CN108981987A - 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 - Google Patents

一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN108981987A
CN108981987A CN201810890121.6A CN201810890121A CN108981987A CN 108981987 A CN108981987 A CN 108981987A CN 201810890121 A CN201810890121 A CN 201810890121A CN 108981987 A CN108981987 A CN 108981987A
Authority
CN
China
Prior art keywords
spring
foil gauge
fixed station
retinoic acid
small
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810890121.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108981987B (zh
Inventor
宋爱国
徐远
徐宝国
张培军
张达鑫
曾洪
汤建军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Southeast University
Jiangsu Tianhong Machinery Industry Co Ltd
Original Assignee
Southeast University
Jiangsu Tianhong Machinery Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Southeast University, Jiangsu Tianhong Machinery Industry Co Ltd filed Critical Southeast University
Priority to CN201810890121.6A priority Critical patent/CN108981987B/zh
Publication of CN108981987A publication Critical patent/CN108981987A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108981987B publication Critical patent/CN108981987B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/225Measuring circuits therefor
    • G01L1/2262Measuring circuits therefor involving simple electrical bridges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/16Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
    • G01L5/161Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance

Abstract

本发明公开了一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,包括:外圈固定台(1)、两个X向弹性梁(2,8)、两个Y向弹性梁(4,6)、两个L字型结构传力梁(3,7)、中心固定台(5)、固定孔(9)、传力轴(10)、传力轴装配孔(11),其中两个X向弹性梁(2,8)的一端分别与外圈固定台(1)的内侧连接,且X向弹性梁的另一端通过一个L字型结构传力梁连接至一个Y向弹性梁的一端;Y向弹性梁的另一端分别连接至中心固定台(5);通过传力轴装配孔(11)将传力轴(10)固定在中心固定台(5)上;X向弹性梁(2,8)、Y向弹性梁(4,6)表面均设置应变片。本发明能够防止各维力/力矩信号之间的相互干扰,减弱了六维力传感器的维间耦合情况,提高测量精确度。

Description

一种小维间耦合弹性梁六维力传感器
技术领域
[0001] 本发明涉及一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,属于传感器技术领域。
背景技术
[0002] 六维力传感器测量的是笛卡尔坐标系三维空间的三个力分量(Fx、Fy、Fz)和三个力 矩分量(Mx、My、Mz)信息。具有丰富的传感器是机器人智能化的重要标志,六维力传感器是安 装于机器人手臂和手爪之间的力觉传感器,用于检测机器人手在操作时与所处环境的接触 力/力矩的大小和方向,并且反馈给机器人力控制系统,是机械臂实现力控制的信息获取装 置,具有重要的研究价值。
[0003] 六维力传感器在弹性体结构上应用最广泛的是十字梁型弹性体,在测量方式上主 要使用压电式和电阻应变式。专利CN103528746A中公开了一种十字梁式六维力传感器弹性 体,由内梁、外梁以及过载保护梁等组成,但是其结构复杂,受力应变较小,灵敏度不足;专 利CN205333238U中公开了一种结构紧凑的应变式六维力传感器,它包括底座弹性体、十字 梁弹性体等,但其结构复杂,加工精度需求高。
[0004] 多维力/力矩传感器特有的维间耦合是制约传感器测量精度以及后续力反馈、力 控制性能的主要问题,需要从测量原理,测量方法,新型弹性体结构设计等方面有创新突 破。
发明内容
[0005] 本发明所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足,提供一种小维间耦合弹性 梁六维力传感器,解决六维力传感器弹性体的结构复杂,并减小六维力传感器的测量误差 的问题。
[0006] 本发明具体采用以下技术方案解决上述技术问题:
[0007] —种小维间耦合弹性梁六维力传感器,包括:外圈固定台、两个X向弹性梁、两个Y 向弹性梁、两个L字型结构传力梁、中心固定台、固定孔、传力轴、传力轴装配孔,其中两个X 向弹性梁的一端分别与外圈固定台的内侧连接,且每个X向弹性梁的另一端通过一个L字型 结构传力梁连接至一个Y向弹性梁的一端;所述两个Y向弹性梁的另一端分别连接至中心固 定台;所述中心固定台上设有传力轴装配孔,通过传力轴装配孔将传力轴固定在中心固定 台上;所述外圈固定台的表面上设有固定孔;以及,所述两个X向弹性梁和两个Y向弹性梁的 表面均设置应变片。
[0008] 进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述应变片的数量为二十四个,且其 中每四个不同位置的应变片组成一组惠斯通全桥电路。
[0009] 进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述X向弹性梁的另一端与L字型结 构传力梁的长臂垂直,且L字型结构传力梁的短臂与Y向弹性梁的一端垂直。
[0010] 进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述两个X向弹性梁、两个Y向弹性 梁、两个L字型结构传力梁均为长方形。
[0011] 进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述两个X向弹性梁的中轴线均在中 心固定台的竖向中轴线上。
[0012] 进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述两个Y向弹性梁的中轴线均在中 心固定台的横向中轴线上。
[0013] 进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述中心固定台的截面为正方形。
[0014] 进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:所述固定孔为圆形螺孔。
[0015] 进一步地,作为本发明的一种优选技术方案:还包括外壳,所述外壳通过固定孔固 定至外圈固定台。
[0016] 本发明采用上述技术方案,能产生如下技术效果:
[0017] 本发明提供的一种小维间耦合弹性梁的六维力传感器,其弹性梁分为X向弹性梁, Y向弹性梁,两者通过L字型结构传力梁连接,使四根弹性梁在受到相应方向的作用力时作 为柔性环节;Y向弹性梁与中心固定台连接,X向弹性梁与外圈固定台内侧连接,舍弃了传统 十字梁型弹性体结构十字形梁壁与浮动梁的设计,结构更加简单紧凑;只有两个Y向弹性梁 与中心台连接,使得弹性梁受力后形变更大,测量灵敏度更高,采用此结构设计的六组电桥 电路可以有效地将各维力/力矩信号转化为电压值输出,并且能够防止各维力/力矩信号之 间的相互干扰;采用此结构设计的梁臂贴片位置只存在两个方向的耦合,如Fx与MZ,FZ与Mx, 减弱了六维力传感器的维间耦合情况,简化了解耦算法,提高测量精确度。
附图说明
[0018] 图1为本发明小维间耦合弹性梁的六维力传感器弹性体结构示意图。
[0019] 图2为本发明中应变片贴片位置示意图。
[0020] 图3为本发明中应变片组成的六组惠斯通全桥电路示意图。
具体实施方式
[0021] 下面结合说明书附图对本发明的实施方式进行描述。
[0022] 为方便描述方向,建立一个如图1所示的空间笛卡尔坐标系,在此基础上,本发明 设计了一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,如图1所示,具体包括:外圈固定台1、两个X向 弹性梁2,8、两个Y向弹性梁4,6、两个L字型结构传力梁3,7、中心固定台5、固定孔9、传力轴 10、传力轴装配孔11,其中两个X向弹性梁2,8的一端分别与外圈固定台1的内侧连接,且每 个X向弹性梁2,8的另一端通过一个L字型结构传力梁3,7连接至一个Y向弹性梁4,6的一端; 所述两个Y向弹性梁4,6的另一端分别连接至中心固定台5;所述中心固定台5上设有传力轴 装配孔11,通过传力轴装配孔11将传力轴10固定在中心固定台5上;所述外圈固定台1的表 面上设有固定孔9;以及,所述两个X向弹性梁2,8和两个Y向弹性梁4,6的表面均设置多个应 变片。
[0023] 本发明中,只有Y向弹性梁4,6与中心固定台5直接连接,使得受力弹性梁的形变更 大,灵敏度更高。其中,所述两个X向弹性梁2,8、两个Y向弹性梁4,6、两个L字型结构传力梁 3,7均可以为长方形,如横截面是6*4长方形的四棱柱,便于加工和贴片。
[0024] 优选地,所述两个X向弹性梁2,8的中轴线均在中心固定台5的竖向中轴线上,两个 Y向弹性梁4,6的中轴线在中心固定台5的横向中轴线上,保证了弹性体受力对称。并且,本 发明使用L字型连接梁结构,所述X向弹性梁2,8的另一端与L字型结构传力梁3,7的长臂垂 直,且L字型结构传力梁3,7的短臂与Y向弹性梁4,6的一端垂直,保证了力传递过程无角度 偏差,通过L字型传力梁使四根弹性梁在受到相应方向的作用力时作为柔性环节。
[0025] 所述中心固定台5的截面可以为正方形,方便加工,同时保证X方向和Y方向受力对 称;所述外圈固定台1四周的固定孔9采用圆形螺孔。并且,本发明力传感器还包括外壳,所 述外壳通过固定孔9固定至外圈固定台1。
[0026] 优选地,本发明中所述应变片的数量为二十四个,即第一至第二十四应变片,所述 应变片完全相同,即具有相同的初始阻值,在收缩时阻值减小,在延展时阻值增大。所述应 变片贴在两个X向弹性梁2,8,Y向弹性梁4,6表面受各方向力/力矩产生形变最大的位置,所 贴位置具体如图2所示,第一应变片Rl,第二应变片R2贴覆在X向弹性梁2的两个侧表面,及 第三应变片R3,第四应变片R4贴覆在X向弹性梁8的两个侧表面;第五应变片R5,第六应变片 R6贴覆在Y向弹性梁4的两个侧表面,及第七应变片R7,第八应变片R8贴覆在Y向弹性梁6的 两个侧表面;第九应变片R9,第十应变片RlO分别贴覆在Y向弹性梁4的上表面和下表面,及 第i^一应变片Rll,第十二应变片R12分别贴覆在Y向弹性梁6的上表面和下表面;第十三应 变片R13,第十四应变片R14也分别贴覆在Y向弹性梁4的上表面和下表面,但与其贴覆的第 九应变片R9,第十应变片RlO不接触;及第十五应变片R15,第十六应变片R16也分别贴覆在Y 向弹性梁6的上表面和下表面,但与第^^一应变片Rll,第十二应变片R12不接触;第十七应 变片R17,第十八应变片R18分别贴覆在X向弹性梁2的上表面和下表面,及第十九应变片 R19,第二十应变片R20分别贴覆在X向弹性梁8的上表面和下表面;第二^^一应变片R21,第 二十二应变片R22也分别贴覆在X向弹性梁2两个侧表面,但与其贴覆的第一应变片Rl,第二 应变片R2不接触;及第二十三应变片R23,第二十四应变片R24也分别贴覆在X向弹性梁8两 个侧表面,但与其贴覆的第三应变片R3,第四应变片R4不接触。贴片具体位置需要通过对弹 性梁进行力学分析,贴覆在弹性梁受力应变较大而与其他方向力/力矩耦合较小的位置,通 常受力应变较大处为X向弹性梁和Y向弹性梁的末端,受到力矩应变较大处为X向弹性梁和Y 向弹性梁的中部。
[0027] 并且,所述每四个应变片组成一组惠斯通全桥电路,以组成六组惠斯通电桥测量 三个方向的力和力矩。即第一应变片Rl,第二应变片R2,第三应变片R3,第四应变片R4组成 一组惠斯通电桥;第五应变片R5,第六应变片R6,第七应变片R7,第八应变片R8组成一组惠 斯通电桥;第九应变片R9,第十应变片RlO,第i^一应变片Rl 1,第十二应变片Rl 2组成一组惠 斯通电桥;第十三应变片R13,第十四应变片R14,第十五应变片R15,第十六应变片R16组成 一组惠斯通电桥;第十七应变片R17,第十八应变片R18,第十九应变片R19,第二十应变片 R20组成一组惠斯通电桥;第二^^一应变片R21,第二十二应变片R22,第二十三应变片R23, 第二十四应变片R24组成一组惠斯通电桥。
[0028] 本发明的工作原理是:
[0029] 当力传感器收到X方向的作用力Fx时,两个X向弹性梁发生弯曲变形,两个Y向弹性 梁发生拉压形变且其变化量很小可忽略,此时Fx可通过黏贴在X向弹性梁两个侧表面的第 一应变片Rl,第二应变片R2,第三应变片R3,第四应变片R4组成给的惠斯通全桥电路测得。
[0030] 当力传感器受到Y方向的作用力Fy时,两个Y向弹性梁发生弯曲变形,Fy即可通过黏 贴在Y向弹性梁两个侧面的第五应变片R5,第六应变片R6,第七应变片R7,第八应变片R8组 成给的惠斯通全桥电路测得。
[0031] 当力传感器受到Z方向的作用力Fz时,两个Y向弹性梁发生弯曲变形,Fz即可通过黏 贴在Y向弹性梁上表面和下表面的第九应变片R9,第十应变片RlO,第^^一应变片Rl 1,第十 二应变片R12组成给的惠斯通全桥电路测得。
[0032] 当力传感器受到Fx方向的作用力矩MJ寸,两个Y向弹性梁发生弯曲变形,且两个Y向 弹性梁上表面和下表面的相同位置处产生的形变大小相等,方向相反,Mx即可通过黏贴在Y 向弹性梁上表面和下表面的第十三应变片R13,第十四应变片R14,第十五应变片R15,第十 六应变片R16组成给的惠斯通全桥电路测得。
[0033] 当力传感器受到Fy方向的作用力矩My时,两个X向弹性梁发生弯曲变形,且两个X向 弹性梁上表面和下表面的相同位置处产生的形变大小相等,方向相反,My即可通过黏贴在X 向弹性梁上表面和下表面的第十七应变片R17,第十八应变片R18,第十九应变片R19,第二 十应变片R20组成给的惠斯通全桥电路测得。
[0034] 当力传感器受到Z方向作用力矩MJ寸,两个X向弹性梁发生弯曲变形,且两个X向弹 性梁两个侧面的相同位置处产生的形变大小相等,方向相反,Mz即可通过贴覆在X向弹性梁 两个侧表面的第二i^一应变片R21,第二十二应变片R22,第二十三应变片R23,第二十四应 变片R24组成给的惠斯通全桥电路测得。
[0035] 本发明中六维力/力矩通过共24片应变片组成6组惠斯通电桥来测量。当力传感器 受到外界三维空间的力/力矩载荷的作用,在十字梁弹性体的应变片贴片处产生应变,应变 片的零位电阻Ro将发生变化,六维力传感器特有的维间耦合情况会导致施加某个方向力/ 力矩时,多处应变片会产生应变,即产生维间耦合,本发明中通过合理设计结构,使得最多 只有两个方向产生耦合情况,即Fx与Mz之间存在耦合,Fy与Mz之间存在耦合,Fz与My之间存在 耦合,Fz与Mx之间存在耦合。根据应变片在弹性主梁上分布的对称性,耦合影响可以通过设 计的惠斯通电桥来消除。
[0036] 当弹性体分别受到三维空间的六个力/力矩分量正方向载荷作用时,各应变片阻 值为:
Figure CN108981987AD00061
[0049] 上式(1)中Ro为电阻应变片的零位电阻,R^R2.....R24对应第一应变片、第二应变 片.....第二十四应变片的阻值,ARFx、ARFy.....ARmz分别表示当力传感器受到Fx、 Fy.....Mz载荷作用后应变片阻值变化的绝对值。本发明中组桥方式如图3所示,对各个应变 电桥通以工作电压E,继而可以得到六维力/力矩分量的输出表达式如式:
Figure CN108981987AD00071
[0056] 由上式(2)可知,在理想情况下,这六组电桥电路可以有效地将各维力/力矩信号 转化为电压值输出,并且能够防止各维力/力矩信号之间的相互耦合干扰。从而可以简化解 耦算法,提高六维力传感器测量精度。
[0057] 上面结合附图对本发明的实施方式作了详细说明,但是本发明并不限于上述实施 方式,在本领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本发明宗旨的前提下 做出各种变化。

Claims (9)

1. 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于,包括:外圈固定台(I)、两个X向 弹性梁(2,8)、两个Y向弹性梁(4,6)、两个L字型结构传力梁(3,7)、中心固定台(5)、固定孔 (9)、传力轴(10)、传力轴装配孔(11),其中,两个X向弹性梁(2,8)的一端分别与外圈固定台 (1)的内侧连接,且每个X向弹性梁(2,8)的另一端通过一个L字型结构传力梁(3,7)连接至 一个Y向弹性梁(4,6)的一端;所述两个Y向弹性梁(4,6)的另一端分别连接至中心固定台 (5);所述中心固定台(5)上设有传力轴装配孔(11),通过传力轴装配孔(11)将传力轴(10) 固定在中心固定台(5)上;所述外圈固定台(1)的表面上设有固定孔(9);以及,所述两个X向 弹性梁(2,8)和两个Y向弹性梁(4,6)的表面均设置应变片。
2. 根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述应变片的数 量为二十四个,且其中每四个不同位置的应变片组成一组惠斯通全桥电路。
3. 根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述X向弹性梁 (2,8)的另一端与L字型结构传力梁(3,7)的长臂垂直,且L字型结构传力梁(3,7)的短臂与Y 向弹性梁(4,6)的一端垂直。
4. 根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述两个X向弹 性梁(2,8)、两个Y向弹性梁(4,6)、两个L字型结构传力梁(3,7)均为长方形。
5. 根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述两个X向弹 性梁(2,8)的中轴线均在中心固定台(5)的竖向中轴线上。
6. 根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述两个Y向弹 性梁(4,6)的中轴线均在中心固定台(5)的横向中轴线上。
7. 根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述中心固定台 (5)的截面为正方形。
8. 根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:所述固定孔(9) 为圆形螺孔。
9. 根据权利要求1所述小维间耦合弹性梁六维力传感器,其特征在于:还包括外壳,所 述外壳通过固定孔(9)固定至外圈固定台(1)。
CN201810890121.6A 2018-08-07 2018-08-07 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器 Active CN108981987B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810890121.6A CN108981987B (zh) 2018-08-07 2018-08-07 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810890121.6A CN108981987B (zh) 2018-08-07 2018-08-07 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108981987A true CN108981987A (zh) 2018-12-11
CN108981987B CN108981987B (zh) 2020-08-11

Family

ID=64555904

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810890121.6A Active CN108981987B (zh) 2018-08-07 2018-08-07 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108981987B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111811724A (zh) * 2020-06-10 2020-10-23 杭州电子科技大学 一种六维力传感器的机械与电气装配结构
CN111811723A (zh) * 2020-06-10 2020-10-23 杭州电子科技大学 一种多维力传感器用信号处理电路
WO2021169011A1 (zh) * 2020-02-25 2021-09-02 东南大学 一种高灵敏度低维间耦合的六维力传感器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN205120297U (zh) * 2015-11-16 2016-03-30 歌尔声学股份有限公司 一种压力传感器芯片
US20160139018A1 (en) * 2013-03-14 2016-05-19 James P. Thomas Flat panel test hardware and technology for assessing ballistic performance of helmet personnel protective equipment
CN106918413A (zh) * 2015-12-24 2017-07-04 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于光电式的嵌入式六维力矩传感器
CN107044898A (zh) * 2017-03-28 2017-08-15 东南大学 一种具有弹性体结构的六维力传感器
CN108225622A (zh) * 2017-12-25 2018-06-29 广州中国科学院工业技术研究院 一种三维力传感器

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20160139018A1 (en) * 2013-03-14 2016-05-19 James P. Thomas Flat panel test hardware and technology for assessing ballistic performance of helmet personnel protective equipment
CN205120297U (zh) * 2015-11-16 2016-03-30 歌尔声学股份有限公司 一种压力传感器芯片
CN106918413A (zh) * 2015-12-24 2017-07-04 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于光电式的嵌入式六维力矩传感器
CN107044898A (zh) * 2017-03-28 2017-08-15 东南大学 一种具有弹性体结构的六维力传感器
CN108225622A (zh) * 2017-12-25 2018-06-29 广州中国科学院工业技术研究院 一种三维力传感器

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021169011A1 (zh) * 2020-02-25 2021-09-02 东南大学 一种高灵敏度低维间耦合的六维力传感器
CN111811724A (zh) * 2020-06-10 2020-10-23 杭州电子科技大学 一种六维力传感器的机械与电气装配结构
CN111811723A (zh) * 2020-06-10 2020-10-23 杭州电子科技大学 一种多维力传感器用信号处理电路

Also Published As

Publication number Publication date
CN108981987B (zh) 2020-08-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108981987A (zh) 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器
CN103076131B (zh) 用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器
CN102095534B (zh) 双十字梁高灵敏度六维力矩传感器
CN104048791B (zh) 一种低维间耦合的双十字梁型六维力和力矩传感器
CN106124113B (zh) 一种新型六维力和力矩传感器
CN101419102B (zh) 超薄六维力传感器及其测量三维力和三维力矩信息的方法
CN103940544B (zh) 双十字梁组合式指关节六维力传感器
CN107044898A (zh) 一种具有弹性体结构的六维力传感器
CN101216359A (zh) 框架式解耦六分量传感器及使用方法
CN107782482A (zh) 多维力/力矩传感器
CN110132477A (zh) 一种六维力传感器的解耦方法及六维力传感器
CN1220037C (zh) 微型全平面六维力、力矩传感器
CN101598613A (zh) 带过载保护的微型五维力传感器及其力矢量信息获取方法
CN104677543A (zh) 采用6组测力敏感单元的压电式六维力/力矩传感器
CN105841857B (zh) 一种并联式五维力传感器
WO2021082613A1 (zh) 一种小量程三维传感器及其测试方法
CN110243525B (zh) 一种六维力传感器
CN104048790A (zh) 对偶正交六维力传感器及测量方法
CN102052984A (zh) 冗余容错式并联结构六维力传感器
CN202255706U (zh) 一种三维力传感器
CN107314852A (zh) 一种手腕传感器
CN102338675A (zh) 一种三维力传感器
CN105841874A (zh) 一种可重构型并联多维力传感器
CN205719350U (zh) 一种并联式五维力传感器
CN109470396B (zh) 一种微型六维力/力矩传感器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant