CN108828804A - 一种配向膜预烘烤炉设备及配向膜预烘烤方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种配向膜预烘烤炉设备和配向膜预烘烤方法。配向膜预烘烤炉设备包括：第一支架，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针，若干所述第一顶针的尖端共同定义第一支撑面；第二支架，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针，若干所述第二顶针的尖端共同定义第二支撑面；驱动机构，用于驱动所述第二支架上下及平移，以使得所述第二支撑面至少依序经历高于所述第一支撑面、高于所述第一支撑面时平移、低于所述第一支撑面的状态。通过上述方式，本发明能够实现配向膜预烘烤炉设备中预烘烤的基板可以在第一顶针和第二顶针之间来回移动，从而能够避免配向膜预烘烤制程中出现Pin Mura的问题。

Description

一种配向膜预烘烤炉设备及配向膜预烘烤方法

技术领域

本发明涉及显示面板的制造领域，特别是涉及一种配向膜预烘烤炉设备及配向膜预烘烤方法。

背景技术

通常，TFT基板及CF基板上分别具有一层配向膜，该配向膜与LC 接触后，能够使得LC产生一定方向的预倾角，从而给液晶分子提供一个承载的角度(预倾角的大小对LCD的驱动电压、对比度、响应时间、视角等具有重要影响)，配向膜的材料通常选用聚酰亚胺(Polyimide，PI) 材料，由PI液涂布于基板上所形成。

目前常用的配向膜制作方法如下：采用转印版(ARP Plate)在基板(阵列基板或彩膜基板)上涂布配向液(PI液)，然后再通过配向工艺(如摩擦配向工艺/光配向)以及其他工艺从而在基板上形成所需的配向膜。而具体的配向膜涂布过程又大致包括以下步骤：对基板进行清洗工艺，在经过清洗工艺的所述基板上涂布配向液，对涂布在基板上的配向液进行预烘烤(Pre-bake)，去除配向液内的溶剂而初步成膜形成PI膜，然后通过检测设备进行PI膜涂布缺陷检查，如果检查PI膜无异常则将对PI膜进行主烘烤，完全去除PI膜中的溶剂，形成最终的配向膜。

其中，配向膜预烘烤炉设备用于对涂布在基板上的配向液进行预烘烤，具体来说，配向膜预烘烤炉设备用于将配向液里面的N-甲基吡咯烷酮(NMP)等有机溶剂加热蒸发，使PI膜平整化，以便于下一步对PI膜进行检查。

现有技术的配向膜预烘烤炉设备包括若干位置固定的顶针，顶针与基板的接触位置是固定不变的，通过升降顶针承载基板，以实现均匀支撑基板和方便上下游传送机械臂(Robot)的取放基板的效果。采用现有技术的配向膜预烘烤炉设备会出现加热过程中基板受热不均的问题，具体来说，配向膜预烘烤炉设备中的顶针与基板的接触会造成接触位置与没接触位置的受热不均，从而造成由顶针引起的如图1所示的膜层不均匀 (Pin Mura)，即在点灯画面下在接触位置可见黑色圆形点状的问题，进而会影响产品品质。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种配向膜预烘烤炉设备和配向膜预烘烤方法，能够避免配向膜预烘烤制程中出现Pin Mura的问题。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种配向膜预烘烤炉设备，包括：第一支架，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针，若干第一顶针的尖端共同定义第一支撑面；第二支架，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针，若干第二顶针的尖端共同定义第二支撑面；驱动机构，用于驱动第二支架上下及平移，以使得第二支撑面至少依序经历高于第一支撑面、高于第一支撑面时平移、低于第一支撑面状态。

为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种配向膜预烘烤方法，包括：使用固定于第一支架的若干第一顶针支撑涂布有配向膜的基板；使用固定于第二支架的若干第二顶针从下往上将基板顶离第一顶针并平移；将第二支架下降并使基板重新放落于第一顶针上。

本发明的有益效果是：本发明的配向膜预烘烤炉设备和配向膜预烘烤方法通过设置第一支架、第二支架和驱动机构；其中，第一支架，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针，若干第一顶针的尖端共同定义第一支撑面；第二支架，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针，若干第二顶针的尖端共同定义第二支撑面；驱动机构，用于驱动第二支架上下及平移，以使得第二支撑面至少依序经历高于第一支撑面、高于第一支撑面时平移、低于第一支撑面的状态。通过上述方式，本发明能够实现配向膜预烘烤炉设备中预烘烤的基板可以在第一顶针和第二顶针之间来回移动，从而能够避免配向膜预烘烤制程中出现Pin Mura的问题。

附图说明

图1是现有的配向膜预烘烤炉设备在预烘烤时出现Pin Mura的示意图；

图2是本发明实施例的配向膜预烘烤炉设备的分解示意图；

图3是图1所示配向膜预烘烤炉设备中第一支架的结构示意图；

图4是图3所示第一支架中AA处的放大示意图；

图5是图3所示第一支架中BB处的放大示意图；

图6是图2所示配向膜预烘烤炉设备中第一顶针和第二顶针的部分侧面图；

图7是图2所示配向膜预烘烤炉设备中第一顶针和第二顶针的部分俯视图；

图8是图2所示配向膜预烘烤炉设备中第二顶针的部分移动示意图；

图9是本发明实施例的配向膜预烘烤方法的流程图。

具体实施方式

在说明书及权利要求书当中使用了某些词汇来指称特定的组件，所属领域中的技术人员应可理解，制造商可能会用不同的名词来称呼同样的组件。本说明书及权利要求书并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的基准。下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。

图2是本发明实施例的配向膜预烘烤炉设备的分解示意图。如图2 所示，配向膜预烘烤炉设备100包括第一支架11、第二支架13和驱动机构15。

第一支架11，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针12，若干第一顶针12的尖端共同定义第一支撑面。

第二支架13，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针14，若干第二顶针14的尖端共同定义第二支撑面。

驱动机构15用于驱动第二支架13上下及平移，以使得第二支撑面至少依序经历高于第一支撑面、高于第一支撑面时平移、低于第一支撑面的状态。

请一并参考图3，图3是图1所示配向膜预烘烤炉设备中第一支架的结构示意图。如图3所示，第一支架11包括若干沿第一方向间隔并排且连接的底杆111和沿第二方向间隔并排设置于底杆111上的承载杆 112，第一顶针12固定于承载杆112。

优选地，第一支架11为不锈钢材料，由于不锈钢材料导热效果较佳，可以减少出现Pin Mura的概率。

请一并参考图4，图4是图3所示第一支架中AA处的放大示意图。如图4所示，第一顶针12包括第一安装柱120、第一顶针柱121和第一顶针头122，第一顶针柱121位于第一顶针头122的下方用于支撑第一顶针头122，第一安装柱120与第一支架11连接而安装在第一支架11 上，每一第一顶针柱121对应固定于一第一安装柱120上。

其中，第一顶针柱121为圆柱型，第一顶针头122为圆锥形。

其中，第一顶针柱121为导热金属材料，第一顶针头122为热绝缘材料；进一步地，第一顶针柱121优选为不锈钢(SUS)材料，第一顶针头122优选为聚醚醚酮(Peek)材料。

优选地，第一安装柱120上设有第一高度调节件123，用于调节第一顶针12在第一支架11的高度。

请一并参考图5，图5是图3所示第一支架中BB处的放大示意图。如图5所示，在第一支架11上还设置有位置传感器113，位置传感器113 用于配合驱动机构15来监测第一顶针12是否达到预定位置。

本领域的技术人员可以理解，第二支架13和第一支架11的结构类似，为简约起见，在此不再赘述。需要强调的是，第二支架13上的第二顶针14的长度大于第一支架11上的第一顶针12的长度。其中，第二顶针14和第一顶针12的结构类似，其包括第二安装柱、第二顶针柱和第二顶针头。其中，第二支架13上也设置有位置传感器，位置传感器用于配合驱动机构15来监测第二顶针14上升、下降以及平移的过程中是否达到预定位置。

请继续参考图3，承载杆112设有沿承载杆方向的贯穿槽113。在本实施例中，第二顶针14可以自承载杆112下方上穿贯穿槽113，且能在贯穿槽113中沿承载杆112方向平移。在其它实施例中，第二顶针14 也可以设置在承载杆112之间的空隙处，且能在承载杆112之间的空隙处沿预定路径平移。

请一并参考图6和图7，图6是图2所示配向膜预烘烤炉设备中第一顶针和第二顶针的部分侧面图，如7是图2所示配向膜预烘烤炉设备中第一顶针和第二顶针的部分俯视图。如图6和图7所示，第二顶针14 和第一顶针12成对设置在加热板10上，也就是说，第二顶针14的数量与第一顶针12数量一致，且排布也与第一顶针12排布一致。

优选地，第一顶针12、第二顶针14抵顶基板中的配向膜的位置不在有效显示区。

在其它实施例中，第二顶针14和第一顶针12也可以不成对设置，只要保证第二顶针14和第一顶针12能够有效地支撑基板即可。第一顶针12、第二顶针14抵顶基板中的配向膜的位置也可以在有效显示区的边缘位置。

在本实施例中，驱动机构15用于驱动第二支架13的第二支撑面在高于第一支撑面、高于第一支撑面时平移、低于第一支撑面中循环。

具体来说，首先驱动机构15驱动第二支架13上升使第二支撑面高于第一支撑面，接着在第二支撑面高于第一支撑面时驱动机构15驱动第二支架13沿预定路径平移，接着驱动机构15驱动第二支架13下降使第二支撑面低于第一支撑面，接着驱动机构15驱动第二支架13原地上升使第二支撑面高于第一支撑面，接着在第二支撑面高于第一支撑面时驱动机构15驱动第二支架13沿预定路径反向平移、最后驱动机构15 驱动第二支架13下降使第二支撑面低于第一支撑面。

换个角度来说，请一并参考图8，图8是图2所示配向膜预烘烤炉设备中第二顶针的移动示意图。如图8所示，首先，第二顶针14向上移动以使第二顶针14支撑基板200，接着支撑有基板200的第二顶针 14沿预定路径平移，接着第二顶针14向下移动以使第一顶针12支撑基板200，接着第二顶针14继续向上移动以使第二顶针14支撑基板200，接着支撑有基板200的第二顶针14沿预定路径反向平移，最后第二顶针14向下移动以使第一顶针12支撑基板200。

在基板预烘烤的过程中，重复上述移动过程，使得基板200在第一顶针12和第二顶针14之间来回移动，从而可以避免配向膜预烘烤制程中出现Pin Mura的问题。

本领域的技术人员可以理解，在本实施例中，第一顶针12和第二顶针14与基板200分别有两个固定接触位置，基板200与第一顶针12、第二顶针14的接触位置在这四个接触位置之间来回切换。在其它实施例中，通过调整第二顶针14的预定路径和平移策略，还可以得到不同于四个接触位置的多个接触位置，其均在本发明的保护范围内。

图9是本发明实施例的配向膜预烘烤方法的流程图。如图9所示，该流程包括如下步骤：

步骤S101：使用固定于第一支架的若干第一顶针支撑涂布有配向膜的基板。

在步骤S101中，当涂布有配向膜的基板进入配向膜预烘烤炉设备进行预烘烤时，使用固定于第一支架的若干第一顶针支撑涂布有配向膜的基板。其中，第一支架为固定设置的支架，换个角度来说，第一顶针为固定设置的顶针，其不会发生移动。

步骤S102：使用固定于第二支架的若干第二顶针从下往上将基板顶离第一顶针并平移。

在步骤S102中，当涂布有配向膜的基板进行预烘烤的过程中，使用固定于第二支架的若干第二顶针从下往上移动将基板顶离第一顶针，以使用第二顶针支撑涂布有配向膜的基板，接着第二支架平移以驱动支撑有基板的第二顶针沿预定路径平移或反向平移。

具体来说，在上一次执行步骤S102时，若第二顶针沿预定路径平移，则下一次执行步骤S102时，则第二顶针沿预定路径反向平移。

步骤S103：将第二支架下降并使基板重新放落于第一顶针上。

在步骤S103中，固定于第二支架的若干第二顶针从上往下移动，以重新使用第一顶针支撑涂布有配向膜的基板。

其中，步骤S102和步骤S103重复循环执行，直至基板在配向膜预烘烤炉设备中完成预烘烤为止。

本发明的有益效果是：本发明的配向膜预烘烤炉设备和配向膜预烘烤方法通过设置第一支架、第二支架和驱动机构；其中，第一支架，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针，若干第一顶针的尖端共同定义第一支撑面；第二支架，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针，若干第二顶针的尖端共同定义第二支撑面；驱动机构，用于驱动第二支架上下及平移，以使得第二支撑面至少依序经历高于第一支撑面、高于第一支撑面时平移、低于第一支撑面的状态。通过上述方式，配向膜预烘烤炉设备中烘烤的基板可以在第一顶针和第二顶针之间来回移动，从而能够避免配向膜预烘烤制程中出现Pin Mura的问题。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，包括：

第一支架，其朝上一侧表面分布有若干第一顶针，若干所述第一顶针的尖端共同定义第一支撑面；

第二支架，其朝上一侧表面分布有若干第二顶针，若干所述第二顶针的尖端共同定义第二支撑面；

驱动机构，用于驱动所述第二支架上下及平移，以使得所述第二支撑面至少依序经历高于所述第一支撑面、高于所述第一支撑面时平移、低于所述第一支撑面的状态。

2.根据权利要求1所述的配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，

所述驱动机构具体用于驱动所述第二支架的所述第二支撑面在高于所述第一支撑面、高于所述第一支撑面时平移、低于所述第一支撑面中循环。

3.根据权利要求2所述的配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，

所述循环包括：所述第二支架上升使所述第二支撑面高于所述第一支撑面、所述第二支撑面高于所述第一支撑面时所述第二支架沿预定路径平移、所述第二支架下降使所述第二支撑面低于所述第一支撑面、所述第二支架原地上升使所述第二支撑面高于所述第一支撑面、所述第二支撑面高于所述第一支撑面时所述第二支架沿所述预定路径反向平移、所述第二支架下降使所述第二支撑面低于所述第一支撑面。

4.根据权利要求1所述的配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，

所述第一支架包括若干沿第一方向间隔并排且连接的底杆和沿第二方向间隔并排设置于所述底杆上的承载杆，所述第一顶针固定于所述承载杆。

5.根据权利要求4所述的配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，

所述承载杆设有沿承载杆方向的贯穿槽，所述第二顶针长度大于所述第一顶针，且自所述承载杆下方上穿所述贯穿槽，且能在所述贯穿槽中沿所述承载杆方向平移。

6.根据权利要求5所述的配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，

所述第二顶针的数量与所述第一顶针数量一致，且排布也与所述第一顶针排布一致。

7.根据权利要求1至6任一项所述的配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，

所述第一顶针、所述第二顶针抵顶配向膜的位置不在有效显示区。

8.根据权利要求1至6任一项所述的配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，

所述第一顶针、所述第二顶针均包括安装柱、顶针柱和顶针头，所述顶针柱位于所述顶针头的下方用于支撑所述顶针头，所述安装柱分别与所述第一支架、所述第二支架连接而安装在所述第一支架、所述第二支架上，每一所述顶针柱对应固定于一个所述安装柱。

9.根据权利要求8所述的配向膜预烘烤炉设备，其特征在于，

所述安装柱上设有高度调节件，用于调节所述第一顶针在所述第一支架的高度、或调节所述第二顶针在所述第二支架的高度。

10.一种配向膜预烘烤方法，其特征在于，包括：

使用固定于第一支架的若干第一顶针支撑涂布有配向膜的基板；

使用固定于第二支架的若干第二顶针从下往上将所述基板顶离所述第一顶针并平移；

将所述第二支架下降并使所述基板重新放落于所述第一顶针上。