CN109048884A - 一种单晶硅片检测机器人工作站 - Google Patents

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张涛川
段春梅
杨伟
李大成
李英杰
邓玮基
何柳彬
黄铠
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Abstract

本发明公开了一种单晶硅片检测机器人工作站,包括:底座、主体、臂体和吸盘夹具,所述底座上设有转盘,所述主体呈柱状,所述主体固定的安装在所述转盘上,所述主体设有开槽,所述底座上设有丝杆,丝杆穿过所述转盘插入所述开槽中,主体的上部设有第一转动电机,第一转动电机上设有与所述丝杆啮合的第一齿轮,臂体包括前臂和后臂,前臂的前端落入所述开槽内,所述前臂的前端内设有上下贯通的通孔,所述通孔内设有与所述丝杆相配合的螺纹,所述前臂的后端通过水平转轮与所述后臂的前端连接,所述后臂的后端与吸盘夹具连接,所述前臂上设有第二转动电机。通过这样简单的结构可实现对太阳能单晶硅片的搬运功能。该机器人可用于硅片的生产中。

Description

一种单晶硅片检测机器人工作站
技术领域
本发明涉及太阳能单晶硅片生产用具技术领域,特别涉及一种机器人工作站。
背景技术
太阳能单晶硅片生产过程中,需要通过机器人进行搬运和分拣,在搬运和分拣过程中,需要用到机器人工作站,现有的机器人工作站一般采用六轴机器人,但是六轴机器人结构十分复杂,操作不便,对于太阳能硅片的搬运和分拣来说,并不需要过于复杂的机器人工作站。
发明内容
针对现有技术的缺陷,本发明提供一种结构简单的机器人工作站。
本发明解决其技术问题的解决方案是:一种单晶硅片检测机器人工作站,包括:底座、主体、臂体和吸盘夹具,所述底座上设有转盘,所述主体呈柱状,所述主体固定的安装在所述转盘上,所述主体设有开槽,所述底座上设有竖直向上的丝杆,所述丝杆穿过所述转盘插入所述开槽中,所述主体的上部固定连接有第一转动电机,所述第一转动电机的转轴上设有与所述丝杆啮合的第一齿轮,所述开槽内设有用于引导所述臂体上下移动的导轨,所述臂体包括前臂和后臂,所述前臂的前端落入所述开槽内,所述前臂的前端内设有上下贯通的通孔,所述通孔内设有与所述丝杆相配合的螺纹,所述前臂的后端通过水平转轮与所述后臂的前端连接,所述后臂的后端与吸盘夹具连接,所述前臂上设有第二转动电机,所述第二转动电机用于带动所述水平转轮水平转动。
进一步,所述吸盘夹具包括:支架,所述支架与所述后臂的后端连接,所述支架设有至少一个吸盘结构,所述吸盘结构包括:缓冲弹簧、抽气管和吸盘组件,所述吸盘组件包括外盘和内盘,所述内盘位于所述外盘的中部,所述抽气管分别插入外盘和内盘中,所述缓冲弹簧的一端与外盘的盘底固定连接,所述缓冲弹簧的另一端与支架固定连接。
进一步,所述外盘和内盘均呈波纹管状。
进一步,所述外盘和内盘均为硅橡胶材质构件。
进一步,所述支架设有四个吸盘结构,所述四个吸盘结构呈矩状分布。
本发明的有益效果是:一种单晶硅片检测机器人工作站,包括:底座、主体、臂体和吸盘夹具,所述底座上设有转盘,所述主体呈柱状,所述主体固定的安装在所述转盘上,所述主体设有开槽,所述底座上设有竖直向上的丝杆,所述丝杆穿过所述转盘插入所述开槽中,所述主体的上部固定连接有第一转动电机,所述第一转动电机的转轴上设有与所述丝杆啮合的第一齿轮,所述开槽内设有用于引导所述臂体上下移动的导轨,所述臂体包括前臂和后臂,所述前臂的前端落入所述开槽内,所述前臂的前端内设有上下贯通的通孔,所述通孔内设有与所述丝杆相配合的螺纹,所述前臂的后端通过水平转轮与所述后臂的前端连接,所述后臂的后端与吸盘夹具连接,所述前臂上设有第二转动电机,所述第二转动电机用于带动所述水平转轮水平转动。通过这样简单的结构可实现对太阳能单晶硅片的搬运功能。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单说明。显然,所描述的附图只是本发明的一部分实施例,而不是全部实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他设计方案和附图。
图1是本发明创造机器人工作站的立体结构示意图;
图2是臂体的结构示意图;
图3是吸盘夹具的立体结构示意图;
图4是吸盘结构的结构示意图;
图5是吸盘组件的截面图。
具体实施方式
以下将结合实施例和附图对本发明的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述,以充分地理解本发明的目的、特征和效果。显然,所描述的实施例只是本发明的一部分实施例,而不是全部实施例,基于本发明的实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例,均属于本发明保护的范围。另外,文中所提到的所有联接/连接关系,并非单指构件直接相接,而是指可根据具体实施情况,通过添加或减少联接辅件,来组成更优的联接结构。本发明创造中的各个技术特征,在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
实施例1,参考图1和图2,一种单晶硅片检测机器人工作站,包括:底座91、主体92、臂体93和吸盘夹具95,所述底座91上设有转盘94,所述主体92呈柱状,所述主体92固定的安装在所述转盘94上,所述主体92设有开槽921,所述底座91上设有竖直向上的丝杆924,所述丝杆924穿过所述转盘94插入所述开槽921中,所述主体92的上部固定连接有第一转动电机922,所述第一转动电机922的转轴上设有与所述丝杆924啮合的第一齿轮,所述开槽921内设有用于引导所述臂体93上下移动的导轨923,所述臂体93包括前臂931和后臂932,所述前臂931的前端落入所述开槽921内,所述前臂931的前端内设有上下贯通的通孔,所述通孔内设有与所述丝杆924相配合的螺纹,所述前臂931的后端通过水平转轮933与所述后臂932的前端连接,所述后臂932的后端与吸盘夹具95连接,所述前臂931上设有第二转动电机934,所述第二转动电机934可带动所述水平转轮933水平转动。
当所述机器人工作站工作时,通过第一转动电机922转动,在丝杆924的作用下可使得臂体93上下移动,在转盘94的作用下臂体93可左右转动,当需要搬运太阳能单晶硅片时,可通过第一转动电机922转动,将臂体93向下移动,其中,第二转动电机934可使得后臂932转动,从而微调吸盘夹具95的位置,吸盘夹具95吸附住太阳能单晶硅片,第一转动电机922转动、转盘94转动,从而搬运太阳能单晶硅片。
参考图3-图5,所述吸盘夹具95包括:支架1,所述支架1与所述后臂932的后端连接,所述支架1设有至少一个吸盘结构2,所述吸盘结构2包括:缓冲弹簧21、抽气管22和吸盘组件23,所述吸盘组件23包括外盘231和内盘232,所述内盘232位于所述外盘231的中部,所述抽气管22分别插入外盘231和内盘232中,所述缓冲弹簧21的一端与外盘231的盘底固定连接,所述缓冲弹簧21的另一端与支架1固定连接。
当所述吸盘夹具95要吸附太阳能硅片时,抽气管22抽气,使得外盘231和内盘232呈现负压状态,在大气压的作用下,太阳能硅片被吸附在外盘231和内盘232中,在外盘231和内盘232的共同作用下,吸盘夹具吸附的效果很好。
作为上述实施方式的进一步优化,所述外盘231和内盘232均呈波纹管状。通过波纹管状的外盘231和内盘232,进一步提高吸附能力。
作为上述实施方式的进一步优化,所述外盘231和内盘232均为硅橡胶材质构件。
以上对本发明的较佳实施方式进行了具体说明,但本发明创造并不限于所述实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本发明精神的前提下还可做出种种的等同变型或替换,这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (5)

1.一种单晶硅片检测机器人工作站,其特征在于,包括:底座、主体、臂体和吸盘夹具,所述底座上设有转盘,所述主体呈柱状,所述主体固定的安装在所述转盘上,所述主体设有开槽,所述底座上设有竖直向上的丝杆,所述丝杆穿过所述转盘插入所述开槽中,所述主体的上部固定连接有第一转动电机,所述第一转动电机的转轴上设有与所述丝杆啮合的第一齿轮,所述开槽内设有用于引导臂体上下移动的导轨,所述臂体包括前臂和后臂,所述前臂的前端落入所述开槽内,所述前臂的前端内设有上下贯通的通孔,所述通孔内设有与所述丝杆相配合的螺纹,所述前臂的后端通过水平转轮与所述后臂的前端连接,所述后臂的后端与吸盘夹具连接,所述前臂上设有第二转动电机,所述第二转动电机用于带动水平转轮水平转动。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片检测机器人工作站,其特征在于,所述吸盘夹具包括:支架,所述支架与所述后臂的后端连接,所述支架设有至少一个吸盘结构,所述吸盘结构包括:缓冲弹簧、抽气管和吸盘组件,所述吸盘组件包括外盘和内盘,所述内盘位于所述外盘的中部,所述抽气管分别插入外盘和内盘中,所述缓冲弹簧的一端与外盘的盘底固定连接,所述缓冲弹簧的另一端与支架固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片检测机器人工作站,其特征在于,所述外盘和内盘均呈波纹管状。
4.根据权利要求2所述的一种单晶硅片检测机器人工作站,其特征在于,所述外盘和内盘均为硅橡胶材质构件。
5.根据权利要求2所述的一种单晶硅片检测机器人工作站,其特征在于,所述支架设有四个吸盘结构,所述四个吸盘结构呈矩状分布。
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