CN109031713A - 一种基板配向检测方法及其检测装置 - Google Patents

一种基板配向检测方法及其检测装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种基板配向检测方法及其检测装置，包括如下步骤：S1：在玻璃基板的切角处设置第一标记；S2：对玻璃基板上需要涂布配向液的区域涂布配向液；在玻璃基板具有第一标记的区域涂布紫外光感光材料；S3：对玻璃基板上配向液和紫外光感应材料进行加热烘烤固化；S4：用紫外光透过具有第二标记的掩膜板照射到紫外光感光材料，在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记；S5：掩膜板上方设有图像监控装置，用于监控对比第一标记和第三标记是否匹配。本发明通过配向前在基板上形成第一标记，配向后在基板上形成第三标记，通过比对第一标记和第三标记是否匹配，从而可以判断基板配向是否异常，能够及时发现问题并拦截异常品。

Description

一种基板配向检测方法及其检测装置
技术领域
本发明涉及显示装置制造领域，特别涉及一种基板配向检测方法及其检测装置。
背景技术
目前在TFT-LCD液晶面板的制作过程中，为了使液晶分子按照一定的方向排列，需要在基板的内表面形成配向膜。相较于摩擦配向技术，光配向技术因其特有的配向均匀性高、无污染、对比度高等优点被广泛利用，使用的UV光波长主要有254nm、313nm、365nm。虽然光配向技术拥有诸多优点，但在实际的生产过程中，由于参数设置错误或机台异常，常发生基板配向方向错误或者基板未配向等问题，而这种基板配向异常只有到点灯检查时才会被发现，未能及时发现问题，从而导致大量异常品出现。
发明内容
本发明的目的是提供一种基板配向检测方法及其检测装置，解决现有生产工艺不能检查基板配向是否异常的问题。
本发明提供一种基板配向检测方法，包括如下步骤：
S1：在玻璃基板的切角处设置第一标记，所述第一标记代表玻璃基板的理论配向方向；
S2：对玻璃基板上需要涂布配向液的区域涂布配向液；在玻璃基板具有第一标记的区域涂布紫外光感应材料；
S3：对玻璃基板上配向液和紫外光感应材料进行加热烘烤固化；
S4：玻璃基板第一标记对应位置的上方设有具有第二标记的掩模板，在玻璃基板经过紫外光进行光配向时，紫外光透过掩膜板第二标记照射到紫外光感应材料，在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记，第三标记代表玻璃基板实际配向方向；
S5：掩膜板上方设有图像监控装置，用于监控对比第一标记和第三标记；若第一标记与第三标记完全重合，则玻璃基板配向正确；若第一标记与第三标记不匹配，则玻璃基板配向方向错误；若没有形成第三标记，则玻璃基板未进行配向。
进一步，所述第一标记、第二标记和第三标记均为带箭头形状的图形。
进一步，所述第一标记的箭头的方向代表玻璃基板的理论配向方向。
进一步，所述玻璃基板为阵列基板，第一标记与阵列基板上栅极或者源极同时形成。
进一步，所述玻璃基板为彩膜基板，第一标记与彩膜基板上的黑色矩阵同时形成。
进一步，所述第一标记经过涂布、曝光、显影、蚀刻以及剥离工艺形成。
本发明还提供一种基板配向检测装置，玻璃基板进行光配向处理，其包括：位于玻璃基板的切角处且经过紫外光感应材料处理的第一标记、位于掩膜版上的且与第一标记对应的第二标记以及位于掩膜版上方的图像监控装置，当光配向时紫外光透过掩膜板的第二标记照射到玻璃基板的紫外光感应材料，在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记，图像监控装置监控对比第一标记和第三标记；若第一标记与第三标记完全重合，则玻璃基板配向正确；若第一标记与第三标记不匹配，则玻璃基板配向方向错误；若没有形成第三标记，则玻璃基板未进行配向。
进一步，所述第一标记、第二标记和第三标记均为带箭头形状的图形。
进一步，当玻璃基板为阵列基板，第一标记与阵列基板上的栅极或者源极同时形成。
进一步，当玻璃基板为彩膜基板，第一标记与彩膜基板上的黑色矩阵同时形成。
本发明通过配向前在基板上形成第一标记，配向后在基板上形成第三标记，通过比对第一标记和第三标记是否匹配，从而可以判断基板配向是否异常，能够及时发现问题并拦截异常品。
附图说明
图1为本发明玻璃基板及第一标记示意图；
图2为图1中第一标记放大示意图；
图3为本发明玻璃基板上涂布紫外光感应材料工艺示意图；
图4为本发明对具有第一标记的玻璃基板进行曝光形成第三标记示意图；
图5为本发明玻璃基板上第一标记与第三标记完全重合示意图；
图6为本发明玻璃基板上第一标记与第三标记不匹配示意图；
图7为本发明玻璃基板上未形成第三标记示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
本发明提供一种基板配向检测方法，包括如下步骤：
S1：在玻璃基板10的切角20处设置第一标记30，如图1和图2所示，所述第一标记30可以为带箭头的图形，所述第一标记30箭头指向的方向代表玻璃基板10的理论配向方向；
S2：如图3所示，使用配向膜修补基台在玻璃基板10上第一标记30的位置附近区域，也即如图3所示的方框70内使用喷嘴50喷涂的方式涂布紫外光感应材料60，紫外光感应材料60喷涂的区域覆盖第一标记30，对玻璃基板上需要涂布配向液的区域涂布配向液；
S3：对玻璃基板10上的配向液和紫外光感应材料进行加热烘烤固化；
S4：用紫外光80对玻璃基板10进行光配向，如图4所示，掩膜板上对应玻璃基板10的第一标记30处设有第二标记，光配向时紫外光透过掩膜板的第二标记照射到紫外光感应材料60，在玻璃基板10上形成与第二标记形状相同的第三标记40，第二标记和第三标记40均为带箭头形状的图形，第三标记40代表玻璃基板实际配向方向；
S5：掩膜板上方设有图像监控装置(图未示)，图像监控装置监控对比第一标记30和第三标记40；若第一标记30与第三标记40完全重合，如图5所示，则玻璃基板10配向正确；若第一标记30与第三标记40不匹配，如图6所示，则玻璃基板10配向方向错误；若没有形成第三标记，如图7所示，则玻璃基板10未进行配向。
其中，S1中玻璃基板为阵列基板时，第一标记30与阵列基板上的栅极或者源漏极同时形成；玻璃基板为彩膜基板时，第一标记30与彩膜基板上的黑色矩阵同时形成。
其中S1中第一标记30的形成过程与玻璃基板10上其他金属成膜方式相同，包括涂布、曝光、显影、蚀刻以及剥离工艺，具体包括如下步骤：玻璃基板成膜前清洗；溅射形成金属膜层；金属层上涂布光刻胶；使用具有与第一标记相同形状的掩膜板进行曝光；使用显影液，被曝光照射的光刻胶经显影液去除，没被曝光的保留；使用刻蚀液，光刻胶被去除的部分，金属被刻蚀去除，光刻胶保留的部分，金属没被刻蚀而保留；光刻胶剥离，剥离后就在玻璃基板上形成第一标记。
在本实施例中，第一标记30和第三标记40均为箭头，在其他实施例中，第一标记30和第三标记40为条形、圆形、三角形、正方形等，只要可以对第一标记30的形状和第三标记40的形状进行对比都属于本发明的保护范围。
本发明通过配向前在基板上形成第一标记，配向后在基板上形成第三标记，通过比对第一标记和第三标记是否匹配，从而可以判断基板配向是否异常，能够及时发现问题并拦截异常品。
本发明还提供一种基板配向检测装置，其包括：位于玻璃基板10的切角20处且经过紫外光感应材料处理的第一标记30、位于掩膜版上的且与第一标记30对应的第二标记(图未示)以及位于掩膜版上方的图像监控装置(图未示)，当光配向时紫外光透过掩膜板的第二标记照射到玻璃基板10的紫外光感应材料，在玻璃基板10上形成与第二标记形状相同的第三标记40，图像监控装置监控对比第一标记30和第三标记40；若第一标记30与第三标记40完全重合，如图4和图5所示，则玻璃基板10配向正确；若第一标记30与第三标记40不匹配，如图6所示，则玻璃基板10配向方向错误；若没有形成第三标记，如图7所示，则玻璃基板10未进行配向。

Claims (10)

1.一种基板配向的检测方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1：在玻璃基板的切角处设置第一标记；
S2：对玻璃基板上需要涂布配向液的区域涂布配向液；在玻璃基板具有第一标记的区域涂布紫外光感应材料；
S3：对玻璃基板上配向液和紫外光感应材料进行加热烘烤固化；
S4：玻璃基板第一标记对应位置的上方设有具有第二标记的掩模板，在玻璃基板经过紫外光进行光配向时，紫外光透过掩膜板第二标记照射到紫外光感应材料，在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记，第三标记代表玻璃基板实际配向方向；
S5：掩膜板上方设有图像监控装置，图像监控装置监控对比第一标记和第三标记；若第一标记与第三标记完全重合，则玻璃基板配向正确；若第一标记与第三标记不匹配，则玻璃基板配向方向错误；若没有形成第三标记，则玻璃基板未进行配向。
2.根据权利要求1所述的基板配向检测方法，其特征在于：所述第一标记、第二标记和第三标记均为带箭头形状的图形。
3.根据权利要求2所述的基板配向检测方法，其特征在于：所述第一标记的箭头的方向代表玻璃基板的理论配向方向。
4.根据权利要求1所述的基板配向检测方法，其特征在于：当玻璃基板为阵列基板，第一标记与阵列基板上的栅极或者源极同时形成。
5.根据权利要求1所述的基板配向检测方法，其特征在于：当玻璃基板为彩膜基板，第一标记与彩膜基板上的黑色矩阵同时形成。
6.根据权利要求1所述的基板配向检测方法，其特征在于：所述第一标记经过涂布、曝光、显影、蚀刻以及剥离工艺形成。
7.一种基板配向检测装置，玻璃基板进行光配向处理，其特征在于，其包括：位于玻璃基板的切角处且经过紫外光感应材料处理的第一标记、位于掩膜版上的且与第一标记对应的第二标记以及位于掩膜版上方的图像监控装置，当光配向时紫外光透过掩膜板的第二标记照射到玻璃基板的紫外光感应材料，在玻璃基板上形成与第二标记形状相同的第三标记，图像监控装置监控对比第一标记和第三标记；若第一标记与第三标记完全重合，则玻璃基板配向正确；若第一标记与第三标记不匹配，则玻璃基板配向方向错误；若没有形成第三标记，则玻璃基板未进行配向。
8.根据权利要求7所述的基板配向检测装置，其特征在于：所述第一标记、第二标记和第三标记均为带箭头形状的图形。
9.根据权利要求7所述的基板配向检测装置，其特征在于：当玻璃基板为阵列基板，第一标记与阵列基板上的栅极或者源极同时形成。
10.根据权利要求7所述的基板配向检测装置，其特征在于：当玻璃基板为彩膜基板，第一标记与彩膜基板上的黑色矩阵同时形成。
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Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005338529A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Nippon Seiki Co Ltd 液晶表示基板の配向処理方法および液晶表示基板のマザー基板
CN101872078A (zh) * 2009-04-22 2010-10-27 东芝移动显示器有限公司 液晶显示设备及其制造方法
CN103282832A (zh) * 2010-11-08 2013-09-04 株式会社V技术 曝光装置
CN104122700A (zh) * 2014-05-29 2014-10-29 京东方科技集团股份有限公司 一种3d显示用基板及其制作方法、掩模板
CN104503144A (zh) * 2014-12-23 2015-04-08 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种液晶显示基板
CN104503203A (zh) * 2015-01-15 2015-04-08 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及其制备方法和显示面板中封框胶的固化方法
CN104536209A (zh) * 2015-01-09 2015-04-22 合肥京东方光电科技有限公司 转印板、显示屏、显示装置及显示装置制作方法
CN104808434A (zh) * 2015-05-21 2015-07-29 合肥京东方光电科技有限公司 基板、掩膜板及显示装置、对位方法
CN105093697A (zh) * 2015-08-21 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 基板及确定基板配向膜边界的位置的方法
CN105116622A (zh) * 2015-09-02 2015-12-02 昆山龙腾光电有限公司 配向角度检测装置及检测方法
CN105652486A (zh) * 2016-04-15 2016-06-08 京东方科技集团股份有限公司 取向膜涂覆检测方法及检测设备
CN205450515U (zh) * 2015-12-30 2016-08-10 群创光电股份有限公司 曝光装置
CN107039305A (zh) * 2017-04-12 2017-08-11 武汉华星光电技术有限公司 监控衬底涂布位置的方法
CN107991803A (zh) * 2017-12-27 2018-05-04 武汉华星光电技术有限公司 一种黑色矩阵的制作方法
CN108051955A (zh) * 2018-01-03 2018-05-18 京东方科技集团股份有限公司 一种取向设备及取向参数的校验方法
CN108058496A (zh) * 2017-11-22 2018-05-22 张家港康得新光电材料有限公司 配向膜印刷方法及配向膜印刷装置

Patent Citations (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005338529A (ja) * 2004-05-28 2005-12-08 Nippon Seiki Co Ltd 液晶表示基板の配向処理方法および液晶表示基板のマザー基板
CN101872078A (zh) * 2009-04-22 2010-10-27 东芝移动显示器有限公司 液晶显示设备及其制造方法
CN103282832A (zh) * 2010-11-08 2013-09-04 株式会社V技术 曝光装置
CN104122700A (zh) * 2014-05-29 2014-10-29 京东方科技集团股份有限公司 一种3d显示用基板及其制作方法、掩模板
CN104503144A (zh) * 2014-12-23 2015-04-08 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 一种液晶显示基板
CN104536209A (zh) * 2015-01-09 2015-04-22 合肥京东方光电科技有限公司 转印板、显示屏、显示装置及显示装置制作方法
CN104503203A (zh) * 2015-01-15 2015-04-08 京东方科技集团股份有限公司 掩膜板及其制备方法和显示面板中封框胶的固化方法
CN104808434A (zh) * 2015-05-21 2015-07-29 合肥京东方光电科技有限公司 基板、掩膜板及显示装置、对位方法
CN105093697A (zh) * 2015-08-21 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 基板及确定基板配向膜边界的位置的方法
CN105116622A (zh) * 2015-09-02 2015-12-02 昆山龙腾光电有限公司 配向角度检测装置及检测方法
CN205450515U (zh) * 2015-12-30 2016-08-10 群创光电股份有限公司 曝光装置
CN105652486A (zh) * 2016-04-15 2016-06-08 京东方科技集团股份有限公司 取向膜涂覆检测方法及检测设备
CN107039305A (zh) * 2017-04-12 2017-08-11 武汉华星光电技术有限公司 监控衬底涂布位置的方法
CN108058496A (zh) * 2017-11-22 2018-05-22 张家港康得新光电材料有限公司 配向膜印刷方法及配向膜印刷装置
CN107991803A (zh) * 2017-12-27 2018-05-04 武汉华星光电技术有限公司 一种黑色矩阵的制作方法
CN108051955A (zh) * 2018-01-03 2018-05-18 京东方科技集团股份有限公司 一种取向设备及取向参数的校验方法

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