CN103076131B - 用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器 - Google Patents

用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器,包括中心轴、力敏元件、底座和应变片组件,力敏元件固定连接在底座上,中心轴穿过力敏元件和底座,且中心轴与力敏元件过盈配合,应变片组件贴覆在力敏元件上,力敏元件包括四根弹性主梁、四根弹性副梁、呈正八角形的中心轴台、四个固定台、四个主浮动梁和四个副浮动梁,应变片组件包括第一应变片组和第二应变片组,四根弹性主梁中相对的两根弹性主梁上分别贴覆第一应变片组,其余两根弹性主梁上分别贴覆第二应变片组;中心轴与中心轴台的通孔过盈配合。该六维力与力矩传感器可提高对力的测量的刚度,同时对力矩的测量刚度也有小幅提高。

Description

用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器
技术领域
[0001] 本发明涉及一种六维力与力矩传感器,具体来说,涉及一种用于测量大型机械臂 大力与小力矩的六维力与力矩传感器。
背景技术
[0002] 多维力与力矩传感器是机电控制系统中一类非常重要的机械量测量传感器,它是 保证精密装配、精密操作、精密控制以及人机交互控制的基础元件,也是机器人完成接触性 作业任务的保障。随着我国空间探测技术、海洋开发技术以及机器人技术的迅速发展,如空 间站对接、空间机械手力控制、工业机器人、水下机器人遥操作等,迫切需要研发各种用途 的大量程高精度多维力与力矩传感器。现有的机器人力与力矩传感器主要分为六维和三维 两种力与力矩传感器,绝大多数机器人力与力矩传感器的设计集中在六维力与力矩传感器 方面,并产生了多项专利技术,具体有:"六自由度力与力矩传感器","双层预紧式多分支六 维力传感器及其结构稳定性分析","一种具有弹性铰链的六维力与力矩传感器","并联解 耦结构六维力与力矩传感器","整体预紧平台式六维力传感器",等。现有的机器人六维力 与力矩传感器结构相对复杂、贴片数量和组桥电路多、体积较大、价格高,并且存在着较为 严重的维间耦合。
[0003] 基于十字梁弹性体的六维力与力矩传感器是目前使用较广的一种,它主要提供X, Y,Z三个方向的力信息和Mx,My,Mz三个维度的力矩信息,并且相对其他结构的传感器而 言,具有结构简单、体积小、贴片数量较低等优点。六维力传感器的性能主要考虑其分辨率 和量程。在实际应用中,往往希望传感器在一定的尺寸条件下,有尽量高的分辨率,同时具 有较大的量程(刚度),然而这两个方面恰好形成一对矛盾,即:提高了刚度必然在一定程度 上降低其分辨率;反之,提高分辨率往往会降低传感器的刚度,从而量程变小。而随着工业 机器人、遥操作机器人等机器人系统的发展,尤其是具有大型机械臂的大型空间机器人的 发展,对于力与力矩传感器的性能方面往往要求测量更大的力以及较小的力矩,这使得传 感器测量范围上产生不对称的需求,而原来十字梁结构的六维力与力矩传感器不易满足。 因此,发明一种可以测量大力、小力矩的传感器非常具有实用价值。
发明内容
[0004] 技术问题:本发明所要解决的技术问题是:提供一种用于测量大型机械臂大力与 小力矩的六维力与力矩传感器,该六维力与力矩传感器可提高对力的测量的刚度,即提高 测量力的量程;同时对力矩的测量刚度也有小幅提高,即可同时提高测量力矩的量程,形成 一种具有测量大量程力、小量程力矩的六维力与力矩传感器。
[0005] 技术方案:为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:
[0006] 一种用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器,该六维力与力矩 传感器包括中心轴、力敏元件、底座和应变片组件,力敏元件固定连接在底座上,中心轴穿 过力敏元件和底座,且中心轴与力敏元件过盈配合,应变片组件贴覆在力敏元件上,其中, 所述的力敏元件包括四根弹性主梁、四根弹性副梁、呈正八角形的中心轴台、四个固定台、 四个主浮动梁和四个副浮动梁,中心轴台的几何中心设有通孔,四个固定台均匀分布在中 心轴台周边,主浮动梁固定连接在相邻的两个固定台之间,每个副浮动梁固定连接在一个 固定台上,且副浮动梁朝向中心轴台,副浮动梁和固定台之间设有空腔;每根弹性主梁的一 端固定连接在中心轴台的侧壁上,每根弹性主梁的另一端固定连接在主浮动梁上,且弹性 主梁分别与中心轴台的侧壁和主浮动梁垂直;每根弹性副梁的一端固定连接在中心轴台的 侧壁上,每根弹性副梁的另一端固定连接在副浮动梁上,且弹性副梁分别与中心轴台的侧 壁和副浮动梁垂直;弹性主梁和弹性副梁交替布置,且相邻的弹性主梁和弹性副梁之间的 夹角为45度;所述的应变片组件包括第一应变片组和第二应变片组,四根弹性主梁中相对 的两根弹性主梁上分别贴覆第一应变片组,其余两根弹性主梁上分别贴覆第二应变片组, 第一应变片组包括第一应变片、第二应变片、第三应变片、第四应变片、第五应变片和第六 应变片,第一应变片、第二应变片、第三应变片和第四应变片分别贴覆在弹性主梁的四侧壁 面上,第五应变片贴覆在弹性主梁的上壁面,第六应变片贴覆在弹性主梁的下壁面,且第一 应变片、第二应变片、第三应变片和第四应变片比第五应变片和第六应变片靠近中心轴台; 第二应变片组包括第七应变片、第八应变片、第九应变片、第十应变片、第十一应变片和第 十二应变片,第七应变片、第八应变片、第九应变片和第十应变片分别贴覆在弹性主梁的四 侧壁面上,第十一应变片贴覆在弹性主梁的左壁面,第十二应变片贴覆在弹性主梁的右壁 面,且第十一应变片和第十二应变片比第七应变片、第八应变片、第九应变片和第十应变片 靠近中心轴台;所述的力敏元件的固定台与底座固定连接,中心轴与中心轴台的通孔过盈 配合。
[0007] 有益效果:与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
[0008] (1)提高测量力和力矩的量程。本发明改进了原六维力与力矩传感器的十字梁 结构,改用米字形的弹性主梁和弹性副梁组成的力敏元件,在弹性主梁和弹性副梁的端部 垂直设置主浮动梁和副浮动梁。与原十字梁结构在相同尺寸条件下,利用有限元分析软件 ANSYS分析,本发明的传感器可在不减小测量灵敏度的情况下,对六维的力和力矩测量量程 有不同程度的扩大。与同尺寸的十字弹性体相比,本发明的传感器对力的量程扩大4一7 倍,对力矩的量程扩大 2- 4倍,最终形成一种可以测量大量程力和小量程力矩的六维力与 力矩传感器,对于大型机械臂等相关领域具有极大的实用价值。
[0009] 也就是说,本发明的传感器具有尺寸小、灵敏度高、刚度高的优点。
[0010] (2)耦合误差小。本发明中的弹性主梁和弹性副梁均采用了浮动梁结构,尤其是与 弹性副梁连接的副浮动梁,副浮动梁和固定台之间设置空腔,以实现副浮动梁的弹性支撑 效果。主浮动梁和副浮动梁在不同方向上分别起着柔性梁和弹性支撑梁的作用,从而使各 个方向的作用力不影响其他方向上作用力的效果,因此,该传感器具有耦合误差小的优点。 [00 11] (3)测量准确。本发明的传感器采用六组全桥电路,每组全桥电路包括4片应变片 的技术措施,使得每组全桥电路测量一个维度的力或力矩,电路互相独立、互不影响。对于 每个维度的测量,利用全等臂差动电桥,可以最大程度地提高灵敏度,并消除了电路测量的 非线性误差。因此,本发明以较少的应变片实现了误差的进一步减小。
附图说明
[0012] 图1是本发明的结构示意图。
[0013] 图2是本发明中力敏元件的结构亦意图。
[0014] 图3是本发明中贴覆应变片组件的弹性主梁和弹性副梁的俯视图。
[0015] 图4是本发明中贴覆应变片组件的弹性主梁和弹性副梁的仰视图。
[0016] 图5是本发明测量的X维力屯的全桥组桥电路图。
[0017] 图6是本发明测量的Y维力Uiy的全桥组桥电路图。
[0018] 图7是本发明测量的Z维力Ufz的全桥组桥电路图。
[0019] 图8是本发明测量的X维力矩Utx的全桥组桥电路图。
[0020] 图9是本发明测量的Y维力矩Uty的全桥组桥电路图。
[0021] 图10是本发明测量的Z维力矩Utz的全桥组桥电路图。
[0022] 图11是本发明具体实施方式中作为对比例的同尺寸十字形弹性主梁的结构示意 图。
[0023] 图12是对比例的传感器受Fx力时的形变图。
[0024] 图13是本发明的传感器受Fx力时的形变图。
[0025] 图14是对比例的传感器受Fx时弯曲的弹性主梁表面中心线上的应变线条图。
[0026] 图15是本发明的传感器受Fx时弯曲的弹性主梁表面中心线上的应变线条图。
[0027] 图16是对比例的传感器受Fz力时的形变图。
[0028] 图17是本发明的传感器受Fz力时的形变图。
[0029] 图18是对比例的传感器受Fz时弯曲的弹性主梁表面中心线上的应变线条图。
[0030] 图19是本发明的传感器受Fz时弯曲的弹性主梁表面中心线上的应变线条图。
[0031] 图20是对比例的传感器受Mz力时的形变图。
[0032] 图21是本发明的传感器受Mz力时的形变图。
[0033] 图22是对比例的传感器受Mz时弯曲的弹性主梁表面中心线上的应变图。
[0034] 图23是本发明的传感器受Mz时弯曲的弹性主梁表面中心线上的应变图。
[0035] 图24是对比例的传感器受My力时的形变图。
[0036] 图25是本发明的传感器受My力时的形变图。
[0037] 图26是对比例的传感器受My时弯曲的弹性主梁表面中心线上的应变图。
[0038] 图27是本发明的传感器受My时弯曲的弹性主梁表面中心线上的应变图。
[0039] 图中有:中心轴1、力敏元件2、底座3、弹性主梁21、弹性副梁22、中心轴台23、固 定台24、主浮动梁25、副浮动梁26、空腔27。
具体实施方式
[0040] 下面结合附图,详细说本发明的技术方案。
[0041]如图1至图4所示,本发明的一种用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与 力矩传感器,包括中心轴1、力敏元件2、底座3和应变片组件。力敏元件2固定连接在底座 3上,中心轴1穿过力敏元件2和底座3,且中心轴1与力敏元件2过盈配合,应变片组件贴 覆在力敏元件2上。通过中心轴1的转动,带动整个传感器的转动,实现对力与力矩的测量。 力敏元件2包括四根弹性主梁21、四根弹性副梁22、呈正八角形的中心轴台23、四个固定台 24、四个主浮动梁25和四个副浮动梁26。中心轴台23的几何中心设有通孔。四个固定台 24均匀分布在中心轴台23周边。四个固定台24的最外层轮廓可为圆形,便于放置到底座 3中。主浮动梁25固定连接在相邻的两个固定台24之间。每个副浮动梁26固定连接在一 个固定台24上,且副浮动梁26朝向中心轴台23。副浮动梁26和固定台24之间设有空腔 27。设置空腔27,避免了副浮动梁26和固定台24直接接触,有利于副浮动梁26发生形变, 提高测量精度。作为优选方案,副浮动梁26和主浮动梁25的厚度相等。每根弹性主梁21 的一端固定连接在中心轴台23的侧壁上,每根弹性主梁21的另一端固定连接在主浮动梁 25上,且弹性主梁21分别与中心轴台2 3的侧壁和主浮动梁25垂直。每根弹性副梁22的 一端固定连接在中心轴台23的侧壁上,每根弹性副梁22的另一端固定连接在副浮动梁26 上,且弹性副梁22分别与中心轴台23的侧壁和副浮动梁26垂直。弹性主梁21和弹性副 梁22交替布置,且相邻的弹性主梁21和弹性副梁之间的夹角为45度。弹性主梁21和弹 性副梁22的截面尺寸相同,但弹性副梁22的长度比弹性主梁21的长度短。应变片组件包 括第一应变片组和第二应变片组。四根弹性主梁21中相对的两根弹性主梁21上分别贴覆 第一应变片组,其余两根弹性主梁21上分别贴覆第二应变片组。第一应变片组包括第一应 变片、第二应变片、第三应变片、第四应变片、第五应变片和第六应变片。第一应变片、第二 应变片、第三应变片和第四应变片分别贴覆在弹性主梁21的四侧壁面上。弹性主梁 21的 四侧壁面包括上壁面、下壁面、左壁面和右壁面,不包括端面。第五应变片贴覆在弹性主梁 21的上壁面,第六应变片贴覆在弹性主梁21的下壁面,且第一应变片、第二应变片、第三应 变片和第四应变片比第五应变片和第六应变片靠近中心轴台23。第二应变片组包括第七应 变片、第八应变片、第九应变片、第十应变片、第十一应变片和第十二应变片。第七应变片、 第八应变片、第九应变片和第十应变片分别贴覆在弹性主梁21的四侧壁面上。第i^一应变 片贴覆在弹性主梁21的左壁面,第十二应变片贴覆在弹性主梁21的右壁面,且第i^一应变 片和第十二应变片比第七应变片、第八应变片、第九应变片和第十应变片靠近中心轴台23。 力敏元件2的固定台24与底座3固定连接,中心轴1与中心轴台23的通孔过盈配合。
[0042] 进一步,所述的四根弹性主梁21和四根弹性副梁22的截面均呈正方形。采用正 方形的截面,可以使弹性主梁21和弹性副梁22的z方向的形变和X、y方向的形变具有等 效的效果,通过后面的电路采集系统分析形变量之后,再换算到力或力矩的对应关系更加 简单,从而简化换算和解耦算法,进而简化测量过程。
[0043] 进一步,所述的副浮动梁26和固定台24呈整体式结构。这有利于制作,并且可以 提高副浮动梁26和固定台24连接的稳定性。
[0044] 进一步,所述的用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器,还包 括顶盖,顶盖上设有中心孔,顶盖的中心孔穿过中心轴1,且顶盖与力敏组件2的固定台24 固定连接。设置顶盖,可以避免杂质落入力敏元件2中,影响测量精度。
[0045] 上述结构的六维力与力矩传感器对力和力矩的测量由电阻应变电桥实现。每4片 应变片为一组,构成一个全桥电路测量一个维度的力或力矩。本发明采用 24片应变片,组 成六个全桥电路。通过测量每个电桥的输出电压后,根据现有的多维力传感器解耦方法可 以计算出三个维度的力和三个维度的力矩。例如,申请号为2〇1〇1〇1 683:31_8,发明名称为基 于耦合误差建模的多维力传感器解耦方法的中国专利文献公开了该解耦方法。如图 3和图 4所示,位于上部的弹性主梁21贴覆第一应变片组,分别为包括上第一应变片K、上第二应 变片R 14、上第三应变片R7、上第四应变片R13、上第五应变片R2和上第六应变片 R8。位于下 部的弹性主梁21也贴覆第一应变片组,分别为下第一应变片R3、下第二应变片R16、下第三 应变片R9、下第四应变片R15、下第五应变片R4和下第六应变片Ri。。位于左部的弹性主梁21 贴覆第二应变片组,分别为左第七应变片R 6、左第八应变片R22、左第九应变片R12、左第十应 变片R 24、左第i^一应变片R21和左第十二应变片R23。位于右部的弹性主梁21贴覆第二应变 片组,分别为右第七应变片Rn、右第八应变片R 18、右第九应变片R5、右第十应变片R2Q、右第 十一应变片R 17和右第十二应变片R19。
[0046] 测量Fx的四片应变片为在y向的十字形弹性主梁21的左右两侧,并且位于弹性 主梁21的根部,靠近中心轴台23,即图中的上第四应变片R 13、上第二应变片R14、下第四应 变片R15、和下第二应变片R 16。测量Fx的电路图如图5所示,当力敏元件2受正向Fx力产 生形变时,上第二应变片R14和下第二应变片R 16被拉伸,电阻增大;上第四应变片R13和下第 四应变片R15被压缩,电阻减小。当受反向力时,则该四个应变片的电阻变化相反。由于机 械形变和应变片的对称性,变化的电阻ΔΙ?几乎相等。组桥时,电桥相对臂的应变片同向变 化(受拉或受压),相邻臂的应变片异向变化(一个受拉一个受压),即保证上第二应变片R 14 和下第二应变片R16处于相对臂,上第四应变片R13和下第四应变片R15处于相对臂,形成一 个全等臂差动电桥。
[0047] 测量Fy的四片应变片,在X向的十字形弹性主梁21的左右两侧,且位于弹性主梁 21的根部,即图中的右第十一应变片R 17、右第十二应变片R19、左第十一应变片R21和左第 十二应变片R 23。测量Fy的电路图如图6所示,当力敏元件2受正向Fy力产生形变时,右 第十一应变片R17和左第十一应变片R 21被拉伸,电阻增大,右第十二应变片R19和左第十二 应变片R23被压缩,电阻减小。当受反向力时,则该四个应变片的电阻变化相反。组桥时,右 第十一应变片R 17和左第十一应变片R21处于相对臂,右第十二应变片R19和左第十二应变片 R23处于相对臂,形成一个全等臂差动电桥。
[0048] 测量Fz的四片应变片,在y向的十字形弹性主梁21的上下两侧,即正面和背面, 且位于弹性主梁21的根部,即图中的上第一应变片&、下第一应变片R 3、上第三应变片R7、 下第三应变片R9。测量Fz的电路图如图7所示,当力敏元件2受正向Fz力产生形变时,上 第三应变片R 7和下第三应变片R9被拉伸,电阻增大,上第一应变片&和下第一应变片&被 压缩,电阻减小。当受反向力时,则该四个应变片的电阻变化相反。组桥时,上第三应变片 R7和下第三应变片R9处于相对臂,上第一应变片Ri和下第一应变片R3处于相对臂,形成一 个全等臂差动电桥。
[0049] 测量Mx的四片应变片,在y向的十字形弹性主梁21的上下两侧,且位于弹性主梁 21的中部,即图中的上第五应变片R 2、下第五应变片R4、上第六应变片&和下第六应变片 R10。测量Mx的电路图如图8所示,当力敏元件2受正向Mx力矩产生形变时,上第五应变片 R2和下第六应变片R1Q被拉伸,电阻增大,下第五应变片R4和上第六应变片r 8被压缩,电阻 减小。当受反向力时,则该四个应变片的电阻变化相反。组桥时,上第五应变片民和下第 六应变片R 1()处于相对臂,下第五应变片R4和上第六应变片R8处于相对臂,形成一个全等臂 差动电桥。
[0050] 测量My的四片应变片,在X向的十字形弹性主梁21的上下两侧,且位于弹性主梁 21的中部,即图中的右第九应变片R5、左第七应变片R6、右第七应变片Rn和左第九应变片 R12。测量My的电路图如图9所示,当力敏元件2受正向My力矩产生形变时,左第七应变片 R6和左第九应变片R12被拉伸,电阻增大,右第九应变片R5和右第七应变片 Rn被压缩,电阻 减小。当受反向力时,则该四个应变片的电阻变化相反。组桥时,左第七应变片&和左第 九应变片R12处于相对臂,右第九应变片R 5和右第七应变片Rn处于相对臂,形成一个全等 臂差动电桥。
[0051] 测量Mz的四片应变片,在X向的十字形弹性主梁21的左右两侧,并且位于弹性主 梁21的中部,即图中的右第八应变片R 18、右第十应变片R2Q、左第八应变片R22和左第十应变 片R 24。测量Mz的电路图如图1〇所示,当力敏元件2受正向Mz力矩产生形变时,右第八应 变片R18和左第十应变片R 24被拉伸,电阻增大,右第十应变片馬。和左第八应变片R22被压 缩,电阻减小。当受反向力时,则该四个应变片的电阻变化相反。组桥时,右第八应变片r 18 和左第十应变片R24处于相对臂,右第十应变片R2。和左第八应变片R22处于相对臂,形成一 个全等臂差动电桥。
[0052] 为了保证测量的精确性,应变片的位置保持对称性,各应变片的中心轴线要和弹 性主梁21的中心轴线重合。其中,位于弹性主梁21根部的应变片距离中心轴台的圆心的 距离用a表示,位于弹性主梁21中部的应变片距离中心轴台23圆心的距离用b表示。a和 b的值根据弹性主梁21的具体尺寸变化而进行比例性的伸缩。设弹性主梁21的长度为L, 中心轴台23圆心到中心轴台23侧壁的距离为s,则:
[0053] a=s+L/5
[0054] b=s+2L/5
[0055] 下面通过试验对比,来证明本发明的六维力与力矩传感器的优良性能。
[0056] 作为对比的六维力与力矩传感器(下文简称:对比例的传感器),其结构与本发明 相同,不同的是,没有采用弹性副梁22和副浮动梁26结构,其余结构与本发明相同,包括应 变片的贴覆位置均与本发明相同,具体参数如表1所示。对比例的传感器的力敏元件结构 如图11所示。
[0057] 表1传感器尺寸参数
[0058]
Figure CN103076131BD00081
[0059] 通过有限元分析软件ANSYS14.0,对两种结构的六维力与力矩传感器的性能进行 试验。试验中,对两者施加的力和力矩均相同。
[0060] 试验结果由仿真软件ANSYS分析获得,如图12-24所示。根据其中的应变曲线,将 所得的主要数据列于表2。
[0061] 表2主要试验结果
[0062]
Figure CN103076131BD00091
[0063] 下面结合每一幅图进行详细的分析,对比两者的性能。
[0064] 通过观察图12和图I3可知:在受Fx力时,本发明的传感器的弹性主梁和主浮动 梁,与对比例的传感器具有几乎一致的形变规律。ANSYS软件对于机械结构的形变具有自动 放大功能,查看两幅图的形变放大倍数可知,本发明的传感器的实际形变小于对比例的传 感器,说明本发明的传感器对Fx的刚度有所提高。通过对比图14和图15可知:当Fx=200N 时,对比例的传感器最大应变为:9. 452 X10_4,本发明的传感器最大应变为:1. 374 ΧΙΟ-4。 当最大应变在7Χ 1(Γ4~2Χ 1(Γ3区间内时,能同时保证屈服强度和刚度,并有较好的灵敏度。 在此区间内,对比例的传感器和本发明的传感器的应变呈线性变化。由于对比例的传感器 最大应变是本发明的6. 88倍,可说明本发明的传感器在6. 88倍的施力条件下具有和对比 例的传感器相同的性能。因此,在保证屈服强度和灵敏度的情况下,本发明的传感器比对比 例的传感器刚度扩大了 6. 88倍,相应的量程可以扩大约7倍。
[0065]由于弹性主梁21关于坐标轴对称,因此Fx和Fy的分析完全相同,仅仅是角度相 差 90°。
[0066] 通过观察图16和图17可知:在受Fz力时,本发明的传感器的弹性主梁和主浮动 梁,与对比例的传感器具有几乎一致的形变规律。查看两幅图的形变放大倍数可知,本发明 的传感器的实际形变小于对比例的传感器,说明本发明的传感器对Fz的刚度有所提高。通 过对比图18和图19可知:当Fz=200N时,对比例的传感器最大应变为7. 562X10'本发明 的传感器最大应变为2. 018X 10'由于对比例的传感器最大应变是本发明的3. 75倍,可 说明本发明的传感器在3. 75倍的施力条件下具有和对比例的传感器相同的性能。因此,在 保证屈服强度和灵敏度的情况下,本发明的传感器比对比例的传感器刚度扩大了 3. 75倍, 相应的量程可以扩大约4倍。
[0067] 通过观察图20和图21可知:在受Mz力时,本发明的传感器的弹性主梁和主浮动 梁,与对比例的传感器具有几乎一致的形变规律。查看两幅图的形变放大倍数可知,本发明 的传感器的实际形变小于对比例的传感器,说明本发明的传感器对Mz的刚度有所提高。通 过对比图22和图23可知:当Μζ=10Ν·πι时,对比例的传感器最大应变为1. 161ΧΚΓ3,本发 明的传感器最大应变为4. 628X10'由于对比例的传感器最大应变是本发明的2. 51倍, 说明本发明的传感器在2. 51倍的施力条件下具有和对比例的传感器相同的性能。在保证 屈服强度和灵敏度的情况下,本发明的传感器比对比例的传感器刚度扩大了 2· 51倍,相应 的量程可以扩大约2. 5倍。
[0068] 通过观察图24和图25可知:在受My力时,本发明的传感器的弹性主梁和主浮动 梁,与对比例的传感器具有几乎一致的形变规律。查看两幅图的形变放大倍数可知,本发明 的传感器的实际形变小于对比例的传感器,说明本发明的传感器对My的刚度有所提高。通 过对比图26和图27可知:当Μγ=10Ν·πι时,对比例的传感器最大应变为1·904Χ10_3,本发 明的传感器最大应变为4. 733X10 4。由于对比例的传感器最大应变是本发明的4. 01倍, 说明本发明的传感器可在4. 01倍的施力条件下具有和对比例的传感器相同的性能。在保 证屈服强度和灵敏度的情况下,本发明的传感器比对比例的传感器刚度扩大了 4.01倍,相 应的量程可以扩大约4倍。
[0069] 由弹性主梁的对称性,Μχ的分析结果和My的分析结果完全相同。
[0070] 本发明通过中心轴1传递外界的力和力矩,中心轴台23的通孔用于与中心轴1进 行过盈配合,从而测量从中心轴1上传递过来的力和力矩。本发明采用米字形的弹性梁结 构作为力敏元件2。本发明的六维力与力矩传感器可以测量Fx,Fy,Fz三个维度的力和Mx, My,Mz三个维度的力矩。同时,弹性主梁21和弹性副梁22上均采用了浮动梁结构,即有四 根主浮动梁25和四根副浮动梁26。浮动梁在不同方向上分别起着柔性梁和弹性支撑梁的 作用,从而使各个方向的作用力不影响其他方向上作用力的效果。
[0071] 本发明的传感器具有尺寸小、灵敏度高、刚度高以及耦合误差小的优点。与具有相 同尺寸的十字形弹性梁相比,本发明的米字形弹性梁对力的刚度大大提高,对力矩的刚度 有较小的提高,从而对力的量程扩大Γ7倍,对力矩的量程扩大2〜4倍。本发明的传感器适 用于大型机械臂测量大量程力和小量程力矩的测量。在实际应用中,在尺寸不增加的情况 下,本发明的传感器可提高对力的测量量程。

Claims (4)

1. 一种用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器,该六维力与力矩传 感器包括中心轴(1)、力敏元件(2)、底座(3)和应变片组件,力敏元件(2)固定连接在底座 (3)上,中心轴(1)穿过力敏元件(2)和底座(3),且中心轴(1)与力敏元件(2)过盈配合, 应变片组件贴覆在力敏元件(2)上,其特征在于, 所述的力敏元件(2)包括四根弹性主梁(21)、四根弹性副梁(22)、呈正八角形的中心 轴台(23)、四个固定台(24)、四个主浮动梁(25)和四个副浮动梁(26),中心轴台(23)的几 何中心设有通孔,四个固定台(24)均匀分布在中心轴台(23)周边,主浮动梁( 25)固定连 接在相邻的两个固定台(24)之间,每个副浮动梁(26)固定连接在一个固定台(24)上,且 副浮动梁(26)朝向中心轴台(23),副浮动梁(26)和固定台(24)之间设有空腔( 27);每根 弹性主梁(21)的一端固定连接在中心轴台(23)的侧壁上,每根弹性主梁(21)的另一端固 定连接在主浮动梁(25)上,且弹性主梁(21)分别与中心轴台(23)的侧壁和主浮动梁(25) 垂直;每根弹性副梁(22)的一端固定连接在中心轴台(23)的侧壁上,每根弹性副梁(22) 的另一端固定连接在副浮动梁(26)上,且弹性副梁(22)分别与中心轴台(23)的侧壁和副 浮动梁(26)垂直;弹性主梁(21)和弹性副梁(22)交替布置,且相邻的弹性主梁(21)和弹 性副梁之间的夹角为45度; 所述的应变片组件包括第一应变片组和第二应变片组,四根弹性主梁(21)中相对的 两根弹性主梁(21)上分别贴覆第一应变片组,其余两根弹性主梁(21)上分别贴覆第二应 变片组,第一应变片组包括第一应变片、第二应变片、第三应变片、第四应变片、第五应变 片和第六应变片,第一应变片、第二应变片、第三应变片和第四应变片分别贴覆在弹性主梁 (21)的四侧壁面上,第五应变片贴覆在弹性主梁(21)的上壁面,第六应变片贴覆在弹性主 梁(21)的下壁面,且第一应变片、第二应变片、第三应变片和第四应变片比第五应变片和 第六应变片靠近中心轴台(23);第二应变片组包括第七应变片、第八应变片、第九应变片、 第十应变片、第十一应变片和第十二应变片,第七应变片、第八应变片、第九应变片和第十 应变片分别贴覆在弹性主梁(21)的四侧壁面上,第十一应变片贴覆在弹性主梁(21)的左 壁面,第十二应变片贴覆在弹性主梁(21)的右壁面,且第十一应变片和第十二应变片比第 七应变片、第八应变片、第九应变片和第十应变片靠近中心轴台(23) ; 所述的力敏元件(2)的固定台(24)与底座(3)固定连接,中心轴(1)与中心轴台(23) 的通孔过盈配合。
2. 按照权利要求1所述的用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器, 其特征在于,所述的四根弹性主梁(21)和四根弹性副梁(22)的截面均呈正方形。
3. 按照权利要求1所述的用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器, 其特征在于,所述的副浮动梁(26)和固定台(24)呈整体式结构。
4. 按照权利要求1所述的用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器, 其特征在于,还包括顶盖,顶盖上设有中心孔,顶盖的中心孔穿过中心轴(1),且顶盖与力敏 元件(2)的固定台(24)固定连接。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3454032A4 (en) * 2016-06-14 2019-06-19 Nanjing Bio-inspired Intelligent Technology Co., Ltd NEW SENSOR AND TORQUE SENSOR WITH SIX DIMENSIONS

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103542963B (zh) * 2013-10-24 2015-10-07 东南大学 一种可变增益的三维力传感器
CN103698076B (zh) * 2014-01-03 2015-08-19 东南大学 一种用于实现量程扩展的六维力和力矩传感器
TWI485376B (zh) * 2014-03-11 2015-05-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 多維力/力矩感測器
CN103940544B (zh) * 2014-03-11 2016-02-03 东南大学 双十字梁组合式指关节六维力传感器
CN104568269B (zh) * 2014-12-23 2017-01-25 燕山大学 平面并联三维力传感器
CN105092124B (zh) * 2015-05-08 2018-03-02 阳江核电有限公司 一种机械手力矩试验装置
CN106918411A (zh) * 2015-12-24 2017-07-04 中国科学院沈阳自动化研究所 用于轻型柔性机械臂关节的嵌入式三维力及力矩测量装置
CN106918413B (zh) * 2015-12-24 2019-01-04 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于光电式的嵌入式六维力矩传感器
CN107314852B (zh) * 2016-04-26 2019-10-11 佛山市禾才科技服务有限公司 一种手腕传感器
CN105841856B (zh) * 2016-05-10 2019-01-29 东南大学 一种感知接触点三维力位移与三维力的触须传感器
JP2018091813A (ja) * 2016-12-07 2018-06-14 日本電産コパル電子株式会社 トルクセンサ
CN107167267B (zh) * 2017-06-09 2019-03-26 海伯森技术(深圳)有限公司 多维力传感器的校准方法
CN108225622B (zh) * 2017-12-25 2020-10-16 广州中国科学院工业技术研究院 一种三维力传感器
WO2019146696A1 (ja) * 2018-01-29 2019-08-01 ミネベアミツミ株式会社 センサチップ及び力覚センサ装置
CN108375435A (zh) * 2018-02-27 2018-08-07 中科新松有限公司 扭矩测量装置及机器人关节
CN109141723A (zh) * 2018-10-15 2019-01-04 山东大学 一种特殊作业机器人多维力传感器
TWI716789B (zh) 2018-12-20 2021-01-21 財團法人工業技術研究院 多軸力感測裝置
CN111426421A (zh) * 2018-12-20 2020-07-17 财团法人工业技术研究院 多轴力感测装置
CN109974916B (zh) * 2019-04-03 2020-12-29 东南大学 一种变极距型电容式三维力传感器结构
CN111103084A (zh) * 2019-12-18 2020-05-05 上海交通大学 一种双工形十字梁结构的一体化六维力传感器
CN111693198B (zh) * 2020-05-15 2021-06-01 吉林大学 一种双板式六维力力矩传感器
CN112140125A (zh) * 2020-09-23 2020-12-29 哈尔滨工程大学 一种水下柔性目标抓取系统及其精确力感知方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3693425A (en) * 1970-04-30 1972-09-26 Joseph M Starita Force measuring apparatus
CN2439671Y (zh) * 2000-09-20 2001-07-18 中国科学院合肥智能机械研究所 测力平台
JP2004233331A (ja) * 2002-12-04 2004-08-19 Sumitomo Rubber Ind Ltd 車輪力検出装置及び車輪力検出方法
CN102840944B (zh) * 2012-08-08 2015-01-07 燕山大学 一种近奇异构型的大量程并联六维力传感器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3454032A4 (en) * 2016-06-14 2019-06-19 Nanjing Bio-inspired Intelligent Technology Co., Ltd NEW SENSOR AND TORQUE SENSOR WITH SIX DIMENSIONS

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Application publication date: 20130501

Assignee: Jiangsu Tianhong Machinery Industrial Co., Ltd.

Assignor: Southeast University

Contract record no.: 2015320000210

Denomination of invention: Six-dimensional force and torque sensor for measuring large force and small torque of large mechanical arm

Granted publication date: 20141217

License type: Exclusive License

Record date: 20150414