CN109015338A - 一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架、下研磨盘和上研磨盘，所述机架上方设有下研磨盘，下研磨盘上方设有上研磨盘，下研磨盘与上研磨盘之间设有中心轮和外齿轮，中心轮的轴线方向和外齿轮的轴线方向均与下研磨盘的轴线方向相同，中心轮位于外齿轮的内圈，中心轮与外齿轮之间啮合有多个游星轮；所述机架包括工作台面和位于工作台面下方的底板，工作台面和底板均为正方形的板体，工作台面和底板之间通过四根第一立柱固定连接，四根第一立柱分别位于工作台面和底板的四角处；本发明修出的盘面光洁度高同时配合使用偏心修整轮。

Description

一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机

技术领域

本发明涉及晶片研磨加工领域，具体是一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机。

背景技术

双面研磨机主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨，特别是薄脆性材料的加工，通过上、下研磨盘、中心轮、游星轮在加工时形成四个方向、速度相互协调的研磨运动，达到上下表面同时研磨的高效运作。但晶片研磨过程轨迹对盘面的磨损量是不一样的，研磨盘数过多盘面就会出现差异，造成单片散差过大，同时内外圈的散差也会变大，这就需要对研磨机上下盘面进行平面度修整，一般我们采用修正轮来进行修整下研磨盘的平行误差。那么修整轮的设计就起到了很大的决定作用。

发明内容

本发明的目的在于提供一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架、下研磨盘和上研磨盘，所述机架上方设有下研磨盘，下研磨盘上方设有上研磨盘，下研磨盘与上研磨盘之间设有中心轮和外齿轮，中心轮的轴线方向和外齿轮的轴线方向均与下研磨盘的轴线方向相同，中心轮位于外齿轮的内圈，中心轮与外齿轮之间啮合有多个游星轮；所述机架包括工作台面和位于工作台面下方的底板，工作台面和底板均为正方形的板体，工作台面和底板之间通过四根第一立柱固定连接，四根第一立柱分别位于工作台面和底板的四角处；所述工作台面的中心处开设有第一通孔，第一通孔处设有第一圆形套筒，第一圆形套筒的外圈上通过轴承转动连接有下研磨盘，下研磨盘的外延连接有第一外齿圈，所述机架内设有两组第一固定支架，第一固定支架包括第一内环，第一内环的外圈连接有四根第一连接板，第一连接板的一端与第一内环固定连接，第一连接板的另一端第一立柱的内侧固定连接，两个第一第一内环之间竖直固定连接有第一电机安装板，第一电机安装板上固定安装有第一电机，第一电机的输出轴通过联轴器固定连接有第一转轴，第一转轴通过轴承与第一圆形套筒转动连接，第一转轴的顶部驱动连接有中心轮；所述第一转轴下端套接有第一皮带轮，其中位于上的第一固定支架左侧的两个第一连接板之间设有第一轴承安装板，第一轴承安装板与工作台面之间通过轴承转动连接有第二转轴，第二转轴的下端固定套接有第二皮带轮，第二皮带轮通过皮带与第一皮带轮驱动连接，第二转轴的上端穿过工作台面套接有下研磨盘齿轮，下研磨盘齿轮与第一外齿圈啮合，其中第一皮带轮与第二皮带轮直径不一致；所述工作台面的顶部四角处竖直固定连接有第二立柱，第二立柱的截面呈等腰三角形，第二立柱的对应等腰三角形截面的斜边的一侧竖直固定连接有第一导轨，上研磨盘的外圈滑动连接在第一导轨上；同时第二立柱顶部设有第二固定支架，第二固定支架包括第二内环，第二内环的外圈连接有四根第二连接板，第二连接板的二端与第二内环固定连接，第二连接板的另一端第二立柱的顶部固定连接，第二内环的顶部竖直固定安装有直线电机，直线电机的输出轴驱动连接上研磨盘。

进一步的，所述下研磨盘的水平高度高于第一圆形套筒的高度。

进一步的，所述上研磨盘的直径与下研磨盘的直径相等，并且上研磨盘的轴线方向与下研磨盘的轴线方向相同。

进一步的，所述游星轮的直径为中心轮外径与外齿轮的内径差。

作为本发明再进一步的方案：本发明还包括修正轮呈环形，修正轮上下端面上开设有若干槽，且若干槽呈环形阵列设置在修正轮上，修正轮的圆周面上设置有与中心轮的轮齿和外齿轮上的轮齿配合的轮齿。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、修出的盘面光洁度高同时配合使用偏心修整轮（减小内外圈的散差及减小同一盘片与片之间的散差）

2、目前方片特别是5.8*11晶片研磨的散差主要表现在两点：1.内外圈的散差2.同一片晶片两端的散差，这和现在使用的修整轮有很大关系，这种修整轮能明显减小内外圈散差和两端散差（减小同一片不同点间的散差）。

附图说明

图1为带有平面度修整修正轮的双面研磨机实施例一的结构示意图。

图2为带有平面度修整修正轮的双面研磨机实施例一中第一固定支架的结构示意图。

图3为带有平面度修整修正轮的双面研磨机实施例一中第二立柱的结构示意图。

图4为带有平面度修整修正轮的双面研磨机实施例一中中心轮的结构示意图。

图5为带有平面度修整修正轮的双面研磨机实施例二中中心轮的结构示意图。

图6为带有平面度修整修正轮的双面研磨机实施例二中修正轮的结构示意图。

图中：1-机架、2-下研磨盘、3-上研磨盘、4-中心轮、5-外齿轮、6-游星轮、7-修正轮、101-工作台面、102-底板、103-第一立柱、104-第一通孔、105-第一圆形套筒、201-第一外齿圈、11-第一固定支架、111-第一内环、112-第一连接板、113-第一电机安装板、114-第一电机、115-第一转轴、116-第一皮带轮、117-第二皮带轮、118-第一轴承安装板、119-第二转轴、120-下研磨盘齿轮、301-第二立柱、302-第一导轨、31-第二固定支架、311-第二内环、312-第二连接板、313-直线电机。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

实施例一，请参阅图1-4，一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架1、下研磨盘2和上研磨盘3，

所述机架1上方设有下研磨盘2，下研磨盘2上方设有上研磨盘3，下研磨盘2与上研磨盘3之间设有中心轮4和外齿轮5，中心轮4的轴线方向和外齿轮5的轴线方向均与下研磨盘2的轴线方向相同，中心轮4位于外齿轮5的内圈，中心轮4与外齿轮5之间啮合有多个游星轮6，

所述机架1包括工作台面101和位于工作台面101下方的底板102，工作台面101和底板102均为正方形的板体，工作台面101和底板102之间通过四根第一立柱103固定连接，四根第一立柱103分别位于工作台面101和底板102的四角处；

所述工作台面101的中心处开设有第一通孔104，第一通孔104处设有第一圆形套筒105，第一圆形套筒105的外圈上通过轴承转动连接有下研磨盘2，下研磨盘2的外延连接有第一外齿圈201，下研磨盘2的水平高度高于第一圆形套筒105的高度，

所述机架1内设有两组第一固定支架11，第一固定支架11包括第一内环111，第一内环111的外圈连接有四根第一连接板112，第一连接板112的一端与第一内环111固定连接，第一连接板112的另一端第一立柱103的内侧固定连接，两个第一第一内环111之间竖直固定连接有第一电机安装板113，第一电机安装板113上固定安装有第一电机114，第一电机114的输出轴通过联轴器固定连接有第一转轴115，第一转轴115通过轴承与第一圆形套筒105转动连接，第一转轴115的顶部驱动连接有中心轮4；

所述第一转轴115下端套接有第一皮带轮116，其中位于上的第一固定支架11左侧的两个第一连接板112之间设有第一轴承安装板118，第一轴承安装板118与工作台面101之间通过轴承转动连接有第二转轴119，第二转轴119的下端固定套接有第二皮带轮117，第二皮带轮117通过皮带与第一皮带轮116驱动连接，第二转轴119的上端穿过工作台面101套接有下研磨盘齿轮120，下研磨盘齿轮120与第一外齿圈201啮合，其中第一皮带轮116与第二皮带轮117直径不一致；

所述工作台面101的顶部四角处竖直固定连接有第二立柱301，第二立柱301的截面呈等腰三角形，第二立柱301的对应等腰三角形截面的斜边的一侧竖直固定连接有第一导轨302，上研磨盘3的外圈滑动连接在第一导轨302上；同时第二立柱301顶部设有第二固定支架31，第二固定支架31包括第二内环311，第二内环311的外圈连接有四根第二连接板312，第二连接板312的二端与第二内环311固定连接，第二连接板312的另一端第二立柱103的顶部固定连接，第二内环311的顶部竖直固定安装有直线电机313，直线电机313的输出轴驱动连接上研磨盘3。

所述上研磨盘3的直径与下研磨盘2的直径相等，并且上研磨盘3的轴线方向与下研磨盘2的轴线方向相同；

游星轮6的直径为中心轮4外径与外齿轮5的内径差，研磨过程中，游星轮分别与中心轮4和外齿轮5啮合，中心轮4带动游星轮绕中心轮4的轴线公转，同时，游星轮绕自身的轴线自传，带动工件相对于下研磨盘2和上研磨盘3运动，实现对工件的研磨，游星轮6上开设有多个定位槽61，定位槽61均匀环形阵列设置在游星轮6上。

在使用本实施例提供的双面研磨机时，使工件通过游星轮上的定位槽定位于游星轮上，将定位有工件的游星轮放于中心轮4与外齿轮5之间，并分别与中心轮4和外齿轮5啮合，中心轮4与外齿轮5之间可放置多个游星轮，直线电机313驱动下研磨盘2向靠近下研磨盘2的方向运动，使下研磨盘2与工件的上端面接触，第一电机114驱动中心轮4绕自身的轴线转动，中心轮4与游星轮啮合使中心轮4绕自身的轴线自传和绕中心轮4的轴线公转，工件与下研磨盘2和上研磨盘产生相对运动，使下研磨盘2和上研磨盘对工件进行研磨操作。

实施例二，一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，实施例二与实施例一的不同之处在于：请参阅图5-6，本发明还包括修正轮7呈环形，修正轮7上下端面上开设有若干槽，且若干槽呈环形阵列设置在修正轮7上，修正轮7的圆周面上设置有与中心轮4的轮齿和外齿轮5上的轮换配合的轮齿，修正轮7的上端面和下端面均设置有研磨料，用于修改上研磨盘3和下研磨盘2的端面。

在研磨过程中，修正轮7放于中心轮4与外齿轮5之间，修正轮7的上端面与上研磨盘3的下端面接触，修正轮7的下端面与下研磨盘2的上端面接触，修正轮7上的轮齿分别与中心轮4的轮齿和外齿轮5上的轮齿啮合，在中心轮4的带动下，修正轮7绕中心轮4的轴线公转，并绕自身的轴线自传，修正轮7的端面分布与上研磨盘3和下研磨盘2的端面摩擦，对上研磨盘3和下研磨盘2的端面进行修复，提高上研磨盘3端面和下研磨盘2端面的平整度，从而提高上研磨盘3与下研磨盘2之间的平行度，防止上研磨盘3与下研磨盘2之间的平行度降低而影响研磨精度。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。

Claims (5)

1.一种带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，包括机架（1）、下研磨盘（2）和上研磨盘（3），其特征在于，所述机架（1）上方设有下研磨盘（2），下研磨盘（2）上方设有上研磨盘（3），下研磨盘（2）与上研磨盘（3）之间设有中心轮（4）和外齿轮（5），中心轮（4）的轴线方向和外齿轮（5）的轴线方向均与下研磨盘（2）的轴线方向相同，中心轮（4）位于外齿轮（5）的内圈，中心轮（4）与外齿轮（5）之间啮合有多个游星轮（6）；所述机架（1）包括工作台面（101）和位于工作台面（101）下方的底板（102），工作台面（101）和底板（102）均为正方形的板体，工作台面（101）和底板（102）之间通过四根第一立柱（103）固定连接，四根第一立柱（103）分别位于工作台面（101）和底板（102）的四角处；所述工作台面（101）的中心处开设有第一通孔（104），第一通孔（104）处设有第一圆形套筒（105），第一圆形套筒（105）的外圈上通过轴承转动连接有下研磨盘（2），下研磨盘（2）的外延连接有第一外齿圈（201），所述机架（1）内设有两组第一固定支架（11），第一固定支架（11）包括第一内环（111），第一内环（111）的外圈连接有四根第一连接板（112），第一连接板（112）的一端与第一内环（111）固定连接，第一连接板（112）的另一端第一立柱（103）的内侧固定连接，两个第一第一内环（111）之间竖直固定连接有第一电机安装板（113），第一电机安装板（113）上固定安装有第一电机（114），第一电机（114）的输出轴通过联轴器固定连接有第一转轴（115），第一转轴（115）通过轴承与第一圆形套筒（105）转动连接，第一转轴（115）的顶部驱动连接有中心轮（4）；所述第一转轴（115）下端套接有第一皮带轮（116），其中位于上的第一固定支架（11）左侧的两个第一连接板（112）之间设有第一轴承安装板（118），第一轴承安装板（118）与工作台面（101）之间通过轴承转动连接有第二转轴（119），第二转轴（119）的下端固定套接有第二皮带轮（117），第二皮带轮（117）通过皮带与第一皮带轮（116）驱动连接，第二转轴（119）的上端穿过工作台面（101）套接有下研磨盘齿轮（120），下研磨盘齿轮（120）与第一外齿圈（201）啮合，其中第一皮带轮（116）与第二皮带轮（117）直径不一致；所述工作台面（101）的顶部四角处竖直固定连接有第二立柱（301），第二立柱（301）的截面呈等腰三角形，第二立柱（301）的对应等腰三角形截面的斜边的一侧竖直固定连接有第一导轨（302），上研磨盘（3）的外圈滑动连接在第一导轨（302）上；同时第二立柱（301）顶部设有第二固定支架（31），第二固定支架（31）包括第二内环（311），第二内环（311）的外圈连接有四根第二连接板（312），第二连接板（312）的二端与第二内环（311）固定连接，第二连接板（312）的另一端第二立柱（103）的顶部固定连接，第二内环（311）的顶部竖直固定安装有直线电机（313），直线电机（313）的输出轴驱动连接上研磨盘（3）。

2.根据权利要求1所述的带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，其特征在于，所述下研磨盘（2）的水平高度高于第一圆形套筒（105）的高度。

3.根据权利要求1所述的带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，其特征在于，所述上研磨盘（3）的直径与下研磨盘（2）的直径相等，并且上研磨盘（3）的轴线方向与下研磨盘（2）的轴线方向相同。

4.根据权利要求1所述的带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，其特征在于，所述游星轮（6）的直径为中心轮（4）外径与外齿轮（5）的内径差。

5.根据权利要求1所述的带有平面度修整修正轮的晶片双面研磨机，其特征在于，还包括修正轮（7），修正轮（7）呈环形，修正轮（7）上下端面上开设有若干槽，且若干槽呈环形阵列设置在修正轮（7）上，修正轮（7）的圆周面上设置有与中心轮（4）的轮齿和外齿轮（5）上的轮齿配合的轮齿。