CN109051741B - 一种掩膜板搬运装置及其搬运方法 - Google Patents

一种掩膜板搬运装置及其搬运方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种掩膜板搬运装置及其搬运方法，包括搬运小车本体、位于小车本体内部的转置装置以及位于转置装置上方的掩膜板拾取检测装置；所述转置装置用于将掩膜板包装盒在竖直状态和水平状态之间转换，所述转置装置包括平台部、与平台部垂直连接且用于固定掩膜板包装盒的对接部以及带动平台部转动的驱动轴；所述掩膜板拾取检测装置包括与搬运小车本体固定连接的升降轴、在升降轴上垂直移动的竖直升降杆、固定在竖直升降杆上的水平位移杆以及位于水平位移杆上的掩膜板拾取结构。本发明通过提出一种多功能掩膜板搬运装置，可有效解决空间限制问题、成本问题、有效维护掩膜板的清洁度，设备简单易操作，节省人力。

Description

一种掩膜板搬运装置及其搬运方法
技术领域
本发明涉及显示装置制造领域，特别涉及一种掩膜板搬运装置及其搬运方法。
背景技术
在液晶显示装置制造过程中会用到掩膜板(Mask)，掩膜板入厂后需经过解包、清洁、放入掩膜板承载盒(Mask Case)等操作才能应用于曝光设备。现有大尺寸的掩膜板搬运系统机构较多，包含独立的Mask转置台、Mask翻转检查台、Mask移载手臂、Mask Case承载台车等，占据空间大，操作繁琐；小尺寸生产线在Mask解包过程中，大多是从Mask包装盒中用手抬出Mask，放入Ma sk case，存在以下缺点：占据人力较多，且人体直接接触Mask，容易在Mask 边缘留下指纹，Mask亦有跌落损伤及砸伤人的安全隐患。
发明内容
本发明的目的是提供一种掩膜板搬运装置，解决现有搬运装置功能单一、占据空间大、小尺寸掩膜板人工搬运的问题。
一种掩膜板搬运装置，包括搬运小车本体、位于小车本体内部的转置装置以及位于转置装置上方的掩膜板拾取检测装置；所述转置装置用于将掩膜板包装盒在竖直状态和水平状态之间转换，所述转置装置包括平台部、与平台部垂直连接且用于固定掩膜板包装盒的对接部以及带动平台部转动的驱动轴；所述掩膜板拾取检测装置包括与搬运小车本体固定连接的升降轴、在升降轴上垂直移动的竖直升降杆、固定在竖直升降杆上的水平位移杆以及位于水平位移杆上的掩膜板拾取结构。
进一步，所述搬运小车本体包括基础框架，基础框架包括具有开放口的第一侧面、与第一侧面相对的第三侧面以及位于第一侧面和第三侧面之间且相对设置的第二侧面和第四侧面。
进一步，所述搬运小车本体在第二侧面、第三侧面或第四侧面的至少一个侧面上设有周边扶手。
进一步，所述搬运小车本体底部设有万向轮。
进一步，所述搬运小车本体上设有固定所述转置装置的状态锁定机构。
进一步，所述平台部上设有掩膜板包装盒的定位结构。
进一步，所述对接部的高度小于掩膜板包装盒竖直状态下最底端距地面的高度，对接部的宽度小于掩膜板包装盒的两个轮子之间的距离。
进一步，所述升降轴内设有传动机构；所述竖直升降杆通过所述传动机构连接实现升降。
进一步，掩膜板拾取检测装置还包括位于水平位移杆两端的一组挡片。
一种掩膜板搬运装置的搬运方法，包括如下步骤：
S1：掩膜板包装盒进入搬运小车本体内，转置装置的平台部的表面与掩膜板包装盒的表面贴合，转置装置的定位机构固定掩膜板包装盒；
S2：转置装置的驱动轴带动平台部进行逆时针旋转90度，掩膜板包装盒从垂直状态转为水平状态，状态锁定机构固定此时的掩膜板包装盒；
S3：打开掩膜板包装盒，掩膜板包装盒的上盖移走，掩膜板拾取检测装置对掩膜板进行拾取；
S4：由外部驱动机构带动掩膜板拾取检测装置的升降轴转动，掩膜板拾取检测装置的竖直升降杆在升降轴向上移动；
S5：竖直升降杆上升至合适位置，清洗装置对掩膜板进行正反面检查与清扫；
S6：掩膜板包装盒移走，由外部装置将掩膜板承载台放置于平台部上，驱动竖直升降杆下降，将掩膜板放入掩膜板承载台。
本发明通过提出一种多功能掩膜板搬运装置，将掩膜板打包解包、掩膜板在掩膜板包装盒与掩膜板承载盒之间的转移、掩膜板检查清扫等功能集于一体，可有效解决空间限制问题、成本问题、、有效维护掩膜板的清洁度，设备简单易操作，节省人力。
附图说明
图1为本发明掩膜板搬运装置立体结构图；
图2为本发明掩膜板搬运装置左视图；
图3为本发明掩膜板搬运装置正视图；
图4为本发明掩膜板搬运装置俯视图；
图5为本发明掩膜板拾取检测装置放大示意图；
图6为本发明掩膜板搬运装置将掩膜板放入掩膜板承载平台工作示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
本发明提供一种掩膜板搬运装置，如图1至图4所示，包括搬运小车本体1、在位于小车本体1内移动的转置装置2以及位于转置装置2上方的掩膜板拾取检测装置3。搬运小车本体1包括呈长方体状或正方体状的基础框架11和位于基础框架11底部的万向轮12，搬运小车本体1外设有至少一个周边扶手13，搬运小车本体1上设有状态锁定机构，所述状态锁定机构为插销或锁扣或挡块。
如图5所示，掩膜板包装盒4包括上盖41、位于上盖41下方的下底42、位于上盖41和下底42之间的掩膜版5以及连接在上盖41和下底42之间的两个轮子43。
在本实施例中，基础框架11包括具有开放口的第一侧面111、与第一侧面 111相对的第三侧面113以及位于第一侧面111和第三侧面113之间且相对设置的第二侧面112和第四侧面114。其中，开放口便于掩膜板包装盒4进入基础框架11内；周边扶手13具有三个，分别设置在第二侧面112、第三侧面113和第四侧面上114。
转置装置2用于掩膜板包装盒4在竖直状态和水平状态之间的转换，转置装置2包括平台部21、与平台部21垂直连接的对接部22以及带动平台部21转动且枢接在基础框架11上的驱动轴23；平台部21上设有掩膜板包装盒4的多个定位结构25，所述定位结构25为卡扣或者长孔螺丝，定位结构25可保护掩膜板包装盒4在竖直状态和水平状态之间转变过程中不会滑落；对接部22位于平台部21的侧边，其高度小于掩膜板包装盒4在竖直状态下最底端距地面的高度，对接部22的宽度小于掩膜板包装盒4的两个轮子43之间的距离，当掩膜板包装盒4由竖直状态推入转置装置2时，对接部22可以嵌入掩膜板包装盒4的轮子 43之间，使掩膜板包装盒4的下底42的下表面与平台部21的上表面贴合。搬运小车本体1上设置有固定在基础框架11上的状态锁定机构24，使转置装置2 可安全稳定地保持在相应状态，可为插销或锁扣等。
掩膜板拾取检测装置3包括固定在搬运小车本体1上的升降轴31、在升降轴31上垂直移动的两个竖直升降杆32、垂直固定在两个垂直升降杆32之间的水平位移杆33以及位于水平位移杆33上的多个掩膜板拾取结构34。其中，两个垂直升降杆32相对设置，其中一个水平位移杆33垂直固定在两个垂直升降杆 32的一端，另一个水平位移杆33垂直固定在两个垂直升降杆32的另一端；每个水平位移杆33上固定三个掩膜板拾取结构34。
升降轴31内设有传动机构，所述传动机构为丝杆；所述竖直升降杆32两端通过螺母与所述传动机构连接实现升降，升降轴31需同轴驱动，以保持两端同步升降，从而保证竖直升降杆32平衡，升降轴31外围设置防护盖，竖直升降杆 32内设有传动机构，所述水平位移杆33两端通过传动机构与竖直升降杆32连接实现水平移动，在竖直升降杆32和水平位移杆33到达指定位置后，用状态锁定机35进行固定，所述状态锁定机构35可为挡块或锁扣等。如图5所示，水平位移杆33上设有多组掩膜板拾取结构34，掩膜板拾取结构34为L型，位于水平位移杆33两端的掩膜板拾取结构34上还增设一组挡片341，342，以防止掩膜板5在运动过程中在前后方向上移动。
掩膜板搬运装置的搬运方法，包括如下具体工作步骤如下：
S1：掩膜板包装盒4由开放口进入搬运小车本体1内，转置装置2的对接部 22嵌入掩膜板包装盒4的轮子43之间，掩膜板包装盒4表面与平台部21表面贴合，定位机构25固定掩膜板包装盒4；
S2：转置装置2的驱动轴23带动平台部21进行逆时针旋转90度，使掩膜板包装盒4从垂直状态转为水平状态，状态锁定机构24固定此时的掩膜板包装盒4；
S3：打开掩膜板包装盒4，将掩膜板包装盒4的上盖41移走(通过其他装置将上盖41移走，移走上盖41不是本发明保护重点，故不进行详细叙述)，掩膜板拾取检测装置3对掩膜板5进行拾取；
S4：由外部驱动机构带动掩膜板拾取检测装置的升降轴31转动，掩膜板拾取检测装置的竖直升降杆32在升降轴向上移动，即：由外部驱动机构带动升降轴31内部丝杠转动，竖直升降杆32两端通过螺母与升降轴31内部丝杠连接，由丝杠转动转化为螺母带动竖直升降杆32升降；
水平位移杆33两端与竖直升降杆32通过传动机构进行连接，驱动水平位移杆 33移动，使拾取结构331到达掩膜板5边缘下方，并状态锁定机35将水平位移杆33的状态进行锁定，以防止掩膜板5在运动过程中由于机械震动产生水平方向的位移；
S5：驱动竖直升降杆32上升至合适位置，清洗装置(清洗装置不是本发明保护重点，故不进行详细叙述)可对掩膜板5进行正反面检查与清扫；
S6：将掩膜板包装盒4移走，如图6所示，由外部装置将掩膜板承载台6 放置于平台部21上，驱动竖直升降杆32下降，将掩膜板5放入掩膜板承载台6；
以上完成了掩膜板5的入厂解包、清洁、移载至掩膜板承载台6的完整过程；若只进行清洁作业，从掩膜板承载台6中取出掩膜板5清洁，再放回入掩膜板承载台6中，则不涉及翻转操作；掩膜板的打包执行相反操作，可将掩膜板承载台6中的掩膜板5移载至掩膜板包装盒4，并驱动转置装置2至竖直状态，即可将掩膜板包装盒4推走。
本发明通过提出一种多功能掩膜板搬运装置，将掩膜板打包解包、掩膜板在掩膜板包装盒与掩膜板承载盒之间的转移、掩膜板检查清扫等功能集于一体，可有效解决空间限制问题、成本问题、有效维护掩膜板的清洁度，设备简单易操作，节省人力。

Claims (8)

1.一种掩膜板搬运装置，其特征在于：包括搬运小车本体、位于小车本体内部的转置装置以及位于转置装置上方的掩膜板拾取检测装置；所述转置装置用于将掩膜板包装盒在竖直状态和水平状态之间转换，所述转置装置包括平台部、与平台部垂直连接且用于固定掩膜板包装盒的对接部以及带动平台部转动的驱动轴；所述掩膜板拾取检测装置包括与搬运小车本体固定连接的升降轴、在升降轴上垂直移动的竖直升降杆、固定在竖直升降杆上的水平位移杆以及位于水平位移杆上的掩膜板拾取结构；掩膜板包装盒包括两个轮子；其中所述平台部上设有固定掩膜板包装盒的多个定位结构，所述对接部位于平台部的侧边，其高度小于掩膜板包装盒在竖直状态下最底端距地面的高度，对接部的宽度小于掩膜板包装盒的两个轮子之间的距离，当掩膜板包装盒由竖直状态推入转置装置时，对接部可以嵌入掩膜板包装盒的轮子之间，使掩膜板包装盒的下底的下表面与平台部的上表面贴合。
2.根据权利要求1所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述搬运小车本体包括基础框架，基础框架包括具有开放口的第一侧面、与第一侧面相对的第三侧面以及位于第一侧面和第三侧面之间且相对设置的第二侧面和第四侧面。
3.根据权利要求1所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述搬运小车本体在第二侧面、第三侧面或第四侧面的至少一个侧面上设有周边扶手。
4.根据权利要求1所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述搬运小车本体底部设有万向轮。
5.根据权利要求1或2所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述搬运小车本体上设有固定所述转置装置的状态锁定机构。
6.根据权利要求1所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：所述升降轴内设有传动机构；所述竖直升降杆通过所述传动机构连接实现升降。
7.根据权利要求6所述的掩膜板搬运装置，其特征在于：掩膜板拾取检测装置还包括位于水平位移杆两端的一组挡片。
8.权利要求1-7任一所述的掩膜板搬运装置的搬运方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1：掩膜板包装盒进入搬运小车本体内，转置装置的平台部的表面与掩膜板包装盒的表面贴合，转置装置的定位机构固定掩膜板包装盒；
S2：转置装置的驱动轴带动平台部进行逆时针旋转90度，掩膜板包装盒从垂直状态转为水平状态，状态锁定机构固定此时的掩膜板包装盒；
S3：打开掩膜板包装盒，掩膜板包装盒的上盖移走，掩膜板拾取检测装置对掩膜板进行拾取；
S4：由外部驱动机构带动掩膜板拾取检测装置的升降轴转动，掩膜板拾取检测装置的竖直升降杆在升降轴向上移动；
S5：竖直升降杆上升至合适位置，清洗装置对掩膜板进行正反面检查与清扫；
S6：掩膜板包装盒移走，由外部装置将掩膜板承载台放置于平台部上，驱动竖直升降杆下降，将掩膜板放入掩膜板承载台。
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