CN109031725B - 配向膜预固化方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种配向膜预固化方法及装置，包括：第一支撑台，用于装载目标基板；加热板，位于远离所述目标基板的所述第一支撑台的一侧；支撑针，位于所述目标基板与所述加热板之间，用于支撑位于所述第一支撑台上的所述目标基板；其中，所述配向膜预固化装置还包括设置于所述支撑针表面的金属薄膜。本发明通过在所述支撑针表面设置金属薄膜，当所述支撑针的温度超过预定值时，所述制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理，使得待配向基板受热均匀，配向膜溶液均匀挥发，避免了待配向基板的配向膜分布不均的技术问题。

Description

配向膜预固化方法及装置
技术领域
本发明涉及制造工艺设备，特别涉及一种配向膜预固化方法及装置。
背景技术
在现有显示面板行业中，配向膜PI(聚酰亚胺)用于对液晶配向，使液晶在无电压状态时具备一定的预倾角。而在配向工艺中，配向膜的形成需经过涂布-预固化(约100℃)-完全固化(约 230℃)等阶段。其中，预固化过程由预固化装置完成，它将PI 液中大部分溶剂蒸发并形成较平整的配向膜。预固化装置主要通过支撑针对目标基板进行支撑，而支撑针通过加热装置进行加热，并实现高温预固化过程。
但是，当目标基板进入预固化装置后，预固化装置上支撑针所对应的位置相比未与支撑针接触的区域升温过快，导致PI液挥发过快，进而造成周围PI液回流并形成PI固化成分过度堆积，最终在宏观表现为该位置的成膜偏厚，导致显示器画面显示不均。
因此，目前亟需一种配向膜预固化装置或方法解决上述问题。
发明内容
本发明提供了一种配向膜预固化方法及装置，以解决现有待配向基板的配向膜分布不均的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明提供的技术方案如下：
本发明提出了一种配向膜预固化装置，其包括：
第一支撑台，用于装载目标基板；
加热板，位于远离所述目标基板的所述第一支撑台的一侧；
支撑针，位于所述目标基板与所述加热板之间，用于支撑位于所述第一支撑台上的所述目标基板；
其中，所述配向膜预固化装置还包括设置于所述支撑针表面的金属薄膜。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述配向膜预固化装置包括至少两组支撑针，每一组所述支撑针包括至少两个所述支撑针；
其中，所述至少两组支撑针穿过所述第一支撑台及所述加热板与所述目标基板接触，并交替对所述目标基板进行支撑。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述支撑针包括支撑柱和支撑针头；
所述支撑针头位于所述支撑针靠近所述目标基板的一侧，所述支撑柱位于所述支撑针远离所述目标基板的一侧，所述支撑柱用于支撑所述支撑针头；
其中，所述金属薄膜位于所述支撑针头表面。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述支撑针头为圆锥形，所述支撑柱为圆柱型。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述配向膜预固化装置还包括第二支撑台；
所述第二支撑台位于所述加热板远离所述第一支撑台的一侧，所述第二支撑台用于固定所述支撑针。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述配向膜预固化装置还包括升降装置，所述升降装置用于驱动所述第二支撑台上、下运动，以控制所支撑针的升降。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述配向膜预固化装置还包括制冷装置；
当所述支撑针的温度超过预定值时，所述制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述制冷装置为激光制冷装置；
所述配向膜预固化装置通过所述支撑针上的所述金属薄膜，接收所述激光制冷装置发出的激光进行降温处理。
在本发明的配向膜预固化装置中，每一行或列所述支撑针对应至少两道所述激光。
本发明还提出了一种利用上述配向膜预固化装置的配向膜预固化方法，其包括：
提供一目标基板，将所述目标基板设置于所述第一支撑台上；
利用所述升降装置驱动所述第二支撑台，通过所述支撑针支撑所述目标基板，并远离所述第一支撑台；
利用加热板对所述支撑针加热，并对所述目标基板进行预固化操作；
监测所述支撑针的温度是否超过预定值；
其中，当所述支撑针的温度低于预定值时，利用制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理；
当所述支撑针的温度低于预定值时，关闭所述制冷装置。
有益效果：本发明通过在所述支撑针表面设置金属薄膜，当所述支撑针的温度超过预定值时，所述制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理，使得待配向基板受热均匀，配向膜溶液均匀挥发，避免了待配向基板的配向膜分布不均的技术问题。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明配向膜预固化装置的主视图；
图2为本发明配向膜预固化装置中支撑针的结构图；
图3为本发明配向膜预固化装置的另一主视图；
图4为本发明配向膜预固化装置中制冷装置的工作示意图；
图5为本发明一种配向膜预固化方法的步骤图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、 [下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
图1所示为本发明一种配向膜预固化装置的主视图，所述配向膜预固化装置包括第一支撑台10、加热板20及支撑针30；
所述第一支撑台10用于装载目标基板40，即待配向基板。
所述加热板20用于对所述支撑针30进行加热，完成预固化操作，所述加热板20位于远离所述目标基板40的所述第一支撑台10的一侧，即位于图中所述第一支撑台10的下方。
所述支撑针30位于所述目标基板40与所述加热板20之间，用于支撑位于所述第一支撑台10上的所述目标基板40；可以理解的，所述配向膜预固化装置包括多个所述支撑针30；其中，所述配向膜预固化装置还包括设置于所述支撑针30表面的金属薄膜。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述配向膜预固化装置包括至少两组支撑针30，每一组所述支撑针30包括至少两个所述支撑针30；所述至少两组支撑针30穿过所述第一支撑台10及所述加热板20与所述目标基板40接触，并交替对所述目标基板40进行支撑；
如图1所示，本实施例中所述配向膜预固化装置包括两组支撑针，第一组支撑针包括支撑针A和支撑针B，第二 组支撑针包括支撑针C和支撑针D；
可以理解的，当所述支撑针A及所述支撑针B对所述目标基板40进行支撑时，即同时进行配向膜的预固化处理，所述支撑针 C及所述支撑针D处于远离所述目标基板40的状态，或者所述支撑针C及所述支撑针D处于预加热状态；即当第一组支撑针的温度低于某一值时，则所述第二组支撑针替代所述第一组支撑针对所述目标进行进行支撑，并进行预固化处理。
如图2所示，所述支撑针30包括支撑柱301和支撑针头302；
进一步的，所述支撑针头302位于所述支撑针30靠近所述目标基板40的一侧，所述支撑柱301位于所述支撑针30远离所述目标基板40的一侧，所述支撑柱301用于支撑所述支撑针头302；其中，所述金属薄膜303位于所述支撑针头302表面；
进一步的，所述支撑针30还包括设置于所述支撑针30内的温度测量模块，对所述支撑针30的温度进行实时监测；优选的，所述温度测量模块为红外探测仪；
优选的，所述金属薄膜303可以为铜、铝、钨、钼、钛等中的一种或一种以上的合金；
优选的，所述支撑针头302为圆锥形，所述支撑柱301为圆柱型。
如图3所示，所述配向膜预固化装置还包括第二支撑台50；
所述第二支撑台50位于所述加热板20远离所述第一支撑台 10的一侧，即位于所述加热板20的下方，所述第二支撑台50用于固定所述支撑针30。
在本发明的配向膜预固化装置中，所述配向膜预固化装置还包括升降装置60，所述升降装置60用于驱动所述第二支撑台50 上、下运动，以控制所支撑针30的升降。
可以理解的，当所述配向膜预固化装置包括两组支撑针30时，由于两组所述支撑针30交替对所述目标基板40进行支撑，因此不同组的所述支撑柱301对应不同的所述第二支撑台50。
进一步的，在本发明的配向膜预固化装置中，所述配向膜预固化装置还包括制冷装置；
优选的，所述制冷装置可以为但不限定于激光制冷装置；
可以理解的，本发明利用以反斯托克斯效应为原理的激光制冷对支撑针30进行制冷，即利用散射与入射光子的能量差来实现制冷效应；即激光制冷的原理就是利用大量光子阻碍原子运动，使其减速，从而降低物体温度；
可以理解的，本发明中所述配向膜预固化装置，通过所述支撑针30上的所述金属薄膜303接收所述激光制冷装置发出的激光，激光光子阻碍所述金属薄膜303上原子的运动，达到制冷效应。
进一步的，每一行或列所述支撑针30对应至少两道所述激光；如图4所示，两道所述激光70以一定倾斜角，向位于同一行或列的三个所述支撑针30中的所述金属薄膜303进行照射，使得三个所述支撑针30接收到的所述激光70的能量相等，保证每一所述支撑针30的降温幅度相同。
在本实施例中，当所述支撑针30内的所述温度测量模块所监测的温度超过预定值时，所述激光制冷装置对所述支撑针30上的所述金属薄膜303进行降温处理；当所述支撑针30内的所述温度测量模块所监测的温度低于预定值时，关闭所述激光制冷装置；
进一步的，所述激光制冷装置可以通过调谐激光频率对所述支撑针30进行制冷处理；优选的，所述激光制冷装置采用脉冲式的开闭控制所述激光。
可以理解的，本发明通过在所述支撑针30表面设置金属薄膜 303，当所述支撑针30的温度超过预定值时，所述制冷装置对所述支撑针30上的所述金属薄膜303进行降温处理，使得待配向基板受热均匀，配向膜溶液均匀挥发，避免了待配向基板的配向膜分布不均的技术问题。
图5所示为本发明一种配向膜预固化方法的步骤图，其包括：
S 10、提供一目标基板，将所述目标基板设置于所述第一支撑台上；
S20、利用所述升降装置驱动所述第二支撑台，通过所述支撑针支撑所述目标基板，并远离所述第一支撑台；
S30、利用加热板对所述支撑针加热，并对所述目标基板进行预固化操作；
S40、监测所述支撑针的温度是否超过预定值；
其中，当所述支撑针30的温度低于预定值时，利用制冷装置对所述支撑针30上的所述金属薄膜303进行降温处理；
当所述支撑针30的温度低于预定值时，关闭所述制冷装置。
在本发明图1至图4中，所述目标基板40，即为待配向基板；
所述配向膜预固化装置包括多个所述支撑针30，所述支撑针 30穿过所述第一支撑台10及所述加热板20与所述目标基板40接触，并交替对所述目标基板40进行支撑；
所述支撑针30包括支撑柱301和支撑针头302；其中，所述支撑针头302位于所述支撑针30靠近所述目标基板40的一侧，所述支撑柱301位于所述支撑针30远离所述目标基板40的一侧，所述支撑柱301用于支撑所述支撑针头302；优选的，所述支撑针头302为圆锥形，所述支撑柱301为圆柱型。
所述金属薄膜303位于所述支撑针头302表面；优选的，所述金属薄膜303可以为铜、铝、钨、钼、钛等中的一种或一种以上的合金。
优选的，所述制冷装置可以为但不限定于激光制冷装置；其中，激光制冷的原理就是利用大量光子阻碍原子运动，使其减速，从而降低物体温度；即本发明中通过所述支撑针30上的所述金属薄膜303接收所述激光制冷装置发出的激光，激光光子阻碍所述金属薄膜303上原子的运动，达到制冷效应。
进一步的，每一行或列所述支撑针30对应至少两道所述激光；如图4所示，两道所述激光70以一定倾斜角，向位于同一行或列的三个所述支撑针30中的所述金属薄膜303进行照射，使得三个所述支撑针30接收到的所述激光70的能量相等，保证每一所述支撑针30的降温幅度相同。
在本实施例中，当所述支撑针30内的所述温度测量模块所监测的温度超过预定值时，所述激光制冷装置对所述支撑针30上的所述金属薄膜303进行降温处理；当所述支撑针30内的所述温度测量模块所监测的温度低于预定值时，关闭所述激光制冷装置；
进一步的，所述激光制冷装置可以通过调谐激光频率对所述支撑针30进行制冷处理；优选的，所述激光制冷装置采用脉冲式的开闭控制所述激光。
本发明提供了一种配向膜预固化方法及装置，包括：第一支撑台，用于装载目标基板；加热板，位于远离所述目标基板的所述第一支撑台的一侧；支撑针，位于所述目标基板与所述加热板之间，用于支撑位于所述第一支撑台上的所述目标基板；其中，所述配向膜预固化装置还包括设置于所述支撑针表面的金属薄膜。本发明通过在所述支撑针表面设置金属薄膜，当所述支撑针的温度超过预定值时，所述制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理，使得待配向基板受热均匀，配向膜溶液均匀挥发，避免了待配向基板的配向膜分布不均的技术问题。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (6)

1.一种配向膜预固化装置，其特征在于，包括：
第一支撑台，用于装载目标基板；
加热板，位于远离所述目标基板的所述第一支撑台的一侧；
支撑针，位于所述目标基板与所述加热板之间，用于支撑位于所述第一支撑台上的所述目标基板；
其中，所述配向膜预固化装置还包括设置于所述支撑针表面的金属薄膜；
所述配向膜预固化装置还包括第二支撑台，所述第二支撑台位于所述加热板远离所述第一支撑台的一侧，所述第二支撑台用于固定所述支撑针；
所述配向膜预固化装置还包括升降装置，所述升降装置用于驱动所述第二支撑台上、下运动，以控制所支撑针的升降；
所述配向膜预固化装置还包括制冷装置，所述制冷装置为激光制冷装置；
当所述支撑针的温度超过预定值时，所述配向膜预固化装置通过所述支撑针上的所述金属薄膜，接收所述激光制冷装置发出的激光进行降温处理。
2.根据权利要求1所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述配向膜预固化装置包括至少两组支撑针，每一组所述支撑针包括至少两个所述支撑针；
其中，所述至少两组支撑针穿过所述第一支撑台及所述加热板与所述目标基板接触，并交替对所述目标基板进行支撑。
3.根据权利要求1所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述支撑针包括支撑柱和支撑针头；
所述支撑针头位于所述支撑针靠近所述目标基板的一侧，所述支撑柱位于所述支撑针远离所述目标基板的一侧，所述支撑柱用于支撑所述支撑针头；
其中，所述金属薄膜位于所述支撑针头表面。
4.根据权利要求3所述的配向膜预固化装置，其特征在于，所述支撑针头为圆锥形，所述支撑柱为圆柱型。
5.根据权利要求1所述的配向膜预固化装置，其特征在于，每一行或列所述支撑针对应至少两道所述激光。
6.一种利用权利要求1～5任一项所述的配向膜预固化装置的配向膜预固化方法，其特征在于，包括：
提供一目标基板，将所述目标基板设置于所述第一支撑台上；
利用所述升降装置驱动所述第二支撑台，通过所述支撑针支撑所述目标基板，并远离所述第一支撑台；
利用加热板对所述支撑针加热，并对所述目标基板进行预固化操作；
监测所述支撑针的温度是否超过预定值；
其中，当所述支撑针的温度低于预定值时，利用制冷装置对所述支撑针上的所述金属薄膜进行降温处理；
当所述支撑针的温度低于预定值时，关闭所述制冷装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113075823B (zh) * 2021-03-24 2022-11-08 Tcl华星光电技术有限公司 一种支撑针、支撑件及配向膜预烘烤装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103236628A (zh) * 2013-04-18 2013-08-07 江苏天元激光科技有限公司 一种发热抑制的光纤激光器及其制作方法
CN103278966A (zh) * 2013-04-22 2013-09-04 合肥京东方光电科技有限公司 一种取向膜预固化设备
CN103309090A (zh) * 2013-06-20 2013-09-18 深圳市华星光电技术有限公司 用于紫外线硬化配向中支撑基板的装置及其方法
WO2017111841A1 (en) * 2015-12-26 2017-06-29 Intel Corporation Self-cooled laser integrated device and substrate architecture
CN207068804U (zh) * 2017-07-10 2018-03-02 昆山龙腾光电有限公司 一种温控平台

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103236628A (zh) * 2013-04-18 2013-08-07 江苏天元激光科技有限公司 一种发热抑制的光纤激光器及其制作方法
CN103278966A (zh) * 2013-04-22 2013-09-04 合肥京东方光电科技有限公司 一种取向膜预固化设备
CN103309090A (zh) * 2013-06-20 2013-09-18 深圳市华星光电技术有限公司 用于紫外线硬化配向中支撑基板的装置及其方法
WO2017111841A1 (en) * 2015-12-26 2017-06-29 Intel Corporation Self-cooled laser integrated device and substrate architecture
CN207068804U (zh) * 2017-07-10 2018-03-02 昆山龙腾光电有限公司 一种温控平台

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