CN109014780A - 一种球头交叉孔的机械加工工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明是一种球头交叉孔的机械加工工艺,两孔交叉区域接刀小于0.05mm;孔内光洁度要达到Ra0.4以下;步骤如下:(1)机械加工刀具组合的选择;(2)加工过程中:加工参数的确认;(3)在加工参数稳定的情况下,切削液浓度的配比。本发明主要应用于气体阀块等零部件,零件内部光洁度要求Ra0.4以下,精密加工技术。解决了零件交叉孔内壁光洁度要求较高的问题。
Description
技术领域
本发明属于机械加工工艺领域,具体说是一种球头交叉孔的机械加 工工艺,适用于IC领域的气体阀块等零部件。
背景技术
随着半导体领域的快速发展,对基础零部件的技术要求越来越高, 作为气体传输的阀块类零件,对其孔内及相交处的光洁度有着严格的要 求,相交孔的光洁度必须达到Ra0.4以下,并且在60倍放大镜观察下 不允许有划伤,而传统的铣削加工工艺能够达到的光洁度在Ra0.8左右, 微观表面更难以保证,因此球头交叉孔的机械加工工艺难度相对提高。
发明内容
针对上述存在的问题,为了达到球头交叉孔的技术要求,运用常用 五轴加工设备,通过选择不同的刀具组合,优化机械加工参数,调整切 削液的浓度配比,得到良好的孔内光洁度要求,解决了球头交叉孔内壁 及相交处超高光洁度要求的问题,实现稳定生产。本发明的目的是提供 了一种球头交叉孔的机械加工工艺。
本发明是通过如下方案实现的:
一种球头交叉孔的机械加工工艺,两孔交叉区域接刀小于0.05mm; 孔内光洁度要达到Ra0.4以下;
步骤如下:
(1)机械加工刀具组合的选择;
(2)加工过程中:加工参数的确认;
(3)在加工参数稳定的情况下,切削液浓度的配比。
步骤(1)中刀具选择,采用不二越钻头和球头刀具的组合,同时 钻头的尺寸要比最终尺寸小0.2mm。
步骤(2)中加工参数的确认,加工设备为DMG 80P五轴加工机床, 钻头φ7.4;钻头的加工参数为S:3000-3200r/min,F:600-700mm/min;
球头刀的φ7.6;球头刀的加工参数S:1000-1200r/min,F: 50-70mm/min。
步骤(3)中切削液的浓度配比,切削液浓度配比调整到15%-20%。
本发明的有益效果是:
1.本发明通过合理的选择刀具组合,配备不二越的钻头以及图层球 头铣刀充分利用粗加工后的加工余量,保证加工后的尺寸要求。
2.本发明合理的切削加工参数,充分发挥刀具的切削速度等性能, 以达到减小球头交叉处接刀的效果。
3.本发明通过调整切削液浓度配比,提高零件内壁的表面光洁度, 保证零件机加工后内壁光洁度在Ra0.4以内。
具体实施方案
对本发明进一步详细说明。
球头交叉孔的机械加工工艺,包括如下步骤:
(1)用平口钳装夹方形毛料,对零件上表面及四周进行铣加工。
(2)调配切削液浓度。
(3)打定位孔,刀具:φ2中心钻,S:800r/min,F:100mm/min。
(4)粗加工交叉孔,刀具:φ7.4不二越钻头, S:3000r/min,F:600mm/min。
(5)精加工交叉孔,刀具:φ7.6涂层球头刀,S:1000r/min,F: 50mm/min。
(6)通过线切割机床将零件交叉孔切开,然后脱脂清洗。
(7)使用表面粗糙度测试仪测量零件的内壁光洁度。
Claims (4)
1.一种球头交叉孔的机械加工工艺,其特征在于:
两孔交叉区域接刀小于0.05mm;孔内光洁度要达到Ra0.4以下;
步骤如下:
(1)机械加工刀具组合的选择;
(2)加工过程中:加工参数的确认;
(3)在加工参数稳定的情况下,切削液浓度的配比。
2.如权利要求1所述球头交叉孔的机械加工工艺,其特征在于:
步骤(1)中刀具选择,采用不二越钻头和球头刀具的组合,同时钻头的尺寸要比最终尺寸小0.2mm。
3.如权利要求1所述的球头交叉孔的机械加工工艺,其特征在于,
步骤(2)中加工参数的确认,加工设备为DMG 80P五轴加工机床,钻头φ7.4;钻头的加工参数为S:3000-3200r/min,F:600-700mm/min;
球头刀φ7.6;球头刀的加工参数S:1000-1200r/min,F:50-70mm/min。
4.如权利要求1所述的球头交叉孔的机械加工工艺,其特征在于,
步骤(3)中切削液的浓度配比,切削液浓度配比调整到15%-20%。
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