四边焊接在框架200上之后，再利用激光钻孔方式，在初始盲板100上进行钻孔，而得到多个开口110，其中初始盲板100钻孔后得到一体式的掩模板本体，该掩模板本体与框架200一起构成整个掩模板。如图所示，在进行整张初始盲板100张网时，可以是通过在初始盲板100的周边用夹子(Gripper)拉伸，让其平坦的焊接在框架200上。
这样，先将一整张初始盲板100张网在框架200上，再利用激光钻孔方式在初始盲板100上进行钻孔的方式，与现有技术中先在一条一条的掩模条上蚀刻出开口110，再将各掩模条对位张网于框架200上的方式相比，掩模板本体由一整张初始盲板100钻孔实现，得到一体式掩模板本体结构，其稳定性好，热变形小，尤其是对应高世代产线，能解决掩模板在蒸镀腔室中受热变形的问题，并且，掩模板的初始盲板100为一整张板张网于框架200上，张网工艺也更加简单，不需要做掩模条与框架200、掩模条与掩模条之间的这种对位调整(PPA对位)，且不需要将掩模条一条一条张网，大大节省了张网时间，同时，高精度激光钻孔可确保PPA精度，比传统对位方式更易于控制。
当然可以理解的是，在实际应用中，也可以是掩模板的初始盲板100有至少两块，每一块初始盲板100上分别采用激光钻孔方式来得到开口110图案。
此外，需要说明的是，在本发明实施例所提供的方法中，所述步骤S3具体包括：采用飞秒激光(Femto Second Laser)钻孔方式，在所述初始盲板100上依次钻多个孔，以得到多个开口110。
飞秒激光钻孔技术，具有极短的脉冲宽度，使得它能够在相对较低的脉冲能量下得到极高的峰值功率，可以达到百万亿瓦，具有短脉宽和高功率这两个主要特征，其是采用飞(10-15)秒级激光钻孔可得到无“热影响区”的精细孔,其孔壁平均粗糙度Ra≤0.1mm，位置度≤1％。
因此，在上述方案中，利用飞秒激光钻孔技术在初始盲板100上钻孔，其中，如图8和图9所示，在利用飞秒激光钻孔技术进行钻孔时，可以将焊接于框架200上的初始盲板100利用夹持装置30夹持于飞秒钻孔设备的工作台40上，然后利用飞秒激光头根据移动算法移动，从而在初始盲板100上依次钻孔，制作出高精度来获得掩模板上的开口110，钻孔精度高，钻孔得到的开口110边缘平整光滑。
需要说明的是，在实际应用中，针对掩模板上的开口110图案精度要求，也可利用其他激光钻孔技术来钻孔得到开口110。
此外，还需要说明的是，在上述方法中，所述初始盲板100可以采用因瓦合金板(Invar)，其厚度优选为50～100um。当然可以理解的是，对于所述初始盲板100的具体材质及厚度等并不以此为限。
以下结合附图，来说明本发明实施例所提供的方法的一种具体流程：
首先，如图4和图5所示，提供一初始盲板100及一内部中空的框架200；
然后，如图6和图7所示，利用夹子20夹持初始盲板100的四边，使得平坦的焊接于框架200上；
然后，如图8所示，利用夹持装置30，将焊接于框架200上的初始盲板100移动至飞秒激光设备的工作台40上方，然后夹持装置30下降，使得初始盲板100与工作台40上的治具承载面平整贴合；
然后，在保证初始盲板100与治具承载面贴合平整的情况下，采用飞秒激光钻钻孔技术在初始盲板100上钻孔，如图9所示，依次均匀的在整张初始盲板100上钻孔，而得到掩模板，所得到的掩模板的结构如图1和图2所示。
此外，本发明实施例中还提供了一种掩模板，采用本发明实施例所提供的方法制作而成，如图1和图2所示，所述掩模板包括：
内部中空的框架200；
及，掩模板本体120，其周边固定在所述框架200上，所述掩模板本体120上设有由激光钻孔方式形成的多个开口110。
本发明实施例中所提供的掩模板，掩模板本体120上的开口110利用激光钻孔的方式得到，与现有技术中掩模板上采用蚀刻工艺得到开口110的方式相比，激光钻孔所获得的开口110精度更高，能够获得更高精度的开口110图案，对于显示产品，可以实现视角更宽，开口110率更大，显示效果更好的目的。尤其是大尺寸显示产品来说，现有技术中由于工艺限制，无法满足大尺寸RBG OLED(三像素)显示面板的精细金属掩模板的开口110图案精度要求，而采用本发明实施例所提供的方法，可以满足大尺寸RBG OLED(三像素)显示面板的精细金属掩模板的开口110图案精度要求。
需要说明的是，在上述方案中，所述掩模板为精细金属掩模板，所述开口110用于在显示基板上形成像素图形。
当然可以理解的是，上述方法也可以应用于其他类型的掩模板制作。
此外，还需要说明的是，本发明实施例所提供的方法，尤其可以适用于制作大尺寸显示产品时所使用的精细金属掩模板，当然，也可以应用于制作小尺寸显示产品时所使用的精细金属掩模板。
此外，在本发明所提供的实施例中，优选的，所述掩模板本体120为一张一体式的板状结构，其四边焊接于所述框架200上。
采用上述方案，所述掩模板本体120采用的是一整张板，这样，掩模板本体120的初始盲板100张网时，可以是通过在初始盲板100的周边用夹子(Gripper)拉伸，让其平坦的焊接在框架200上，掩模板本体120与框架200之间通过焊接点10焊接固定。
这样，先将一整张初始盲板100张网在框架200上，再利用激光钻孔方式在初始盲板100上进行钻孔的方式，与现有技术中先在一条一条的掩模条上蚀刻出开口110，再将各掩模条对位张网于框架200上的方式相比，掩模板本体120由一整张初始盲板100钻孔实现，得到一体式掩模板本体120结构，其稳定性好，热变形小，尤其是对应高世代产线，能解决掩模板在蒸镀腔室中受热变形的问题，并且，掩模板的初始盲板100为一整张板张网于框架200上，张网工艺也更加简单，不需要做掩模条与框架200、掩模条与掩模条之间的这种对位调整，且不需要将掩模条一条一条张网，大大节省了张网时间，同时，高精度激光钻孔可确保PPA(Pixel Position Accuracy，像素位置精度)精度，比传统对位方式更易于控制。
当然可以理解的是，在实际应用中，也可以是掩模板的初始盲板100有至少两块，每一块初始盲板100上分别采用激光钻孔方式来得到开口110图案。
此外，需要说明的是，在本发明实施例所提供的掩模板中，所述开口110为采用飞秒激光(Femto Second Laser)钻孔方式的得到的开口110，飞秒激光钻孔精度高，钻孔得到的开口110边缘平整光滑。
此外，还需要说明的是，所述掩模板本体120可以采用因瓦合金板(Invar)，其厚度优选为50～100um。当然可以理解的是，对于所述掩模板本体120的具体材质及厚度等并不以此为限。
此外，本发明实施例还提供了一种蒸镀设备，包括本发明实施例所提供的掩模板。所述蒸镀设备用于利用掩模板形成显示基板上的像素图形，该显示基板可为OLED显示器件，包括但不限于OLED TV(电视)、PC(电脑)、Tablet(平板)、Mobile(移动手机)等。
以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (9)

1.一种掩模板的制作方法，其特征在于，包括：
提供一掩模板本体的初始盲板及一内部中空的框架；
将所述初始盲板张网固定于所述框架上；
采用激光钻孔方式，在所述初始盲板上进行钻孔，得到多个开口。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述方法中，所述初始盲板为一张一体式的板状结构。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，
所述方法中，将所述初始盲板张网固定于所述框架上，具体包括：
利用夹具夹持住所述初始盲板的四边，并拉伸所述初始盲板至平坦状态，将一整张所述初始盲板的四边焊接于所述框架上。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述方法中，采用激光钻孔方式，在所述初始盲板上进行钻孔，得到多个开口，具体包括：采用飞秒激光钻孔方式，在所述初始盲板上依次钻多个孔，以得到多个开口。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，
所述方法中，所述初始盲板为因瓦合金板。
6.一种掩模板，其特征在于，采用如权利要求1至5任一项所述的方法制作而成，所述掩模板包括：
内部中空的框架；
掩模板本体，其周边固定在所述框架上，所述掩模板本体上设有由激光钻孔方式形成的多个开口。
7.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，
所述掩模板本体为一张一体式的板状结构，其四边焊接于所述框架上。
8.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，
所述掩模板本体为因瓦合金板。
9.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求6至8任一项所述的掩模板。
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