CN108981987A - 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 - Google Patents
一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108981987A CN108981987A CN201810890121.6A CN201810890121A CN108981987A CN 108981987 A CN108981987 A CN 108981987A CN 201810890121 A CN201810890121 A CN 201810890121A CN 108981987 A CN108981987 A CN 108981987A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- spring beam
- fixed station
- foil gauge
- spring
- retinoic acid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
- G01L1/225—Measuring circuits therefor
- G01L1/2262—Measuring circuits therefor involving simple electrical bridges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
- G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
- G01L5/161—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance
Abstract
本发明公开了一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,包括:外圈固定台(1)、两个X向弹性梁(2,8)、两个Y向弹性梁(4,6)、两个L字型结构传力梁(3,7)、中心固定台(5)、固定孔(9)、传力轴(10)、传力轴装配孔(11),其中两个X向弹性梁(2,8)的一端分别与外圈固定台(1)的内侧连接,且X向弹性梁的另一端通过一个L字型结构传力梁连接至一个Y向弹性梁的一端;Y向弹性梁的另一端分别连接至中心固定台(5);通过传力轴装配孔(11)将传力轴(10)固定在中心固定台(5)上;X向弹性梁(2,8)、Y向弹性梁(4,6)表面均设置应变片。本发明能够防止各维力/力矩信号之间的相互干扰,减弱了六维力传感器的维间耦合情况,提高测量精确度。
Description
技术领域
本发明涉及一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,属于传感器技术领域。
背景技术
六维力传感器测量的是笛卡尔坐标系三维空间的三个力分量(Fx、Fy、Fz)和三个力矩分量(Mx、My、Mz)信息。具有丰富的传感器是机器人智能化的重要标志,六维力传感器是安装于机器人手臂和手爪之间的力觉传感器,用于检测机器人手在操作时与所处环境的接触力/力矩的大小和方向,并且反馈给机器人力控制系统,是机械臂实现力控制的信息获取装置,具有重要的研究价值。
六维力传感器在弹性体结构上应用最广泛的是十字梁型弹性体,在测量方式上主要使用压电式和电阻应变式。专利CN103528746A中公开了一种十字梁式六维力传感器弹性体,由内梁、外梁以及过载保护梁等组成,但是其结构复杂,受力应变较小,灵敏度不足;专利CN205333238U中公开了一种结构紧凑的应变式六维力传感器,它包括底座弹性体、十字梁弹性体等,但其结构复杂,加工精度需求高。
多维力/力矩传感器特有的维间耦合是制约传感器测量精度以及后续力反馈、力控制性能的主要问题,需要从测量原理,测量方法,新型弹性体结构设计等方面有创新突破。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足,提供一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,解决六维力传感器弹性体的结构复杂,并减小六维力传感器的测量误差的问题。
本发明具体采用以下技术方案解决上述技术问题:
一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,包括:外圈固定台、两个X向弹性梁、两个Y向弹性梁、两个L字型结构传力梁、中心固定台、固定孔、传力轴、传力轴装配孔,其中两个X向弹性梁的一端分别与外圈固定台的内侧连接,且每个X向弹性梁的另一端通过一个L字型结构传力梁连接至一个Y向弹性梁的一端;所述两个Y向弹性梁的另一端分别连接至中心固定台;所述中心固定台上设有传力轴装配孔,通过传力轴装配孔将传力轴固定在中心固定台上;所述外圈固定台的表面上设有固定孔;以及,所述两个X向弹性梁和两个Y向弹性梁的表面均设置应变片。
进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述应变片的数量为二十四个,且其中每四个不同位置的应变片组成一组惠斯通全桥电路。
进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述X向弹性梁的另一端与L字型结构传力梁的长臂垂直,且L字型结构传力梁的短臂与Y向弹性梁的一端垂直。
进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述两个X向弹性梁、两个Y向弹性梁、两个L字型结构传力梁均为长方形。
进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述两个X向弹性梁的中轴线均在中心固定台的竖向中轴线上。
进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述两个Y向弹性梁的中轴线均在中心固定台的横向中轴线上。
进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述中心固定台的截面为正方形。
进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述固定孔为圆形螺孔。
进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:还包括外壳,所述外壳通过固定孔固定至外圈固定台。
本发明采用上述技术方案,能产生如下技术效果:
本发明提供的一种小维间耦合弹性梁的六维力传感器,其弹性梁分为X向弹性梁,Y向弹性梁,两者通过L字型结构传力梁连接,使四根弹性梁在受到相应方向的作用力时作为柔性环节;Y向弹性梁与中心固定台连接,X向弹性梁与外圈固定台内侧连接,舍弃了传统十字梁型弹性体结构十字形梁壁与浮动梁的设计,结构更加简单紧凑;只有两个Y向弹性梁与中心台连接,使得弹性梁受力后形变更大,测量灵敏度更高,采用此结构设计的六组电桥电路可以有效地将各维力/力矩信号转化为电压值输出,并且能够防止各维力/力矩信号之间的相互干扰;采用此结构设计的梁臂贴片位置只存在两个方向的耦合,如Fx与Mz,Fz与Mx,减弱了六维力传感器的维间耦合情况,简化了解耦算法,提高测量精确度。
附图说明
图1为本发明小维间耦合弹性梁的六维力传感器弹性体结构示意图。
图2为本发明中应变片贴片位置示意图。
图3为本发明中应变片组成的六组惠斯通全桥电路示意图。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本发明的实施方式进行描述。
为方便描述方向,建立一个如图1所示的空间笛卡尔坐标系,在此基础上,本发明设计了一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,如图1所示,具体包括:外圈固定台1、两个X向弹性梁2,8、两个Y向弹性梁4,6、两个L字型结构传力梁3,7、中心固定台5、固定孔9、传力轴10、传力轴装配孔11,其中两个X向弹性梁2,8的一端分别与外圈固定台1的内侧连接,且每个X向弹性梁2,8的另一端通过一个L字型结构传力梁3,7连接至一个Y向弹性梁4,6的一端;所述两个Y向弹性梁4,6的另一端分别连接至中心固定台5;所述中心固定台5上设有传力轴装配孔11,通过传力轴装配孔11将传力轴10固定在中心固定台5上;所述外圈固定台1的表面上设有固定孔9;以及,所述两个X向弹性梁2,8和两个Y向弹性梁4,6的表面均设置多个应变片。
本发明中,只有Y向弹性梁4,6与中心固定台5直接连接,使得受力弹性梁的形变更大,灵敏度更高。其中,所述两个X向弹性梁2,8、两个Y向弹性梁4,6、两个L字型结构传力梁3,7均可以为长方形,如横截面是6*4长方形的四棱柱,便于加工和贴片。
优选地,所述两个X向弹性梁2,8的中轴线均在中心固定台5的竖向中轴线上,两个Y向弹性梁4,6的中轴线在中心固定台5的横向中轴线上,保证了弹性体受力对称。并且,本发明使用L字型连接梁结构,所述X向弹性梁2,8的另一端与L字型结构传力梁3,7的长臂垂直,且L字型结构传力梁3,7的短臂与Y向弹性梁4,6的一端垂直,保证了力传递过程无角度偏差,通过L字型传力梁使四根弹性梁在受到相应方向的作用力时作为柔性环节。
所述中心固定台5的截面可以为正方形,方便加工,同时保证X方向和Y方向受力对称;所述外圈固定台1四周的固定孔9采用圆形螺孔。并且,本发明力传感器还包括外壳,所述外壳通过固定孔9固定至外圈固定台1。
优选地,本发明中所述应变片的数量为二十四个,即第一至第二十四应变片,所述应变片完全相同,即具有相同的初始阻值,在收缩时阻值减小,在延展时阻值增大。所述应变片贴在两个X向弹性梁2,8,Y向弹性梁4,6表面受各方向力/力矩产生形变最大的位置,所贴位置具体如图2所示,第一应变片R1,第二应变片R2贴覆在X向弹性梁2的两个侧表面,及第三应变片R3,第四应变片R4贴覆在X向弹性梁8的两个侧表面;第五应变片R5,第六应变片R6贴覆在Y向弹性梁4的两个侧表面,及第七应变片R7,第八应变片R8贴覆在Y向弹性梁6的两个侧表面;第九应变片R9,第十应变片R10分别贴覆在Y向弹性梁4的上表面和下表面,及第十一应变片R11,第十二应变片R12分别贴覆在Y向弹性梁6的上表面和下表面;第十三应变片R13,第十四应变片R14也分别贴覆在Y向弹性梁4的上表面和下表面,但与其贴覆的第九应变片R9,第十应变片R10不接触;及第十五应变片R15,第十六应变片R16也分别贴覆在Y向弹性梁6的上表面和下表面,但与第十一应变片R11,第十二应变片R12不接触;第十七应变片R17,第十八应变片R18分别贴覆在X向弹性梁2的上表面和下表面,及第十九应变片R19,第二十应变片R20分别贴覆在X向弹性梁8的上表面和下表面;第二十一应变片R21,第二十二应变片R22也分别贴覆在X向弹性梁2两个侧表面,但与其贴覆的第一应变片R1,第二应变片R2不接触;及第二十三应变片R23,第二十四应变片R24也分别贴覆在X向弹性梁8两个侧表面,但与其贴覆的第三应变片R3,第四应变片R4不接触。贴片具体位置需要通过对弹性梁进行力学分析,贴覆在弹性梁受力应变较大而与其他方向力/力矩耦合较小的位置,通常受力应变较大处为X向弹性梁和Y向弹性梁的末端,受到力矩应变较大处为X向弹性梁和Y向弹性梁的中部。
并且,所述每四个应变片组成一组惠斯通全桥电路,以组成六组惠斯通电桥测量三个方向的力和力矩。即第一应变片R1,第二应变片R2,第三应变片R3,第四应变片R4组成一组惠斯通电桥;第五应变片R5,第六应变片R6,第七应变片R7,第八应变片R8组成一组惠斯通电桥;第九应变片R9,第十应变片R10,第十一应变片R11,第十二应变片R12组成一组惠斯通电桥;第十三应变片R13,第十四应变片R14,第十五应变片R15,第十六应变片R16组成一组惠斯通电桥;第十七应变片R17,第十八应变片R18,第十九应变片R19,第二十应变片R20组成一组惠斯通电桥;第二十一应变片R21,第二十二应变片R22,第二十三应变片R23,第二十四应变片R24组成一组惠斯通电桥。
本发明的工作原理是:
当力传感器收到X方向的作用力Fx时,两个X向弹性梁发生弯曲变形,两个Y向弹性梁发生拉压形变且其变化量很小可忽略,此时Fx可通过黏贴在X向弹性梁两个侧表面的第一应变片R1,第二应变片R2,第三应变片R3,第四应变片R4组成给的惠斯通全桥电路测得。
当力传感器受到Y方向的作用力Fy时,两个Y向弹性梁发生弯曲变形,Fy即可通过黏贴在Y向弹性梁两个侧面的第五应变片R5,第六应变片R6,第七应变片R7,第八应变片R8组成给的惠斯通全桥电路测得。
当力传感器受到Z方向的作用力Fz时,两个Y向弹性梁发生弯曲变形,Fz即可通过黏贴在Y向弹性梁上表面和下表面的第九应变片R9,第十应变片R10,第十一应变片R11,第十二应变片R12组成给的惠斯通全桥电路测得。
当力传感器受到Fx方向的作用力矩Mx时,两个Y向弹性梁发生弯曲变形,且两个Y向弹性梁上表面和下表面的相同位置处产生的形变大小相等,方向相反,Mx即可通过黏贴在Y向弹性梁上表面和下表面的第十三应变片R13,第十四应变片R14,第十五应变片R15,第十六应变片R16组成给的惠斯通全桥电路测得。
当力传感器受到Fy方向的作用力矩My时,两个X向弹性梁发生弯曲变形,且两个X向弹性梁上表面和下表面的相同位置处产生的形变大小相等,方向相反,My即可通过黏贴在X向弹性梁上表面和下表面的第十七应变片R17,第十八应变片R18,第十九应变片R19,第二十应变片R20组成给的惠斯通全桥电路测得。
当力传感器受到Z方向作用力矩Mz时,两个X向弹性梁发生弯曲变形,且两个X向弹性梁两个侧面的相同位置处产生的形变大小相等,方向相反,Mz即可通过贴覆在X向弹性梁两个侧表面的第二十一应变片R21,第二十二应变片R22,第二十三应变片R23,第二十四应变片R24组成给的惠斯通全桥电路测得。
本发明中六维力/力矩通过共24片应变片组成6组惠斯通电桥来测量。当力传感器受到外界三维空间的力/力矩载荷的作用,在十字梁弹性体的应变片贴片处产生应变,应变片的零位电阻R0将发生变化,六维力传感器特有的维间耦合情况会导致施加某个方向力/力矩时,多处应变片会产生应变,即产生维间耦合,本发明中通过合理设计结构,使得最多只有两个方向产生耦合情况,即Fx与Mz之间存在耦合,Fy与Mz之间存在耦合,Fz与My之间存在耦合,Fz与Mx之间存在耦合。根据应变片在弹性主梁上分布的对称性,耦合影响可以通过设计的惠斯通电桥来消除。
当弹性体分别受到三维空间的六个力/力矩分量正方向载荷作用时,各应变片阻值为:
R1=R0+ΔRFx+ΔRMz;R2=R0-ΔRFx-ΔRMz;
R3=R0+ΔRFx-ΔRMz;R4=R0-ΔRFx+ΔRMz;
R5=R0-ΔRFy-ΔRMz;R6=R0+ΔRFy+ΔRMz;
R7=R0-ΔRFy+ΔRMz;R8=R0+ΔRFy-ΔRMz;
R9=R0-ΔRFz-ΔRMx;R10=R0+ΔRFz+ΔRMx;
R11=R0-ΔRFz+ΔRMx;R12=R0+ΔRFz-ΔRMx;
R13=R0-ΔRFz-ΔRMx;R14=R0+ΔRFz+ΔRMx;
R15=R0+ΔRFz-ΔRMx;R16=R0-ΔRFz+ΔRMx;
R17=R0-ΔRFz+ΔRMy;R18=R0+ΔRFz-ΔRMy;
R19=R0+ΔRFz+ΔRMy;R20=R0-ΔRFz-ΔRMy;
R21=R0+ΔRFx+ΔRMz;R22=R0-ΔRFx-ΔRMz;
R23=R0-ΔRFx+ΔRMz;R24=R0+ΔRFx-ΔRMz; (1)
上式(1)中R0为电阻应变片的零位电阻,R1、R2、...、R24对应第一应变片、第二应变片、...、第二十四应变片的阻值,ΔRFx、ΔRFy、...、ΔRMz分别表示当力传感器受到Fx、Fy、...、Mz载荷作用后应变片阻值变化的绝对值。本发明中组桥方式如图3所示,对各个应变电桥通以工作电压E,继而可以得到六维力/力矩分量的输出表达式如式:
由上式(2)可知,在理想情况下,这六组电桥电路可以有效地将各维力/力矩信号转化为电压值输出,并且能够防止各维力/力矩信号之间的相互耦合干扰。从而可以简化解耦算法,提高六维力传感器测量精度。
上面结合附图对本发明的实施方式作了详细说明,但是本发明并不限于上述实施方式,在本领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本发明宗旨的前提下做出各种变化。
Claims (9)
1.一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于,包括:外圈固定台(1)、两个X向弹性梁(2,8)、两个Y向弹性梁(4,6)、两个L字型结构传力梁(3,7)、中心固定台(5)、固定孔(9)、传力轴(10)、传力轴装配孔(11),其中,两个X向弹性梁(2,8)的一端分别与外圈固定台(1)的内侧连接,且每个X向弹性梁(2,8)的另一端通过一个L字型结构传力梁(3,7)连接至一个Y向弹性梁(4,6)的一端;所述两个Y向弹性梁(4,6)的另一端分别连接至中心固定台(5);所述中心固定台(5)上设有传力轴装配孔(11),通过传力轴装配孔(11)将传力轴(10)固定在中心固定台(5)上;所述外圈固定台(1)的表面上设有固定孔(9);以及,所述两个X向弹性梁(2,8)和两个Y向弹性梁(4,6)的表面均设置应变片。
2.根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述应变片的数量为二十四个,且其中每四个不同位置的应变片组成一组惠斯通全桥电路。
3.根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述X向弹性梁(2,8)的另一端与L字型结构传力梁(3,7)的长臂垂直,且L字型结构传力梁(3,7)的短臂与Y向弹性梁(4,6)的一端垂直。
4.根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述两个X向弹性梁(2,8)、两个Y向弹性梁(4,6)、两个L字型结构传力梁(3,7)均为长方形。
5.根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述两个X向弹性梁(2,8)的中轴线均在中心固定台(5)的竖向中轴线上。
6.根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述两个Y向弹性梁(4,6)的中轴线均在中心固定台(5)的横向中轴线上。
7.根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述中心固定台(5)的截面为正方形。
8.根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述固定孔(9)为圆形螺孔。
9.根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:还包括外壳,所述外壳通过固定孔(9)固定至外圈固定台(1)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810890121.6A CN108981987B (zh) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810890121.6A CN108981987B (zh) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108981987A true CN108981987A (zh) | 2018-12-11 |
CN108981987B CN108981987B (zh) | 2020-08-11 |
Family
ID=64555904
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810890121.6A Active CN108981987B (zh) | 2018-08-07 | 2018-08-07 | 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108981987B (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109855773A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-06-07 | 广西大学 | 一种具有蛇形结构梁的力传感器 |
CN111811723A (zh) * | 2020-06-10 | 2020-10-23 | 杭州电子科技大学 | 一种多维力传感器用信号处理电路 |
CN111811724A (zh) * | 2020-06-10 | 2020-10-23 | 杭州电子科技大学 | 一种六维力传感器的机械与电气装配结构 |
WO2021169011A1 (zh) * | 2020-02-25 | 2021-09-02 | 东南大学 | 一种高灵敏度低维间耦合的六维力传感器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN205120297U (zh) * | 2015-11-16 | 2016-03-30 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种压力传感器芯片 |
US20160139018A1 (en) * | 2013-03-14 | 2016-05-19 | James P. Thomas | Flat panel test hardware and technology for assessing ballistic performance of helmet personnel protective equipment |
CN106918413A (zh) * | 2015-12-24 | 2017-07-04 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种基于光电式的嵌入式六维力矩传感器 |
CN107044898A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-08-15 | 东南大学 | 一种具有弹性体结构的六维力传感器 |
CN108225622A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-06-29 | 广州中国科学院工业技术研究院 | 一种三维力传感器 |
-
2018
- 2018-08-07 CN CN201810890121.6A patent/CN108981987B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20160139018A1 (en) * | 2013-03-14 | 2016-05-19 | James P. Thomas | Flat panel test hardware and technology for assessing ballistic performance of helmet personnel protective equipment |
CN205120297U (zh) * | 2015-11-16 | 2016-03-30 | 歌尔声学股份有限公司 | 一种压力传感器芯片 |
CN106918413A (zh) * | 2015-12-24 | 2017-07-04 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种基于光电式的嵌入式六维力矩传感器 |
CN107044898A (zh) * | 2017-03-28 | 2017-08-15 | 东南大学 | 一种具有弹性体结构的六维力传感器 |
CN108225622A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-06-29 | 广州中国科学院工业技术研究院 | 一种三维力传感器 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109855773A (zh) * | 2019-01-23 | 2019-06-07 | 广西大学 | 一种具有蛇形结构梁的力传感器 |
WO2021169011A1 (zh) * | 2020-02-25 | 2021-09-02 | 东南大学 | 一种高灵敏度低维间耦合的六维力传感器 |
US11650117B2 (en) | 2020-02-25 | 2023-05-16 | Southeast University | Six-dimensional force sensor with high sensitivity and low inter-dimensional coupling |
CN111811723A (zh) * | 2020-06-10 | 2020-10-23 | 杭州电子科技大学 | 一种多维力传感器用信号处理电路 |
CN111811724A (zh) * | 2020-06-10 | 2020-10-23 | 杭州电子科技大学 | 一种六维力传感器的机械与电气装配结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108981987B (zh) | 2020-08-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107044898B (zh) | 一种具有弹性体结构的六维力传感器 | |
CN108981987A (zh) | 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 | |
CN106124113B (zh) | 一种新型六维力和力矩传感器 | |
CN103076131B (zh) | 用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器 | |
CN104048791B (zh) | 一种低维间耦合的双十字梁型六维力和力矩传感器 | |
CN102095534B (zh) | 双十字梁高灵敏度六维力矩传感器 | |
CN101419102B (zh) | 超薄六维力传感器及其测量三维力和三维力矩信息的方法 | |
CN101216359A (zh) | 框架式解耦六分量传感器及使用方法 | |
CN107782482A (zh) | 多维力/力矩传感器 | |
CN101598613A (zh) | 带过载保护的微型五维力传感器及其力矢量信息获取方法 | |
CN103940544A (zh) | 双十字梁组合式指关节六维力传感器 | |
CN110243525B (zh) | 一种六维力传感器 | |
WO2021082613A1 (zh) | 一种小量程三维传感器及其测试方法 | |
CN105841857B (zh) | 一种并联式五维力传感器 | |
CN102052984A (zh) | 冗余容错式并联结构六维力传感器 | |
CN104048790A (zh) | 对偶正交六维力传感器及测量方法 | |
CN206648770U (zh) | 一种具有弹性体结构的六维力传感器 | |
CN105841874A (zh) | 一种可重构型并联多维力传感器 | |
CN101975631B (zh) | 集成式五维微力/力矩传感器 | |
CN205719350U (zh) | 一种并联式五维力传感器 | |
CN107314852A (zh) | 一种手腕传感器 | |
CN202255706U (zh) | 一种三维力传感器 | |
CN1220037C (zh) | 微型全平面六维力、力矩传感器 | |
JP2004045044A (ja) | 6軸力覚センサ | |
CN201096563Y (zh) | 一种并联解耦结构三维力矩传感器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |